JP4577522B2

JP4577522B2 - パターン転写装置及びパターン転写方法

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Publication number: JP4577522B2
Application number: JP2006224248A
Authority: JP
Inventors: 憲也和田; 弘岡田; 久賀市川; 秀明片保
Original assignee: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Priority date: 2006-08-21
Filing date: 2006-08-21
Publication date: 2010-11-10
Anticipated expiration: 2026-08-21
Also published as: US20100015380A1; US20080075908A1; US7600993B2; US8034277B2; JP2008047260A

Description

本発明は、モールドの転写面に形成した微小な凹凸パターンを基板の表面に形成した樹脂層に転写するパターン転写装置及びパターン転写方法に関するものである。

例えば磁気的，光学的手法により情報を記録する円環状記録媒体、即ちストレージメディアにおいて、その記録密度を高めるために、ナノプリント技術を活用することができる。ナノプリントは、薄膜の樹脂層を形成した基板やシートに対して、微細な凹凸パターン形状を形成した転写用のモールドを押し付けて、この転写用の凹凸パターン形状を樹脂層に転写するものである。パターン形状としては、ライン構造，ピラー構造等があり、数十乃至数百ｎｍの寸法を有する凹凸形状といった微細な構造とすることができる。

パターン転写がなされる樹脂層は熱硬化型樹脂，光エネルギや電子線等といったエネルギ線で硬化するエネルギ線硬化型樹脂等が用いられる。エネルギ線硬化型樹脂の代表的なものとして、光硬化型樹脂、とりわけ紫外線硬化樹脂が一般的に用いられる。この紫外線硬化樹脂を含む光硬化型樹脂は室温で使用することができ、また高速硬化させることができる等の利点があるので、各種のパターン転写技術分野において、広く利用されている。

この種のパターン転写方式としては、まず軟化状態若しくは液状の樹脂を薄膜状として基板の表面に均一に塗布しておき、この樹脂層の表面に対して、転写用の型部材としてのモールドを所定の加圧力で押し付けて、その転写面形状を樹脂層に転写する。その後にモールドまたは基板を透過させて樹脂層に紫外線を照射することによって、この樹脂層を硬化させる。モールドの側から紫外線を照射する場合、モールドの素材としては、石英ガラス等のように、紫外線の透過性の良好な材質のものが用いられ、転写面に形成される微小凹凸パターンはリソグラフィ等の方法で形成される。

微小凹凸パターンの転写は、モールドと樹脂層を形成した基板とを接合させた状態で行うことから、樹脂を硬化させた後には、基板をモールドから剥離させなければならない。この基板の剥離は、例えば特許文献１に示されているように、基板をモールドから機械的に引き離すようにして行われる。

即ち、モールドから基板にパターンの転写を行うために、マグネットアダプタからなる吸着テーブルにモールドとしてのスタンパが設置されて、このマグネットアダプタを貫通するように管状部材を挿通させて、この管状部材に形成したスタンパ内周固定リングによってスタンパを所定の位置に固定するように構成されている。また、管状部材内に円環状の基板を位置決めするためのセンタピンが挿通されており、このセンタピンの上端部をフランジ状に張り出させることによって、呼び込み部を有する円筒形状の位置決め部としている。従って、この位置決め部に基板を嵌合させることにより、この基板を位置決めして、スタンパと調芯される。この状態で、スタンパから基板の表面に積層させた樹脂にパターンを転写し、この樹脂を硬化した後に、基板をスタンパから剥離することになる。この剥離機構としては、前述した位置決め部の下端外周部につば部を形成することにより構成される。基板がスタンパと当接するように装着されたときに、つば部が基板の内径部において、スタンパとの間に僅かに入り込んだ状態に保持されることになる。従って、センタピンを突き上げると、基板の内周部に対してつば部が係合することによって、スタンパから基板が剥離される。
特開平６−８７６号公報

