JPH11300757A - トーリック凹面形状の形成方法と装置 - Google Patents
トーリック凹面形状の形成方法と装置Info
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- JPH11300757A JPH11300757A JP10113903A JP11390398A JPH11300757A JP H11300757 A JPH11300757 A JP H11300757A JP 10113903 A JP10113903 A JP 10113903A JP 11390398 A JP11390398 A JP 11390398A JP H11300757 A JPH11300757 A JP H11300757A
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- indenter
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- toric
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- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被加工部材に短時間でトーリック凹面形状を
形成する。 【解決手段】 圧子１１を保持する工具ヘッド１３と、
工具ヘッド１３が取り付けられて揺動可能な工具回転テ
ーブル１６と、このテーブル１６を上下に動かす工具ス
テージ１５と、被加工部材１２を載置して水平２軸で移
動するＸＹステージ１５とを有する圧子押圧装置を用い
る。圧子１１の先端形状は球の一部であったり、バイト
であったりするが、それぞれの圧子形状に応じて被加工
部材１２に所望のトーリック面が形成されるように、制
御装置２０が工具回転テーブル１６、工具ステージ１
５、ＸＹステージ１５を制御する。
形成する。 【解決手段】 圧子１１を保持する工具ヘッド１３と、
工具ヘッド１３が取り付けられて揺動可能な工具回転テ
ーブル１６と、このテーブル１６を上下に動かす工具ス
テージ１５と、被加工部材１２を載置して水平２軸で移
動するＸＹステージ１５とを有する圧子押圧装置を用い
る。圧子１１の先端形状は球の一部であったり、バイト
であったりするが、それぞれの圧子形状に応じて被加工
部材１２に所望のトーリック面が形成されるように、制
御装置２０が工具回転テーブル１６、工具ステージ１
５、ＸＹステージ１５を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、トーリック凹面形
状の形成方法に関し、例えば、マイクロ光学素子を製造
するために用いるに最適な方法及び装置に関するもので
ある。
状の形成方法に関し、例えば、マイクロ光学素子を製造
するために用いるに最適な方法及び装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、マイクロ光学素子は単体としては
光通信用などに用いられ、またアレイ状に多数配列した
マイクロ光学素子として光学機器の集光板や拡散板など
に用いられている。そのようなマイクロ光学素子の一つ
としてトーリック形状を有する光学素子がある。
光通信用などに用いられ、またアレイ状に多数配列した
マイクロ光学素子として光学機器の集光板や拡散板など
に用いられている。そのようなマイクロ光学素子の一つ
としてトーリック形状を有する光学素子がある。
【０００３】上記のようなトーリック形状マイクロ光学
素子を多数配列したアレイを製造する方法としては、先
端にトーリック形状を形成してある圧子を用いて、特開
平９−３２７８６０号公報に記載の圧子押圧装置を用い
て被加工部材に圧痕加工をする方法がある。この装置
は、被加工部材を保持して水平面内で移動可能なＸＹス
テージと、圧子を保持して垂直方向に上下動可能なムー
ビングコイル装置と、それらを電気的に制御する制御装
置とからなっている。ムービングコイル装置を駆動し、
圧子を被加工部材に押し付けて圧痕を形成する。さら
に、ＸＹステージを水平面内で移動させ、ムービングコ
イル装置により繰り返し圧子を上下させることにより、
被加工部材の加工面内に多数の圧痕を形成する。被加工
部材が光学材料であれば、そのままマイクロ光学素子ア
レイとして用いることができる。また、被加工部材が金
型母材であれば、その金型を用いて射出成形や圧縮成形
