JP5031473B2 - 真空転写装置、真空転写方法 - Google Patents
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Description
上記各特許文献には、スタンパを用いてディスク基板にピットパターンを転写する技術や、そのピット転写を真空空間で行うことに関する技術が開示されている。
まずディスク基板に、スピンコートにより未硬化の紫外線硬化型樹脂を展延する。
そして紫外線硬化型樹脂の層に凹凸パターンが形成されたスタンパを押し付ける。その状態で紫外線照射を行って、紫外線硬化型樹脂の層を硬化させる。そして硬化後にスタンパをディスク基板から剥離する。
そこで、気泡の発生等を生じないようにするために、真空転写装置を用いて、上記の転写工程を真空空間で実行するようにすることが知られている。
まず、真空転写装置にディスク基板を搬入する時点では、当然ながら、その真空転写装置の内部空間は大気開放される。従って、ディスク基板の搬入後に、内部空間を密閉して真空引きを開始し、真空状態の空間を作り上げる。真空引きには、真空ポンプを用いた手法があるが、真空ポンプの排気性能が高くても、高真空状態まで真空度を上げようとすると、急激に排気性能が低下し、必要な真空度を得るためには時間がかかる。
つまり1枚のディスク基板についての作業を行うたびに、比較的時間を要する真空引きを行わなくてはならないため、1枚当たりの工程所要時間が長時間化する。
また、ディスク基板の搬入/搬出の際に、いちいち大気開放しなければならないため、周辺部のゴミを巻き込む可能性もある。
しかしながら、これは設備が大規模になり、生産ライン設置コストも大幅に上昇する。さらには、正確な凹凸パターンの転写ののためには、スタンパには、非常に厳格な品質管理が要求されるが、複数ラインで同一のスタンパを並列に用いる場合、各スタンパの品質管理の手間が著しく増大する。これによって、ラインの大規模化に見合った効率化が必ずしも実現されない。
また上記基板搬送部と、上記真空室間搬送部のそれぞれが、上記予備真空室を密閉して真空化する際の一壁面を形成する。
この場合、ディスク基板の搬入/搬出は、予備真空室を介して行うため、予備真空室において真空引きと大気開放が行われる。一方、主真空室は、大気開放を行う必要はない。従って、1枚のディスク基板の搬入時に毎回真空引きを行う必要はない。
また主真空室では、真空状態でスタンパを用いて凹凸パターンの転写を行うが、このとき、ディスク基板上で紫外線硬化型樹脂の硬化と、スタンパとディスク基板の剥離も行うことで、凹凸パターンとしてのピットやグルーブが形成されたディスク基板を、1つの工程で製造できる。
まず予備真空室において真空引きと大気開放が行われ、主真空室については大気開放を行う必要はない。予備真空室は、実際に転写を行う空間ではないため、高い真空度は必要なく、また単にディスク基板の搬入/搬出の際に通過する空間であるため、狭い容積の空間で十分である。従って、真空吸引にさほどの時間を要しない。
さらには、予備真空室の作業と主真空室の作業は、時間的に並行して実行できる。
さらには、真空転写装置内で、凹凸パターンの硬化やスタンパ剥離までも行うことで、硬化された凹凸パターンがディスク基板に形成されるまでの工程を、真空転写装置を用いた一工程で実行できる。
これらのことから、1枚当たりの工程所要時間を短縮でき、これによって光ディスクの製造効率を向上できる。
図1は実施の形態のディスク製造の際の全体的な工程を示している。まず図1の全体的な工程を図2,図3を参照しながら説明する。
なおここでは、記録層としてL0層、L1層の2つを有する再生専用型の2層ディスクの製造について述べる。また2層ディスクの製造の際には、予めL0層に記録する情報としてのピットパターンを有するディスク原盤と、L1層に記録する情報としてのピットパターンを有するディスク原盤とが作成され、各ディスク原盤から、L0層の形成のためのスタンパ(以下、L0層スタンパ)と、L1層の形成のためのスタンパ(以下、L1層スタンパ)が作成される。
図1のディスク製造工程は、L0層スタンパ、L1層スタンパを用いて、光ディスクを製造していく工程である。