前述した特許文献１は、光ディスクの製造装置に関するものであり、従ってスタンパから基板へのパターン転写時に、これら基板とスタンパとの間の調芯に対してある程度の許容誤差があることから、センタピンの位置決め部への基板の嵌合部に所定の嵌合代を持たせることは可能である。しかしながら、ナノプリントという極めて微細技術分野では、さらに厳格な精度が要求される。従って、パターンを転写する側（スタンパやモールド）と、転写を受ける側（基板）とを同軸に設けた位置決め部材で別々の部位で位置決めするようになし、かつ転写する側と、転写を受ける側とを別個の嵌合部に嵌合させることにより位置決めを行う構成とした場合、誤差の累積がある関係等から、ナノプリントで要求される程度の正確な位置合わせを行うことができない。従って、特許文献１の技術をナノプリント等といった、極めて微細な処理が必要な分野に適用できない。また、基板を剥離する際には、つば部を基板の内径部に引っ掛けるようにするために、基板を損傷させるおそれがあり、基板とスタンパとの間につば部を差し挟んだ状態で加圧することから、転写精度に好ましくはない影響を与える可能性もある。

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、モールドに対する基板の位置合わせを極めて正確に行った上で、モールドの微小凹凸パターンを基板に正確に転写し、かつこれらモールドや基板を損傷させることなく円滑かつ確実に基板をモールドから剥離できるようにすることにある。

前述した目的を達成するために、パターン転写装置についての発明は、相対向する位置に一対からなる加圧部材を配設し、一方側の加圧部材に凹凸パターンを表面に形成した転写面を有するモールドを支持させ、また他方側の加圧部材には表面に樹脂層を積層した円環状の基板を支持させて設け、両加圧部材間で前記モールドと前記基板との間を加圧することによって、このモールドの転写面の凹凸パターンを前記基板の樹脂層に転写するものであって、前記モールドには、それぞれ少なくとも３箇所の小径円弧部と大径円弧部とを交互に形成したセンタ孔が設けられ、前記基板の内径は、前記モールドの小径円弧部と一致するものであり、前記基板の内周部には、円周方向に少なくとも３箇所のチャック爪を設け、これら各チャック爪を前記基板の内径をチャックする作動位置と、この基板内径から離間した退避位置とに変位させるチャック部材を配置し、前記チャック部材の前記チャック爪を前記基板の内径と共に前記モールドの小径円弧部に当接させることにより、この基板を前記モールドに対して位置合わせし、前記チャック爪を前記モールドの大径円弧部に間隔を置いて対面させ、前記基板の内径に当接させ、前記モールドから引き離すことにより、前記基板を前記モールドから剥離させる構成としたことをその特徴とするものである。

一対からなる加圧部材は、例えば左右に配置することもできるが、基板またはモールドの一方を他方に倣わせるように位置合わせするためには、上下方向に設けることが望ましい。上下に設けた加圧部材は、その相対向する面、つまり上側加圧部材の下面と、下側加圧部材の上面とにそれぞれモールドと基板とを装着する。例えば、上部側加圧部材の下面にモールドを装着し、下部側加圧部材の上面に基板を載置するのが好ましい。勿論、この逆であっても良い。上部側及び下部側の双方の加圧部材を駆動することもできるが、いずれか一方の加圧部材、例えば上部側加圧部材を固定しておき、下部側加圧部材を可動部材とすることができ、この場合には、下部側加圧部材により基板とモールドとの間に加圧力を作用させる構成とする。また、上部側加圧部材に対してはモールドを固定的に保持するが、下部側加圧部材に装着される基板は固定手段を設けない。そして、上部側加圧部材に対するモールドの装着時には正確に位置決めをすることになるが、基板はモールドに倣うようにして位置合わせする関係から、格別位置決めする必要はない。モールドの加圧部材への固定は、クランプ手段等を用いることもできるが、真空吸着方式を用いると、モールドの着脱が容易になる。真空吸着方式を採用する場合、加圧部材を貫通するように吸引通路を設けることになる。