などにより、マイクロ光学素子アレイを製造することが
できる。
素子を多数配列したアレイを製造する方法としては、先
端にトーリック形状を形成してある圧子を用いて、特開
平９−３２７８６０号公報に記載の圧子押圧装置を用い
て被加工部材に圧痕加工をする方法がある。この装置
は、被加工部材を保持して水平面内で移動可能なＸＹス
テージと、圧子を保持して垂直方向に上下動可能なムー
ビングコイル装置と、それらを電気的に制御する制御装
置とからなっている。ムービングコイル装置を駆動し、
圧子を被加工部材に押し付けて圧痕を形成する。さら
に、ＸＹステージを水平面内で移動させ、ムービングコ
イル装置により繰り返し圧子を上下させることにより、
被加工部材の加工面内に多数の圧痕を形成する。被加工
部材が光学材料であれば、そのままマイクロ光学素子ア
レイとして用いることができる。また、被加工部材が金
型母材であれば、その金型を用いて射出成形や圧縮成形
などにより、マイクロ光学素子アレイを製造することが
できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の技
術においては、圧子を圧子押圧装置に取り付け後、試し
打ちを行ってトーリック形状を有する圧子の回転方向の
位置出しを行う必要があった。特に微小な形状なので位
置出しに多くの時間を要していた。また、トーリックの
形状精度のよい圧子を得ようとすると圧子材料が超硬合
金以下の硬度のものに限られるため、圧子の寿命が極め
て短く、広い面積に多数の圧痕を形成するのに圧子を何
回も交換しながら加工しなければならず、さらに多くの
時間がかかるという問題点があった。
術においては、圧子を圧子押圧装置に取り付け後、試し
打ちを行ってトーリック形状を有する圧子の回転方向の
位置出しを行う必要があった。特に微小な形状なので位
置出しに多くの時間を要していた。また、トーリックの
形状精度のよい圧子を得ようとすると圧子材料が超硬合
金以下の硬度のものに限られるため、圧子の寿命が極め
て短く、広い面積に多数の圧痕を形成するのに圧子を何
回も交換しながら加工しなければならず、さらに多くの
時間がかかるという問題点があった。
【０００５】そこで本発明は、トーリック凹面形状を時
間をかけずに形成する方法及び装置を提供することを目
的とする。
間をかけずに形成する方法及び装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的のために請求項
１に記載の発明は、被加工部材にトーリック凹面形状を
形成する方法において、先端に球面を有する圧子を用い
て、被加工部材表面への前記圧子の押し込み深さを変え
ながら、前記被加工部材を前記圧子の押し込み方向に対
して水平方向へ相対的に移動させることにより、トーリ
ック形状の凹面を前記被加工部材に形成する。被加工部
材は金型母材でも光学部材でもよい。金型母材の場合
は、この母材を基に射出成形等によりトーリック凸面形
状を有する光学部材を作成することができる。請求項２
に記載の発明は、被加工部材にトーリック凹面形状を形
成する方法において、先端に球面を有する圧子を金型母
材表面に対して垂直方向に配置し、前記位置より所望角
度傾けて前記圧子を前記母材表面に押し当て、前記圧子
を揺動させて前記母材に押し込むことにより、トーリッ
ク形状の凹面を前記被加工部材に形成する。被加工部材
については上述のように金型母材でも光学部材でもよ
い。請求項３に記載の発明は、被加工部材にトーリック
凹面形状を形成する方法において、先端にＲ面を有する
バイトを用いて、被加工部材への前記バイトの切り込み
深さを変えながら、前記被加工部材を前記バイトの切り
込み方向に対して水平方向へ相対的に移動させることに
より、トーリック形状の凹面を前記被加工部材に形成す
る。この場合、被加工部材は上述のように金型母材でも
光学部材でもよい。請求項４に記載の発明は、被加工部
材にトーリック凹面形状を形成する方法において、先端
にＲ面を有するバイトを被加工部材に対して垂直方向に
配置し、前記位置より所望角度傾けて前記バイトを前記
被加工部材に押し当て、前記バイトを揺動させて前記被
加工部材に切り込むことにより、トーリック形状の凹面
を前記被加工部材に形成する。この場合も、被加工部材
は、金型母材でも光学部材でもよい。そして、以上何れ
の場合も、圧子としてはダイヤモンド圧子が好ましい。
請求項５に記載の発明は、鉛直方向に圧子を保持する工
