JP3232665B2

JP3232665B2 - 光ディスク製造装置

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Publication number: JP3232665B2
Application number: JP18478892A
Authority: JP
Inventors: 純三高野; 隆瀬川; 祐二椎名
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-06-19
Filing date: 1992-06-19
Publication date: 2001-11-26
Anticipated expiration: 2016-11-26
Also published as: JPH06876A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ディスク基板上に塗布
された紫外線硬化樹脂層に凹凸パターンを転写するスタ
ンパーと、該スタンパーをスタンパー保持部に固定する
ための鍔部を有するスタンパー内周固定リングと、紫外
線硬化樹脂層が形成された基板のセンター孔に係合し該
基板を押し上げてスタンパーから剥離するセンターピン
を備えてなる光ディスク製造装置に係わるものであり、
詳細にはセンターピンの形状及びスタンパー内周固定リ
ングの形状に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、光ディスクや光磁気ディスク等の
ディスク基板を製造する手法の一つとして、例えば紫外
線照射により硬化する紫外線硬化樹脂を用いたホトポリ
マー法、いわゆる２Ｐ法が提案されている。

【０００３】２Ｐ法は、例えばスクリーン印刷等によっ
てディスク基板の片面に液状の紫外線硬化樹脂層を塗布
し、該紫外線硬化樹脂層がスタンパーと密着するように
上記ディスク基板をスタンパーの上に載置させ、ローラ
で該ディスク基板をスタンパーに押圧せしめた後、紫外
線を照射して前記紫外線硬化樹脂層を硬化させ、当該紫
外線硬化樹脂層とともにディスク基板をスタンパーより
剥離することにより、スタンパー表面に形成された微細
な情報信号に基づく凹凸（グルーブやピット）パターン
をディスク基板上の上記紫外線硬化樹脂層に転写する手
法である。

【０００４】上記２Ｐ法は、液状の樹脂を使用すること
から複製の忠実度に優れるとともにスタンパーの劣化が
ほとんどなく、また特に基板にガラス基板を使用した場
合には、寸法安定、耐熱性、低複屈折等の点で優れたデ
ィスク基板を得ることができるという利点を有してい
る。

【０００５】ところで、上記２Ｐ法によってディスク基
板を製造するには、例えば図１５に示すように、表面に
凹凸パターンが形成されたスタンパー１０１と、該スタ
ンパー１０１を固定する載置台１０２と、上記スタンパ
ー１０１の凹凸パターンが紫外線硬化樹脂層の光硬化に
より転写されたディスク基板１０３を該スタンパー１０
１より剥離させるセンターピン１０４とからなる製造装
置が用いられている。

【０００６】上記載置台１０２は、微細な凹凸パターン
が表面に形成されたスタンパー１０１を固定させ、当該
スタンパー１０１の凹凸パターンをディスク基板１０３
上に設けた紫外線硬化樹脂層 (図示は省略する。) に転
写させる際の受台としての役割をするものである。この
載置台１０２には、スタンパー内周固定リング１１６の
管状部１１８を挿通させる貫通孔１０６が当該載置台１
０２の略中央部に板厚方向に形成されている。

【０００７】上記スタンパー内周固定リング１１６は、
スタンパー１０１を載置台１０２に固定するために設け
られるものであり、貫通孔１０６に挿入される管状部１
１８と該管状部１１８の上端から僅かに上方に張り出し
たフランジ状の鍔部１１７を有するものである。上記管
状部１１８の外径寸法は、スタンパー１０１のセンター
孔１１９の内径寸法及び貫通孔１０６の内径と略等し
く、鍔部１１６の外径はスタンパー１０１のセンター孔
１１９の内径寸法よりも若干大きいため、スタンパー１
０１は鍔部１１７により押さえ込まれた状態となってい
る。さらに、スタンパー内周固定リング１１６には縦方
向に貫通する貫通孔１２０が設けられており、ここにセ
ンターピン１０４が挿入されるようになされている。な
お、上記載置台１０２は、支持柱１０７を介して基台１
０８上に支持されている。

【０００８】上記センターピン１０４は、上記ディスク
基板１０３をスタンパー１０１の所定位置に固定させ、
またディスク基板１０３を硬化した紫外線硬化樹脂層と
ともにスタンパー１０１より剥離させるためのものであ
る。従って、上記センターピン１０４は、上記ディスク
基板１０３の略中央に穿設されるセンター孔１０９に嵌
合して当該ディスク基板１０３をスタンパー１０１の所
定位置に位置決め固定させる円盤状の頭部１１０と、ス
タンパー内周固定リング１１６の貫通孔１２０の内周面
をガイドとして摺動自在となる軸部１０５とからなって
いる。

【０００９】上記頭部１１０は、上記ディスク基板１０
３のセンター孔１０９の形状と略同一形状に形成され、
当該ディスク基板１０３の上記スタンパー１０１との対
向面側からセンター孔１０９に臨み嵌合するようになっ
ている。一方、軸部１０５は、上記貫通孔１２０に挿通
され、下端部が基台１０８上に配設されるエアシリンダ
１１１と連結されて当該貫通孔１２０の内周面をガイド
として上下動するようになっている。すなわち、上記エ
アシリンダ１１１より突出するピストンロッド１１２の
先端に取り付けられる連結部材１１３の嵌合孔１１４に
上記軸部１０５の下端部が嵌合され、ボルト１１５にて
固定されることで、これら軸部１０５とエアシリンダ１
１１とが連結されている。

【００１０】また、センターピン１０４の軸部には下端
部から上端部近傍に亘り断面略円形状のブロー孔１２１
が当該上端部に貫通しない、いわゆる止まり孔として形
成されている。このブロー孔１２１には、例えば空気や
窒素等の気体を導入するためのガス導入装置（図示は省
略する。）が接続されるようになっている。また、上記
ブロー孔１２１の上端部近傍には、当該ブロー孔１２１
より軸部１０５の外周面に貫通されるブロー穴１２２
が、軸部１０５の中心軸を挟んで対向し、２個設けられ
ている。従って上記ブロー孔１２１より導入された気体
は、ブロー穴１２２を通じて外部に吹き出されるように
なっている。なお、上記ブロー穴１２１より吹き出され
る気体は、センターピン１０４の動作と連動して吹き出
されるようになっており、該センターピン１０４が上昇
し始めると吹き出すようになっている。よって、上記セ
ンターピン１０４は、上昇してディスク基板１０３をス
タンパー１０１より剥離させるとともに、センターピン
１０４に設けられたブロー穴１２２より気体を噴出し、
ディスク基板１０３のスタンパー１０１からの剥離を促
進する。

【００１１】このように構成された製造装置を用いてデ
ィスク基板を製造するには、先ず、載置台１０２上に固
定されるスタンパー１０１の上に紫外線硬化樹脂層を塗
布したディスク基板１０３を当該紫外線硬化樹脂層がス
タンパー１０１と密着するように載置する。このとき、
ディスク基板１０３は、センター孔１０９がセンターピ
ン１０４の頭部１１０に嵌合されて前記スタンパー１０
１の所定位置に固定される。

