JPS59148113A - 薄膜磁気ヘツドの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は薄膜磁気ヘッドの製造法にかかわり、特に、薄
膜磁気ヘッドの製造過程における複数個の薄膜磁気ヘッ
ド素子を同一方向に揃えて基板ブロックに形成したブロ
ックの磁気板との対。

内面を研削、研摩加工する方法に関するもので。

ある。

〔従来技術〕

最近、データ記録の高密度化の要求に対応し５て、薄膜
磁気ヘッドの研究が盛んに行われてい。

る。薄膜磁気ヘッドの一例を第１図および第２゛図に示
す。図において、１が基板で、２が薄膜。

磁気ヘッド素子部であり、ＩＡが浮上して磁気。

板（ディスク）と対向する面である。このヘラ１０ドは
、大きさはＱ、　９　！＋！長さ４　ｍｍ　（そのうち
、へ・ラド素子部の厚さは４０μｍ）幅３．２闘である
。素子・部２において、３は下地、４は磁性膜、５は導
・体コイル、６は端子、７は保護膜、８はギャツ・ブで
ある。このような薄膜磁気ヘッドの製造に１５際しては
、複数個、例えば５〜１０個の薄膜磁気。

ヘッド素子を同一方向に揃えて基板ブロックに。

形成した後、磁気板との対向面を研削、研摩加。

工して個々の薄膜磁気ヘッドに切断することに。

よって製造が行われている。薄膜磁気ヘッドの。。

製造において重要な点の一つは、ギャップ深さ。

（第２図におけるＤ）を高精度に確保すること。

である。このギャップ深さの精度は、薄膜磁気。

ヘッド素子を形成した基板ブロックの磁気板と。

の対同面の研削、研摩加工の精度に依存する。５従って
、この加工の精度が高いことが必要であ。

る。

上記した高精度な加工を実現するためには、２つの問題
点がある。その１つは、ギャップ深。

さの絶対値を制御する問題、もう１つは、５〜１０１０
個の薄膜磁気ヘッド素子のギャップ深さを揃・えて加工
する問題である。前者の問題を解決す・るため、榴々の
工夫が行われている。その−例・を第３図、第４図に示
す。これは、抵抗体を基。

板ブロックの薄膜素子形成面の端部に形成し、１５加工
による電気抵抗変化によって加工量を測定。

する方法である。第３図はその抵抗体の正面図。

であり、第４図は第３図におけるａ　−ａ線矢視。

断面図である。図において、基板ブロック９上。

に絶縁膜１０を形成し、その上に適当な間隔でそ、。

れぞれ加工面に直角な２個の導体１２を形成し、。

２個の導体１２０間は、加工面に沿って幅Ｗ１厚。

みｔの抵抗体１１で接続しである。導体１２間の電。

気抵抗値ＲＡＢは次式で示される。

ここで、ρは抵抗体１１の比抵抗、Ｌは導体１２゜間の
距離、Ｘは矢印方向（第４図）に加工した。

場合の加工量である。ρ／ｌおよびＬは加工前後・で変
化しないため、ＲＡＢ値を測定することζこよ１０すＸ
の値を求めることができる。

次に、後者の５〜１０個の薄膜磁気ヘッド素子。

のギャップ深さを揃える問題に関しては、例え。

ば第５図に示す方法がとられている。同図にお。

いて、１３は５〜１０個の薄膜磁気ヘッド素子を有、□
する加工試料、１５および１６は円筒形状のコロ、。

１７は■ブロック、１８はテーパブロック、１９は研。

削砥石である。加工途中で素子のギャップ深さ。

を前記のごとく測定し、ギャップ深さに相違があると判
明した場合、テーバブロック１８をモー２゜・　３　・ 夕等（図示せず）でＸ−Ｘ方向に移動させ、試゛料台１
４をｚ　−ｚ’力方向動かすことにより、研削。

砥石１９に対する加工試料１３の傾きを変え、ギヤ。

ツブ深さを揃える。

本方式で傾きを補正する場合、補正精度は、５テーパブ
ロツク１８のテーバ角および試料台１４の。

長さくコロ１５，１６間の距離）により決まる。テ。

−バがｈで、テーパブロック１８の送り精度が士。

２μｍの場合、試料台１４のＰ点における精度は士。

０．４μｍと考えられる。このため、±Ｏ６１μｍの精
ｌＯ度で補正を行う場合は、試料台１４の長さは加工・
試料１３の長さの４倍以上必要となり、加工試料・の長
さが５Ｑｍｍの場合は、試料台１４の長さは２００・關
以上を必要とする。また、駆動部が多いため・装置の剛
性が弱く、さらに、テーパブロックの１５テ一バ部の加
工精度、摩耗等による変形を考慮。