具ヘッドと、該工具ヘッドが取付けられて揺動可能な工
具回転テーブルと、該テーブルを前記圧子に対して上下
動可能な工具ステージと、被加工物を載置して水平２軸
で移動するＸ−Ｙステージとを有し、前記工具ヘッド、
工具回転テーブル、工具ステージ、Ｘ−Ｙステージを制
御して、前記圧子で前記被加工物にトーリック凹面形状
を形成する圧子押圧装置である。
１に記載の発明は、被加工部材にトーリック凹面形状を
形成する方法において、先端に球面を有する圧子を用い
て、被加工部材表面への前記圧子の押し込み深さを変え
ながら、前記被加工部材を前記圧子の押し込み方向に対
して水平方向へ相対的に移動させることにより、トーリ
ック形状の凹面を前記被加工部材に形成する。被加工部
材は金型母材でも光学部材でもよい。金型母材の場合
は、この母材を基に射出成形等によりトーリック凸面形
状を有する光学部材を作成することができる。請求項２
に記載の発明は、被加工部材にトーリック凹面形状を形
成する方法において、先端に球面を有する圧子を金型母
材表面に対して垂直方向に配置し、前記位置より所望角
度傾けて前記圧子を前記母材表面に押し当て、前記圧子
を揺動させて前記母材に押し込むことにより、トーリッ
ク形状の凹面を前記被加工部材に形成する。被加工部材
については上述のように金型母材でも光学部材でもよ
い。請求項３に記載の発明は、被加工部材にトーリック
凹面形状を形成する方法において、先端にＲ面を有する
バイトを用いて、被加工部材への前記バイトの切り込み
深さを変えながら、前記被加工部材を前記バイトの切り
込み方向に対して水平方向へ相対的に移動させることに
より、トーリック形状の凹面を前記被加工部材に形成す
る。この場合、被加工部材は上述のように金型母材でも
光学部材でもよい。請求項４に記載の発明は、被加工部
材にトーリック凹面形状を形成する方法において、先端
にＲ面を有するバイトを被加工部材に対して垂直方向に
配置し、前記位置より所望角度傾けて前記バイトを前記
被加工部材に押し当て、前記バイトを揺動させて前記被
加工部材に切り込むことにより、トーリック形状の凹面
を前記被加工部材に形成する。この場合も、被加工部材
は、金型母材でも光学部材でもよい。そして、以上何れ
の場合も、圧子としてはダイヤモンド圧子が好ましい。
請求項５に記載の発明は、鉛直方向に圧子を保持する工
具ヘッドと、該工具ヘッドが取付けられて揺動可能な工
具回転テーブルと、該テーブルを前記圧子に対して上下
動可能な工具ステージと、被加工物を載置して水平２軸
で移動するＸ−Ｙステージとを有し、前記工具ヘッド、
工具回転テーブル、工具ステージ、Ｘ−Ｙステージを制
御して、前記圧子で前記被加工物にトーリック凹面形状
を形成する圧子押圧装置である。
【０００７】以下に、本発明の実施の形態を説明する
が、本発明はこれに限られるものではない。
が、本発明はこれに限られるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明に係るマイクロ光学素子の
製造方法で形成されるトーリック形状について、図３を
用いて説明する。９０度直交の２方向で曲率が違うトー
リック形状を形成する方法は４種類に分けられる。すな
わち、短円側の曲率半径をＲｓ、長円側の曲率半径をＲ
ｂとすると、第一の方法は、曲率半径Ｒｓの断面が曲率
半径Ｒｂの曲率中心を回転軸として回転して曲率半径Ｒ
ｂの面を形成する方法であり、第二の方法は曲率半径Ｒ
ｓの断面を垂直面とし曲率半径Ｒｂの曲率に沿って垂直
面が平行及び上下移動する方法であり、第三の方法は、
曲率半径Ｒｂの断面が曲率半径Ｒｓの曲率中心を回転軸
として回転して曲率半径Ｒｓを形成する方法であり、第
四の方法は、曲率半径Ｒｂの断面を垂直面とし曲率半径
Ｒｓの曲率に沿って垂直面が平行及び上下移動する方法
である。
製造方法で形成されるトーリック形状について、図３を
用いて説明する。９０度直交の２方向で曲率が違うトー
リック形状を形成する方法は４種類に分けられる。すな
わち、短円側の曲率半径をＲｓ、長円側の曲率半径をＲ
ｂとすると、第一の方法は、曲率半径Ｒｓの断面が曲率
半径Ｒｂの曲率中心を回転軸として回転して曲率半径Ｒ
ｂの面を形成する方法であり、第二の方法は曲率半径Ｒ
ｓの断面を垂直面とし曲率半径Ｒｂの曲率に沿って垂直
面が平行及び上下移動する方法であり、第三の方法は、
曲率半径Ｒｂの断面が曲率半径Ｒｓの曲率中心を回転軸
として回転して曲率半径Ｒｓを形成する方法であり、第