【００１２】次いで、ディスク基板１０３をローラ（図
示は省略する。）によってスタンパー１０１側へ押圧せ
しめ、これらスタンパー１０１とディスク基板１０３間
に液状の紫外線硬化樹脂層を均一に充填させる。次に、
ディスク基板１０３側より紫外線を照射して上記紫外線
硬化樹脂層を硬化させる。そして、センターピン１０４
を突き上げ、ブロー穴１２２より気体を噴出し、上記硬
化した紫外線硬化樹脂層とともにディスク基板１０３を
上記スタンパー１０１より剥離させる。この結果、スタ
ンパー１０１の凹凸パターンが紫外線硬化樹脂層に転写
されてなるディスク基板が得られる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
にセンターピンを突き上げ、該センターピンより気体を
噴出しながらスタンパーの凹凸パターンの転写された紫
外線硬化樹脂層の形成されたディスク基板をスタンパー
より剥離すると様々な問題が生じる。例えば、センター
ピンより気体を噴出するブロー穴近傍の紫外線硬化樹脂
は剥離され易いが、ブロー穴のない部分は剥離されにく
く、図１６に示すようにブロー穴１２２が２箇所設けら
れている場合には、ブロー穴１２２より噴出される気体
の噴出方向に沿った形状でブロー穴１２２近傍の紫外線
硬化樹脂層の内周部から外周部に向けて離型模様が発生
したり、紫外線硬化樹脂の外周部にはみ出した樹脂が部
分的にスタンパーに残ってしまうという問題が発生して
いる。また、ディスク基板や紫外線硬化樹脂の材質等の
都合により気体の噴出圧力を減少させた場合にはスタン
パーに紫外線硬化樹脂が残存してしまうといった問題も
発生している。

【００１４】一方、前述のようにスタンパーは管状部と
鍔部により構成されるスタンパー内周固定リングによっ
て載置台に固定されているが、該スタンパー内周固定リ
ングは管状部と鍔部を一体成型したものであるため、図
１７に示されるように、スタンパー内周固定リング１１
６の管状部１１８の上部コーナーＲ₁の径がスタンパー
１０１のセンター孔１１９の内径よりも大きくなり易
く、スタンパー内周固定リング１１６の上部が浮いてし
まう。そのため、スタンパー内周固定リング１１６に設
けられた貫通孔１２０に挿入されるセンターピン１０４
を所定の位置まで挿入することができず、ディスク基板
１０３に形成される紫外線硬化樹脂層とスタンパー１０
１間に隙間ａが生じ、隙間に対応する部分の紫外線硬化
樹脂に気泡が生じたり、スタンパーの凹凸パターンが転
写されないという問題が発生している。

【００１５】そこで、図１８に示されるようにスタンパ
ー内周固定リング１１６の管状部１１８の鍔部１１７と
の曲部に面取り加工部１１６ａを設け、スタンパー内周
固定リングの浮きを防ぐような形状が提案されている
が、図１９に示すように、面取り加工部１１６ａにスタ
ンパー１０１の内周部１１９が入り込み、スタンパー１
０１の固定位置がずれてしまうという問題が発生してい
る。

【００１６】そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであって、紫外線硬化樹脂層に剥離模
様を発生させることがなく、紫外線硬化樹脂がスタンパ
ー上に残存することもなく、スタンパーの凹凸パターン
の転写された紫外線硬化樹脂層の形成された基板の剥離
を容易かつ確実に行うことができ、スタンパーの固定位
置のズレが生じることがなく、スタンパーと紫外線硬化
樹脂層間に隙間を形成することもなく、スタンパーの凹
凸パターンを紫外線硬化樹脂層に良好に転写させること
ができ、品質の良好な光ディスクを製造することが可能
な光ディスク製造装置を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明の光ディスク製造
装置は、ディスク基板上に塗布された紫外線硬化樹脂層
に凹凸パターンを転写するスタンパーと、該スタンパー
をスタンパー保持部に固定するための鍔部を有するスタ
ンパー内周固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成され
た基板のセンター孔に係合し該基板を押し上げてスタン
パーから剥離するセンターピンを備えてなり、前記セン
ターピンには、基板係合部近傍の外周面に開口し且つ前
記スタンパーから基盤が剥離する方向に軸心を有する傾
斜穴であり、気体を噴出するためのブロー穴が３箇所以
上適当な間隔で設けられていることを特徴とする。

【００１８】また、本発明の光ディスク製造装置は、デ
ィスク基板上に塗布された紫外線硬化樹脂層に凹凸パタ
ーンを転写するスタンパーと、該スタンパーをスタンパ
ー保持部に固定するための鍔部を有するスタンパー内周
固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成された基板のセ
ンター孔に係合し該基板を押し上げてスタンパーから剥
離するセンターピンを備えてなり、前記スタンパー内周
固定リングの鍔部には、前記スタンパーとの対向面に溝
加工が施されていることを特徴とする。さらに、本発明
の光ディスク製造装置は、ディスク基板上に塗布された
紫外線硬化樹脂層に凹凸パターンを転写するスタンパー
と、該スタンパーをスタンパー保持部に固定するための
鍔部を有するスタンパー内周固定リングと、紫外線硬化
樹脂層が形成された基板のセンター孔に係合し該基板を
押し上げてスタンパーから剥離するセンターピンを備え
てなり、前記センターピンには、基板係合部近傍の外周
面に開口し且つ前記スタンパーから基盤が剥離する方向
に軸心を有する傾斜穴であり、気体を噴出するためのブ
ロー穴が３箇所以上適当な間隔で設けられるとともに、
前記スタンパー内周固定リングの鍔部には、前記スタン
パーの対抗面に溝加工が施されていることを特徴とす
る。

【００１９】

【作用】本発明の光ディスク製造装置においては、ディ
スク基板上に塗布された紫外線硬化樹脂層に凹凸パター
ンを転写するスタンパーと、該スタンパーをスタンパー
保持部に固定するための鍔部を有するスタンパー内周固
定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成された基板のセン
ター孔に係合し該基板を押し上げてスタンパーから剥離
するセンターピンを備えてなり、前記センターピンに
は、基板係合部近傍の外周面に開口し且つ前記スタンパ
ーから基盤が剥離する方向に軸心を有する傾斜穴であ
り、気体を噴出するためのブロー穴が３箇所以上適当な
間隔で設けられているため、気体の噴出が放射状に均一
に行われ、紫外線硬化樹脂層の形成された基板の剥離が
均一に促進される。