図2(a)はL0層を有するディスク基板1を成形する金型を概略的に示している。この金型は、下キャビティ120と上キャビティ121から成り、下キャビティ120には、L0層の情報ピットを転写するためのL0層スタンパ104が配置される。スタンパ104には、情報ピットの凹凸パターン104aが形成されている。
即ちポリカーボネート樹脂によるディスク基板1は、その中心はセンターホール2とされるとともに、情報読出面側は、金型内のL0層スタンパ104に形成された凹凸パターン104aが転写されたL0層の情報ピットパターン(L0ピットパターン3)となる。
なお、ライトワンスディスクやリライタブルディスクの製造の場合は、情報ピットではなく、グルーブ(連続溝)が形成されることになる。
このスペーサ層・L1層形成工程は、本例の真空転写装置を用いた工程となるため、図4以降で詳しく述べる。基本的には、図2(c)のようにL0層反射膜4が形成された基板面に、紫外線硬化型樹脂がスピンコートにより展延され、これが真空転写装置に搬入される。そして真空転写装置内でL1層スタンパが押し当てられながら樹脂硬化が行われる。そしてL1層スタンパが剥離されることで、図3(a)のようにL0層基板1上に、スペーサ層3(中間層ともいう)と、L1層の情報ピットパターン(L1ピットパターン6)が形成されるものである。
即ち図3(b)(c)に示すように、スペーサ層3とL1ピットパターン6が形成されたL0層基板1に対して、そのL1ピットパターン6上にスパッタにより半透過反射膜(L1層反射膜7)の成膜が行われる。
即ちステップF106で、信号読出面側の表面処理としてハードコート層9を形成する。例えばカバー層8上にハードコート層用紫外線硬化型樹脂を滴下しスピンコート法により展延する。そして紫外線を照射して硬化させ、ハードコート層9を形成する。なお、ハードコート層9については形成しない場合もある。
さらにステップF107として、レーベル面側(情報読出面の反対面側)に防湿膜10を形成する。なお、防湿膜10を形成しない場合もある。
そしてこのように層構造が形成されたディスク基板(L0層基板1)に対して、最後にステップF108でレーベル面側に印刷が行われる。例えばオフセット印刷によりレーベル面側に例えばカラー印刷を行い、印刷層11を形成する。
その後、検査を経て光ディスクの完成となる。
真空転写装置を用いたスペーサ層・L1層の形成工程の詳細を、図4〜図19を参照しながら説明する。
本例の真空転写装置は、まず、その内部に主真空室40と予備真空室41が形成される構造となる。図5には、図4の各種構造部を除いて、主真空室40と予備真空室41となる空間を分かり易く示した。
この主真空室40には、真空バルブ37を介して真空ポンプ36が繋がれており、真空ポンプ36の真空吸引により、真空状態に保たれる。例えば真空転写作業として好適な程度の、30Pa〜1×10-2Pa程度の真空状態とされる。
一方、予備真空室41は、真空転写装置の内外へのディスク基板1の搬入/搬出の際にディスク基板1が通過する空間である。この予備真空室41は、図5からわかるように、主真空室40に比べて非常に狭い容積の空間とされている。
また予備真空室41には、真空バルブ23を介して真空ポンプ22が繋がれており、真空ポンプ22の真空吸引により、真空引きが行われる。但し、実際にスタンパ転写作業が行われる空間ではないので、真空度は比較的低く、例えば100Pa〜50Pa程度の真空状態とされればよい。
また予備真空室41は、大気開放バルブ24が開くことで、大気開放される。
この基板搬送部20は、図示しない機構により、ディスク基板1を前工程から、この真空転写装置に搬送し、また真空転写装置から取り出したディスク基板1を次工程に搬送する。
基板搬送部20は、この真空転写装置の工程作業の際に、予備真空室41の上方に位置する。そして開閉用モータ21によってシリンダ部分が駆動され、ディスク基板1を把持した部位が予備真空室41に対して昇降する構造となっている。特には、基板搬送部20が予備真空室41の上面側に接する位置まで下降された状態では、基板搬送部20自体が、予備真空室41の密閉空間を形成するための上面側の壁面となるようにも機能する。
搬送テーブル25の上面側には、図のように2つの保持テーブル26A、26Bが載置されている。
