KR102427077B1 - 지지구조체 - Google Patents

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Abstract

지지구조체의 일 실시예는, 기판지지핀이 삽입되는 중공이 길이방향으로 형성되는 핀삽입부재; 상기 핀삽입부재의 상부 및 하부에 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀의 상기 핀삽입부재의 길이방향 이동을 지지하는 지지부재; 및 상기 핀삽입부재 외주면에 결합하며, 복수의 상기 지지부재를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 가압하고, 복수의 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재에 결합하는 결합부재를 포함할 수 있다.

Description

지지구조체{Supporting structure}
실시예는, 기판지지핀이 기판안착부에 대하여 원활하게 이동하도록 하고, 기판지지핀의 이동시 기판지지핀에 발생하는 마찰력을 줄일 수 있고, 열변형에 용이하게 대응하는 지지구조체에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
기판의 식각, 증착이 진행되는 챔버 내부에는 가공대상이 기판이 안착되는 기판안착부가 구비될 수 있다.
기판지지핀은 상기 챔버 내에서 기판안착부와 로봇암 사이에서 기판이 이송될 수 있도록, 기판안착부에 안착된 기판을 상승시키거나, 로봇암에 의해 전달되는 기판을 지지하고 기판안착부에 대해 상하이동하여 상기 기판을 기판안착부에 안착시키는 장치이다.
기판지지핀은 기판안착부에 형성되는 통공에 삽입되어 기판안착부에 대하여 상하이동하도록 구비될 수 있다. 따라서, 기판지지핀은 상기 통공의 내벽과 마찰이 발생할 수 있다.
이러한 기판지지핀과 통공 내벽 사이의 마찰은 기판지지핀의 마모, 파손의 원인이 되고, 기판지지핀의 마모, 파손으로 인해 기판지지핀이 지지하는 기판의 파손, 제품불량의 원인이 될 수 있다.
따라서, 실시예는, 기판지지핀이 기판안착부에 대하여 원활하게 이동하도록 하고, 기판지지핀의 이동시 기판지지핀에 발생하는 마찰력을 줄일 수 있고, 열변형에 용이하게 대응하는 지지구조체에 관한 것이다.
실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 실시예가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
지지구조체의 일 실시예는, 기판지지핀이 삽입되는 중공이 길이방향으로 형성되는 핀삽입부재; 상기 핀삽입부재의 상부 및 하부에 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀의 상기 핀삽입부재의 길이방향 이동을 지지하는 지지부재; 및 상기 핀삽입부재 외주면에 결합하며, 복수의 상기 지지부재를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 가압하고, 복수의 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재에 결합하는 결합부재를 포함할 수 있다.
상기 결합부재는, 링형상으로 형성되고, 상기 핀삽입부재에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합하는 것일 수 있다.
상기 결합부재는, 알루미늄 재질로 형성되는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 핀삽입부재의 길이방향으로 복수로 구비되는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 핀삽입부재의 상단 및 하단에 각각 배치되는 것일 수 있다.
상기 핀삽입부재는, 몸체; 및 상기 몸체의 상단 및 하단에 상기 핀삽입부재의 길이방향으로 연장형성되고, 외주의 직경이 상기 몸체의 외주직경보다 작은 결합홈부를 포함하고, 상기 결합부재는 상기 결합홈부에 결합하는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 결합홈부에 상기 핀삽입부재의 원주방향으로 4개가 방사상으로 배치되는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 핀삽입부재의 길이방향으로 2열로 배치되는 것일 수 있다.
상기 결합홈부에는 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 형성되고, 상기 중공과 연통되는 관통홀이 구비되며, 상기 지지부재는 상기 관통홀에 배치되는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 일측이 개방되는 수용홈이 형성되는 수용부; 상기 수용홈에 수용되고, 일부가 외부로 노출되어 상기 기판지지핀과 롤링접촉하는 제1볼(ball); 및 복수로 구비되고, 상기 수용홈에 수용되며, 상기 수용홈의 내벽 및 상기 제1볼과 롤링접촉하는 제2볼을 포함하는 것일 수 있다.
상기 수용부는 상기 결합부재와 대향하는 부위에 돌출형성되는 훅(hook)을 포함하고, 상기 결합부재는 상기 훅과 대향하는 부위에 상기 훅에 대응하는 형상으로 형성되는 함몰홈을 포함하는 것일 수 있다.
상기 훅은, 상단이 경사면으로 형성되고 하단이 단차면으로 형성되는 것일 수 있다.
실시예에서는 열변형이 발생하더라도 지지부재에 대한 가압력을 양호하게 가지는 링형상의 결합부재를 사용하여 지지부재를 핀삽입부재에 결합함으로써, 지지부재, 핀삽입부재 또는 지지구조체 전체가 변형 또는 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
실시예에서, 결합부재는 챔버 내부가 고온이든 저온이든 온도분위기에 상관없이 양호한 탄성력을 가지므로, 온도변화에 관계없이 지지부재가 핀삽입부재에 안정적으로 결합한 상태를 유지할 수 있다.
실시예에서, 볼트 등의 결합기구를 사용하여 지지부재를 핀삽입부재에 고정하지 않고, 링형상의 결합부재를 사용하여 지지부재를 가압하여 핀삽입부재에 결합함으로써, 결합기구의 열변형에 의한 지지구조체의 변형 또는 파손을 방지하고, 효과적으로 지지부재를 핀삽입부재에 결합시킬 수 있다.
실시예에서, 상기 훅에 형성된 상기 단차면에 의해 결합부재는 핀삽입부재에 안정적으로 결합하고, 따라서, 지지부재도 결합부재에 의해 가압되어 핀삽입부재에 안정적으로 결합할 수 있다.
도 1은 일 실시예의 지지구조체를 나타낸 단면도이다.
도 2는 일 실시예의 지지구조체를 나타낸 평면도이다.
도 3은 일 실시예의 지지부재를 나타낸 단면도이다.
도 4는 일 실시예의 지지구조체를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 2의 A부분을 확대한 도면이다.
도 6은 도 5에서 BB 방향으로 바라본 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 실시예를 상세히 설명한다. 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 실시예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 실시예의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
"제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 또한, 실시예의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이고, 실시예의 범위를 한정하는 것이 아니다.
실시예의 설명에 있어서, 각 element의 "상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)”로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.
또한, 이하에서 이용되는 "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서 이용될 수도 있다.
도 1은 일 실시예의 지지구조체를 나타낸 단면도이다. 실시예의 지지구조체는 핀삽입부재(100), 지지부재(200) 및 결합부재(300)를 포함할 수 있다.
핀삽입부재(100)는 중공(110)이 길이방향으로 형성될 수 있다. 상기 중공(110)에는 기판지지핀(10)이 삽입되고, 상기 기판지지핀(10)은 핀삽입부재(100)에 대하여 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 왕복이동할 수 있다.
상기 핀삽입부재(100)는 기판의 증착, 식각 가공이 진행되는 챔버의 하부에 배치되는 기판안착부(미도시)에 형성되는 통공에 삽입 및 고정될 수 있다.
상기 핀삽입부재(100)는 챔버 내부에서 반응가스 또는 세정가스 또는 세정액 등에 노출되어 부식될 수 있고, 따라서 내부식성 재질로 구비되는 것이 적절하다. 따라서, 상기 핀삽입부재(100)는 예를 들어, 알루미늄 또는 스테인리스스틸(SUS) 또는 세라믹 또는 내부식성 고분자 폴리머(Polymer) 재질 중에서 어느 하나 또는 둘 이상의 복합 재질 등으로 형성될 수 있다.
상기 기판지지핀(10)은 상단(11)에 기판(미도시)이 안착될 수 있으며, 가공대상인 기판이 챔버 내부로 인입되어 기판안착부에 안착하는 경우 또는 가공이 완료된 기판이 챔버 외부로 인출되는 경우 등에서, 기판안착부 및 핀삽입부재(100)에 대하여 이동하여 기판을 이동시킬 수 있다.
기판지지핀(10)의 상기 핀삽입부재(100)에 대한 원활한 이동을 위해, 상기 기판지지핀(10)의 직경은, 기판지지핀(10)의 상단(11)을 제외하고, 상기 핀삽입부재(100)에 형성되는 중공(110)의 직경보다 작게 구비될 수 있다.
상기 기판안착부에는 복수의 통공이 형성되고 상기 통공에 핀삽입부재(100) 및 기판지지핀(10)이 배치되어 상기 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.
지지부재(200)는 상기 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀(10)과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀(10)의 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향 이동을 지지할 수 있다.
복수의 상기 지지부재(200)는 각각 상기 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 일정한 간격으로 배치되어, 상기 핀삽입부재(100)의 중심을 기준으로 방사상으로 배치될 수 있다.
복수의 상기 지지부재(200)가 방사상으로 배치됨으로 인해, 상기 기판지지핀(10)은 각각의 지지부재(200)와 고르게 접촉하여 상기 핀삽입부재(100)의 중공(110)에서 원활하게 이동할 수 있다.
도 2를 참조하면, 실시예에서 상기 지지부재(200)는 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 예를 들어, 4개가 구비될 수 있다. 지지부재(200)와 핀삽입부재(100)의 크기, 지지구조체 제작의 용이성, 기판지지핀(10)의 지지부재(200) 사이에 끼임방지 등을 고려하면 4개로 구비되는 것이 적절할 수 있다.
상기 지지부재(200)는 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 복수로 구비될 수 있다. 복수의 상기 지지부재(200)는, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 핀삽입부재(100)의 상부와 하부에 각각 구비될 수 있다.
상기 지지부재(200)는, 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 핀삽입부재(100)의 상단 및 하단에 각각 배치될 수 있다. 이때, 상기 핀삽입부재(100)가 배치되는 위치와 대응되는 위치에 결합부재(300)가 배치되어 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 결합할 수 있다.
결합부재(300)는 복수의 상기 지지부재(200)를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재(200)를 가압하고, 복수의 상기 지지부재(200)를 상기 핀삽입부재(100)에 결합할 수 있다. 도 2를 참조하면, 상기 결합부재(300)는 링형상으로 형성될 수 있다.
상기 결합부재(300)는 가열과 냉각의 반복으로 인해 팽창 및 수축을 반복하더라도, 소성변형이 발생하지 않고 양호한 탄성력을 유지함으로써, 상기 지지부재(200)를 안정적으로 가압하여 상기 지지부재(200)와 상기 핀삽입부재(100) 사이의 결합을 유지할 수 있다.
한편, 상기 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100)에 용이하게 결합될 수 있도록, 상기 핀삽입부재(100)에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합할 수 있다.
상기 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100) 외주면에 결합하고, 상기 지지부재(200)를 상기 핀삽입부재(100)의 직경방향으로 가압하도록 구비될 수 있다.
일반적으로, 볼트 등의 결합기구를 사용하여 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 고정할 수 있다. 그러나, 결합기구로 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 고정하는 경우, 챔버 내부의 가열에 의한 열변형에 취약할 수 있다.
즉, 챔버 내부가 가열되어 고온이 되는 경우, 결합기구는 가열에 의해 팽창하고, 결합기구의 팽창으로 인해 지지부재(200), 핀삽입부재(100) 또는 지지구조체 전체가 변형 또는 파손될 수 있다.
따라서, 실시예에서는 열변형이 발생하더라도 지지부재(200)에 대한 가압력을 양호하게 가지는 링형상의 결합부재(300)를 사용하여 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 결합함으로써, 지지부재(200), 핀삽입부재(100) 또는 지지구조체 전체가 변형 또는 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 핀삽입부재(100)는 몸체(140) 및 결합홈부(130)를 포함할 수 있다. 몸체(140)는 상기 결합홈부(130)보다 외주의 직경이 크게 형성될 수 있다.
결합홈부(130)는 상기 몸체(140)의 상단 및 하단에 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 연장형성되고, 외주의 직경이 상기 몸체(140)의 외주직경보다 작게 형성될 수 있다. 이때, 결합부재(300)는 상기 결합홈부(130)에 결합할 수 있다.
따라서, 상기 몸체(140)와 상기 결합홈부(130) 사이에는 단차가 형성될 수 있다. 상기 단차는 결합부재(300)에 대한 스토퍼(stopper)의 역할을 할 수 있다.
즉, 상기 단차는 결합부재(300)가 결합홈부(130)에 결합하는 경우, 결합부재(300)의 일면이 상기 단차에 접촉하면 더이상 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 이동하지 않고 결합홈부에 안정적으로 장착될 수 있다.
물론, 상기 결합홈부(130)에는 복수의 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 방사상으로 배치되고, 결합부재(300)는 복수의 지지부재(200)를 가압하여 핀삽입부재(100)에 결합할 수 있다.
도 2는 일 실시예의 지지구조체를 나타낸 평면도이다. 도 2는 상기 결합홈부(130)의 단면을 도시한 평면도이다. 결합부재(300)는 링형상으로 형성되고, 상기 결합홈부(130)에 결합할 수 있다.
결합부재(300)는 방사상으로 배치되는 복수의 지지부재(200)를 가압하여 상기 복수의 지지부재(200)가 상기 핀삽입부재(100)에 결합한 상태를 유지할 수 있다.
한편, 상기 결합부재(300)는 가열에 의해 팽창, 수축을 반복하더라도 양호한 탄성력을 유지하고, 소성변형이 발생하지 않는 재질 예를 들어, 알루미늄 재질로 형성되는 것이 적절하다.
만약, 상기 결합부의 직경방향 폭이 과도하게 작은 경우, 핀삽입부재(100)의 결합홈부(130)에 결합시 및 열팽창시 소성변형이 발생할 수 있다.
한편, 상기 결합부의 직경방향 폭이 과도하게 큰 경우, 핀삽입부재(100)에 결합이 어려울 수 있고, 핀삽입부재(100)에 결합시 결합홈부(130) 및 지지부재(200)의 변형 또는 파손을 유발할 수 있다.
또한, 상기 결합부재(300)는 결합홈부(130)에 결합시 및 열팽창시 소성변형이 일어나지 않고, 핀삽입부재(100) 및 지지부재(200)의 변형 또는 파손을 억제하도록 적절한 직경방향 폭으로 구비될 수 있다.
실시예에서, 상기 결합홈부(130)에는 상기 핀삽입부재(100)의 직경방향으로 형성되고, 상기 중공(110)과 연통되는 관통홀(120)이 구비되며, 상기 지지부재(200)는 상기 관통홀(120)에 배치될 수 있다.
이때, 상기 관통홀(120)은 상기 지지부재(200)와 접촉하는 부위가 상기 지지부재(200)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되어, 상기 관통홀(120)에 배치된 지지부재(200)의 흔들림을 현저히 줄일 수 있다.
챔버 내부가 상온 또는 이와 유사한 저온에서 가열되어 고온이 되는 경우, 핀삽입부재(100), 지지부재(200) 및 결합부재(300)가 함께 열팽창할 수 있다.
이때, 상기 결합부재(300)는 고온에서도 양호한 탄성력을 가지므로, 상기 지지부재(200)를 가압하여 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합한 상태를 유지할 수 있다.
챔버 내부가 냉각되어 고온에서 상온 또는 이와 유사한 저온이 되는 경우, 핀삽입부재(100), 지지부재(200) 및 결합부재(300)가 함께 수축할 수 있다.
이때, 상기 결합부재(300)는 저온의 분위기에서 수축한 경우에도 양호한 탄성력을 가지므로, 상기 지지부재(200)를 가압하여 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합한 상태를 유지할 수 있다.
실시예에서, 결합부재(300)는 챔버 내부가 고온이든 저온이든 온도분위기에 상관없이 양호한 탄성력을 가지므로, 온도변화에 관계없이 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합한 상태를 유지할 수 있다.
도 3은 일 실시예의 지지부재(200)를 나타낸 단면도이다. 실시예의 지지부재(200)는 수용부(210), 제1볼(220) 및 제2볼(230)을 포함할 수 있다.
수용부(210)는 일측이 개방되는 수용홈(211)이 형성될 수 있다. 수용부(210)의 후면부위 즉, 상기 수용홈(211)의 개방부위가 형성되지 않는 부위를 결합부재(300)가 가압하여, 상기 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 형성되는 관통홀(120)에 안정적으로 배치할 수 있다.
상기 수용홈(211)에는 제1볼(220) 및 제2볼(230)이 수용될 수 있고, 상기 수용홈(211)의 개방부위에는 상기 제1볼(220)의 일부가 외부로 노출되며 이러한 제1볼(220) 노출부위는 기판지지핀(10)과 접촉할 수 있다.
이러한 구조로 인해, 제1볼(220)은 상기 수용홈(211)에 수용되고, 일부가 외부로 노출되어 상기 기판지지핀(10)과 롤링접촉할 수 있다.
제1볼(220)은 상기 기판지지핀(10)이 핀삽입부재(100)에 대하여 이동하는 경우 롤링함으로써, 기판지지핀(10)과 지지부재(200) 사이의 마찰력을 현저히 줄여 기판지지핀(10)이 원활이 이동할 수 있도록 하고, 기판지지핀(10)의 마모를 줄일 수 있다.
한편, 상기 제1볼(220)은 고온분위기의 챔버에서 부식될 수 있으므로, 내식성이 강한 재질로 형성되는 것이 적절하고, 기판지지핀(10) 및 제2볼(230)과 마찰에 의해 마모될 수 있으므로 내마모성이 강한 재질로 형성되는 것이 적절하다. 따라서, 상기 제1볼(220)은 Al2O3재질 또는 Al2O3가 표면에 코팅된 구조로 형성할 수 있다.
제2볼(230)은 복수로 구비되고, 상기 수용홈(211)에 수용되며, 상기 수용홈(211)의 내벽 및 상기 제1볼(220)과 롤링접촉할 수 있다. 한편, 상기 제2볼(230)은 상기 제1볼(220)과 다른 재질로 형성될 수 있다.
제1볼(220)과 제2볼(230)은 구형으로 구비되고, 수용홈(211)의 내벽은 일부가 개방된 구형으로 구비될 수 있다. 제2볼(230)은 제1볼(220)과 수용홈(211)의 내벽 사이에 복수로 채워질 수 있다.
상기 제1볼(220)이 롤링하는 경우, 이에 따라 상기 제2볼(230)은 상기 제1볼(220) 및 상기 수용홈(211)에 대하여 롤링함으로써, 상기 제1볼(220)의 롤링시 상기 제1볼(220)의 표면에 발생하는 마찰력을 현저히 줄여 제1볼(220)이 원활하게 롤링되도록 할 수 있다.
도 4는 일 실시예의 지지구조체를 설명하기 위한 도면이다. 상기한 바와 같이, 상기 지지부재(200)는, 상기 결합홈부(130)에 상기 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 4개가 방사상으로 배치될 수 있다.
또한, 상기 지지부재(200)는 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 2열로 배치될 수 있다. 이때, 각 열은 각각 지지부재(200)의 상단 및 하단에 형성되는 결합홈부(130)에 배치될 수 있다.
상기 지지부재(200)에 대응하는 위치에 결합부재(300)가 배치되고, 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)에 결합이 용이하게 배치될 필요가 있다.
따라서, 이러한 이유로 결합부재(300)의 결합이 용이한 핀삽입부재(100)의 상단 및 하단에 각각 결합홈부(130)를 형성하고 상기 결합홈부(130)에 지지부재(200) 및 결합부재(300)가 배치될 수 있다.
또한, 이러한 이유로 상기 지지부재(200) 및 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 상단 및 하단에 각각 총 2열로 배치되는 것이 적절하다.
한편, 링형상으로 구비되는 상기 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100)의 결합홈부(130)에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합할 수 있다.
결합부재(300)는 결합홈부(130)에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합하고, 별도의 결합기구없이 결합하므로, 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)에 결합이 용이하다.
마찬가지로, 지지부재(200)는, 결합부재(300) 이외에 별도의 결합기구없이, 지지부재(200)에 의해 가압되어 핀삽입부재(100)에 결합하므로 핀삽입부재(100)에 결합이 용이하다.
실시예에서, 볼트 등의 결합기구를 사용하여 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 고정하지 않고, 링형상의 결합부재(300)를 사용하여 지지부재(200)를 가압하여 핀삽입부재(100)에 결합함으로써, 결합기구의 열변형에 의한 지지구조체의 변형 또는 파손을 방지하고, 효과적으로 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 결합시킬 수 있다.
도 5는 도 2의 A부분을 확대한 도면이다. 도 5에 도시된 내용은 추가적인 실시예이므로, 도 2에는 도 5에 도시된 훅(212)및 함몰홈(312)을 도시하지 않았다. 도 6은 도 5에서 BB 방향으로 바라본 도면이다.
실시예에서, 수용부(210)에 훅(212)(hook)이 형성되고, 결합부재(300)에 함몰홈(312)이 형성될 수 있다.
즉, 수용부(210)는 상기 결합부재(300)와 대향하는 부위에 돌출형성되는 훅(212)(hook)을 포함하고, 결합부재(300)는 상기 훅(212)과 대향하는 부위에 상기 훅(212)에 대응하는 형상으로 형성되는 함몰홈(312)을 포함할 수 있다.
상기 훅(212)은, 예를 들어, 수용부(210)가 상기 결합부재(300)와 대향하는 부위의 모서리 양측에 각각 형성될 수 있다. 실시예에서, 지지부재(200)가 총 4개로 구비되므로, 상기 훅(212)은 총 8개로 구비될 수 있다.
다른 실시예로, 상기 훅(212)은 상기 수용부(210)가 상기 결합부재(300)와 대향하는 부위의 중앙에 형성될 수 있다. 이때에는, 훅(212)이 수용부(210)의 중앙에 1개가 구비되고 지지부재(200)가 총 4개로 구비되므로, 상기 훅(212)은 총 4개로 구비될 수 있다.
물론, 이때에는 상기 함몰홈(312)은 상기 수용부(210)의 중앙에 형성되는 훅(212)에 대응하는 위치에 대응하는 개수로 구비될 수 있다.
결합부재(300)는 핀삽입부재(100)의 결합홈부에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤으로 결합하지만, 핀삽입부재(100)로부터 이탈할 수 있다.
즉, 결합부재(300)는 챔버의 온도상승 및 하강에 따라 열팽창 및 수축을 반복할 수 있고, 챔버에 구비되는 각종 장치가 작동함에 따라 지속적인 진동이 발생할 수 있다.
이러한 열팽창 및 수축, 진동으로 인해, 상기 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100)로부터 이탈할 수 있으므로, 상기 결합부재(300)가 상기 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합된 상태를 유지할 필요가 있다.
따라서, 상기 결합부재(300)에 형성되는 훅(212)은 상기 함몰홈(312)에 장착되어, 상기 결합부재(300)가 핀삽입부재(100)로부터 이탈하는 것을 억제할 수 있다.
즉, 결합부재(300)는 수용부(210)를 가압하여 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)에 결합된 상태를 유지하도록 하고 핀삽입부재(100)로부터 이탈을 억제할 수 있다.
한편, 지지부재(200)는 수용부(210)에 형성되는 훅(212)이 결합부재(300)에 형성되는 함몰홈(312)에 장착되어, 결합부재(300)가 핀삽입부재(100)에 결합된 상태를 유지하도록 하고 핀삽입부재(100)로부터 이탈을 억제할 수 있다.
이러한 구조로 인해 결합부재(300)와 지지부재(200)는 서로를 구속함으로써, 결합부재(300)와 지지부재(200)는 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합한 상태를 유지하고 핀삽입부재(100)로부터 이탈되지 않을 수 있다.
도 6을 참조하면, 상기 훅(212)은 상단이 경사면(212a)으로 형성되고 하단이 단차면(212b)으로 형성될 수 있다. 상기 함몰홈(312)은 상기 훅(212)에 대응되도록, 상부에 경사가 형성되고, 하부에는 단차가 형성될 수 있다.