四の方法は、曲率半径Ｒｂの断面を垂直面とし曲率半径
Ｒｓの曲率に沿って垂直面が平行及び上下移動する方法
である。
【０００９】第三の方法、第四の方法は、本発明におけ
るマイクロ光学素子のようにミリサイズ以下のものにつ
いては、物理的な点で実現し難いため、第一の方法、第
二の方法の短円側Ｒｓを動かすことによって得られるＲ
ｂ形状について示す。また、Ｒｓ、Ｒｂは周知の如く様
々な数式で表現できる。例えば、Ｒｓは円弧でも放物線
でもよい。
るマイクロ光学素子のようにミリサイズ以下のものにつ
いては、物理的な点で実現し難いため、第一の方法、第
二の方法の短円側Ｒｓを動かすことによって得られるＲ
ｂ形状について示す。また、Ｒｓ、Ｒｂは周知の如く様
々な数式で表現できる。例えば、Ｒｓは円弧でも放物線
でもよい。
【００１０】以降の説明では、Ｒｓが円弧の場合を例に
とって説明する。図１は本発明に係るマイクロ光学素子
の製造方法での圧子の動きを表した図である。また図５
は上記製造方法で用いる圧子押圧装置の正面図、図６は
同じ装置の側面図である。この装置は、圧子１１を保持
する工具ヘッド１３と、工具ヘッド１３が取り付けられ
て揺動可能な工具回転テーブル１６と、前記テーブル１
６を上下に動かす工具ステージ１５と、被加工部材１２
を載置して水平二軸で移動するＸＹステージ１４とを有
している。さらに前記工具ヘッド１３は、工具回転テー
ブル１６の中心方向に圧子保持部分が動けるような送り
機構を有している。マイクロメータヘッド１７を使って
操作するので微量の送りが可能である。制御装置２０
は、工具ヘッド１３、工具回転テーブル１６、工具ステ
ージ１５、ＸＹステージ１４を後述野用に制御して、圧
子１１で被加工物１２に所望のトーリック凹面形状を形
成する。この装置を用いて被加工部材１２にトーリック
状凹面を形成する方法としては、図１（ａ）、図１
（ｂ）の２通りがある。
とって説明する。図１は本発明に係るマイクロ光学素子
の製造方法での圧子の動きを表した図である。また図５
は上記製造方法で用いる圧子押圧装置の正面図、図６は
同じ装置の側面図である。この装置は、圧子１１を保持
する工具ヘッド１３と、工具ヘッド１３が取り付けられ
て揺動可能な工具回転テーブル１６と、前記テーブル１
６を上下に動かす工具ステージ１５と、被加工部材１２
を載置して水平二軸で移動するＸＹステージ１４とを有
している。さらに前記工具ヘッド１３は、工具回転テー
ブル１６の中心方向に圧子保持部分が動けるような送り
機構を有している。マイクロメータヘッド１７を使って
操作するので微量の送りが可能である。制御装置２０
は、工具ヘッド１３、工具回転テーブル１６、工具ステ
ージ１５、ＸＹステージ１４を後述野用に制御して、圧
子１１で被加工物１２に所望のトーリック凹面形状を形
成する。この装置を用いて被加工部材１２にトーリック
状凹面を形成する方法としては、図１（ａ）、図１
（ｂ）の２通りがある。
【００１１】図１（ａ）は前述の工具ヘッド１３及び工
具回転テーブル１６が揺動せずに固定された状態で圧子
押圧装置を操作する場合の説明図である。本例の場合、
圧子の先端の形状は、図２（ａ）に示したように、半径
が短円の曲率半径Ｒｓに等しい球となっている。図１
（ａ）に戻ると、圧子１１の先端の球１１０の曲率中心
は、長円の曲率半径Ｒｂより球１１０の半径Ｒｓ分だけ
オフセットされた点群、すなわち垂直方向Ｈ及び水平方
向Ｌの交点として記した位置Ｎ、Ｎ＋１、Ｎ＋２．．．
上を順次ＸＹステージ１４と工具ステージ１５の操作に
より移動する。また図１（ｂ）は、工具回転テーブル１
６の中心に長円の曲率Ｒｂの中心がくるように、圧子１
１の先端の球１１０をセットして、得たいトーリック形
状で定まる角度θを成すように工具ヘッド１３が固定さ
れた工具回転テーブル１６を揺動させる。
具回転テーブル１６が揺動せずに固定された状態で圧子
押圧装置を操作する場合の説明図である。本例の場合、
圧子の先端の形状は、図２（ａ）に示したように、半径
が短円の曲率半径Ｒｓに等しい球となっている。図１
（ａ）に戻ると、圧子１１の先端の球１１０の曲率中心
は、長円の曲率半径Ｒｂより球１１０の半径Ｒｓ分だけ
オフセットされた点群、すなわち垂直方向Ｈ及び水平方
向Ｌの交点として記した位置Ｎ、Ｎ＋１、Ｎ＋２．．．
上を順次ＸＹステージ１４と工具ステージ１５の操作に
より移動する。また図１（ｂ）は、工具回転テーブル１
６の中心に長円の曲率Ｒｂの中心がくるように、圧子１
１の先端の球１１０をセットして、得たいトーリック形