この図の状態では、保持テーブル26Aは、搬送テーブル25上で、予備真空室41の下方側に位置し、一方保持テーブル26Bは、同じく搬送テーブル25上で、転写装置30の下方側に位置している。
なお、図面中の左側として、予備真空室41及び主真空室40の左半分を含む構造部分を以下、「予備真空室側」といい、図面中の右側として、主真空室40の右半分を含む構造部分を以下、「転写部側」という。
搬送用モータ29は、基板搬送時に搬送テーブル25を180°回転させる。搬送テーブル25が180°回転するたびに、保持テーブル26A、26Bの位置が、予備真空室側と転写部側とで交互に入れ替わることになる。
なお、保持テーブル26A、26Bは、例えば石英ガラス等の、紫外線を透過させることのできる材質で形成される。また、保持テーブル26A、26Bは、ディスク基板1の直径以上の円形の平面サイズとされる。
そして主真空室40内の予備真空室側の下方には、保持テーブル上下移動部27が配置されており、この保持テーブル上下移動部27は、テーブル昇降モータ28によって昇降される。
この図4の状態では、保持テーブル26Aが予備真空室側に位置しているが、この状態で保持テーブル上下移動部27が上昇すると、その保持テーブル上下移動部27が孔部Haを通過して保持テーブル26Aを搬送テーブル25から上方へ押し上げることになる。
この場合、保持テーブル26Aは、予備真空室41に接する状態にまで、押し上げられる。保持テーブル26Aが、予備真空室41の下面に接する位置まで押し上げられた状態では、保持テーブル26A自体が、予備真空室41の密閉空間を形成するための下面側の壁面となるようにも機能する。
なお、もちろん保持テーブル26Bが予備真空室側にある場合は、保持テーブル上下移動部27が孔部Hbを通過して保持テーブル26Bに接することで、保持テーブル26Bが昇降されることになる。
また、保持テーブル26Aには、搬送テーブル25に突設された軸部25aが挿通しており、保持テーブル26Bには、同じく搬送テーブル25に突設された軸部25bが挿通している。保持テーブル26A、26Bは、軸部25a,25bに沿って上下に移動することになる。
スタンパホルダ32は、L1層スタンパ50を、下方に転写面を向けた状態で保持する。L1層スタンパ50は、上述のようにL1層のピットパターンの転写面が形成されたスタンパであり、例えばNi等の金属スタンパとされることが好適である。但しガラススタンパでもよいし、樹脂スタンパとされることもあり得る。
また、突き出しピン34が設けられ、この突き出しピン34はピン昇降モータによって下方に移動する。突き出しピン34は、ディスク基板1からL1層スタンパ50を剥離する際に、ディスク基板1を押さえつける機能を有する。即ち突き出しピン34が下降されると、突き出しピン34はL1層スタンパ50のセンターホール部分を通過して、その下に位置することになるディスク基板1のセンターホール周辺を押さえつけるように働く。
少なくとも紫外線照射部38から照射される紫外線は、搬送テーブル25の孔部(Ha又はHb)と、紫外線透過性材質の保持テーブル(26A又は26B)を透過して、その保持テーブル(26A又は26B)上に載置されたディスク基板1の紫外線硬化型樹脂の層に当てられることになる。
真空転写装置に搬入されるディスク基板1は、図2(c)のようにL0層が形成され後、L0層反射膜4の表面に、スピンコートにより未硬化の紫外線硬化型樹脂が展延された状態のディスク基板である。この紫外線硬化型樹脂はスペーサ層5となる樹脂である。
また、この真空転写装置での工程を終えて真空転写装置から搬出されるディスク基板1は、図3(a)のようにスペーサ層(中間層)5とL1ピットパターン6が形成された状態のディスク基板である。
ここではまず、図7以降を参照しながら、二重線矢印に沿った、1枚のディスク基板1Aの搬入から搬出までの流れとしての各工程を説明する。この間、次のディスク基板1Bの搬入に伴って、並列的な工程も行われるが、これは、ディスク基板1Aについての一連の工程の説明後に述べる。
なお図6の各ステップには、図7〜図19のうちで対応する図の番号を付記した。
