JP4595012B2 - 半導体発光装置、光プリントヘッド、および画像形成装置 - Google Patents
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Description
この種の半導体素子では、アノードとカソード間に電流が流れるONの状態において、順方向のpn接合を介して注入された少数キャリアが発光・再結合するように半導体材料層を設けることで、ON状態で発光する3端子発光素子を作製することができる。
活性層内にキャリアを閉じ込めるためには、活性層に接する半導体層界面にエネルギー障壁を設けると共に、或る程度の厚い半導体層を設けることが必要と考えられるが、このことは、ゲート制御特性を良くするものであり、少数キャリアがゲート層内で極力再結合されずにゲート層を通過させることとは相反するものである。
このように、従来構造の3端子発光素子では、電気特性と発光特性の双方を最適化することは困難であった。
本実施例の半導体薄膜層は、その半導体層を結晶成長させた母材基板から、その半導体層を剥離することで得ることができる。
領域Aは、主として発光機能に関わる半導体層領域、領域Bは主としてゲート制御特性に関わる半導体層領域であり、110は接合層、111はカソード・導通層、112はカソード・コンタクト層、113は下クラッド層、114は活性層、115は上クラッド層、120aはゲート・コンタクト層、120bはゲート・導通層、121はアノード・導通層、122はアノード・コンタクト層である。また、131はアノード電極、132はゲート電極、133はカソード電極である。
図1において、接合層110はn型GaAs層、カソード・導通層111はn型AlsGa1−sAs層、カソード・コンタクト層112はn型GaAs層、下クラッド層はAlxGa1−xAs層、活性層114はn型AlyGa1−yAs層、上クラッド層115はp型AlzGa1−zAs層、ゲート・コンタクト層120aはn型GaAs層、ゲート・導通層120bはn型AlgGa1−gAs層、アノード・導通層121はp型AltGa1−tAs層、アノード・コンタクト層122はp型GaAs層である。
尚、上記半導体層に加え、各コンタクト層を露出するためにエッチング停止層、例えば、InGaP層などをコンタクト層上に設けることもできる。
ゲート層の厚さは、P型アノード導通層121とn型ゲート導通層120bのpn接合を介して注入された正孔の平均自由行程よりも薄くすることが望ましい。少数キャリアの平均自由行程とは、キャリアがキャリアの寿命内で拡散する距離(拡散長)を意味し、
キャリアの寿命をτ、拡散係数をDとすると、上記拡散距離(拡散長)Lは、下式(1)で表すことができる。
L=√(τD)・・・・・(1)
ここでは、ゲート層を低ドープ濃度(電子濃度:1×1017cm−3)のn型AlxGa1−xAs層(ゲート・導通層120b)と高ドープ濃度(電子濃度:5×1018cm−3)のn型GaAs層(ゲート・コンタクト層120a)で構成する例を説明する。本具体例では、上記Al混晶比(x)を活性層と同じAl混晶比(x=0.15)とした場合と、活性層より大きいAl混晶比(x=0.4)とした場合について説明する。
尚、ゲート・コンタクト層120aで、高ドープ濃度を例示する理由は、高ドープ濃度にすることで、ゲート電極のコンタクト抵抗を小さくすることができるからである。
Ne(GaAs−1)=5×1018cm−3で、Lp(GaAs−1)=0.3μm
Ne(GaAs−2)=1×1017cm−3で、Lp(GaAs−2)=4.2μm
である。
拡散係数Dはキャリアの移動度に依存する。また、AlxGa1−xAs系材料の場合、拡散係数Dは、Al混晶比(x)の増加に伴い減少する。
Al混晶比x=0、x=0.15、x=0.4の各拡散係数を、それぞれD0、D0.15、D0.4とすると、D0に対するD0.15、の比η0.15(D0.15、/D0)と、D0に対するD0.4の比D0.4(D0.4/D0)は、それぞれ、η0.15=0.8、η0.4=0.06
となる。