【００２０】また、本発明の光ディスク製造装置におい
ては、ディスク基板上に塗布された紫外線硬化樹脂層に
凹凸パターンを転写するスタンパーと、該スタンパーを
スタンパー保持部に固定するための鍔部を有するスタン
パー内周固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成された
基板のセンター孔に係合し該基板を押し上げてスタンパ
ーから剥離するセンターピンを備えてなり、前記スタン
パー内周固定リングの鍔部には、前記スタンパーとの対
向面に溝加工が施されているため、スタンパー内周固定
リングによりスタンパーが確実に固定され、スタンパー
固定位置のズレが生じず、スタンパー内周固定リングに
挿入されるセンターピンが所定の位置に確実に挿入さ
れ、スタンパーと紫外線硬化樹脂層間に隙間が形成され
ることがない。さらに、本発明の光ディスク製造装置に
おいては、ディスク基板上に塗布された紫外線硬化樹脂
層に凹凸パターンを転写するスタンパーと、該スタンパ
ーをスタンパー保持部に固定するための鍔部を有するス
タンパー内周固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成さ
れた基板のセンター孔に係合し該基板を押し上げてスタ
ンパーから剥離するセンターピンを備えてなり、前記セ
ンターピンには、基板係合部近傍の外周面に開口し且つ
前記スタンパーから基盤が剥離する方向に軸心を有する
傾斜穴であり、気体を噴出するためのブロー穴が３箇所
以上適当な間隔で設けられるとともに、前記スタンパー
内周固定リングの鍔部には、前記スタンパーの対抗面に
溝加工が施されているため、気体の噴出が放射状に均一
に行われ、紫外線硬化樹脂層の形成された基板の剥離が
均一に促進されるとともに、スタンパー内周固定リング
によりスタンパーが確実に固定され、スタンパー固定位
置のズレが生じず、スタンパー内周固定リングに挿入さ
れるセンターピンが所定の位置に確実に挿入され、スタ
ンパーと紫外線硬化樹脂層間に隙間が形成されることが
ない。

【００２１】

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて、図面を参照しながら説明する。先ず、２Ｐ法によ
り光ディスクの製造を行う光ディスク製造装置につい
て、図１を用いて説明する。図１に示されるように上記
光ディスク製造装置１は、機台２上の一側縁近傍に設け
られるディスク基板供給部３と、他側縁近傍に設けられ
るディスク基板搬出部４と、これらディスク基板供給部
３とディスク基板搬出部４間に順次配設される塗布手段
である紫外線硬化樹脂供給部５と、転写部６とからなっ
ている。

【００２２】上記ディスク基板供給部３は、隣に配設さ
れる紫外線硬化樹脂供給部５に例えばガラス基板等から
なるディスク基板７を供給するための当該ディスク基板
７を収容しておくストック部に相当するもので、複数の
ディスク基板７をカートリッジ８内に収容させるように
なっている。上記紫外線硬化樹脂供給部５は、上記カー
トリッジ８からディスク受渡機構 (図示は省略する。)
によって機械的に一枚づつ取り出されてきたディスク基
板７の一方の面に液状の紫外線硬化樹脂９を塗布するよ
うになっている。

【００２３】上記転写部６は、上記紫外線硬化樹脂供給
部５からやはりディスク受渡機構 (図示は省略する。)
によって機械的に一枚づつ搬送されるディスク基板７を
スタンパー１０上に載置させ所定の場所に移動せしめる
転写装置１１と、ディスク基板７をスタンパー１０に密
着させる密着手段である押圧装置１２と、これらディス
ク基板７とスタンパー１０間に挾み込まれた紫外線硬化
樹脂９を硬化させる紫外線照射装置１３とからなってい
る。上記転写装置１１は、スタンパー１０上にディスク
基板７が載置されると、該スタンパー１０を保持する保
持手段であるスタンパー保持部１４に取り付けられた移
動テーブル１５が紫外線照射装置１３側へ移動するよう
になっている。そして、その中途部に配設される押圧装
置１２でディスク基板７がスタンパー１０側へ押圧せし
められ、次いで紫外線照射装置１３にて紫外線硬化樹脂
９が硬化せしめられると、上記移動テーブル１５がもと
の位置に戻り、ここで硬化した紫外線硬化樹脂９ととも
に前記ディスク基板７がスタンパー１０より剥離される
ようになっている。

【００２４】上記押圧装置１２は、上記転写装置１１に
よって搬送されてきたディスク基板７にローラ等によっ
て圧力を加えることにより、このディスク基板７をスタ
ンパー１０に密着させ、このスタンパー１０の凹凸パタ
ーンに上記紫外線硬化樹脂９を均一に充填させるもので
ある。一方、紫外線照射装置１３は、上記押圧装置１２
にて押圧せしめられた紫外線硬化樹脂９にディスク基板
７側から紫外線を照射させ、当該紫外線硬化樹脂９を硬
化させるようになっている。

【００２５】前記ディスク基板搬出部４は、スタンパー
１０から剥離されたディスク基板７を受渡アーム１６に
よって搬出させ、当該ディスク基板７を搬送用カートリ
ッジ１７内に収容させるようになっている。

【００２６】上述のようなディスク基板製造装置１を用
いてディスク基板を製造するには、先ず、ディスク基板
搬出部３のカートリッジ８内に収容されるディスク基板
７を受渡機構にて取り出し、紫外線硬化樹脂供給部５へ
搬送させる。次に、この紫外線硬化樹脂供給部５にてデ
ィスク基板７の一方の面に紫外線硬化樹脂９を塗布す
る。

【００２７】次いで、上記ディスク基板７を受渡機構に
よって搬送させ、前記転写装置１１のスタンパー１０上
に載置させる。このとき、ディスク基板７に塗布された
紫外線硬化樹脂９がスタンパー１０と密着するように載
置する。ディスク基板７がスタンパー１０上に載置され
ると、移動テーブル１５が前記紫外線照射装置１３側へ
移動し、その中途部に配設される押圧装置１２にてディ
スク基板７がスタンパー１０側へ押圧せしめられる。次
いで、上記移動テーブル１５がさらに前方へ移動して上
記ディスク基板７を紫外線照射装置１３へ搬送させ、こ
こで紫外線が照射されて上記液状の紫外線硬化樹脂９が
硬化される。

【００２８】次に、上記移動テーブル１５がもとの位置
に戻り、ここで転写装置１１に設けられたセンターピン
(図示は省略する。) によってディスク基板７が硬化し
た紫外線硬化樹脂９とともにスタンパー１０より剥離さ
れる。そして、剥離されたディスク基板７が受渡アーム
１６によってディスク基板搬送部４の搬送用カートリッ
ジ１７内に収容される。

【００２９】以上が２Ｐ法による光ディスク製造装置を
用いた光ディスクの製造工程の概略的な説明であり、本
発明は特に上記ディスク基板製造装置１の転写部６にお
ける工程に適用されるものであり、本実施例の光ディス
ク製造装置の転写装置１１の具体的な構成について図面
を参照しながら説明する。

【００３０】上記転写装置１１は、主として図２ないし
図３に示すように、表面に微細な情報信号に基づく凹凸
パターンが形成されたスタンパー１０と、該スタンパー
１０を保持する保持手段であるスタンパー保持部１４
と、該スタンパー保持部１４を所定の場所に移動させる
移動テーブル１５と、上記スタンパー１０の凹凸パター
ンが紫外線硬化樹脂９の光硬化により転写されたディス
ク基板を当該スタンパー１０より剥離させるセンターピ
ン１８とを備えてなっている。

