JP4482047B2 - インプリント方法 - Google Patents
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Description
第1の実施形態では、内周部の厚みを他の部分よりも薄くして段差を設けたスタンパを用いる。
第2の実施形態では、基板上に塗布されるレジストの厚みを基板の内周部のみで厚くする。スピンコーティングの条件を調整することによって、基板上に塗布されるレジストの一部の厚みを厚くすることができる。
Claims (1)
- 基板上の両面にレジストを塗布し、
前記基板上の両面に塗布されたレジストに対して、凸パターンが形成された2つのスタンパをインプリントし、
前記基板と各々のスタンパとの間に剥離爪の先端を押し込み、
前記基板と各々のスタンパとの間に気体を導入して前記基板から各々のスタンパを剥離する方法であって、
前記剥離爪の先端が押し込まれる個所で、前記基板と各々のスタンパとの間隙を前記レジストの厚みよりも大きくし、前記基板の内周側または外周側のパターンが形成されていない位置において、2つのスタンパを真空チャックにより保持した状態で前記基板と一方のスタンパとの間に前記剥離爪を押し込んで一方のスタンパを剥離し、前記基板と他方のスタンパを真空チャックにより保持した状態で前記基板と他方のスタンパとの間に前記剥離爪を押し込んで他方のスタンパを剥離することを特徴とするインプリント方法。
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