x=0の場合の寿命(τ0)に対するx=0.15の場合の寿命(τ0.15)の比χ0.15(τ0.15/τ0)と、x=0の場合の寿命(τ0)に対するx=0.4の場合の寿命(τ0.4)の比χ0.4(τ0.4/τ0)は、それぞれ、χ0.15=0.1、χ0.4=0.01
となる。
Lp(x:0.15)=Lp(GaAs−2)×√(η0.15×χ0.15)
=4.2[μm]×√(0.8×0.1)
≒1.2[μm]
Lp(x:0.4)=Lp(GaAs−2)×√(η0.4×χ0.4)
=4.2[μm]×√(0.06×0.01)
≒0.1[μm]
例えば、各々の層厚を各層内の拡散長の1/2の厚さ、すなわち、
コンタクト層は、GaAs層厚=Lp(GaAs−1)/2=0.15μm
導通層は、Al0.15Ga0.85As層厚=Lp(x:0.15)/2=0.6μm
にすることができる。
例えば、各々の層厚を各層内の拡散長の1/2の厚さ、すなわち、
コンタクト層は、GaAs層厚=Lp(GaAs−1)/2=0.15μm
導通層は、Al0.4Ga0.6As層厚=Lp(x:0.4)/2=0.05μm
にすることができる。
x、z>yとすると、活性層内に注入されたキャリアを閉じ込めることが可能となり、s、t>yとすると、発光により他の波長が励起されて発光することを防止できる。
また、gの半導体層が間接半導体材料となる領域の値を選ぶことで、ゲート層内で注入された少数キャリアの一部が再結合してもキャリアの再結合によって発光せず、発光素子として波長分布が狭く良好な発光特性が得られる。
図1において、接合層110はn型GaN層、或いはAlN/GaN層である。カソード・導通層111はn型AlsGa1−sN層、カソード・コンタクト層112はn型GaN層、下クラッド層113はn型GaN層、活性層114はn型InyGa1−yN層、上クラッド層115はp型GaN層、ゲート・コンタクト層120aはn型GaN層、ゲート・導通層120bはn型AlgGa1−gN層、アノード・導通層121はp型AltGa1−tN層、アノード層・コンタクト122はp型GaN層である。
尚、下クラッド層113と上クラッド層115はAlrGa1−rN層を含む層で構成しても良く、また、活性層114は[GaN/InyGa1−yN]の多重量子井戸層としても良い。
ここでは、窒化物によるゲート層厚の具体例として、ゲート層をn型GaN層で構成した場合と、ゲート層をp型GaN層で構成した場合について説明する。
ここで、例えば、上記と同様に、ゲート層の厚さを拡散長の1/2にすると、
ゲート層をn型GaN層で構成した場合、
n型GaNゲート層厚は、Lp(GaN)/2=0.14μmとすることができる。
また、ゲート層をp型GaN層で構成した場合、
p型GaNゲート層厚は、Le(GaN)/2=0.1μmとすることができる。
異種基板201として、例えば、Si基板、IC基板、ガラス基板、セラミック基板、プラスティック基板、金属基板等を用いることができる。図3中、202は基板201と半導体薄膜層との間に設けた別の材料層で、基板201の表面を平坦化するための平坦化層である。
また、図6に示すように、3端子発光素子301を2次元的に配列しても良い。
図1において、アノード電極131をプラス電位、カソード電極133をアノード電圧に対してマイナス方向の電位(例えば、接地電位)とし、ゲート電極132をプラス電位とする。
この状態では、上クラッド層115から注入されるキャリアは、下クラッド層113によるエネルギー障壁によって拡散が阻止されると共に、電子は上クラッド層115によるエネルギー障壁によって拡散が阻止されるため、活性層114にキャリアが高密度に閉じ込められ、高効率で再結合、発光する。
ゲート電極132にプラス電位を印加し、アノード電極131に3端子発光素子がONにならないレベルにプラス電圧を印加した状態で、ゲート電極132の電位を低くすることにより、アノード電極−ゲート電極間に順方向にキャリアが注入され、ゲート・コンタクト層210aと上クラッド層の間のpn接合が順方向になり、3端子発光素子はOFFの状態からONの状態となる。
また、ゲート層を少なくとも2層とし、pn接合を形成するゲート層のエネルギーバンドギャップエネルギーを間接遷移となるように組成を選択することで、ゲート層内に注入された少数キャリアの再結合が非発光再結合となり、狭い発光波長分布を持つ優れた発光特性の3端子発光素子が得られる。