【００３１】上記スタンパー１０は、例えばニッケル等
によって略円板状に形成されたもので、一主面１０ａに
グルーブや記録情報に応じたピット等の微細な凹凸パタ
ーン(図示は省略する。) を有している。また、上記一
主面１０ａとは反対側の裏面１０ｂは、後述のマグネッ
トアダプター１９の載置面１９ａに載置される面となっ
ており、極めて平滑な平坦面となされている。さらに、
上記スタンパー１０の略中央部には、板厚方向に貫通す
るセンター孔２２が形成され、上記マグネットアダプタ
ー１９への位置決め用の孔として用いられるようになっ
ている。

【００３２】上記スタンパー保持部１４は、スタンパー
１０を載置させるマグネットアダプター１９と、このマ
グネットアダプター１９を磁気吸着して固定させるマグ
ネットチャック２０と、これらマグネットアダプター１
９とマグネットチャック２０を保持するホルダー２１と
から構成されている。

【００３３】上記マグネットアダプター１９は、上記ス
タンパー１０を載置させるためのもので、強磁性材料か
らなる磁性体２３と、透磁率の低い材料からなるセパレ
ータ２４とが同一方向に延在して交互に配列されて平板
状となされている。上記マグネットアダプター１９は、
スタンパー１０を載置させるためのものであるため、該
スタンパー１０を載置させる載置面１９ａが極めて平滑
な平坦面とされている。

【００３４】また、上記マグネットアダプター１９に
は、上記スタンパー１０を当該マグネットアダプター１
９の所定位置に固定させるための後述のスタンパー内周
固定リング２７が挿通する位置決め孔２５が略中央部に
板厚方向に貫通して形成されている。また、上記スタン
パー１０を載置させる載置面１９ａとは反対側の裏面１
９ｂには、前記スタンパー内周固定リング２７をマグネ
ットアダプター１９に固定させるためのナット２８を嵌
挿させる凹部２６が上記位置決め孔２５に対応した位置
に板厚を貫通しないいわゆる止まり孔として形成されて
いる。この凹部２６は、上記ナット２８の外形よりも大
きな円形状の窪みとして形成され、当該凹部２６内にナ
ット２８が嵌挿されたときに該ナット２８が上記マグネ
ットアダプター１９内に完全に収容されるようになされ
ている。

【００３５】なお、上記マグネットアダプター１９は、
スタンパー１０の種類に応じてそれぞれ適したものが使
用されるようになっている。例えば、光ディスクと光磁
気ディスクあるいはこれらの中でもその種類によって
は、スタンパーの外径やセンター孔の大きさ等がそれぞ
れ異なるため、これらに適したマグネットアダプター１
９が必要とされる。

【００３６】上記スタンパー内周固定リング２７は、図
４に示すように、前記スタンパー１０のセンター孔２２
及びマグネットアダプター１９の位置決め孔２５に挿通
される円管状の管状部２９と、該管状部２９の上端から
僅かに外方に張り出したフランジ状の鍔部３０とが一体
的に形成されてなっている。

【００３７】上記管状部２９は、上記スタンパー１０の
マグネットアダプター１９への位置決めをするためのも
ので、当該管状部２９の外径寸法がスタンパー１０のセ
ンター孔２２の内径寸法及びマグネットアダプター１９
の位置決め孔２５の内径寸法と略等しい。従って、上記
管状部２９が上記スタンパー１０のセンター孔２２及び
マグネットアダプター１９の位置決め孔２５に挿通され
ることで、これらの位置関係が決まり、上記スタンパー
１０のマグネットアダプター１９への位置が決まる。ま
た、上記管状部２９の下端部近傍の外周面には、前記ナ
ット２８と螺合するねじ部３１が形成され、該スタンパ
ー内周固定リング２７のマグネットアダプター１９への
固定が確実なものとされている。なお、上記スタンパー
内周固定リング２７には、軸方向に貫通する貫通孔２７
ａが設けられており、ここに後述のセンターピン１８が
挿通するようになっている。

【００３８】一方、鍔部３０は、上記スタンパー１０を
マグネットアダプター１９に固定させるためのもので、
該スタンパー１０のセンター孔２２の開口縁部を押さえ
るようになっている。また、上記鍔部３０は、スタンパ
ー１０の一主面１０ａに設けられた凹凸パターンにかか
らない程度の大きさに形成されている。この時、本実施
例の光ディスク製造装置においては、スタンパー内周固
定リング２７の鍔部３０の裏面３０ａに溝加工が施され
ている。鍔部３０の裏面３０ａへの溝加工は、例えば図
５に示すような断面略台形状の溝、図６に示すような断
面四角形の溝、図７に示すような断面略半円状の溝を形
成すれば良く、その加工は非常に簡便に行うことが可能
である。

【００３９】従って、上記スタンパー１０のセンター孔
２２及びマグネットアダプター１９の位置決め孔２５に
挿通され前記凹部２６に突出したスタンパー内周固定リ
ング２７のねじ部３１にナット２８を螺合することで、
スタンパー内周固定リング２７が図８に示すようにマグ
ネットアダプター１９に固定される。また、これと同時
にスタンパー内周固定リング２７の鍔部３０とマグネッ
トアダプター１９の載置面１９ａとでスタンパー１０の
センター孔２２の開口縁部が挾持されて、該スタンパー
１０がマグネットアダプター１９に固定される。この
際、上述のように本実施例の光ディスク製造装置のスタ
ンパー内周固定リング２７の鍔部３０の裏面３０ａに
は、溝加工が施されているため、スタンパー内周固定リ
ング２７の管状部２９の上部コーナーＲの外径が大きく
なることがなく、スタンパー内周固定リング２７が所定
の位置まで挿入されて浮きがなく、スタンパー１０のセ
ンター孔２２の形状に関係なくマグネットアダプター１
９に確実に固定され、スタンパー１０の固定位置にズレ
が生じない。また、スタンパー内周固定リング２７の浮
きがないため、貫通孔２７ａに挿入されるセンターピン
１８も確実に所定の位置まで挿入され、図示しないディ
スク基板上に形成される紫外線硬化樹脂層とスタンパー
１０間に隙間が形成されることがない。

【００４０】前記マグネットチャック２０は、図３に示
されるようにスタンパー１０の種類に応じてその都度取
り替えられるマグネットアダプター１９を磁気吸着して
固定させるもので、該マグネットアダプター１９と同じ
く強磁性材料からなる磁性体３２と、透磁率の低い材料
からなるセパレータ３３とが同一方向に延在して交互に
配列されることで平板状となされている。なお、上記マ
グネットチャック２０とマグネットアダプター１９と
は、それぞれの磁性体２３と磁性体３２、またはそれぞ
れのセパレータ２４とセパレータ３３とが各々同じ幅で
同一方向に延在して設けられ、略一致して重なり合うよ
うになされている。