即ち図7に示すように、或る1枚のディスク基板1Aが前工程から予備真空室41の上方に搬送されてくる。このとき、基板搬送部20は、ディスク基板1Aを、紫外線硬化型樹脂が塗布された面を上向きにした状態で握持して搬送する。
なお、この時点で、保持テーブル26Aは、保持テーブル上下移動部27によって予備真空室41の下面側壁面を形成する位置にまで上昇されている。
またこのとき、基板搬送部20は、予備真空室41の上面側に接する位置にまで下降されており、これによって基板搬送部20自体が、予備真空室41の上面側壁面を形成する。そして保持テーブル26Aと、基板搬送部20で、予備真空室41の上下面が塞がれることで、予備真空室41は密閉空間となる。但し、この時点では、大気開放バルブ24は開かれている。
真空引きによって予備真空室41が所定の真空度(例えば50Pa程度)に達したら、次にステップF205で、保持テーブル26Aを下降させ、ディスク基板1Aを主真空室40に搬送する。
即ち図9に示すように、保持テーブル上下移動部27が下降することで、保持テーブル26Aが下降し、保持テーブル26Aに載置されているディスク基板1Aが主真空室40に入ることになる。保持テーブル26A自体は、搬送テーブル25の上面に載置された状態となる。
なお、この際、予備真空室41と主真空室40が空間的に連通する。予備真空室41は、主真空室40に比べて真空度が低いため、一瞬、主真空室40の真空度が僅かに低下してしまうが、主真空室40は、継続的もしくは必要に応じたタイミングで真空ポンプ36で真空引きを行っているため、真空度は必要なレベルに即座に回復される。
或いは、主真空室40を、より高い真空度にまで真空化しておけば、予備真空室41と連通した状態でも、そのままで必要以上の真空度が維持される状態とすることもできる。
この状態で、ディスク基板1Aに対しては、転写部側の工程としてステップF302以降が実行される。
なお、この際、L1層スタンパ50とディスク基板1Aが密着された状態で、このL1層スタンパ50とディスク基板1Aを保持テーブル26Aから持ち上げ、ディスク基板1Aを保持テーブル26Aと非接触の状態にして紫外線照射を行う場合もある。
この場合、図14に示すように、ピン昇降モータ35により突き出しピン34を下降させ、L1層スタンパ50のセンターホールを通過して、ディスク基板1Aのセンターホールの周囲を、突き出しピン34が押さえつけるようにする。
そして、その状態で、転写用モータ31によりホルダ昇降部33を上昇させ、スタンパホルダ32を上昇させることで、L1層スタンパ50をディスク基板1Aから引き剥がす。
なお、転写部側で以上のステップF302→F303→F304の工程が行われている間、予備真空室側では、ステップF207→F208→F209→F201→F202→F203→F204→F205が行われており、これについては後述するが、ステップF305でディスク基板1Aを予備真空室側に搬送しようとする際には、図16のように次のディスク基板1Bが、保持テーブル26Bに載置された状態となっている。
この状態から、ステップF305では、搬送用モータ29によって搬送テーブル5が180°回転され、図16の状態から図17のように、保持テーブル26Aとディスク基板1Aが主真空室40内で予備真空室側へ移動される。同時に、次のディスク基板1Bが保持テーブル26Bとともに主真空室40内で転写部側へ移動される。
このように真空転写装置での一連の工程を終えて搬出されるディスク基板1Aは、既に図3(a)に示したように、スペーサ層5とL1ピットパターン6が形成された状態となっている。
即ち、ディスク基板1Aについてみれば、以上の工程で、図1のステップF103としてのスペーサ層・L1層形成工程が完了し、この後、図1のステップF104以降の工程に進み、上述したように光ディスクが製造される。
ここで、転写部側では、上述のとおりステップF302(図12のスタンパ押し当て),F303(図13の紫外線照射),F304(図14のスタンパ剥離)が、行われていくが、これと並行して、予備真空室側では、ステップF207以降の動作が行われる。
次にステップF208で、大気開放バルブ24を開き、予備真空室41を大気開放する。そして、ステップF209で、基板搬送部20が開閉用モータ21によって図12のように上昇される。