状で定まる角度θを成すように工具ヘッド１３が固定さ
れた工具回転テーブル１６を揺動させる。
【００１２】このようにして１つのトーリック状凹面を
形成した後、ＸＹステージ１４を隣接した圧痕形成領域
に凹面が形成できるように被加工物を移動させ、上述の
動作を繰り返すことにより、所望の周期で２次元状にト
ーリック状凹面を被加工部材に形成したものを原版とし
て、光学部材に転写することにより、図４に示したよう
にトーリック形状を有するマイクロ光学素子アレイのパ
ターンが得られる。但し、図４では１つ１つのトーリッ
ク状凹面が形成される圧痕領域に対応した領域を矩形枠
で示している。図４で示した領域Ａは、１つのトーリッ
ク状凹面が形成される圧痕領域に対応した領域であり、
１つのトーリック形状マイクロレンズが形成されてい
る。なお、図４で示した、Ｐｂ及びＰｓは隣接するマイ
クロレンズ（トーリック状凹面）の中心間距離を示して
いる。
形成した後、ＸＹステージ１４を隣接した圧痕形成領域
に凹面が形成できるように被加工物を移動させ、上述の
動作を繰り返すことにより、所望の周期で２次元状にト
ーリック状凹面を被加工部材に形成したものを原版とし
て、光学部材に転写することにより、図４に示したよう
にトーリック形状を有するマイクロ光学素子アレイのパ
ターンが得られる。但し、図４では１つ１つのトーリッ
ク状凹面が形成される圧痕領域に対応した領域を矩形枠
で示している。図４で示した領域Ａは、１つのトーリッ
ク状凹面が形成される圧痕領域に対応した領域であり、
１つのトーリック形状マイクロレンズが形成されてい
る。なお、図４で示した、Ｐｂ及びＰｓは隣接するマイ
クロレンズ（トーリック状凹面）の中心間距離を示して
いる。
【００１３】以上の実施例では、曲率半径ＲｓとＲｂの
比率が１対２以下では、図１（ａ）の方法が有効で、１
対２以上では図１（ｂ）の方法が有効であった。以上の
説明は、前述したトーリック形状を第一の方法で形成す
る場合であり、図２（ａ）のような先端が球１１０の圧
子１１では図１（ａ）、（ｂ）どちらの方法においても
同じトーリック形状が得られる。なお、図２（ａ）にお
ける角度δは、圧子先端の球１１０が傾いた状態でも、
金型表面に接線が接触することのない角度であって、そ
の値は、加工するトーリック形状により決定される。
比率が１対２以下では、図１（ａ）の方法が有効で、１
対２以上では図１（ｂ）の方法が有効であった。以上の
説明は、前述したトーリック形状を第一の方法で形成す
る場合であり、図２（ａ）のような先端が球１１０の圧
子１１では図１（ａ）、（ｂ）どちらの方法においても
同じトーリック形状が得られる。なお、図２（ａ）にお
ける角度δは、圧子先端の球１１０が傾いた状態でも、
金型表面に接線が接触することのない角度であって、そ
の値は、加工するトーリック形状により決定される。
【００１４】次に、前述したトーリック形状を第二の方
法で形成するために、図２（ｂ）で示した曲率Ｒｓで逃
げ角αを持つ、ダイヤモンドバイトを用いた例を説明す
る。図２（ｂ）の左図は側面図、同右図は正面図であ
る。なお、図２（ｂ）の角度βも、図２（ａ）の角度δ
と同内容の角度である。このバイトを図１（ａ）の方法
を用いて操作することにより、前述の第二の方法による
トーリック形状を形成できる。この時、切削の観点より
切削速度は最低でも１０ｍ／ｍｉｎとし、切削液として
灯油を用いた。また、金型材料としてはマルテンサイト
系ステンレス鋼に無電解ニッケルメッキを施したものを
鏡面研磨し使用した。
法で形成するために、図２（ｂ）で示した曲率Ｒｓで逃
げ角αを持つ、ダイヤモンドバイトを用いた例を説明す
る。図２（ｂ）の左図は側面図、同右図は正面図であ
る。なお、図２（ｂ）の角度βも、図２（ａ）の角度δ
と同内容の角度である。このバイトを図１（ａ）の方法
を用いて操作することにより、前述の第二の方法による
トーリック形状を形成できる。この時、切削の観点より
切削速度は最低でも１０ｍ／ｍｉｎとし、切削液として
灯油を用いた。また、金型材料としてはマルテンサイト
系ステンレス鋼に無電解ニッケルメッキを施したものを
鏡面研磨し使用した。
【００１５】以上の実施例では、金型母材にトーリック
形状の凹面を形成し、この金型母材の凹面形状を射出成
形等の周知の手法で光学部材に転写する場合を想定して
いるが、光学部材に直接トーリック形状の凹面を形成し
てもよい。この場合は、凹面形状のマイクロレンズを持