基板に積層させる樹脂層は、モールドの凹凸パターンを転写するために、軟化状態または液状となし、樹脂層に凹凸パターンを転写した後に硬化させる。このために、樹脂層としては熱硬化型樹脂，エネルギ線硬化型樹脂等が用いられる。熱硬化型樹脂を用いる場合、樹脂を加熱（熱硬化性樹脂）または冷却（熱可塑性樹脂）することにより硬化させる。この場合、モールド及び基板の材質には格別の限定はない。一方、エネルギ線硬化型樹脂の場合には、硬化のためのエネルギ線、例えば紫外線等の光エネルギや、電子線エネルギを樹脂に照射する。このエネルギ線の照射はモールド側から行うか、または基板側から行うことになるために、これらモールドまたは基板はこのエネルギ線の透過特性の良好なもの、例えば紫外線硬化樹脂を上部側加圧部材より上部側から照射する場合、この上部側加圧部材及びモールドは紫外線の透過率の高い部材、例えば石英ガラス等で構成する。モールドを真空吸着で加圧部材に保持させるに当って、モールドにおける転写面を形成した部位より外周側に所定の幅の張り出し部を形成して、加圧部材に設けた吸着通路はこの張り出し部を吸着保持させれば良い。

チャック部材は、基板をモールドに対して位置合わせする機能と、モールドから基板を剥離する機能とを発揮するものである。チャック部材を構成するチャック爪の数及び形状はモールドに形成した小径円弧部及び大径円弧部に依存する。これら小径円弧部及び大径円弧部は共に３箇所または４箇所とし、小径円弧部と大径円弧部との円周方向における幅寸法はほぼ同じものとするのが望ましい。従って、小径円弧部と大径円弧部とをそれぞれ実質的に同じ幅で３箇所形成した場合、チャック爪は、それらの幅寸法より僅かに小さい幅寸法となし、３個または６個設ける。３個のチャック爪を設ける場合には、それらが各小径円弧部に対面する位置と、各大径円弧部に対面する位置とに回動変位させる必要があり、従って回転ドラムに３個のチャック爪を設ける。６個のチャック爪を設けた場合には、回動させる必要がなく、３個ずつ組として駆動するように構成する。

モールドの転写面の凹凸パターンを基板の樹脂層に転写する方法の発明としては、表面に凹凸パターンからなる転写面が形成され、少なくとも３箇所の小径円弧部と、少なくとも３箇所の大径円弧部とを交互に形成したセンタ孔を有するモールドと、このモールドの小径円弧部と一致する内径を有する円環状の基板との間を加圧するものであり、相対向する位置に配設した一対の加圧部材に、その一方側の加圧部材に前記モールドを支持させ、他方の加圧部材に基板を支持させて、これら加圧部材の少なくとも一方を移動させて、前記モールドと基板とを近接させる工程と、円周状に少なくとも３箇所設けたチャック爪で前記基板の内径と共に前記モールドの小径円弧部に当接させることによって、この基板を前記モールドに対して位置合わせする工程と、前記チャック爪を前記基板の半径方向の内向きに変位させて、前記両加圧部材間で前記基板と前記モールドとを接合させて、加圧することによって、このモールドの転写面形状を前記樹脂層に転写する工程と、前記基板と前記モールドとの接合状態を保って前記樹脂層を硬化させる工程と、前記チャック爪を前記モールドの大径円弧部と対面させて、かつ前記基板の内径と当接させて、前記両加圧部材を離間させることにより、前記基板を前記モールドから剥離させる工程とからなることを特徴としている。

モールドと基板とを正確に位置合わせを行って、モールドの微小凹凸パターンを基板に正確に転写するようになし、かつこれらモールドや基板を損傷させることなく、円滑かつ確実に基板をモールドから剥離できる。

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。まず、図１において、１はモールド、２は基板である。これらモールド１及び基板２は共に円環状の薄板部材であり、それぞれ中心位置にセンタ孔１ａ，２ａが形成されている。モールド１は基板２より大径のものであり、モールド１の一側表面には内周近傍位置から基板の外周近傍位置までの部位には微小凹凸パターンからなる転写面３が形成されており、この転写面３から外周縁部は余白部４となっている。基板２の表面にはモールド１の転写面３の微小凹凸パターンを転写させるために、紫外線硬化型樹脂からなる樹脂層５が積層状態に形成されている。