まずステップF201として、基板搬送部20は、前工程で未硬化の紫外線硬化型樹脂が塗布された次のディスク基板1Bを、図13のように予備真空室41の上方に搬送してくる。
次にステップF202では、図14に示すように、基板搬送部20が開閉用モータ21によって下降され、これによって基板搬送部20に把持されているディスク基板1Bが予備真空室41の内部に搬送される。そしてステップF203では、ディスク基板1Bが、基板搬送部20から保持テーブル26Aに受け渡される。
真空引きによって予備真空室41が所定の真空度(例えば50Pa程度)に達したら、次にステップF205で、図16に示すように、保持テーブル26Bを下降させ、ディスク基板1Bを主真空室40に搬送する。
そして次に、予備真空室側ではステップF206が、また転写部側ではステップF305が行われるが、これは、搬送用モータ29によって搬送テーブル25が180°回転されるという1つの動作で実行される。
これによって上述のように、ディスク基板1Aが予備真空室側に戻されるとともに、次のディスク基板1Bが転写部側に送り込まれる。即ち図17の状態となる。
以降、上述のとおり、ディスク基板1Aについては、図18のように予備真空室41に送られ、予備真空室41が大気開放された後、図19のように基板搬送部20によって搬出されるが、このとき、転写部側では、ステップF302で図19のようにL1層スタンパ50がディスク基板1Bに押し当てられる。
また図示しないが、その間、予備真空室側では、さらに次のディスク基板が搬入され、ステップF201〜F205が行われることになる。
この場合、概略的には、次のような工程所要時間が必要であった。
・真空室の真空引き:1.8秒
・スタンパによる凹凸パターンの転写:1秒
・真空転写装置から搬出後の装置での紫外線照射:1.5秒
・真空転写装置から搬出後の装置でのスタンパ剥離:0.8秒
・ディスク基板の真空転写装置への搬入から、紫外線照射装置、さらには次工程までの搬送に要する時間の総計:1秒
特に、真空室は、ディスク基板1の搬出の際に一旦大気開放し、ディスク基板1を搬入するたびに、十分な真空度にまで真空引きを行わなければならず、真空引きに毎回1.8秒程度がかかることになる。
・予備真空室の真空引き:1秒
・スタンパによる凹凸パターンの転写:1秒
・紫外線照射:1.5秒
・スタンパ剥離:0.8秒
・ディスク基板の真空転写装置への搬入から搬出(次工程への搬送)までの搬送の総計:1秒
そして単純に上記時間を合計すると、5.3秒となる。
上記した実施の形態の動作の説明からわかるように、予備真空室からの大気開放、搬出、搬入、予備真空室41の真空引きは、主真空室40においてスタンパによる凹凸パターンの転写、紫外線照射、スタンパ剥離の工程が行われている間に実行される。
つまり、連続的に多数のディスク基板1についての真空転写が行われることを考えると、1枚当たりの工程サイクルタイムとして、予備真空室41の真空引きの時間を考慮しなくてもよいことになる。すると、1枚のディスク基板1に対するサイクルタイムとしての合計時間は、真空引きの1秒を除いた4.3秒と考えることができる。
さらには、予備真空室41の大気開放や予備真空室41に対する搬入/搬出も、上記の基板搬送の総計としての1秒に含まれているが、これらも同時並行して行われるため、基板搬送の総計としてのタイムは、実質的に短縮される。即ち、ディスク基板1の1枚当たりの工程時間としては、搬送テーブル25の回転による搬送時間のみを考慮すればよい。結果として、1枚当たりのサイクルタイムは、4秒以下にまで短縮することが可能となる。
ところがそれらの場合、複数のスタンパの品質の管理に多大な手間がかかることになる。これによって工程上の負担が大きくなり、その点では効率が悪化することは先に述べた。また製造設備の投資コストも非常に増大する。
例えば3層以上のディスクで、第3記録層、第4記録層としてのピットパターンやスペーサ層(もしくはカバー層)を形成する工程で、真空転写装置が上記同様の動作を行うことも可能である。
また1層ディスク、もしくは多層ディスクにおいて第1記録層(L0層)を形成する際に、射出成形ではなく、本発明の真空転写装置を用いてもよい。例えば表面が平面状のディスク基板(例えばガラス基板)に紫外線硬化型樹脂を塗布して、上記実施の形態の動作を真空転写装置で行うことで、L0層としてのピットパターンを形成することも可能である。
