JP2009241274A - インプリント方法およびスタンパ - Google Patents
インプリント方法およびスタンパ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009241274A JP2009241274A JP2008087763A JP2008087763A JP2009241274A JP 2009241274 A JP2009241274 A JP 2009241274A JP 2008087763 A JP2008087763 A JP 2008087763A JP 2008087763 A JP2008087763 A JP 2008087763A JP 2009241274 A JP2009241274 A JP 2009241274A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- stamper
- resist
- peeling
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
- B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C37/00—Component parts, details, accessories or auxiliary operations, not covered by group B29C33/00 or B29C35/00
- B29C37/0003—Discharging moulded articles from the mould
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/263—Preparing and using a stamper, e.g. pressing or injection molding substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
- B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
- B29C2059/023—Microembossing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2017/00—Carriers for sound or information
- B29L2017/001—Carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records
- B29L2017/003—Records or discs
- B29L2017/005—CD''s, DVD''s
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】基板上にレジストを塗布し、前記基板上に塗布されたレジストに対して凸パターンが形成されたスタンパをインプリントし、前記基板とスタンパとの間に剥離爪の先端を押し込み、前記基板とスタンパとの間に気体を導入して前記基板から前記スタンパを剥離する方法であって、前記剥離爪の先端が押し込まれる個所で、前記基板とスタンパとの間隙を前記レジストの厚みよりも大きくすることを特徴とするインプリント方法。
【選択図】 図3
Description
第1の実施形態では、内周部の厚みを他の部分よりも薄くして段差を設けたスタンパを用いる。
第2の実施形態では、基板上に塗布されるレジストの厚みを基板の内周部のみで厚くする。スピンコーティングの条件を調整することによって、基板上に塗布されるレジストの一部の厚みを厚くすることができる。
Claims (7)
- 基板上にレジストを塗布し、
前記基板上に塗布されたレジストに対して凸パターンが形成されたスタンパをインプリントし、
前記基板とスタンパとの間に剥離爪の先端を押し込み、
前記基板とスタンパとの間に気体を導入して前記基板から前記スタンパを剥離する方法であって、
前記剥離爪の先端が押し込まれる個所で、前記基板とスタンパとの間隙を前記レジストの厚みよりも大きくすることを特徴とするインプリント方法。 - 前記スタンパの内周部または外周部の厚みを薄くすることを特徴とする請求項1に記載のインプリント方法。
- 前記基板上に塗布されるレジストの厚みを前記基板の内周部または外周部のみで厚くすることを特徴とする請求項1に記載のインプリント方法。
- 前記レジストの厚さが1μmより薄いことを特徴とする請求項1に記載のインプリント方法。
- 前記基板の両面にレジストを塗布し、前記基板の両面に塗布されたレジストに対して凸パターンが形成された2つのスタンパをインプリントすることを特徴とする請求項1に記載のインプリント方法。
- 前記基板を保持する場合に、パターンが形成されない基板の内周部または外周部に保持治具を当接させることを特徴とする請求項1に記載のインプリント方法。
- 表面に凸パターンが形成され、内周部または外周部の厚みが薄くなっていることを特徴とするスタンパ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008087763A JP4482047B2 (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | インプリント方法 |
US12/413,366 US7833458B2 (en) | 2008-03-28 | 2009-03-27 | Imprinting method and stamper |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008087763A JP4482047B2 (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | インプリント方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009241274A true JP2009241274A (ja) | 2009-10-22 |
JP4482047B2 JP4482047B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=41115896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008087763A Expired - Fee Related JP4482047B2 (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | インプリント方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7833458B2 (ja) |
JP (1) | JP4482047B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011118005A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | パイオニア株式会社 | 転写装置及び方法並びにコンピュータプログラム |
WO2011118006A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | パイオニア株式会社 | 転写装置及び方法、並びにコンピュータプログラム |
JP2013046015A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Asahi Kasei Corp | 微細パターンの製造方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5121549B2 (ja) * | 2008-04-21 | 2013-01-16 | 株式会社東芝 | ナノインプリント方法 |
JP2010077476A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Toshiba Corp | スタンパの製造方法 |
JP4929262B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2012-05-09 | 株式会社東芝 | 複製スタンパの製造方法 |
JP2010218597A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Toshiba Corp | パターン転写用樹脂スタンパ、及びこれを用いた磁気記録媒体の製造方法 |
USD654190S1 (en) * | 2011-08-31 | 2012-02-14 | 3Form, Inc. | Panel with spray surface texture |
KR20140141815A (ko) * | 2013-05-31 | 2014-12-11 | 삼성전자주식회사 | 전자기기용 케이스 및 이의 표면 처리방법 |
JP5951566B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2016-07-13 | 株式会社東芝 | モールド洗浄装置及びモールド洗浄方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002260307A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光情報記録媒体の製造方法、製造装置及び光情報記録媒体 |
JP2002288895A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Sony Corp | 光記録媒体の製造方法 |
JP2003203402A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光情報記録媒体の製造方法、および光情報記録媒体 |
JP2005166241A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-23 | Mitsubishi Chemicals Corp | 光記録媒体の製造方法及び光透過性スタンパ |
JP2006040488A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ディスク製造方法 |
WO2006101235A1 (ja) * | 2005-03-25 | 2006-09-28 | Zeon Corporation | 樹脂スタンパ |
WO2006106735A1 (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 多層情報記録媒体及びその製造装置、並びにその製造方法 |
JP2007294076A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Mitsubishi Kagaku Media Co Ltd | 光記録媒体の製造方法及び光記録媒体の製造装置 |