次に、図２にパターン転写装置の概略構成を示す。パターン転写装置１０は、一方側の加圧部材として、上部側加圧部材１１と、他方側の加圧部材として、下部側加圧部材１２とを有するものであり、上部側加圧部材１１はその下面にモールド１を支持するものであり、また下部側加圧部材１２上には基板２が設置される。ここで、上部側加圧部材１１は所定の高さ位置に固定的に保持されており、下部側加圧部材１２は上部側加圧部材１１に対して近接・離間するように昇降可能となっている。

下部側加圧部材１２はベースプレート１３を備えており、このベースプレート１３には複数本、例えば４本の支柱１４が立設されており、下部側加圧プレート１５がこれら支柱１４の上端部に支持されている。下部側加圧プレート１５は中央部に透孔１６を有する円環状部材であり、この透孔１６は基板２のセンタ孔２ａより僅かに大径のものであり、基板２はほぼ全面で下部側加圧プレート１５に当接している。また、下部側加圧プレート１５の透孔１６の内径はモールド１のセンタ孔１ａより僅かに大きくなっている。

一方、上部側加圧部材１１は、外枠１７に固定して設けられ、円板状に形成した上部側加圧プレート１８を備えるものである。モールド１は上部側加圧プレート１８の下面に装着されており、この上部側加圧プレート１８に真空吸着手段により固定的に保持されるようになっている。このために、上部側加圧プレート１８には円環状取付部材１９が固定的に装着されており、この円環状取付部材１９には負圧配管接続部２０が設けられており、この負圧配管接続部２０には負圧配管２１が接続されている。そして、上部側加圧プレート１８を貫通するように吸引通路２２が穿設されており、これらの吸引通路２２の一端は負圧配管接続部２０に連通し、他端はモールド１の当接面であって、転写面３より外周側の余白部４が当接する部位に開口している。また、上部側加圧プレート１８におけるモールド１の当接面には、このモールド１のセンタ孔１ａより僅かに大きい円形の凹部１８ａが形成されている。この凹部１８ａは、後述するチャック部材３０の作動時に、このチャック部材３０を構成するチャック爪３３と干渉しないようにする逃げ部である。

さらに、上部側加圧プレート１８の上部位置には、樹脂層５に紫外線を照射するための紫外線照射手段２３が設けられている。この紫外線照射手段２３から照射される紫外線を基板２に積層させた樹脂層５に効率的に照射するために、上部側加圧プレート１８及びモールド１は紫外線の透過率の高い石英ガラス等の透明部材で構成されている。

そして、下部側加圧部材１２は上部側加圧部材１１に対して近接・離間するように昇降可能となっているが、このためにベースプレート１３にはシリンダや送りねじ、さらにはカム機構等からなる昇降駆動手段２４が連結して設けられている。そして、この昇降駆動手段２４は、下部側加圧プレート１５上に載置した基板２を昇降動作させるだけでなく、この基板２をモールド１に対して加圧力を作用させることができるようになる。

図２において、３０はチャック部材であり、チャック部材３０はベースプレート１３に装着されており、図３及び図４に示したように、ベースプレート１３に固定して設けたホルダ３１内に水平方向に回動可能に配設した回動ドラム３２が設けられており、この回動ドラム３２の上端板３２aには３箇所のチャック爪３３が設けられている。チャック爪３３は円周方向に間欠的に設けられており、これら各チャック爪３３は概略６０度より小さい角度、好ましくは６０度より僅かに小さい角度に及ぶ円弧状のものである。各々のチャック爪３３は回動ドラム３２に設けた各一対のブラケット３４間を掛け渡すように設けた回動軸３５に回動可能に連結されている。チャック爪３３は上下方向に所定の長さを有する当接部３３ａを有し、この当接部３３ａがモールド１及び基板２のセンタ孔１ａ，２ａに対して接離するようになっている。