図12は変形例(5)を示し、変形例(5)では、ゲート・コンタクト層120aの上に別の半導体層126を、カソード・コンタクト層112の上に別の半導体層125を設ける構成とした。
これらの半導体層117、118、125、126は、例えば、クラッド層と比較してよりエネルギーバンドギャップの大きい材料層、エッチング停止層を含む半導体層の単層、或いは複数の積層構造としても良い。
以下の説明では、実施例1との相違点について説明する。
図14中、140は第1のゲート・導通層、141は第2のゲート・導通層、142はゲート・コンタクト層、151は選択的に形成した不純物拡散層、151aは第1のゲート・導通層内の拡散領域、151bは第2のゲート・導通層内の拡散領域、151cはアノード・コンタクト層(ゲート・コンタクト層内の不純物拡散領域)を示している。
ここで、半導体層140と半導体層141のAl混晶比u、vをu>vとして、半導体層140のエネルギーバンドギャップが半導体層141のバンドギャップエネルギーよりも小さくなるようにする。さらに、半導体層141のAl混晶比を活性層114のAl混晶比よりも大きくして、半導体層141のエネルギーバンドギャップが活性層114のエネルギーバンドギャップよりも大きくなるように半導体層を構成することが望ましい。さらに、半導体層140のエネルギーバンドギャップを、活性層114のエネルギーバンドギャップと同等、または間接遷移半導体となるように材料の組成を選択することが望ましい。
これらにより、ゲート層内に注入された少数キャリアの再結合によって発光する波長を活性層内で発光する光の波長と同等にすることができる。或いは、ゲート層内でのキャリアの再結合を非発光再結合とすることができる。
さらには、ゲート・導通層140の層厚を、ゲート・導通層内の少数キャリアの平均自由工程以下とすることが望ましい(例えば、200nm以下)。また、半導体層140の不純物濃度を低くすることが望ましい(例えば、1×1017cm−3以下)。
また、半導体層140内に形成される横方向のpn接合領域の面積は、少なくとも拡散フロントの面積よりも小さいことが望ましい。
第2実施例では、半導体層140内に形成されたpn接合を介してキャリアが注入される。横方向では電圧降下が大きくなるため、アノード−カソード間の電圧を大きくしていくと、横方向のキャリア注入に対して縦方向のキャリア注入が主となり、アノード−カソード間の電流が大きくなって、3端子発光素子はONとなる。
実施例1と同様、ゲート電極135にプラス電位を印加し、3端子発光素子がONとならないレベルのアノード電圧をアノード電極134に印加し、ゲート電圧を下げると、3端子発光素子はONとなる。半導体層140内の横方向へ注入されたキャリアの一部は半導体層140内で再結合するため、アノード電流の一部はロスするが、半導体層140を低ドープ濃度の層にすることで、半導体層140内の空乏化された領域の広がりと縦方向の電場によって上クラッド層115にドリフトするため、ゲート電流としてロスする成分は少なくなり、よって、高い発光効率で動作する。
また、半導体層140内で再結合する成分についても、半導体層140を活性層114と同等のエネルギーバンドギャップとするか、或いは間接半導体として非発光再結合を主とすることで、活性層114で発光する光の波長に対して余分な波長の光が発生することを防止できる。
図15は変形例(1)を示し、変形例(1)では、拡散領域の拡散フロントを半導体層143に達しない構成とした。
図16は変形例(2)を示し、変形例(2)では、半導体層143と半導体層141の界面に拡散フロントが存在する構成とした。
図17に示す変形例(3)、および図18に示す変形例(4)では、カソード電極134を薄膜半導体層の裏面に設けた。
図19は変形例(5)を示し、変形例(5)では、n型の活性層に代えてp型活性層116を設けた。
図20は変形例(6)を示し、変形例(6)では、ゲート・導通層144を薄くしてドープ量を下げることにより、1層構造とした。
以下の説明では、実施例2と相違する点を説明する。