Claims (3)
- 真空吸引機構により真空化される主真空室と、
空間容積が上記主真空室の空間容積より小さくなるように形成され、真空吸引機構により上記主真空室の真空度より低い真空度に真空化されるとともに、大気開放機構により大気開放可能な予備真空室と、
上記予備真空室に対して未硬化の紫外線硬化型樹脂が塗布されたディスク基板を搬入するとともに、上記主真空室から上記予備真空室に搬送されてきたディスク基板の搬出を行う基板搬送部と、
上記予備真空室と上記主真空室の間でディスク基板の搬送を行う真空室間搬送部と、
上記主真空室内で、スタンパを用いて凹凸パターンをディスク基板に転写する転写処理と、上記スタンパをディスク基板から剥離する剥離処理を行う転写部と、
上記主真空室内で上記転写処理されるディスク基板に対して紫外線照射を行う紫外線照射部と、
を備え、
動作状態においては、上記主真空室は常時真空化状態が保たれており、
上記基板搬送部によってディスク基板が上記予備真空室に搬入された際に、上記予備真空室が真空化され、
該真空化後に上記真空室間搬送部によって上記ディスク基板が上記予備真空室から上記主真空室に搬送されて、上記転写部による上記転写処理が行われ、
上記転写部による転写処理の際、上記紫外線照射部による紫外線照射によって、凹凸パターンが形成された紫外線硬化型樹脂の硬化を行う紫外線照射処理が行われ、
上記紫外線照射処理後に上記転写部によりディスク基板とスタンパの剥離処理が行われ、
上記剥離処理が行われた上記ディスク基板が上記真空室間搬送部により上記主真空室から上記予備真空室に搬送され、上記予備真空室が大気開放されて、上記基板搬送部によって上記ディスク基板が搬出される構造とされているとともに、
上記真空室間搬送部は、
或るディスク基板に対しての上記主真空室での上記転写処理、上記紫外線照射処理、及び上記剥離処理が実行されている間に、同時並行して、上記予備真空室の大気解放、上記基板搬送部による上記予備真空室からの上記剥離処理が行われたディスク基板の搬出、上記基板搬送部による未硬化の紫外線硬化型樹脂が塗布されたディスク基板の搬入、及び上記予備真空室の真空化を実行するように、上記予備真空室と上記主真空室の間でディスク基板の搬送を行う真空転写装置。 - 上記基板搬送部と、上記真空室間搬送部のそれぞれが、上記予備真空室を密閉して真空化する際の一壁面を形成する請求項1に記載の真空転写装置。
- 真空吸引機構により真空化される主真空室と、
空間容積が上記主真空室の空間容積より小さくなるように形成され、真空吸引機構により上記主真空室の真空度より低い真空度に真空化されるとともに、大気開放機構により大気開放可能な予備真空室と、
を備えた真空転写装置により、ディスク基板に凹凸パターンを形成する真空転写方法として、
上記主真空室を真空化するステップと、
未硬化の紫外線硬化型樹脂が塗布されたディスク基板を上記予備真空室に搬入し、上記予備真空室を真空化した上で、上記ディスク基板を上記予備真空室から上記主真空室に搬送するステップと、
上記主真空室で、スタンパを用いてディスク基板に凹凸パターンの転写処理を行うステップと、
上記転写部による転写処理の際、紫外線照射によって、凹凸パターンが形成された紫外線硬化型樹脂を硬化させる紫外線照射処理を行うステップと、
上記紫外線照射処理後に上記転写部によりディスク基板とスタンパの剥離処理を行うステップと、
上記剥離処理が行われた上記ディスク基板を上記主真空室から上記予備真空室に搬送するステップと、
上記予備真空室を大気開放し、上記ディスク基板を搬出するステップと、
を備えるとともに、
或るディスク基板に対しての上記主真空室での上記転写処理、上記紫外線照射処理、及び上記剥離処理が実行されている間に、同時並行して、上記予備真空室の大気解放、上記予備真空室からの上記剥離処理が行われたディスク基板の搬出、未硬化の紫外線硬化型樹脂が塗布されたディスク基板の搬入、及び上記予備真空室の真空化を実行する真空転写方法。
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