チャック爪３３は、常時には、これらセンタ孔１ａ，２ａから離間するように、半径方向の内向きに付勢するばね等の手段が回動軸３５に装着されており、これによって各チャック爪３３はモールド１とも、また基板２とも接触しない退避位置となるように付勢されている。そして、回転ドラム３２の中空となった中央部には裁頭円錐形状のカム部材３６が配置されており、また各チャック爪３３の当接部３３ａとは反対側の面にはテーパ形状となったカムフォロア３７が固定して設けられている。従って、カム部材３６を上昇させると、カムフォロア３７がカム部材３６に押されて、各チャック爪３３の当接部３３ａが少なくとも基板２のセンタ孔２ａと係合する作動位置に変位することになる。このカム部材３６を上下動させるために、図４から明らかなように、カム部材３６の軸部３６ａには、カム部材３６を昇降駆動するためのソレノイド等からなるカム駆動手段３８が連結して設けられている。

モールド１のセンタ孔１ａは、図５に示したように、真円形状とはなっておらず、６０度の角度毎に大径円弧部１ａＬと、小径円弧部１ａＳとが交互に形成されている。小径円弧部１ａＳの半径は、同図に仮想線で示した基板２のセンタ孔２ａの半径と正確に一致しており、大径円弧部１ａＬはこの小径円弧部１ａＳより僅かに大きい半径を有するものであり、転写面３は大径円弧部１ａＬより外側に形成されている。このように、センタ孔１ａとして、小径円弧部１ａＳと大径円弧部１ａＬとを交互に設けたのは、チャック部材３０によって、基板２をモールド１に対して調芯するように位置合わせするためと、基板２の転写が終了した後にモールド１から剥離させるためである。そこで、チャック部材３０を構成する各チャック爪３３がモールド１に対して、小径円弧部１ａＳに対面する位置と、大径円弧部１ａＬに対面する位置とに回動変位可能な構成としている。

このために、ベースプレート１３にはシリンダ３９が設けられており、回動ドラム３２には可動板４０が取付けられて、シリンダ３９のロッド３９ａは可動板４０に連結されている。これによって、シリンダ３９を作動させると、回動ドラム３２が概略６０度往復回動することになる。これによって、チャック部材３０の各チャック爪３３はモールド１のセンタ孔１ａに対して、小径円弧部１ａＳに対面する状態と、大径円弧部１ａＬに対面する状態とに変位可能となる。各チャック爪３３が小径円弧部１ａＳに対面した状態で、それらを退避位置から作動位置に駆動すると、３個のチャック爪３３はモールド１のセンタ孔１ａに対しては小径円弧部１ａＳに当接し、かつ基板２のセンタ孔２ａとも当接することになって、モールド１と基板２との中心位置を一致させることができる。また、各チャック爪３３がモールド１のセンタ孔１ａにおける大径円弧部１ａＬに対面する状態で、これらチャック爪３３を退避位置から作動位置に変位させると、３個のチャック爪３３は基板２のみに対して当接して、モールド１には非接触状態となる。従って、この状態で基板２をモールド１から引き離すことによって、基板２を剥離できることになる。

本実施の形態におけるパターン転写装置は以上のように構成されるものであって、次にこのパターン転写装置を用いてモールド１の転写面３の微小凹凸パターンを基板２に形成した樹脂層５に転写する方法について説明する。まず、上部側加圧部材１１における上部側加圧プレート１８にモールド１を保持させる。この上部側加圧プレート１８には複数の吸引通路２２が開口しており、この吸引通路２２に負圧配管２１による負圧吸引力を作用させることによって、モールド１は上部側加圧プレート１８の下面に吸着保持される。ここで、モールド１におけるセンタ孔１ａの中心位置及び回転方向の位置を正確に位置決めされるようにセットする。一方、基板２は下部側加圧部材１２における下部側加圧プレート１５上に設置される。ここで、基板２は、その中心位置はある程度は粗位置決めすることになるが、転写前の段階では方向性を有しないので、回転方向における位置決めは必要としない。