本発明の第3実施例と第2実施例の構成で相違する点は、図21に示すように、ゲート・コンタクト層136の下方領域と拡散領域151の間に、拡散領域と同等以上の深さの溝510を設けたことである。
ここで、半導体層144のAl混晶比uを活性層114のAl混晶比yよりも大きくして、半導体層144のエネルギーバンドギャップを活性層114のエネルギーバンドギャップよりも大きくなるように半導体層を構成することが望ましい。さらに、半導体層144のエネルギーバンドギャップを、活性層114のエネルギーバンドギャップと同等、または間接遷移半導体となるように材料の組成を選択することが望ましい。
これにより、ゲート層内に注入された少数キャリアの再結合により発光する波長を活性層内で発光する光の波長と同等にすることができる。或いは、ゲート層内でのキャリアの再結合を非発光再結合とすることができる。
さらには、ゲート・導通層144の層厚を、ゲート導通層内の少数キャリアの平均自由工程以下とすることが望ましい(例えば、200nm以下)。また、半導体層144の不純物濃度を低くすることが望ましい(例えば、1×1017cm−3以下)。
また、半導体層144内に形成される横方向のpn接合領域の面積を、少なくとも拡散フロントの面積よりも小さくすることが望ましい。
第3実施例では、ゲート・コンタクト層142からゲート・導通層144に印加された電圧は、溝510による拡散領域151内での電圧降下により、拡散側面領域においてpn接合にかかる電圧が小さくなり、拡散領域の側面でのキャリアの注入はなくなり、主として拡散フロント(底面)でキャリアが注入される。その他の動作は、第2実施例で説明した動作と同様である。
図23は変形例(2)を示し、変形例(2)では、n型活性層114に代えてp型活性層116とした。
本発明の第4実施例と実施例1の構成で相違する点は、図24に示すように、領域Aと領域B、二つの領域の上下層関係が逆転している点である。
図24において、411はp型GaAs層、412はp型AlsGa1−sAs層、413はp型GaAs層、414はp型AltGa1−tAs層、415aはn型GaAs層、415bはn型AluGa1−uAs層、421はp型AlxGa1−xAs層、422はn型AlyGa1−yAs層、423はn型AlzGa1−zAs層、424はn型GaAs層である。
ここで、各AlGaAs層のAl混晶比は、s、t、x、z>yであることが望ましく、415層の組成は、u≧yであることが望ましい。
また、アノード電極433とゲート電極432の位置関係は、活性層領域(発光領域)を間にして対向するように設けることが望ましい。
3端子発光素子は、431をカソード、432をゲート、433をアノードとすることによって動作する。各電極の制御動作は実施例1と同様である。
図25は変形例(1)を示し、変形例(1)では、カソード電極434を、半導体薄膜層の上面でなく、裏面に設ける構成とした。この場合、アノード・導通層412と接合層411を省略し、第1のカソード・コンタクト層112が接合層を兼ねる構成としても良い。
図26は変形例(2)を示し、変形例(2)では、n型クラッド層423の上層とp型下クラッド層421の下層に別の半導体層426、425を設ける構成とした。これらの半導体層425、426は、例えば、クラッド層と比較してよりエネルギーバンドギャップが大きい材料層、エッチング停止層を含む半導体層の単層、或いは複数の積層構造としても良い。
図27は変形例(3)を示し、変形例(3)では、ゲート層をn型コンタクト層415aの1層だけとした。
本発明の第5実施例と実施例1の構成で相違する点は、実施例1が、p層/n層/p層/n層の順で積層した構成で、ゲート層がn型層であるのに対し、第5実施例では、n層/p層/n層/p層の順で積層した構成で、ゲート層がp型層であることである。
図28中、511は接合層、512はアノード・導通層、513はアノード・コンタクト層、514は下クラッド層、515は活性層、516は上クラッド層、521はゲート・コンタクト層、522はゲート・導通層、523はカソード・導通層、524はカソード・コンタクト層である。また、531はカソード電極、532はゲート電極、533はアノード電極である。
図28において、接合層511はp型GaAs層、アノード・導通層512はp型AlsGa1−sAs層、アノード・コンタクト層513はp型GaAs層、下クラッド層514はp型AlxGa1−xAs層、活性層515はp型AlyGa1−yAs層、上グラッド層516はn型AlzGa1−zAs層、ゲート・コンタクト層521はp型GaAs層、ゲート・導通層522はp型AlgGa1−gAs層、カソード・導通層523はn型AltGa1−tAs層、カソード・コンタクト層524はn型GaAs層である。
また、上記半導体層に加えて、各コンタクト層を露出するためのエッチング停止層、例えば、InGaP層等を各コンタクト層の上に設けることもできる。
また、ゲート・導通層522の不純物濃度を低くすることが望ましい(例えば、1×1017cm−3以下)。
x、z>yとすると、活性層内に注入されたキャリアを閉じ込めることが可能となり、s、t>yとすると、発光により他の波長が励起されて発光することを防止できる。
また、gの半導体層が間接半導体材料となる領域の値を選ぶことで、ゲート層内で注入された少数キャリアの一部が再結合してもキャリアの再結合によって発光しないため、発光素子として波長分布が狭く良好な発光特性が得られる。
3端子発光素子は、531をカソード電極、432をゲート電極、433をアノードアノード電極とすることで動作する。各電極の制御動作は実施例1と同様である。
上記光プリントヘッド600は、図29に示すように、上述した第1〜第5実施例による3端子発光素子を複数個1列に配列した3端子発光素子アレイ610と、3端子発光素子アレイ610を駆動する駆動素子群612と、これら3端子発光素子アレイ610と駆動素子群612を搭載する基板601とで構成される。上記駆動素子群612は、3端子発光素子アレイ610の各ゲート動作を制御する。
上記プリンタは、図30に示すように、上記光プリントヘッド600と、感光ドラム630、光プリントヘッドの600の光を感光ドラム630の表面に集光するためのレンズ620、トナー現像器640、感光ドラム630上のトナーを除去するクリーニングシステム650、帯電器660等で成る画像形成部とを備える。
各3端子発光素子からの光は、レンズ620を通して集光され、帯電器660にて、例えば、マイナス電位に帯電された感光ドラム630の表面を露光する。露光された領域の電荷は消滅し、感光ドラム630上に印刷データに基づく潜像が成される。
この潜像部分にトナー現像器640にてトナーが付着され、感光ドラム630上にトナー画像が形成される。その後、トナー画像は紙に転写され、更に加熱されて紙上に画像が定着し、印刷画像が得られる。
113 下クラッド層(第2のクラッド層)
114 活性層
115 上クラッド層(第1のクラッド層)
121 アノード層
120a、120b ゲート層
140、141 ゲート層
134 アノード電極
135 ゲート電極
151 不純物拡散層(アノード領域)
510 溝
600 光プリントヘッド
601 基板
610 半導体発光装置アレイ
612 駆動素子群(駆動回路)
Claims (15)
- カソード電極と電気的に接続して設けられたカソード層と、
前記カソード層に接して設けられた第1のクラッド層と、
前記第1クラッド層の前記カソード層と接する面と反対側の面に接して設けられ、電子と正孔との再結合により発光する活性層と、
前記活性層の前記第1のクラッド層と接する面と反対側の面に接して設けられ、前記第1のクラッド層と導電型が異なる第2のクラッド層と、
前記第2のクラッド層に接して設けられ、かつゲート電極と電気的に接続して設けられたゲート層と、
前記ゲート層に接して設けられ、前記カソード層とは導電型が異なり、かつアノード電極と電気的に接続して設けられたアノード層とを備え、
前記第1のクラッド層及び前記第2のクラッド層は、前記活性層よりエネルギーバンドギャップが大きくなるべく形成され、
前記ゲート層は、該ゲート層の厚さが当該ゲート層に注入された少数キャリアの平均自由行程以下で形成され、
前記ゲート電極は、前記ゲート層と前記アノード層とが接する面の平行位置で、かつ前記カソード電極と前記アノード電極との間の位置に設けられることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記ゲート層は、前記アノード層と導電型が異なることを特徴する請求項1に記載の半導体発光装置。