JP2008012858A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Hitachi High-Technologies Corp | インプリント装置およびインプリント方法 |
JP2008012859A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Hitachi High-Technologies Corp | インプリント装置およびインプリント方法 |
JP2008221552A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 微細構造転写装置、スタンパおよび微細構造の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3232665B2 (ja) | 1992-06-19 | 2001-11-26 | ソニー株式会社 | 光ディスク製造装置 |
JP3411530B2 (ja) | 1999-05-31 | 2003-06-03 | オリジン電気株式会社 | 情報ディスクの製作方法及び装置 |
US7019819B2 (en) * | 2002-11-13 | 2006-03-28 | Molecular Imprints, Inc. | Chucking system for modulating shapes of substrates |
JP4340086B2 (ja) | 2003-03-20 | 2009-10-07 | 株式会社日立製作所 | ナノプリント用スタンパ、及び微細構造転写方法 |
US20050116387A1 (en) * | 2003-12-01 | 2005-06-02 | Davison Peter A. | Component packaging apparatus, systems, and methods |
TWI283631B (en) | 2005-10-25 | 2007-07-11 | Ind Tech Res Inst | Method and device for demolding |
US8377361B2 (en) * | 2006-11-28 | 2013-02-19 | Wei Zhang | Imprint lithography with improved substrate/mold separation |
-
2008
- 2008-03-28 JP JP2008087763A patent/JP4482047B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-03-27 US US12/413,366 patent/US7833458B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002260307A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光情報記録媒体の製造方法、製造装置及び光情報記録媒体 |
JP2002288895A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Sony Corp | 光記録媒体の製造方法 |
JP2003203402A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光情報記録媒体の製造方法、および光情報記録媒体 |
JP2005166241A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-23 | Mitsubishi Chemicals Corp | 光記録媒体の製造方法及び光透過性スタンパ |
JP2006040488A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ディスク製造方法 |
WO2006101235A1 (ja) * | 2005-03-25 | 2006-09-28 | Zeon Corporation | 樹脂スタンパ |
WO2006106735A1 (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 多層情報記録媒体及びその製造装置、並びにその製造方法 |
JP2007294076A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-11-08 | Mitsubishi Kagaku Media Co Ltd | 光記録媒体の製造方法及び光記録媒体の製造装置 |
JP2008012858A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Hitachi High-Technologies Corp | インプリント装置およびインプリント方法 |
JP2008012859A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Hitachi High-Technologies Corp | インプリント装置およびインプリント方法 |
JP2008221552A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 微細構造転写装置、スタンパおよび微細構造の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011118005A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | パイオニア株式会社 | 転写装置及び方法並びにコンピュータプログラム |
WO2011118006A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | パイオニア株式会社 | 転写装置及び方法、並びにコンピュータプログラム |
JP2013046015A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Asahi Kasei Corp | 微細パターンの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090243152A1 (en) | 2009-10-01 |
US7833458B2 (en) | 2010-11-16 |
JP4482047B2 (ja) | 2010-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4482047B2 (ja) | インプリント方法 | |
JP4712370B2 (ja) | インプリント・リソグラフィのための複合スタンパ | |
JP4478164B2 (ja) | 微細構造転写装置、スタンパおよび微細構造の製造方法 | |
JP4939134B2 (ja) | インプリント装置およびインプリント方法 | |
WO2007099907A1 (ja) | インプリント用モールド及びインプリント方法 | |
US20050285308A1 (en) | Stamper, imprinting method, and method of manufacturing an information recording medium | |
JP5370806B2 (ja) | インプリント方法およびその装置 | |
JP2009241330A (ja) | 微細構造転写スタンパ及び微細構造転写装置 | |
JP2014056635A (ja) | パターンドメディア上の領域を別々に加工する方法 | |
JP2008012858A (ja) | インプリント装置およびインプリント方法 | |
JP2009006619A (ja) | ナノインプリント用モールドおよび記録媒体 | |
JP2009241372A (ja) | 微細構造転写装置 | |
JP5416420B2 (ja) | 微細構造転写装置 | |
WO2007083725A1 (ja) | インプリント用転写型、インプリント転写方法、インプリント装置、インプリント用転写型の製造方法およびインプリント転写物 | |
JP4093574B2 (ja) | インプリントスタンパの製造方法、および磁気記録媒体の製造方法 | |
US7105280B1 (en) | Utilizing permanent master for making stampers/imprinters for patterning of recording media | |
JP4814682B2 (ja) | 微細構造パターンの転写方法及び転写装置 | |
JP5053140B2 (ja) | インプリント用モールド構造体、及び該インプリント用モールド構造体を用いたインプリント方法、並びに、磁気記録媒体、及びその製造方法 | |
JP2009208447A (ja) | インプリント用モールド構造体、並びにインプリント方法、磁気記録媒体及びその製造方法 | |
US20100289183A1 (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus for patterned media | |
US20190278167A1 (en) | Manufacturing method of replica template, manufacturing method of semiconductor device, and master template | |
JP2008276907A (ja) | モールド構造体、及びそれを用いたインプリント方法、並びに磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP2010080010A (ja) | 情報記録媒体基板の製造方法 | |
Resnick et al. | Imprint lithography | |
JP2006164365A (ja) | 樹脂マスク層形成方法、情報記録媒体製造方法および樹脂マスク層形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100223 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100318 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130326 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130326 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140326 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |