WO2019045537A1 - 지지구조체 - Google Patents

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WO2019045537A1
WO2019045537A1 PCT/KR2018/010196 KR2018010196W WO2019045537A1 WO 2019045537 A1 WO2019045537 A1 WO 2019045537A1 KR 2018010196 W KR2018010196 W KR 2018010196W WO 2019045537 A1 WO2019045537 A1 WO 2019045537A1
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WO
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pin insertion
insertion member
support
pin
substrate
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PCT/KR2018/010196
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French (fr)
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우람
김기범
김희정
배종태
이길제
하윤규
Original Assignee
주성엔지니어링(주)
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Definitions

  • Embodiments relate to a support structure that allows a substrate support pin to move smoothly with respect to a substrate seating portion, reduces a frictional force generated on a substrate support pin when moving a substrate support pin, and easily responds to thermal deformation.
  • a substrate mounting part on which a substrate is mounted may be provided in a chamber in which etching and deposition of the substrate proceeds.
  • the substrate support pin may be configured to raise the substrate seated in the substrate seating portion so that the substrate can be transferred between the substrate seating portion and the robot arm in the chamber, to support the substrate transferred by the robot arm, And moves the substrate up and down to seat the substrate on the substrate mount.
  • the substrate support pin may be inserted into a through hole formed in the substrate seating portion and move up and down with respect to the substrate seating portion. Therefore, the substrate support pin may cause friction with the inner wall of the through hole.
  • Such friction between the substrate support pin and the through-hole inner wall causes abrasion or breakage of the substrate support pin, and may cause damage to the substrate supported by the substrate support pin due to abrasion or breakage of the substrate support pin or product failure .
  • the embodiment relates to a support structure that allows the substrate support pin to move smoothly with respect to the substrate seating portion, reduces frictional force generated in the substrate support pin when the substrate support pin is moved, and readily accommodates thermal deformation .
  • the support structure includes a pin insertion member in which a hollow into which the substrate support pin is inserted is formed in the longitudinal direction; A support member provided in a plurality of circumferential directions at upper and lower portions of the pin insertion member and supporting the longitudinal movement of the pin insertion member of the substrate support pin in rolling contact with the substrate support pin; And a coupling member coupled to an outer circumferential surface of the pin insertion member and configured to surround the plurality of support members to press the support member in the radial direction of the pin insertion member and to couple the plurality of support members to the pin insertion member, . ≪ / RTI >
  • the engaging member may be formed in a ring shape and coupled to the pin insertion member in an interference fit or a shape fitting manner.
  • the coupling member may be formed of an aluminum material.
  • the support member may be provided in plural in the longitudinal direction of the pin insertion member.
  • the support member may be disposed at the upper end and the lower end of the pin insertion member, respectively.
  • the pin insertion member comprises: a body; And a coupling groove formed at an upper end and a lower end of the body so as to extend in the longitudinal direction of the pin insertion member and having an outer diameter smaller than an outer diameter of the body, and the coupling member may be coupled to the coupling groove .
  • the support member may be arranged such that four of the support members are radially disposed in the engagement groove in the circumferential direction of the pin insertion member.
  • the support member may be arranged in two rows in the longitudinal direction of the pin insertion member.
  • the coupling groove may have a through hole formed in a radial direction of the pin insertion member and communicating with the hollow, and the support member may be disposed in the through hole.
  • the support member includes: a receiving portion in which a receiving groove is formed to open at one side; A first ball received in the receiving groove and partially exposed to the outside and in rolling contact with the substrate supporting pin; And a plurality of second balls accommodated in the receiving groove, the second ball being in rolling contact with the inner wall of the receiving groove and the first ball.
  • the accommodating portion may include a hook protruding from a portion facing the engaging member, and the engaging member may include a depressed groove formed in a shape corresponding to the hook at a portion opposed to the hook .
  • the hook may be formed such that the upper end thereof is formed as an inclined surface and the lower end thereof is formed as a stepped surface.
  • the joining member since the joining member has a good elastic force irrespective of the temperature atmosphere, whether the inside of the chamber is at a high temperature or a low temperature, the joining member can stably maintain the joining member to the pin insertion member irrespective of the temperature change.
  • the supporting member is not fixed to the pin insertion member using a coupling mechanism such as a bolt, but the ring-shaped coupling member is used to press the support member to be coupled to the pin insertion member, It is possible to prevent deformation or breakage of the support structure and to effectively connect the support member to the pin insertion member.
  • the engaging member stably engages the pin insertion member by the stepped surface formed in the hook, and thus the supporting member can also be pressed by the engaging member to stably engage the pin insertion member.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a support structure of one embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view of a support structure of one embodiment.
  • FIG 3 is a cross-sectional view of a support member of one embodiment.