このようにしてモールド１及び基板２の装着がなされると、昇降駆動手段２４を作動させて、下部側加圧プレート１５を上昇させる。そして、基板２の表面に積層させた樹脂層５がモールド１に対して、好ましくは非接触であって、しかも極めて近接した位置にまで上昇すると、この下部側加圧プレート１５の上昇を一度停止させ、基板２をモールド１に対して位置合わせする。下部側加圧部材１２に設けたチャック部材３０における３個のチャック爪３３がモールド１のセンタ孔１ａに対して、小径円弧部１ａＳと対面する位置に配置する。この状態で、カム部材３６を作動させて、チャック爪３３を図６に仮想線で示した退避位置から同図に実線で示した作動位置に変位させる。これによって、円周方向に均等に配列した３個のチャック爪３３が基板２のセンタ孔２ａと、モールド１のセンタ孔１ａに形成した小径円弧部１ａＳとに当接する。その結果、基板２はモールド１に倣うようにして調芯されるように位置合わせが行われる。

基板２とモールド１との間で位置合わせが行われると、チャック爪３３を退避位置に変位させる。そして、昇降駆動手段２４を再び駆動することによって、基板２の上昇を再開する。その結果、基板２とモールド１との間が加圧されて、モールド１の転写面３による凹凸パターン形状が基板２の表面に形成した樹脂層５に転写される。ここで、モールド１と基板２との間には何等の部材も介在しておらず、全面にわたって均等な加圧力で押圧されるので、パターンの転写が高精度に行われる。樹脂層５への転写が行われると、基板２とモールド１との間を接合状態に保ったままで、紫外線照射手段２３から紫外線を照射させる。上部側加圧プレート１８及びモールド１は石英ガラス等、紫外線の透過率の高い材質のもので形成されているので、この上部側加圧プレート１８の上方位置に設けられている紫外線照射手段２３から照射される紫外線はほぼロスすることなく効率的に樹脂層５に照射され、円滑かつ迅速に硬化することになる。

紫外線の照射による樹脂層５の硬化が終了すると、基板２をモールド１から剥離する。この基板２の剥離を行うために、回動ドラム３２を所定角度（具体的には概略６０度）回動させる。チャック爪３３を含むチャック部材３０はこの回動ドラム３２に装着されているので、回動ドラム３２をその軸回りに回動させることによって、チャック爪３３が回転して、各チャック爪３３はモールド１のセンタ孔１ａにおける大径円弧部１ａＬと対面させる。この状態で、カム部材３６を突き上げるように作動させると図７に実線で示したように、チャック爪３３を退避位置から仮想線で示した作動位置に変位させると、３個のチャック爪３３は基板２のセンタ孔２ａに当接するが、モールド１のセンタ孔１ａとは非接触状態に保持される。

そこで、昇降駆動手段２４を作動させて、下部側加圧部材１２を下降させる。この動作によって、基板２も、またこの基板２に当接するチャック爪３３も下降することになる一方、モールド１は上部側加圧部材１１に保持されているので、３箇所でチャック爪３３と係合している基板２はモールド１から剥離されて、下部側加圧プレート１５上に保持される。ここで、剥離時において、チャック爪３３は基板２の内周面のみに当接し、基板２の内周縁部や表裏の各面とは接触しないので、基板２における機能的に必要な部位にダメージを与えたり、損傷させたりすることはない。

このようにしてパターン転写がなされた基板２を下部側加圧プレート１５から取り出して、新たな樹脂層５を積層させた基板２を下部側加圧プレート１５上に載置することによって、この基板２へのパターンの転写が開始される。

本発明の実施の形態におけるパターン転写装置で使用されるモールドと基板とを示す外観図である。本発明の実施の一形態を示すパターン転写装置の断面図である。図２のパターン転写装置におけるチャック部材装着部の平面図である。図２のパターン転写装置に設けられるカム部材の断面図である。モールドの平面図である。チャック爪を用いて基板をモールドに対して位置合わせを行っている状態を示す作用説明図である。チャック爪を用いて基板をモールド剥離している状態を示す作用説明図である。