【００４１】また、上記マグネットチャック２０には、
後述するセンターピン１８をガイドする案内スリーブ３
４を圧入固定させるための案内スリーブ固定用孔３５が
前記マグネットアダプター１９の位置決め孔２５に対応
した位置に板厚方向に貫通して形成されている。上記案
内スリーブ３４は、例えば合成樹脂等によって管状に成
形されたもので、軸方向に貫通して設けられる中心孔３
４ａに上記センターピン１８を挿通させるようになって
いる。そして、上記中心孔３４ａの内周面をガイドとし
て上記センターピン１８をその内部に摺動させるように
なっている。

【００４２】このようなマグネットチャック２０は、当
該マグネットチャック２０に付設された磁力線発生部
(図示は省略する。) に所定の電流が通電されることに
よって強力な電磁吸引力を発生するようになっている。
従って、上記磁力線発生部に所定の電流を通電すると、
マグネットアダプター１９がマグネットチャック２０に
磁気吸着されて固定されるとともに、該マグネットアダ
プター１９上に固定されるスタンパー１０も磁気吸着さ
れて当該マグネットアダプター１９の載置面１９ａの平
坦面に倣い、高い平面性が実現される。

【００４３】前記ホルダー２１は、上記したマグネット
アダプター１９とマグネットチャック２０を保持するた
めのもので、板厚の厚い平板状のホルダー３６とこれに
比べて板厚の薄い平板状のホルダー３７とが重なり合わ
されることによりなっている。これらホルダー３６, ３
７には、上記マグネットチャック２０に設けられた案内
スリーブ固定用孔３５と同様の目的の孔３８, ３９が当
該マグネットチャック２０の案内スリーブ固定用孔３５
に対応した位置にそれぞれ板厚方向に貫通して形成され
ている。そして、これら貫通孔３８, ３９には、それぞ
れ前記案内スリーブ３４が圧入固定されるようになって
いる。従って、案内スリーブ３４は、マグネットチャッ
ク２０、上記二つのホルダー３６, ３７をそれぞれ挿通
した形,いわゆる三枚通しの形で圧入固定されている。

【００４４】また、上記のように構成されたスタンパー
保持部１４には、ディスク基板をスタンパー１０より剥
離した後に該スタンパー１０上に硬化して残存する紫外
線硬化樹脂９等の微細な塵埃や、やはりスタンパー１０
上に付着する空気中に含まれる塵埃等を除去するための
図９に示すような洗浄機構が設けられている。

【００４５】洗浄機構は、スタンパー１０上に残存した
塵埃等を吹き飛ばす吹出し口４２を備えたブロー部 (
図示は省略する。) と、吹き飛ばされた塵埃等を集めて
強制的に吸引する排気口４０を備えた防塵カバー４１と
からなっている。

【００４６】上記ブロー部は、例えば窒素や酸素等の気
体をスタンパー１０の一主面１０ａに向かって吹き出さ
せるようになされたもので、吹出し口４２を上記マグネ
ットアダプター１９の一方の対角線と略同一方向に向け
て配設している。なお、吹出し口４２より吹き出す気体
の圧力等は適宜調節することができるようになってい
る。

【００４７】上記防塵カバー４１は、吹き飛ばされた塵
埃等を寄せ集めるためのもので、上記吹出し口４２が向
けられるマグネットアダプター１９の二辺を囲むように
形成された側壁４３と、該マグネットアダプター１９の
載置面１９ａを覆う第１のフード４４ａと、これと対向
して設けられる第２のフード４４ｂとが一体的に形成さ
れてなっている。上記側壁４３は、上記吹出し口４２が
向けられるマグネットアダプター１９の二辺を取り囲む
ようにＬ字状に屈曲して形成されている。そして、上記
側壁４３の一方の端部に第２のフード４４ｂが設けられ
ている。この第２のフード４４ｂには、上記吹出し口４
２と対向する位置に円筒状の排気口４０が下方に延在し
て設けられている。また、この排気口４０には、例えば
吸引ポンプ ( 図示は省略する。) 等が取り付けられ、
強制的に塵埃等を引っ張るようになされている。従っ
て、吹き飛ばされてきた塵埃等はこの排気口４０に導か
れて装置外に排出され、スタンパー１０の一主面１０ａ
は常にクリーンな状態に保たれる。

【００４８】一方、第１のフード４４ａは、前記スタン
パー１０と対向する部分が放物線状に切り欠かれ、上記
側壁４３の他端部に一体的に設けられることにより、前
記マグネットアダプター１９の載置面１９ａを覆うよう
になっている。なお、スタンパー１０と対向する部分を
切り欠いているのは、当該スタンパー１０上に紫外線硬
化樹脂９を塗布したガラス基板を載置させるときに邪魔
にならないようにするためである。

【００４９】上記のように構成された防塵カバー４１
は、例えば枠体１３に取り付けられた板体４５, ４５の
先端部近傍に円柱状の支持体４６, ４６を介して後述す
る移動テーブル１５の基台４８に固定されることで前記
スタンパー保持部１４に設けられている。なお、上記防
塵カバー４１のスタンパー保持部１４への取り付けは、
上記の例に限定されるものではなく種々の手法により取
り付けることができる。

【００５０】前記移動テーブル１５は、上記スタンパー
保持部１４を所定の場所に移動させるためのもので、図
２，図３に示されるように、レール４７, ４７に沿って
案内される基台４８と、該基台４８上に支柱４９, ４
９, ４９, ４９を介して支持されるスタンパー保持部取
付台５０とからなっている。上記基台４８には、脚片５
１, ５１が設けられ、所定間隔で略平行に敷かれたレー
ル４７, ４７に摺動自在に係合するようになっている。

【００５１】一方、上記スタンパー保持部取付台５０
は、前記スタンパー保持部１４をその上に載置して固定
させるためのもので、上記基台４８の四隅に立設された
円筒状の支柱４９, ４９, ４９, ４９を介してボルト５
２, ５２, ５２, ５２等によって固定されている。な
お、上記スタンパー保持部取付台５０には、後述のタッ
プアダプター５６を望ませる貫通孔５３が当該タップア
ダプター５６に対応した位置に形成されている。

【００５２】このように形成された上記移動テーブル１
５は、前記スタンパー保持部１４を載置させた状態で上
記レール４７, ４７に案内されて所定の場所に移動する
ようになされている。

【００５３】また、上記移動テーブル１５の基台４８上
には、後述するセンターピン１８を上下動させるための
エアシリンダ５４が設けられている。このエアシリンダ
５４のピストンロッド５５の先端部には、センターピン
１８と該エアシリンダ５４とを接続させるためのタップ
アダプター５６が固定されている。上記タップアダプタ
ー５６は、上端に開口した挿通孔５７にセンターピン１
８の下端部が挿通されると、これを挿入方向には移動さ
せるが、逆に抜き出す方向へは移動させないようなロッ
ク機構を有している。ロックを解除するには、タップア
ダプター５６を覆って設けられる操作子５８の操作子片
５９を下方へ押圧することで簡単にロックが解除される
ようになっている。

【００５４】上記センターピン１８は、図８及び図１０
に示すように、前記スタンパー１０の凹凸パターンが紫
外線硬化樹脂９の光硬化により転写されたディスク基板
７を該スタンパー１０より剥離させるためのもので、前
記エアシリンダ５４に接続される円筒状の導入部６０
と、ディスク基板７を位置決めさせる位置決め部６１と
からなっている。

