JP4473144B2 - 基板支持用ブッシング - Google Patents
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Description
[0001]本発明の実施形態は、一般的に、基板支持ピンに関する。より具体的には、本発明の実施形態は、大型ガラスパネル用支持ピンに関する。
[0034] 。第1端部またはピンヘッド120Aは、基板を支持する為に基板に直接接触する。一態様において、第1端部120Aは、摩擦を減じる材料で被膜され、上部に配置される基板と化学的に不活性である。例えば、第1端部120Aは、支持ピン120と、上部で支持される基板との間の化学反応を減少または除去するために化学的に不活性な材料で被膜されてもよい。追加的または代替え的に、第1端部120Aは、基板との摩擦を最小にする材料で被覆され、破損または欠け傷を減じる。例示の被覆は、以下に限定されないが、例えば、窒化シリコン、窒化チタン、窒化タンタルのようなセラミック材料と窒化物を含む。追加的又は代替え的に、第1端部120Aは、機械加工されるか、研磨仕上げされるか、他の適切な仕上げが施され、摩擦を最小にする為、4マイクロインチ以下の表面粗さを生み出す。そのような被覆の、より詳細な説明は、米国特許第6,528,767号に記載されており、その内容は本願に参考として組み込まれる。
Claims (41)
- 処理チャンバにて用いる基板支持部材であって、
ハウジングを貫通して形成された長手方向のボアと、前記ハウジングを径方向に貫通して前記ハウジングの第1端部および第2端部に形成された複数の開口とを有する円筒形状の前記ハウジングと、
前記ボア内に少なくとも部分的に配置され、基板を支持するように適合された第1の直径をもつ第1端部と、第2の直径をもつ第2端部とを有し、前記第1の直径が前記第2の直径よりも大きい、支持ピンと、
前記ハウジングの周囲に配置され、前記支持ピンに接触して前記支持ピンの軸方向移動を容易にするように構成された複数のローラ要素であって、前記複数のローラ要素のそれぞれがセラミック材料で形成されると共に、前記各開口に少なくとも部分的に配置された、複数のローラ要素と、
を備える、前記基板支持部材。 - 前記ローラ要素の少なくとも一つは、輪郭が形成された外部表面を有する本体部と、前記本体部を貫通して形成された中央ボアと、少なくとも部分的に前記中央ボアを通して配置されたシャフトと、を備える請求項1記載の基板支持部材。
- 前記支持ピンは円形断面を有し、各ローラ要素は前記支持ピンの外径部に接触するための凹形外部表面を有する、請求項2記載の基板支持部材。
- 前記複数の開口が前記ハウジング内にその第1端部および第2端部にて形成され、前記ローラ要素のそれぞれは、輪郭が形成された外部表面を有する本体部と、前記本体部を貫通して形成された中央ボアと、少なくとも部分的に前記中央ボアを通して配置されたシャフトと、を備える、請求項1記載の基板支持部材。
- 処理チャンバにて基板を支持するための基板支持部材であって、
長手方向のボアと、径方向に貫通して形成された本質的に均等に配置された複数のウインドウとを有するハウジングと、
前記ボア内に少なくとも部分的に配置され、その内部で軸方向に移動可能であり、基板に接触する第1の直径をもつ第1端部と、第2の直径をもつ第2端部とを有し、前記第1の直径が前記第2の直径より大きい、支持ピンと、
前記ボア内に配置され、前記支持ピンに接触して前記支持ピンの軸方向移動を容易にするように構成された複数のローラ要素であって、前記ローラ要素の少なくとも1つがセラミック材料で形成されるローラを備え、当該ローラが、貫通して形成される中央ボアと、輪郭が形成された外部表面と、少なくとも部分的に前記中央ボアを通して配置されたシャフトとを有する、複数のローラ要素と、
を備える、前記基板支持部材。 - 前記ウインドウは前記ハウジング内にその第1端部および第2端部にて形成され、各ウインドウはその内部に少なくとも部分的に配置された前記ローラ要素の1つを有する、請求項5記載の基板支持部材。
- 真空チャンバにて基板を支持するための基板支持部材であって、
長手方向に貫通して形成されたボアを有し、前記真空チャンバ内の支持ペデスタル上に配置されるように適合されたブッシングと、
前記ボア内に少なくとも部分的に配置され、その内部で軸方向に移動可能であり、第1の直径をもつ第1端部と、第2の直径をもつ第2端部とを有し、前記第1の直径が前記第2の直径より大きい、支持ピンと、
前記ボア内に配置された複数のローラ要素であって、前記複数のローラ要素はセラミック材料で形成されると共に前記支持ピンに接触して前記支持ピンの軸方向移動を容易にするように適合され、前記ローラ要素の少なくとも1つはシャフトにより支持された本体部を備え、前記シャフトは前記ブッシング内に少なくとも部分的に配置されて前記ブッシングにより支持されている、複数のローラ要素と、
を備える、前記基板支持部材。 - 前記ブッシングは、第1端部にて貫通して形成された4つのウインドウおよび第2端部にて貫通して形成された4つのウインドウを備え、各ウインドウが、前記ボアに対して径方向に形成され、且つ、その内部に少なくとも部分的に配置された前記ローラ要素の1つを有する、請求項7記載の基板支持部材。
- 前記ブッシングは、前記第1端部の前記4つのウインドウに隣接して貫通形成された少なくとも4つのカットアウトと、前記第2端部の前記4つのウインドウに隣接して貫通形成された少なくとも4つのカットアウトと、をさらに備える、請求項8記載の基板支持部材。
- 各ローラ要素は貫通した中央ボアを有し、前記シャフトは前記中央ボア内に少なくとも部分的に配置されている、請求項9記載の基板支持部材。
- 前記シャフトは、少なくとも1つの面取りした端部と共に、円形断面を有する、請求項9記載の基板支持部材。
- 複数のローラ要素の1つが有するシャフトから面取りした少なくとも1つの端部の1つ、および複数のローラ要素の他の1つが有するシャフトから面取りした少なくとも1つの端部の1つは、隣接する1つのカットアウト内に少なくとも部分的に配置されて当該カットアウトにより支持されている、請求項11記載の基板支持部材。
- 前記支持ピンは円形断面を有する、請求項12記載の基板支持部材。
- 前記ローラ要素のそれぞれは、前記支持ピンの軸方向移動を最小抵抗で許容するように適合された輪郭を有する外部表面を有する、請求項13記載の基板支持部材。
- 真空チャンバにて基板を支持するための基板支持部材であって、
長手方向に貫通して形成されたボアを有し、前記真空チャンバ内の支持用ペデスタル上に配置されるように適合されたブッシングと、
前記ボア内に少なくとも部分的に配置され、前記ブッシングに対して移動可能であり、第1の直径をもつ第1端部と、第2の直径をもつ第2端部とを有し、前記第1の直径が前記第2の直径よりも大きい、支持ピンと、
前記ボア内に配置された複数のベアリング要素であって、当該複数のベアリング要素はセラミック材料で形成されると共に前記支持ピンに接触して当該支持ピンの軸方向移動を容易にするように適合され、前記ベアリング要素の少なくとも1つはシャフトにより支持されたローラを備え、前記シャフトは前記ブッシング内に少なくとも部分的に配置されて前記ブッシングにより支持されている、複数のベアリング要素と、
を備える、基板支持部材。 - 各ローラは凹形外部表面を含む、請求項15記載の基板支持部材。
- 各ローラは、前記シャフトを支承する中央ボアを含む、請求項15記載の基板支持部材。
- 処理チャンバであって、
支持用ペデスタルを内部に配置されたチャンバ本体と、
前記支持用ペデスタルの上部表面上に各々が配置された2以上の基板支持部材と、を備え、
前記基板支持部材が、
長手方向に貫通して形成されたボアを有し、前記支持用ペデスタル内に配置されたハウジングと、
前記ボア内に少なくとも部分的に配置され、基板に接触する第1の直径をもつ第1端部および前記処理チャンバの下部表面に接触する第2の直径をもつ第2端部を有し、前記第1の直径が前記第2の直径よりも大きい、支持ピンと、
前記ボア内に配置された複数のセラミックベアリング要素であって、前記支持ピンに接触して前記支持ピンの軸方向移動を容易にするように構成され、前記支持ピンを前記支持用ペデスタル内に配置された前記ハウジングに対して移動させる、複数のセラミックベアリング要素と、
を備える、前記処理チャンバ。 - 前記ハウジングは、貫通して形成された少なくとも一つ又はそれ以上のウインドウであって、各ウインドウが少なくとも一部が内部に形成されたベアリング要素の一つを有する、請求項18記載の処理チャンバ。
- 前記ハウジングは、第1端部で貫通して形成された一つ又はそれ以上のウインドウと、第2端部で貫通して形成された一つ又はそれ以上のウインドウとを備え、各ウインドウは、内部に少なくとも部分的に配置されたベアリング要素の一つを有する、請求項18記載の処理チャンバ。
- 前記複数のベアリング要素のそれぞれは、前記支持ピンに接触する為に外部表面を有するローラを備える、請求項18記載の処理チャンバ。
- 前記支持ピンは円形断面を有し、各ローラの外部表面は前記支持ピンの外径部に適合するための凹形を有する、請求項21記載の処理チャンバ。
- 前記ハウジングは、第1端部で貫通して形成された一つ又はそれ以上のウインドウと、第2端部で貫通して形成された一つ又はそれ以上のウインドウとを備え、各ウインドウは、内部に少なくとも部分的に配置されたベアリング要素の一つを有し、前記ベアリング要素は、貫通して中央ボアが形成されたローラと、輪郭が形成された外部表面と、前記中央ボアを通り少なくとも部分的に配置されたシャフトとを有するローラを備える、請求項18記載の処理チャンバ。
- 前記ハウジングの周囲に配置された中空スリーブを更に備える、請求項18記載の処理チャンバ。
- 前記中空スリーブは、前記ハウジングに前記ベアリング要素を固定するように適合されている、請求項24記載の処理チャンバ。
- 前記ハウジングの第1端部に配置されたソケットを更に備え、前記ソケットは、前記中空スリーブの第1端部に接するように適合されている、請求項25記載の処理チャンバ。
- 基板支持部材であって、
貫通して形成されたボアを有し、支持用ペデスタル内に配置されるように適合されたハウジングと、
前記ボア内に少なくとも部分的に配置されて前記ボアにより軸方向に支持され、基板に接触する第1の直径をもつ第1端部および処理チャンバの下部表面に接触する第2の直径をもつ第2端部を有し、前記第1の直径が前記第2の直径よりも大きい、支持ピンと、
前記ボア内に配置された複数のベアリング要素であって、前記支持ピンを前記支持用ペデスタル内に配置された前記ハウジングに対して移動させ、前記複数のベアリング要素のそれぞれがセラミック材料で形成される、複数のベアリング要素と、
を備える、前記基板支持部材。 - 処理チャンバにて支持ペデスタル上の基板を支持するための基板支持部材であって、
第1の直径および第2の直径を有し、第2の直径が第1の直径よりも大きい、支持ピンと、
貫通して形成されると共に前記支持ピンを前記第1の直径に沿って支承する大きさとされた中央ボアを有し、前記処理チャンバ内で前記支持用ペデスタル上に配置されるように適合された円筒形状のブッシングと、
前記ボア内に配置され、セラミック材料で形成される複数のベアリング要素と、
を備える前記基板支持部材。 - 前記第1端部と前記第2端部は、離間されている、請求項28記載の基板支持部材。
- 各ベアリング要素は前記ブッシング内でシャフトにより支持され、前記シャフトは、円錐端部を形成するように面取りされた少なくとも1つの端部を有する、請求項28記載の基板支持部材。
- 前記ブッシングは、第1端部で一以上のウインドウに隣接し貫通して形成された一以上のカットアウトと、第2端部で一以上のウインドウに隣接し貫通して形成された一以上のカットアウトと、を備える、請求項30記載の基板支持部材。
- 前記複数のベアリング要素の1つが有するシャフトからの前記円錐端部の一つの少なくとも一部と、前記複数のベアリング要素のうちの他の1つが有するシャフトからの前記円錐端部の一つの少なくとも一部が、隣接する1つのカットアウト内に配置されて当該カットアウトにより支持されている、請求項31記載の基板支持部材。
- 第1セットの前記複数のベアリング要素は、前記ブッシング内に配置され、前記ブッシングに対する前記支持ピンの軸方向移動を容易にし、第2セットの前記複数のベアリング要素は、前記第1セットと離間された関係で前記ブッシング内に配置され、前記ブッシングに対する前記支持ピンの軸方向移動を容易にする、請求項28記載の基板支持部材。
- 各ベアリング要素の外部表面は、前記支持ピンの外部表面と機械的に連通している、請求項28記載の基板支持部材。
- 前記支持ピンの外部表面は、円形断面を有する円筒形状を備える、請求項28記載の基板支持部材。
- 各ベアリング要素は前記ブッシング内でシャフトにより支持され、前記シャフトは円形断面を有する、請求項28記載の基板支持部材。
- 前記ボアは、円形断面を有する、請求項28記載の基板支持部材。
- 処理チャンバにて用いる基板支持部材であって、
貫通して形成されたボアを有し、前記処理チャンバ内の支持用ペデスタル内に配置されるように適合された円筒形状のハウジングと、
前記ボア内に少なくとも部分的に配置されて前記ボアにより軸方向に支持され、基板に接触する第1端部および処理チャンバの下部表面に接触する第2端部を有する支持ピンと、
前記ボア内にて前記円筒形状のハウジングの第1端部および第2端部に配置され、前記支持ピンに接触する凹形外部表面を有する本体部をそれぞれ備えた複数のセラミックベアリング要素と、
を備え、
前記支持ピンは、前記支持用ペデスタル内に配置されたハウジングに対して移動し、前記支持ピンは、第1の直径および第2の直径を含み、第1の直径は第2の直径より大きい、基板支持部材。 - 前記ハウジングは第1端部および第2端部を有し、前記ハウジングの前記第1端部及び第2端部は離間されている、請求項38記載の基板支持部材。
- 前記複数のベアリング要素を支持する為に複数のシャフトを更に備え、各シャフトは円形断面を有する、請求項38記載の基板支持部材。
- 前記ハウジングは第1端部および第2端部を有し、前記ハウジングは前記第1端部で少なくとも一つ又はそれ以上のウインドウ、前記第2端部で少なくとも一つ又はそれ以上のウインドウを更に備え、各ベアリング要素は前記支持ピンに接触する外部表面を有する本体部を備え、前記複数のベアリング要素の各々の本体部の少なくとも一部は、各ウインドウ内で少なくとも一部が配置されている、請求項38記載の基板支持部材。
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