결합부재(300)가 핀삽입부재(100)의 결합홈부에 장착되는 경우, 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)의 길이방향을 따라 상측에서 하측 즉, 도 6에서 상측에서 하측으로 이동하여 장착될 수 있다.
이때, 결합부재(300)가 상측에서 하측으로 이동하는 경우, 결합부재(300)는 훅(212)의 경사면(212a)을 따라 슬라이딩하면서 이동하여, 상기 훅(212)이 함몰홈(312)에 장착이 완료됨으로써 결합부재(300)의 장착이 완료될 수 있다.
결합부재(300)가 핀삽입부재(100)에 장착이 완료되면 결합부재(300)는 훅(212)의 단차면(212b)에 의해 구속되어 핀삽입부재(100)의 길이방향을 따라 하측에서 상측으로 이동이 억제되고, 따라서 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)로부터 이탈이 억제될 수 있다.
상기한 구조로 인해, 실시예에서, 상기 훅(212)에 형성된 상기 단차면(212b)에 의해 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합하고, 따라서, 지지부재(200)도 결합부재(300)에 의해 가압되어 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합할 수 있다.
실시예와 관련하여 전술한 바와 같이 몇 가지만을 기술하였지만, 이외에도 다양한 형태의 실시가 가능하다. 앞서 설명한 실시예들의 기술적 내용들은 서로 양립할 수 없는 기술이 아닌 이상은 다양한 형태로 조합될 수 있으며, 이를 통해 새로운 실시형태로 구현될 수도 있다.
100: 핀삽입부재
110: 중공
120: 관통홀
130: 결합홈부
200: 지지부재
210: 수용부
211: 수용홈
220: 제1볼
230: 제2볼
300: 결합부재

Claims (12)

  1. 기판지지핀이 삽입되는 중공이 길이방향으로 형성되는 핀삽입부재;
    상기 핀삽입부재의 상부 및 하부에 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀의 상기 핀삽입부재의 길이방향 이동을 지지하는 지지부재; 및
    상기 핀삽입부재 외주면에 결합하며, 복수의 상기 지지부재를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 가압하고, 복수의 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재에 결합하는 결합부재를 포함하고,
    상기 결합부재는 링형상으로 형성되고, 상기 핀삽입부재에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합하고,
    상기 지지부재는,
    일측이 개방되는 수용홈이 형성되는 수용부;
    상기 수용홈에 수용되고, 일부가 외부로 노출되어 상기 기판지지핀과 롤링접촉하는 제1볼(ball); 및
    복수로 구비되고, 상기 수용홈에 수용되며, 상기 수용홈의 내벽 및 상기 제1볼과 롤링접촉하는 제2볼을 포함하고,
    상기 수용부는 상기 결합부재와 대향하는 부위의 모서리 양측에 돌출형성되는 훅(hook)을 포함하고,
    상기 결합부재는 상기 훅과 대향하는 부위에 상기 훅에 대응하는 형상으로 형성되는 함몰홈을 포함하는 지지구조체.
  2. 삭제
  3. ◈청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제1항에 있어서,
    상기 결합부재는,
    알루미늄 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 핀삽입부재의 길이방향으로 복수로 구비되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 핀삽입부재의 상단 및 하단에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 핀삽입부재는,
    몸체; 및
    상기 몸체의 상단 및 하단에 상기 핀삽입부재의 길이방향으로 연장형성되고, 외주의 직경이 상기 몸체의 외주직경보다 작은 결합홈부
    를 포함하고,
    상기 결합부재는 상기 결합홈부에 결합하는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 결합홈부에 상기 핀삽입부재의 원주방향으로 4개가 방사상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 핀삽입부재의 길이방향으로 2열로 배치되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 결합홈부에는 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 형성되고, 상기 중공과 연통되는 관통홀이 구비되며,
    상기 지지부재는 상기 관통홀에 배치되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제1항에 있어서,
    상기 훅은,
    상단이 경사면으로 형성되고 하단이 단차면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
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