- 前記第1のクラッド層は、前記ゲート層に接するように設けられ、且つ、前記ゲート層と導電型が異なることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光装置。
- 前記ゲート層は、前記活性層のエネルギーバンドギャップと略等しい半導体層を含む複数の半導体層から成ることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光装置。
- 前記ゲート層は、間接遷移型半導体層を含む複数の半導体層から成ることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光装置。
- 前記ゲート層は、前記アノード層と導電型が等しいことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。
- 前記第2のクラッド層は、前記ゲート層に接するように設けられ、且つ、当該ゲート層と導電型が異なることを特徴とする請求項6に記載の半導体発光装置。
- 前記ゲート層は、前記活性層のエネルギーバンドギャップと略等しい半導体層を含む複数の半導体層から成ることを特徴とする請求項6に記載の半導体発光装置。
- 前記ゲート層は、間接遷移型半導体層を含む複数の半導体層から成ることを特徴とする請求項6に記載の半導体発光装置。
- カソード電極と電気的に接続して設けられたカソード層と、
前記カソード層に接して設けられた第1のクラッド層と、
前記第1クラッド層の前記カソード層と接する面と反対側の面に接して設けられ、電子と正孔との再結合により発光する活性層と、
前記活性層の前記第1のクラッド層と接する面と反対側の面に接して設けられ、前記第1のクラッド層と導電型が異なる第2のクラッド層と、
前記第2のクラッド層に接して設けられ、かつゲート電極と電気的に接続して設けられたゲート層と、
前記ゲート層の前記第2のクラッド層と接する面と反対側の面から当該ゲート層の内部に向けて、当該ゲート層と導電型が異なる不純物が選択的に拡散され、かつアノード電極と電気的に接続して設けられたアノード領域とを備え、
前記第1のクラッド層及び前記第2のクラッド層は、前記活性層よりエネルギーバンドギャップが大きくなるべく形成され、
前記アノード領域及び前記ゲート層は、該アノード領域と該ゲート層との境界を示す拡散フロントと、該ゲート層の前記第2クラッド層と接する面との距離が当該ゲート層に注入された少数キャリアの平均自由行程以下で形成され、
前記ゲート電極は、前記ゲート層と前記アノード領域とが接する面の平行位置で、かつ前記カソード電極と前記アノード電極との間の位置に設けられることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記第1のクラッド層は、前記ゲート層の前記アノード領域が形成された面と反対側の面に接するように設けられ、且つ、前記ゲート層と導電型が異なることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光装置。
- 前記ゲート電極と前記アノード電極は、前記ゲート層の同一面側に配置されていることを特徴とする請求項11に記載の半導体発光装置。
- 前記ゲート層は、前記ゲート電極と前記アノード電極との間に設けられ、深さが前記アノード領域の深さ以上である溝を有し、
前記溝は、前記ゲート層に印加された電圧を前記アノード領域内において降下させるべく形成されることを特徴とする請求項12に記載の半導体発光装置。 - 請求項1から請求項13までの何れかに記載の半導体発光装置を複数配列させた半導体発光装置アレイと、
前記半導体発光装置アレイを駆動する駆動回路と、
前記半導体発光装置アレイと前記駆動回路を搭載するための基板とを備えることを特徴とする光プリントヘッド。 - 請求項14に記載の光プリントヘッドと、
前記光プリントヘッドの露光により画像を形成する画像形成部とを備えることを特徴とする画像形成装置。
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