ったマイクロ光学素子が得られる。すなわち、本発明で
は、被加工部材としては金型母材でも最終製品である光
学部材でもよい。
形状の凹面を形成し、この金型母材の凹面形状を射出成
形等の周知の手法で光学部材に転写する場合を想定して
いるが、光学部材に直接トーリック形状の凹面を形成し
てもよい。この場合は、凹面形状のマイクロレンズを持
ったマイクロ光学素子が得られる。すなわち、本発明で
は、被加工部材としては金型母材でも最終製品である光
学部材でもよい。
【００１６】本発明で用いる装置では、加工工具の位置
調整用にマイクロメータヘッドを使った送り機構を用い
ているが、ピエゾ駆動による送り機構を用いても良い。
また、工具ヘッドとしては、マイクロメータヘッドによ
る位置決めのみのヘッドとしたが、特開平９−３２７８
６０号公報に記載の圧子押圧装置のようにムービングコ
イルを使用し行うと効率及び精度の点でも良好なものが
得られる。
調整用にマイクロメータヘッドを使った送り機構を用い
ているが、ピエゾ駆動による送り機構を用いても良い。
また、工具ヘッドとしては、マイクロメータヘッドによ
る位置決めのみのヘッドとしたが、特開平９−３２７８
６０号公報に記載の圧子押圧装置のようにムービングコ
イルを使用し行うと効率及び精度の点でも良好なものが
得られる。
【００１７】さらに、切削の場合においては、バイト先
端に超音波振動を与えることにより工具寿命が延びるの
で、図２（ｂ）のようなバイトを用いる場合には、この
超音波振動をバイト先端に与えるとバイトの寿命を延ば
すことができる。
端に超音波振動を与えることにより工具寿命が延びるの
で、図２（ｂ）のようなバイトを用いる場合には、この
超音波振動をバイト先端に与えるとバイトの寿命を延ば
すことができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、形状創成
の容易な球面を有する圧子やバイトによりトーリック形
状を被加工部材に形成することができる。従って、寿命
の長い工具を使って加工することができるので、工具交
換の手間がかからず、効率よくトーリック形状を形成す
ることができる。
の容易な球面を有する圧子やバイトによりトーリック形
状を被加工部材に形成することができる。従って、寿命
の長い工具を使って加工することができるので、工具交
換の手間がかからず、効率よくトーリック形状を形成す
ることができる。
【図１】本発明に係る製造方法による圧子の操作例を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明に用いる圧子の先端及びバイトの先端の
概略図である。
概略図である。
【図３】トーリック形状の概念図である。
【図４】トーリック形状を有するマイクロ光学素子アレ
イのパターン図である。
イのパターン図である。
【図５】本発明に用いる製造装置の正面図である。
【図６】本発明に用いる製造装置の側面図である。
１１・・・圧子 １２・・・被加工部材 １３・・・工具ヘッド １４・・・ＸＹステージ １５・・・工具ステージ １６・・・工具回転テーブル １７・・・マイクロメータヘッド
Claims (5)
- 【請求項１】 被加工部材にトーリック凹面形状を形成
する方法において、 先端に球面を有する圧子を用いて、被加工部材表面への
前記圧子の押し込み深さを変えながら、前記被加工部材
を前記圧子の押し込み方向に対して水平方向へ相対的に
移動させることにより、トーリック形状の凹面を前記被
加工部材に形成することを特徴とするトーリック凹面形
状の形成方法。 - 【請求項２】 被加工部材にトーリック凹面形状を形成
する方法において、 先端に球面を有する圧子を金型母材表面に対して垂直方
向に配置し、前記位置より所望角度傾けて前記圧子を前
記母材表面に押し当て、前記圧子を揺動させて前記母材
に押し込むことにより、トーリック形状の凹面を前記被
加工部材に形成することを特徴とするトーリック凹面形
状の形成方法。 - 【請求項３】 被加工部材にトーリック凹面形状を形成
する方法において、 先端にＲ面を有するバイトを用いて、被加工部材への前
記バイトの切り込み深さを変えながら、前記被加工部材
を前記バイトの切り込み方向に対して水平方向へ相対的
に移動させることにより、トーリック形状の凹面を前記
被加工部材に形成することを特徴とするトーリック凹面
形状の形成方法。 - 【請求項４】被加工部材にトーリック凹面形状を形成す
る方法において、 先端にＲ面を有するバイトを被加工部材に対して垂直方