すると、本方式による傾きの補正は量産部品の。

高精度加工には不向きである。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を、。

・４　・ 排除し、複数個の薄膜磁気ヘッド素子を同一方。

向に揃えて形成した基板ブロックの、磁気板と“の対向
面を研削、研摩加工するに際し、各素子。

のギャップ深さを揃えるための、高精度な微小。

傾き補正および曲がり矯正を行う方法を提供す５るにあ
る。

〔発明の概要〕

本発明は、上記目的を達成するため、加工物。

を保持する物体に、加工物を加工面より傾けま。

たは変形を与える作用を行う１個または複数個１０の圧
電素子を設置し、該圧電素子に印加する電。

圧を調整することにより、微小な傾き補正およ・び曲が
り矯正を行い、複数個の薄膜磁気ヘッド・素子のギャッ
プ深さを揃えるようにしたもので・圧電素子の使用によ
り小型化、高精度化を図つ１５たものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の具体的な実施例につき説明す。

る。

（イ）実施例”　　　　　　　　　　　　　　　　２１
１第６図、第７図は本実施例を示す説明図であ”る。図
において、２０は試料保持台、２１はフレー。

ム、２２は微小角移動体、２３ないし２６はそれぞれ。

圧電特性の等しい積層型の圧電素子、２７ないし。

３０はそれぞれ圧′に素子に直流電圧を印加するた５め
の電源である。上記構成において、組立後、。

各圧電素子にそれぞれ直流電圧Ｖｏを印加する。。

圧電素子は、印加電圧に比例して伸長するため一寛圧Ｖ
Ｏを印加することにより、駆動部に予圧を・加えて、ガ
タを収り除くことができる。なお、１０印加電圧ｖＯは
最大傾斜角に対応する電圧の１／２・程度に設定する。

微小角移動体２２を傾けるには、第７図に示す６ように
、電源２７　、３０による圧電素子２３　、２６への。

印加電圧をそれぞれｖＯよりＶ′だけ低下させると、５
ともに、電源２８　、２９による圧電素子２４　、２５
への。

印加電圧をそれぞれＶＯよりＶ′だけ上昇させる。。

これにより、圧電素子２３　、２６は電圧Ｖ′に相当す
。

る寸法δだけ収縮し、同時に圧電素子２４　、２５は寸
法δだけ伸長するので、微小角移動体２２は’　２ｎ圧
電素子の作用点距離を夏とすると、 Δθ＋δ／ｌ だけ回転し、かつ移動後も移動前と同様に圧電。

素子２３　、２４　、２５　、２６により保持され、ガ
タを生じ。

ない。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５本実
施例の構成によれば、微小傾き補正量　。

０．１μｍ１５（１ｍに対し、Ｉ＝５Ｑ＋＋ａ前後で良
く、小。

型化かつ高剛性化できる効果がある。

（ロ）実施例２ 第８図に本実施例の説明図を示す。図におい１０て、３
１は微小角移動体、３２は加工試料、３３およ。

び３４は圧電特性の等しい圧電素子、３５および３６・
は電源、３７はベース、３８は止ねじである。上記・構
成において、圧電素子３３．３４にそれぞれ電圧・ＶＯ
を印加し、ガタを取り除く。本実施例におい１５ても、
前記実施例１の場合と同様に、電源３５に。

よる圧電素子３３への印加電圧をＶｏよりＶ“だけ上昇
させると同時に、電源３６による圧Ｘ素子３４へ。

の印加電圧をｖＯよりＶ“だけ低下させることによ。

す、微小角移動体３１に対して電圧Ｖ“に相当する。。

・　７　・ 変位（傾き）が得られる。なお、微小角移動体。

３１は、変位しやすくかつ加工試料はり付は面の。

変形を抑えるため、第８図に示すように一部を。

くり抜いた形状とする方が奸才しい。本実施例。

は、前記実施例１に比べ、剛性は弱くなるが、５−漸小
型化、簡略化が図れる効果がある。剛性。

に関しては、通常、精密研削、ラップ加工にお。

いて加工抵抗は１０ｆ以下であり、薄膜磁気へ。

ラドの加工に３いては精度上問題とならない。。

（ハ）実施例３　　　　　　　　　　　　　　　１０第
９図に本実施例の説明図を示す。図に３い・て３２は加
工試料、３９は試料保持台、４０はベース−４１は止ね
じ、４２は積層型の圧電素子、４３は電源・である。本
実施例は、加工試料３２が曲がってい・る場合の曲がり
を矯正する実施例である。上記１５構成において、電源
４３により圧電素子４２に電圧。