【００５５】上記導入部６０は、前述のスタンパー内周
固定リング２７の貫通孔２７ａ及び案内スリーブ３４の
中心孔３４ａにそれぞれ挿通され、これら貫通孔２７ａ
及び中心孔３４ａの内周面をガイドとして摺動するよう
になされた円筒状のピンである。上記導入部６０の下端
部は、前記タップアダプター５６の挿通孔５７に挿通さ
れロックされることによって、当該タップアダプター５
６に固定されるようになっている。従って、センターピ
ン１８は、タップアダプター５６を介してエアシリンダ
５４に接続されている。

【００５６】また、本実施例の光ディスク製造装置にお
いて上記導入部６０の軸心には、下端部から上端部近傍
に亘り断面略円形状のブロー孔６２が当該上端部に貫通
しない, いわゆる止まり孔として形成されている。この
ブロー孔６２には、例えば空気や窒素等の気体を導入さ
せるためのガス導入装置 (図示は省略する。) が接続さ
れるようになっており、上記ブロー孔６２の上端部近傍
には、当該ブロー孔６２より前記導入部６０の外周面６
０ａへ貫通するブロー穴６３が当該外周面６０ａに適当
な間隔を有し、斜め上を向いた形状で４箇所形成されて
いる。従って、上記ブロー孔６２より導入された気体
は、上記ブロー穴６３を通して外部へ吹き出されるよう
になっている。なお、上記ブロー穴６３より吹き出され
る気体は、センターピン１８の動作と連動して吹き出さ
れるようになっており、該センターピン１８が上昇し始
めると吹き出すようになっている。

【００５７】従って、本実施例の光ディスク製造装置に
おいては、スタンパー１０の凹凸パターンの転写された
図示しない紫外線硬化樹脂層の形成されたディスク基板
７をスタンパー１０より剥離する際、センターピン１８
にブロー穴６３が、斜め上を向いた形状で４箇所形成さ
れているため、紫外線硬化樹脂に剥離されにくい部分が
なく、剥離模様の発生や紫外線硬化樹脂のスタンパー１
０への残存を防止することができ、剥離を容易かつ確実
に行うことが可能である。この時、センターピン１８に
設けられるブロー穴６３は、３箇所以上設ければ上述の
効果を得ることが出来ると思われる。

【００５８】上記位置決め部６１は、ディスク基板７を
スタンパー１０の所定位置に位置決めさせるためのもの
で、当該ディスク基板７のセンター孔６６に嵌合するよ
うになっている。すなわち、上記位置決め部６１は、上
記導入部６０の上端部より外方へフランジ状に張り出し
て形成されたフランジ部６４を有し、このフランジ部６
４がディスク基板７のセンター孔６６と嵌合して当該デ
ィスク基板７を位置決めするようになっている。

【００５９】また、上記フランジ部６４の先端部は、上
記ディスク基板７の前記位置決め部６１への嵌合を容易
なものとするために斜めに削り取られて傾斜面となさ
れ、この傾斜面が導入部６４ｃとされている。さらに、
上記フランジ部６４の外周部には、上記ディスク基板７
のセンター孔６６の外周縁部に設けられた一方のテーパ
面６６ｂと係合し、このテーパ面６６ｂをディスク基板
７の剥離時に上方に向けて持ち上げるためのツバ部６４
ｂが設けられている。上記ツバ部６４ｂは、上記基板位
置決め部６４ｂの下端に連続し先端側に行くに従って次
第に厚みが薄くなるようにフランジ状に張り出して形成
されている。上記ツバ部６４ｂは、ディスク基板７の下
側に入り込み、傾斜面が上記ディスク基板７のセンター
孔６６に設けられた一方のテーパ面６６ｂを下から支持
するようになっている。なお、上記ツバ部６６ｂの前記
スタンパー１０と対向する面は、当該スタンパー１０を
押さえ付ける面となっている。

【００６０】また、上記フランジ部６４の前記スタンパ
ー内周固定リング２７の鍔部３０と対向する面には、内
端が導入部６０の外周面６０ａで規制された円環状の凹
部６５が形成されている。この凹部６５は、上記スタン
パー内周固定リング２７の鍔部３０に対する逃げ溝とな
るもので、前記フランジ部６４がスタンパー１０に当接
した状態で該鍔部３０をその内部にわずかな隙間を有し
て収容させるようになっている。

【００６１】次に、上述のようにして構成された転写装
置１１を用いてスタンパー１０の凹凸パターンをディス
ク基板７の一方の面に塗布してなる紫外線硬化樹脂９に
転写させる方法について説明する。

【００６２】先ず、前述の図１に示すディスク基板供給
部３より紫外線硬化樹脂供給部５へ搬出させたディスク
基板７の一方の面に液状の紫外線硬化樹脂９を塗布し、
これを該紫外線硬化樹脂９が塗布された面を下向きにし
て前記した転写装置１１のスタンパー１０上に載置させ
る。すなわち、紫外線硬化樹脂９を介してスタンパー１
０の一主面１０ａと対向するようにディスク基板７をス
タンパー１０上に重ね合わせる。

【００６３】ここで使用されるディスク基板７として
は、例えば図１０に示すように、透明なガラス基板ある
いは透明な合成樹脂よりなる円板状の基板で、その中心
にセンター孔６６が形成されたものである。なお、上記
センター孔６６の開口周縁部には、上下ともに面取りが
なされてテーパ面６６ａ, ６６ｂが形成されている。ま
た、これらテーパ面６６ａ, ６６ｂに挟まれたセンター
孔６６の内周面６６ｃが位置決め面となされている。

【００６４】上記ディスク基板７のスタンパー１０への
載置に際しては、当該ディスク基板７のスタンパー１０
と対向する面に設けられるテーパ面６６ｂがセンターピ
ン１８の導入部６４ｃによって案内されて上記ディスク
基板７の位置決め面６６ｃとセンターピン１８の基板位
置決め部６４ａとが係合する。そして、上記ディスク基
板７のテーパ面６６ｂが上記センターピン１８のツバ部
６４ｂの傾斜面に上から係合する。この結果、上記ディ
スク基板７は、スタンパー１０の所定位置に精度よく位
置決めされる。

【００６５】次に、ディスク基板７がスタンパー１０に
保持されると、移動テーブル１５がレール４７, ４７に
沿って移動せしめられ、その中途部に配設される押圧装
置１２へ案内される。ここで、ローラ等によって加圧せ
しめられディスク基板７がスタンパー１０側へ押圧され
る。この結果、ディスク基板７がスタンパー１０と密着
する。

【００６６】そして、上記移動テーブル１５は、さらに
レール４７, ４７に沿って前方へ移動せしめられ、上記
紫外線照射装置１３へと案内される。ここで紫外線が上
記ディスク基板７側より照射され、前記液状の紫外線硬
化樹脂９が硬化される。なお、温水はこの紫外線硬化樹
脂９が硬化するまで循環される。