  • FIG. 4 is a view for explaining a support structure of one embodiment.
  • FIG. 5 is an enlarged view of a portion A in Fig.
  • FIG. 6 is a view in the BB direction in FIG.
  • first and second can be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used for the purpose of distinguishing one component from another. In addition, terms specifically defined in consideration of the constitution and operation of the embodiment are only intended to illustrate the embodiments and do not limit the scope of the embodiments.
  • the upper or lower when it is described as being formed on the "upper” or “on or under” of each element, the upper or lower (on or under Quot; includes both that the two elements are in direct contact with each other or that one or more other elements are indirectly formed between the two elements. Also, when expressed as “on” or “on or under”, it may include not only an upward direction but also a downward direction with respect to one element.
  • top / top / top and “bottom / bottom / bottom”, as used below, do not necessarily imply nor imply any physical or logical relationship or order between such entities or elements, And may be used to distinguish one entity or element from another entity or element.
  • the support structure of the embodiment may include a pin insertion member 100, a support member 200, and a coupling member 300.
  • the hollow 110 may be formed in the longitudinal direction.
  • a substrate support pin 10 is inserted into the hollow 110 and the substrate support pin 10 can reciprocate in the longitudinal direction of the pin insertion member 100 with respect to the pin insertion member 100.
  • the pin insertion member 100 may be inserted and fixed in a through hole formed in a substrate seating portion (not shown) disposed at a lower portion of the chamber where the deposition and etching processing of the substrate proceeds.
  • the pin insertion member 100 may be exposed to a reaction gas, a cleaning gas, a cleaning liquid or the like in the chamber to be corroded, and accordingly, the pin insertion member 100 is preferably formed of a corrosion-resistant material. Therefore, the pin insertion member 100 may be formed of any one material or a combination of two or more materials such as aluminum, stainless steel (SUS), ceramic, or corrosion-resistant polymeric material.
  • SUS stainless steel
  • a substrate (not shown) can be seated on the upper end 11 of the substrate support pin 10, and when the substrate to be processed is drawn into the chamber and seated on the substrate seating part, The substrate can be moved with respect to the substrate receiving portion and the pin insertion member 100 to move the substrate.
  • the diameter of the substrate support pin 10 is set such that the diameter of the substrate support pin 10 is smaller than the diameter of the pin support member 10 except for the upper end 11 of the substrate support pin 10, May be smaller than the diameter of the hollow (110) formed in the member (100).
  • a plurality of through holes are formed in the substrate seating portion, and a pin insertion member (100) and a substrate support pin (10) are disposed in the through hole to stably support the substrate.
  • a plurality of support members 200 are provided in the circumferential direction of the pin insertion member 100 and are brought into rolling contact with the substrate support pin 10 so that the length of the pin insertion member 100 of the substrate support pin 10 It can support the direction movement.
  • a plurality of the support members 200 may be disposed radially at a predetermined interval in the circumferential direction of the pin insertion member 100 and may be disposed with respect to the center of the pin insertion member 100.
  • the substrate support pins 10 are uniformly in contact with the respective support members 200 and smoothly move in the hollows 110 of the pin insertion members 100 .
  • four support members 200 may be provided in the circumferential direction of the pin insertion member 100. Considering the sizes of the support member 200 and the pin insertion member 100, ease of manufacturing the support structure, and preventing the substrate support pins 10 from being caught between the support members 200,
  • the support member 200 may be provided in a plurality of lengthwise directions of the pin insertion member 100.
  • the plurality of support members 200 may be provided on the upper and lower portions of the pin insertion member 100, respectively, as shown in FIG.
  • the support member 200 may be disposed at the upper and lower ends of the pin insertion member 100, respectively, for example, as shown in FIG.
  • the coupling member 300 is disposed at a position corresponding to the position where the pin insertion member 100 is disposed, so that the support member 200 can be coupled to the pin insertion member 100.
  • the coupling member 300 is provided to surround the plurality of support members 200 to press the support member 200 and to couple the plurality of support members 200 to the pin insertion member 100 .
  • the coupling member 300 may be formed in a ring shape.
  • the joining member 300 stably presses the support member 200 to maintain the elastic force without causing plastic deformation even when the expansion and contraction are repeated due to repetition of heating and cooling, And the pin insertion member 100 can be maintained.
  • the coupling member 300 may be coupled to the pin insertion member 100 in an interference fit or a shape fit manner so that the coupling member 300 can be easily coupled to the pin insertion member 100.
  • the engaging member 300 may be provided to engage with the outer circumferential surface of the pin insertion member 100 and press the support member 200 in the radial direction of the pin insertion member 100.
  • the supporting member 200 can be fixed to the pin insertion member 100 using a coupling mechanism such as a bolt.
  • a coupling mechanism such as a bolt.