ＶＯを印加し、試料保持台３９を変形させた状態で。

試料接着面を研削し、基準面出しを行う。この。

ため、加工試料３２は、電圧ＶＯを圧電素子４２に印。

加した状態で保持することにより、曲がりのな２゜・８
　・ い試料は真直ぐに保持される。また、試料が曲。

がっている場合は、印加電圧をＶｏより曲がり矯。

正量に相当する電圧だけ上昇才たは低下させる。

ことにより、曲がりが矯正できる。

上記した各実施例に示したような加工治具を５用いて、
加工量測定用の抵抗検知パターンを２゜〜３箇所具備し
た加工試料を加工することによ。

す、加工中ｌこ加工量を測定でき、その測足値を。

もとに矯正量に見合った量だけ印加電圧を上昇・または
低下させることにより、加工量の差を低１０減でき、ギ
ャップ深さの揃った薄膜磁気ヘッド・を確保できる。

また、上記谷実施例においては、７層の積層・型圧′Ｉ
ＩＬ素子を例示したが、圧電素子は単層でも。

積層でも良いことは明らかである。また、実施１５例１
または２と実施例３とを組み合わせること。

により、傾き補正と曲がり矯正の両方ができることは、
言うまでもない。

なお、圧％素子の作用箇所は、第６図ないし第９図にお
いて全面で尚たっているように図示しであるが、全面で
なくても良いことは明らか。

である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、基板ブロックの磁気板との。

対向面を研削、研摩加工する際に、従来法に比５べて１
／４以下の装置、治具で、微小角が形成で。

きる効果がある。また、小型化が可能となった。

ため、加工機に多数個の微小角形成治具を搭載。

できるので、加工効率の向上が図れる効果があ。

る。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１０

【図面の簡単な説明】

第１図は薄膜磁気ヘッドの一例を示す斜視図−第２図は
第１図におけるＡ−Ａ線矢視断面斜視・図、第３図は加
工量測定用パターンの一例を示。 す正面図、第４図は第３図におけるａ−ａ線矢１５視断
面図、第５図は従来技術による傾き補正法。 の説明図、第６図および第７図は本発明の一実。 施例の要部を示す概略断面図、第８図および第。 ９図はそれぞれ本発明の他の実施例の要部を示。 す概略断面図である。　　　　　　　　　　　２（）符
号の説明 ２０・・・試料保持台　　　　２１・・・フレーム　　
　。 ２２・・・微小角移動体　　　２３〜２６・・・圧！素
子　。 ２７〜３０・・・電源　　　　　３１・・・微小角移動
体　。 ３２・・・加工試料　　　　　３３　、３４・・・圧１
１Ｌ素子　５３５　、３６・・・電源　　　　　３７・
・・ベース　　　　。 ３９・・・試料保持台　　　　４０・・・ベース　　　
　・４２・・・圧電素子　　　　　４３・・・電源　　
　　　。 ０ ５ 第　１　ｍ １３囚 第４０ 襦　　ｌ　　１コ 雨　ｂ　〆」

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 複数個の薄膜磁気ヘッド素子を同一方向に揃。 えて−面に形成した基板ブロックの磁気板との５対向面
   を研削、研摩加工後、これを切断して個。 々の薄膜磁気ヘッドとする薄膜磁気ヘッドの製。 造法であって、基板ブロックの磁気板との対向・面の研
   削、研摩加工を行うとき、加工物を保持・する物体に、
   加工物を加工面より傾けまたは変ＩＯ形を与える作用を
   行う１個または複数個の圧電・素子を設置し、該圧力素
   子に印加する電圧を調。 整することにより、複数個の薄膜磁気ヘッド素。 子の加工量を揃えることを特徴とする薄膜磁気。 ヘッドの製造法。　　　　　　　　　　　　　　］５