【００６７】紫外線硬化樹脂９が硬化されると、今度は
上記移動テーブル１５は、もとの位置, すなわちディス
ク基板７をスタンパー１０へ載置させた位置へとレール
４７, ４７に沿って案内される。ここで、硬化した紫外
線硬化樹脂層 (図示は省略する。) とともにディスク基
板７がスタンパー１０より剥離される。

【００６８】ディスク基板７のスタンパー１０からの剥
離は、次のようにして行われる。先ず、エアシリンダ５
４の駆動によってピストンロッド５５が上昇せしめられ
る。すると、該ピストンロッド５５の先端に固定される
タップアダプター５６を介してセンターピン１８が案内
スリーブ３４及びスタンパー内周固定リング２７に案内
されて上昇する。

【００６９】このとき、上記センターピン１８のツバ部
６４ｂの傾斜面上には、ディスク基板７の一方のテーパ
面６６ｂが上から係合しているため、該センターピン１
８の上昇に伴ってディスク基板７が上記硬化した紫外線
硬化樹脂９とともに中心部より持ち上げられる。そし
て、上記センターピン１８の上昇と連動して該センター
ピン１８に設けられたブロー穴６３より、図１１に示す
ようにクリーンエアーが噴出せしめられる。すると、上
記ディスク基板７とスタンパー１０間の負圧が減ぜら
れ、真空状態が回避される。この時、前述のように本実
施例においてはブロー穴６３が４箇所設けられているた
め、図１２に示すようにクリーンエアーが放射状に均一
に噴出され、ブロー穴６３が斜め上を向いた形状で設け
られているため、剥離が更に促進される。なお、本実施
例の光ディスク製造装置においては、従来の光ディスク
製造装置の約７０％の圧力の気体を噴出することにより
十分な剥離を行うことが可能であり、剥離に要する時間
も従来の光ディスク製造装置の１／３に短縮することが
可能である。なお、ここで噴出せしめる気体は、上記ク
リーンエアー等に限らず窒素ガス等でもよく、特に限定
されるものではない。

【００７０】この結果、図１３のようにディスク基板７
がスタンパー１０より無理なく剥がれる。また、このと
きディスク基板７に塗布された紫外線硬化樹脂９に剥離
模様が生じることはなく、紫外線硬化樹脂９がスタンパ
ー１０上に残存するようなことはない。さらには、上記
エアーの導入によって無理なくディスク基板７を剥離さ
せることができるため、当該ディスク基板７を破損させ
るようなことはない。また、前述のようにセンターピン
にブロー穴を３箇所以上設ければ、同様の効果を得るこ
とが可能であると思われ、例えば図１４に示すように、
センターピン１８にブロー穴６３を２箇所設け、吹き出
し口６３ａを３箇所設け、すなわちセンターピンにブロ
ー穴を３箇所設けた場合と同じ効果を有する形状とした
場合においても、図１４中に示すようにクリーンエアー
が放射状に均一に噴出され、ブロー穴が斜め上を向いた
形状で設けられているため、剥離が更に促進される。

【００７１】次に、ディスク基板７を剥離させたスタン
パー１０の一主面１０ａに向かって窒素ガス等を噴出せ
しめ、当該スタンパー１０の一主面１０ａ上に残存する
硬化した紫外線硬化樹脂９等の微細な塵埃や、やはりス
タンパー１０に付着する空気中に含まれる塵埃等を吹き
飛ばす。そして、これを防塵カバー４１に設けた排気口
４０で吸引せしめ、装置外へ排出させる。この結果、上
記スタンパー１０上には塵埃等がなくなり、当該スタン
パー１０がクリーンな状態に保持される。従って、スタ
ンパー１０の傷つき等を防止することができ、当該スタ
ンパー１０の寿命を延ばすことができる。また、このス
タンパー１０によって複製されるディスク基板の歩留り
を向上させることも可能となる。

【００７２】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の光ディスク製造装置においては、ディスク基板上に
塗布された紫外線硬化樹脂層に凹凸パターンを転写する
スタンパーと、該スタンパーをスタンパー保持部に固定
するための鍔部を有するスタンパー内周固定リングと、
紫外線硬化樹脂層が形成された基板のセンター孔に係合
し該基板を押し上げてスタンパーから剥離するセンター
ピンを備えてなり、前記センターピンには、基板係合部
近傍の外周面に開口し且つ前記スタンパーから基盤が剥
離する方向に軸心を有する傾斜穴であり、気体を噴出す
るためのブロー穴が３箇所以上適当な間隔で設けられて
いるため、気体の噴出が放射状に均一に行われ、剥離が
均一に促進され、基板上に形成された紫外線硬化樹脂層
に剥離模様が発生することがなく、紫外線硬化樹脂がス
タンパー上に残存することもなく、基板の剥離を容易か
つ確実に行うことができ、品質の向上された光ディスク
を得ることができる。また、気体を噴出する際、大きな
噴出圧力を必要とせず、噴出時間も短縮されるため、生
産性も向上される。この時、センターピンに設けられる
ブロー穴を斜め上を向いた形状とすることで、剥離が更
に促進され、上述の効果も高くなる。

【００７３】また、本発明の光ディスク製造装置におい
ては、ディスク基板上に塗布された紫外線硬化樹脂層に
凹凸パターンを転写するスタンパーと、該スタンパーを
スタンパー保持部に固定するための鍔部を有するスタン
パー内周固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成された
基板のセンター孔に係合し該基板を押し上げてスタンパ
ーから剥離するセンターピンを備えてなり、前記スタン
パー内周固定リングの鍔部には、前記スタンパーとの対
向面に溝加工が施されているため、スタンパー内周固定
リングによりスタンパーが確実に固定され、スタンパー
固定位置のズレが生じることがないため光ディスクの偏
芯値が良好であり、さらにスタンパー内周固定リングに
挿入されるセンターピンが所定の位置に確実に挿入さ
れ、スタンパーと紫外線硬化樹脂層に隙間が形成される
ことがないため、基板に形成される紫外線硬化樹脂層に
気泡が生じることがなく、スタンパーの凹凸パターンを
紫外線硬化樹脂層に良好に転写することが可能であり、
品質の向上された光ディスクを得ることができる。その
上、スタンパーのセンター行の状態に左右されることな
く、簡単に固定を行うことができ、生産性が良好であ
り、上記スタンパー内周固定リングの加工も簡単に行う
ことができる。さらに、本発明の光ディスク製造装置に
おいては、ディスク基板上に塗布された紫外線硬化樹脂
層に凹凸パターンを転写するスタンパーと、該スタンパ
ーをスタンパー保持部に固定するための鍔部を有するス
タンパー内周固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成さ
れた基板のセンター孔に係合し該基板を押し上げてスタ
ンパーから剥離するセンターピンを備えてなり、前記セ
ンターピンには、基板係合部近傍の外周面に開口し且つ
前記スタンパーから基盤が剥離する方向に軸心を有する
傾斜穴であり、気体を噴出するためのブロー穴が３箇所
以上適当な間隔で設けられるとともに、前記スタンパー
内周固定リングの鍔部には、前記スタンパーの対抗面に
溝加工が施されている。したがって、気体の噴出が放射
状に均一に行われ、剥離が均一に促進され、基板上に形
成された紫外線硬化樹脂層に剥離模様が発生することが
なく、紫外線硬化樹脂がスタンパー上に残存することも
なく、基板の剥離を容易かつ確実に行うことができ、品
質の向上された光ディスクを得ることができる。また、
気体を噴出する際、大きな噴出圧力を必要とせず、噴出
時間も短縮されるため、生産性も向上される。この時、
センターピンに設けられるブロー穴を斜め上を向いた形
状とすることで、剥離が更に促進され、上述の効果も高
くなる。また、スタンパー内周固定リングによりスタン
パーが確実に固定され、スタンパー固定位置のズレが生
じることがないため光ディスクの偏芯値が良好であり、
さらにスタンパー内周固定リングに挿入されるセンター
ピンが所定の位置に確実に挿入され、スタンパーと紫外
線硬化樹脂層に隙間が形成されることがないため、基板
に形成される紫外線硬化樹脂層に気泡が生じることがな
く、スタンパーの凹凸パターンを紫外線硬化樹脂層に良
好に転写することが可能であり、品質の向上された光デ
ィスクを得ることができる。その上、スタンパーのセン
ター行の状態に左右されることなく、簡単に固定を行う
ことができ、生産性が良好であり、上記スタンパー内周
固定リングの加工も簡単に行うことができるため、工業
的価値は非常に高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】２Ｐ法による光ディスク製造装置の概略的な平
面図である。

