JP2011150780A - 両面インプリント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の両面インプリント装置は、少なくとも、昇降機構に支持された上面側スタンパ装置と、ガイドレール上に乗せられた移動テーブルに固設された下面側スタンパ装置と被転写体剥離装置と、からなるパターン転写機構を有し、前記移動テーブルは移動駆動機構により前記ガイドレール上を往復動することができ、これにより、前記上面側スタンパ装置の位置を中心として、前記下面側スタンパ装置と被転写体剥離装置とが前記上面側スタンパ装置に対峙する位置に交互に移動することができる両面インプリント装置。
【選択図】 図1
Description
2,2A 本発明の両面インプリント装置
3 下面側スタンパ装置
5 上面側スタンパ装置
7 被転写体剥離装置
9 移動テーブル
11 台座
13 ガイドレール
15 移動駆動機構
17 昇降機構
19 制御部
21 XYステージ
23 アライメントカメラ
25 UV光源
27 スタンパ載置テーブル
29 下側スタンパ
31a,31b スタンパクランプ
33 スタンパ支持テーブル
35 上側スタンパ
37 UV光源
39a,39b スタンパクランプ
41a,41b ストッパ
42 ブランクディスク
43 両面レジスト塗布ディスク
45 ディスクハンドリングアーム
46 ディスク外周チャック
47 ディスクチャック
49a 上側未硬化レジスト
49b 下側未硬化レジスト
51 未硬化レジスト非塗布領域
53 転写済みディスク
55 ディスク支持軸
57 真空チャック部
59 真空吸引口
61 O−リング
63 ディスク搬出機構(アンローダ)
65 ディスク置台
67 レジスト塗布機構
69 ディスク搬入機構(ローダ)
71 全体制御機構
Claims (8)
- ディスク両面にレジスト薄膜を形成した後、微細なパターンが形成された2個のスタンパを前記ディスク両面のレジスト薄膜上に押し付けた状態で前記レジスト薄膜を硬化させ、前記ディスク両面に微細なパターンを形成する両面インプリント装置であって、前記両面インプリント装置は、少なくとも、昇降機構に支持された上面側スタンパ装置と、ガイドレール上に乗せられた移動テーブルに固設された下面側スタンパ装置と被転写体剥離装置とからなるパターン転写機構を有し、前記移動テーブルは移動駆動機構により前記ガイドレール上を往復動することができ、これにより、前記上面側スタンパ装置の位置を中心として、前記下面側スタンパ装置と被転写体剥離装置とが前記上面側スタンパ装置に対峙する位置に交互に移動することができる両面インプリント装置。
- 前記下面側スタンパ装置は、XYステージと、アライメントカメラと、UV光源と、光透過性スタンパ載置テーブルと、該光透過性スタンパ載置テーブルの上面にクランプで締着された下側スタンパとからなり、前記上面側スタンパ装置は、昇降機構と、光透過性スタンパ支持テーブルと、この支持テーブルの下面側にクランプで締着された上側スタンパと、UV光源とからなり、前記被転写体剥離装置は真空チャック部と、該真空チャック部の中心部に位置する昇降可能なディスク支持軸とからなる請求項1記載の両面インプリント装置。
- 前記クランプは2個以上からなり、一方のクランプがスタンパを締着しつつ、他方のクランプはスタンパの締着を解放できるように構成されている請求項2記載の両面インプリント装置。
- 前記UV光源はUV−LED光源である請求項2記載の両面インプリント装置。
- 前記パターン転写機構はディスクの両面にレジストを塗布するためのレジスト塗布機構を更に有する請求項1記載の両面インプリント装置。
- 前記パターン転写機構にディスクを搬入するためのディスク搬入機構と、前記パターン転写機構によりパターン転写されたディスクを搬出するためのディスク搬出機構を更に有し、前記ディスク搬入機構およびディスク搬出機構によりディスクが移動する方向と、前記パターン転写機構におけるディスクの移動方向が直行するように前記ディスク搬入機構と前期パターン転写機構と前期ディスク搬出機構とが配置されていることを特徴とする請求項1又は5の何れかに記載の両面インプリント装置。
- 前記パターン転写機構は1組のディスク搬入機構およびディスク搬出機構の間に2組以上のパターン転写機構を有することを特徴とする請求項6に記載の両面インプリント装置。
- 1組のディスク搬入機構およびディスク搬出機構と、2組以上のパターン転写機構を同時に制御するための全体制御機構を更に有する請求項7記載の両面インプリント装置。
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