符号の説明

１モールド
２基板
１ａ，２ａセンタ孔
１ａＬ大径円弧部
１ａＳ小径円弧部
３転写面
５樹脂層
１０パターン転写装置
１１上部側加圧部材
１２下部側加圧部材
１５下部側加圧プレート
１８上部側加圧プレート
２２吸引通路
２３紫外線照射手段
２４昇降駆動手段
３０チャック部材
３２回動ドラム
３３チャック爪
３６カム部材

Claims

相対向する位置に一対からなる加圧部材を配設し、一方側の加圧部材に凹凸パターンを形成した転写面を有するモールドを支持させ、また他方側の加圧部材には表面に樹脂層を積層した円環状の基板を支持させて設け、両加圧部材間で前記モールドと前記基板との間を加圧することによって、このモールドの転写面の凹凸パターンを前記基板の樹脂層に転写するパターン転写装置において、
前記モールドには、それぞれ少なくとも３箇所の小径円弧部と大径円弧部とを交互に形成したセンタ孔が設けられ、
前記基板の内径は、前記モールドの小径円弧部と一致するものであり、
前記基板の内周部には、円周方向に少なくとも３箇所のチャック爪を設け、これら各チャック爪を前記基板の内径をチャックする作動位置と、この基板内径から離間した退避位置とに変位させるチャック部材を配置し、
前記チャック部材の前記チャック爪を前記基板の内径と共に前記モールドの小径円弧部に当接させることにより、この基板を前記モールドに対して位置合わせし、前記チャック爪を前記モールドの大径円弧部に間隔を置いて対面させ、前記基板の内径に当接させ、前記モールドから引き離すことにより、前記基板を前記モールドから剥離させる
構成としたことを特徴とするパターン転写装置。
前記チャック部材を構成する各チャック爪を回転ドラムに３箇所設けて、この回転ドラムを軸回りに回転させることによって、前記基板の前記モールドに対する位置合わせとなる状態と、前記基板を前記モールドから剥離させる状態とに切り換え可能な構成としたことを特徴とする請求項１記載のパターン転写装置。
前記モールドは前記基板より大径のものからなり、前記一方側の加圧部材には、このモールドの基板より外側に張り出した部位を吸着する吸着手段を設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載のパターン転写装置。
前記樹脂層は紫外線硬化樹脂からなり、前記モールド及び前記一方側の加圧部材は紫外線を透過させる部材で構成したことを特徴とする請求項３記載のパターン転写装置。
表面に凹凸パターンからなる転写面が形成され、少なくとも３箇所の小径円弧部と、少なくとも３箇所の大径円弧部とを交互に形成したセンタ孔を有するモールドを一方の加圧部材に装着し、このモールドの小径円弧部と一致する内径を有する円環状の基板を他方の加圧部材に装着して、これらモールドと基板との間を加圧することによって、このモールドの転写面の凹凸パターンを前記基板の樹脂層に転写する方法であって、
前記両加圧部材の少なくとも一方を移動させて、前記モールドと基板とを近接させる工程と、
円周方向に少なくとも３箇所設けたチャック爪で前記基板の内径と共に前記モールドの小径円弧部に当接させることによって、この基板を前記モールドに対して位置合わせする工程と、
前記チャック爪を前記基板の内径から離脱させて、前記両加圧部材間で前記基板と前記モールドとを接合させて、その間を加圧することによって、このモールドの転写面形状を前記樹脂層に転写する工程と、
前記基板と前記モールドとの接合状態を保って前記樹脂層を硬化させる工程と、
前記チャック爪を前記モールドの大径円弧部と対面させると共に前記基板の内径に当接させて、前記両加圧部材を離間させることにより、前記基板を前記モールドから剥離させる工程と
からなるパターン転写方法。