【図２】本発明を適用した光ディスク製造装置の分解斜
視図である。

【図３】本発明を適用した光ディスク製造装置の断面図
である。

【図４】本発明を適用した光ディスク製造装置のスタン
パー内周固定リング及びセンターピン周辺を示す断面図
である。

【図５】本発明を適用した光ディスク製造装置のスタン
パー内周固定リングの形状の一例を示す断面図である。

【図６】本発明を適用した光ディスク製造装置のスタン
パー内周固定リングの形状の他の例を示す断面図であ
る。

【図７】本発明を適用した光ディスク製造装置のスタン
パー内周固定リングの形状のさらに他の例を示す断面図
である。

【図８】本発明を適用した光ディスク製造装置のスタン
パー内周固定リング及びセンターピンによってスタンパ
ーを固定した状態を示す断面図である。

【図９】本発明を適用した光ディスク製造装置の洗浄機
構を示す平面図である。

【図１０】本発明を適用した光ディスク製造装置のスタ
ンパー内周固定リング及びセンターピンによってスタン
パー及びディスク基板を固定した状態を示す断面図であ
る。

【図１１】ディスク基板をスタンパーより剥離する状態
を示した模式図である。

【図１２】本発明を適用した光ディスク製造装置のセン
ターピンの一例より気体が噴出される様子を示す模式図
である。

【図１３】ディスク基板をスタンパーより剥離した状態
を示した断面図である。

【図１４】本発明を適用した光ディスク製造装置のセン
ターピンの他の例より気体が噴出される様子を示す模式
図である。

【図１５】従来の光ディスク製造装置を示す断面図であ
る。

【図１６】従来の光ディスク製造装置のセンターピンよ
り気体が噴出される様子を示す模式図である。

【図１７】従来の光ディスク製造装置においてスタンパ
ー内周固定リング及びセンターピンによってスタンパー
及びディスク基板を固定している状態の一例を示す断面
図である。

【図１８】従来の光ディスク製造装置においてスタンパ
ー内周固定リング及びセンターピンによってスタンパー
及びディスク基板を固定している状態の他の例を示す断
面図である。

【図１９】従来の光ディスク製造装置においてスタンパ
ー内周固定リングによりスタンパーを固定している状態
を示す拡大断面図である。

【符号の説明】

１・・・・光ディスク製造装置２・・・・機台３・・・・ディスク基板供給部４・・・・ディスク基板搬出部５・・・・紫外線硬化樹脂層供給部６・・・・転写部７・・・・ディスク基板９・・・・紫外線硬化樹脂１０・・・スタンパー１１・・・転写装置１２・・・押圧装置１３・・・紫外線硬化装置１４・・・スタンパー保持部１８・・・センターピン２７・・・スタンパー内周固定リング２９・・・管状部３０・・・鍔部６２・・・ブロー孔６３・・・ブロー穴

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＢ２９Ｌ 17:00 Ｂ２９Ｌ 17:00 (56)参考文献特開平３−225640（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−131352（ＪＰ，Ａ) 特開平２−175138（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B29C 39/10 - 39/12 B29C 39/22 - 39/36 G11B 7/26

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスク基板上に塗布された紫外線硬化
樹脂層に凹凸パターンを転写するスタンパーと、該スタンパーをスタンパー保持部に固定するための鍔部
を有するスタンパー内周固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成された基板のセンター孔に係合
し該基板を押し上げてスタンパーから剥離するセンター
ピンを備えてなり、前記センターピンには、基板係合部近傍の外周面に開口
し且つ前記スタンパーから基盤が剥離する方向に軸心を
有する傾斜穴であり、気体を噴出するためのブロー穴が
３箇所以上適当な間隔で設けられていることを特徴とす
る光ディスク製造装置。
【請求項２】ディスク基板上に塗布された紫外線硬化
樹脂層に凹凸パターンを転写するスタンパーと、該スタンパーをスタンパー保持部に固定するための鍔部
を有するスタンパー内周固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成された基板のセンター孔に係合
し該基板を押し上げてスタンパーから剥離するセンター
ピンを備えてなり、前記スタンパー内周固定リングの鍔部には、前記スタン
パーとの対向面に溝加工が施されていることを特徴とす
る光ディスク製造装置。
【請求項３】前記鍔部の前記スタンパーとの対向面に
施された溝の断面形状が略台形状、四角形、略半円状の
うちの何れかであることを特徴とする請求項２に記載の
光ディスク製造装置。
【請求項４】ディスク基板上に塗布された紫外線硬化
樹脂層に凹凸パターンを転写するスタンパーと、該スタンパーをスタンパー保持部に固定するための鍔部
を有するスタンパー内周固定リングと、紫外線硬化樹脂層が形成された基板のセンター孔に係合
し該基板を押し上げてスタンパーから剥離するセンター
ピンを備えてなり、前記センターピンには、基板係合部近傍の外周面に開口
し且つ前記スタンパーから基盤が剥離する方向に軸心を
有する傾斜穴であり、気体を噴出するためのブロー穴が
３箇所以上適当な間隔で設けられるとともに、前記スタンパー内周固定リングの鍔部には、前記スタン
パーとの対抗面に溝加工が施されていることを特徴とす
る光ディスク製造装置。
【請求項５】前記鍔部の前記スタンパーとの対向面に
施された溝の断面形状が、略台形状、四角形、略半円状
のうちの何れかであることを特徴とする請求項４に記載
の光ディスク製造装置。