向に配置し、前記位置より所望角度傾けて前記バイトを
前記被加工部材に押し当て、前記バイトを揺動させて前
記被加工部材に切り込むことにより、トーリック形状の
凹面を前記被加工部材に形成することを特徴とするトー
リック凹面形状の形成方法。 - 【請求項５】鉛直方向に圧子を保持する工具ヘッドと、
該工具ヘッドが取付けられて揺動可能な工具回転テーブ
ルと、該テーブルを前記圧子に対して上下動可能な工具
ステージと、被加工物を載置して水平２軸で移動するＸ
−Ｙステージとを有し、前記工具ヘッド、工具回転テー
ブル、工具ステージ、Ｘ−Ｙステージを制御して、前記
圧子で前記被加工物にトーリック凹面形状を形成するこ
とを特徴とする圧子押圧装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10113903A JPH11300757A (ja) | 1998-04-23 | 1998-04-23 | トーリック凹面形状の形成方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10113903A JPH11300757A (ja) | 1998-04-23 | 1998-04-23 | トーリック凹面形状の形成方法と装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11300757A true JPH11300757A (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=14624064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10113903A Pending JPH11300757A (ja) | 1998-04-23 | 1998-04-23 | トーリック凹面形状の形成方法と装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11300757A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002066801A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-05 | Canon Inc | 切削加工方法及び光学素子及び光学素子成形用金型 |
| JP2002192568A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-07-10 | Eastman Kodak Co | 微小レンズの製造方法と微小レンズアレー |
| JP2007229875A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Toyo Electric Mfg Co Ltd | 軌条輪などの踏面の現場据付形切削装置 |
| JP2008126248A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Honda Motor Co Ltd | 金型の表面処理装置及び該表面処理装置を用いる金型の製造方法 |
-
1998
- 1998-04-23 JP JP10113903A patent/JPH11300757A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002066801A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-03-05 | Canon Inc | 切削加工方法及び光学素子及び光学素子成形用金型 |
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| JP2008126248A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Honda Motor Co Ltd | 金型の表面処理装置及び該表面処理装置を用いる金型の製造方法 |
| JP4564479B2 (ja) * | 2006-11-17 | 2010-10-20 | 本田技研工業株式会社 | 金型の表面処理装置及び該表面処理装置を用いる金型の製造方法 |
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