  • the supporting member 200 is fixed to the pin insertion member 100 by the coupling mechanism, it may be vulnerable to thermal deformation due to heating inside the chamber.
  • the coupling mechanism expands due to heating, and the supporting member 200, the fin insert member 100, or the entire supporting structure may be deformed or broken due to expansion of the coupling mechanism.
  • the support member 200 is coupled to the pin insertion member 100 by using the ring-shaped engagement member 300 having a good pressing force against the support member 200 even if thermal deformation occurs, It is possible to effectively suppress deformation or breakage of the member 200, the pin insertion member 100, or the entire support structure.
  • the pin insertion member 100 may include a body 140 and an engagement groove 130.
  • the body 140 may have a larger outer diameter than the coupling groove 130.
  • the coupling groove 130 may be formed at the upper and lower ends of the body 140 in the longitudinal direction of the pin insertion member 100 and may have a smaller outer diameter than the outer diameter of the body 140. At this time, the engaging member 300 can engage with the engaging groove 130.
  • a step may be formed between the body 140 and the coupling groove 130.
  • the step may serve as a stopper for the coupling member 300.
  • a plurality of support members 200 are radially arranged in the circumferential direction of the pin insertion member 100 in the engagement groove portion 130, and the engagement member 300 presses the plurality of support members 200, Can be coupled to the member (100).
  • FIG. 2 is a plan view of a support structure of one embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing a cross section of the coupling groove 130.
  • FIG. The coupling member 300 is formed in a ring shape and can be coupled to the coupling groove 130.
  • the coupling member 300 can press the plurality of support members 200 disposed radially to maintain the state where the plurality of support members 200 are coupled to the pin insertion member 100.
  • the joining member 300 is formed of a material such as aluminum which does not cause plastic deformation while maintaining a good elastic force even if it repeatedly expands and shrinks by heating.
  • the width of the engaging portion in the radial direction is excessively large, it may be difficult to engage the pin insertion member 100, and when the engaging groove portion 130 and the support member 200 are engaged with the pin insertion member 100, It can cause damage.
  • the engaging member 300 may have an appropriate radial width to prevent deformation or breakage of the pin insertion member 100 and the support member 200 when the engaging member 300 is engaged with the engaging recess 130 and plastic deformation does not occur during thermal expansion. .
  • the coupling groove 130 is provided with a through hole 120 formed in the radial direction of the pin insertion member 100 and communicating with the hollow 110, And may be disposed in the through hole 120.
  • the through hole 120 is formed in a shape corresponding to the shape of the support member 200 so that the portion of the through hole 120 in contact with the support member 200 is in contact with the support member 200 disposed in the through hole 120, Can be significantly reduced.
  • the pin insertion member 100, the support member 200, and the coupling member 300 can thermally expand together.
  • the supporting member 200 can be stably coupled to the pin insertion member 100 by pressing the supporting member 200.
  • the pin insertion member 100, the support member 200, and the coupling member 300 may contract together when the inside of the chamber is cooled and becomes room temperature or a similar low temperature.
  • the coupling member 300 since the coupling member 300 has a good elastic force even when it is shrunk in a low temperature atmosphere, the supporting member 200 is pressed to securely couple the supporting member 200 to the pin insertion member 100 .
  • the joining member 300 has a good elasticity regardless of the temperature atmosphere regardless of whether the inside of the chamber is hot or cold, so that the support member 200 stably engages the pin insertion member 100 regardless of the temperature change Lt; / RTI >
  • the support member 200 of the embodiment may include the receiving portion 210, the first ball 220, and the second ball 230.
  • the receiving portion 210 may be formed with a receiving groove 211 which is open at one side.
  • the engaging member 300 presses the rear portion of the receiving portion 210, that is, the portion where the opening portion of the receiving groove 211 is not formed, so that the supporting member 200 is formed on the pin insertion member 100 And can be stably arranged in the through hole 120.
  • the first ball 220 and the second ball 230 may be accommodated in the receiving groove 211 and a part of the first ball 220 may be exposed to the outside in the opening of the receiving groove 211 The first ball 220 exposed portion may contact the substrate support pin 10.
  • the first ball 220 is received in the receiving groove 211, and a part of the ball 220 is exposed to the outside and can be brought into rolling contact with the substrate supporting pin 10.
  • the first ball 220 can reduce the frictional force between the substrate support pin 10 and the support member 200 by rolling when the substrate support pin 10 moves relative to the pin insertion member 100, (10) can smoothly move, and wear of the substrate support pin (10) can be reduced.
  • the first ball 220 can be corroded in a chamber having a high temperature atmosphere, it is preferable that the first ball 220 is formed of a material having high corrosion resistance, and the first ball 220 is abraded by friction with the substrate support pin 10 and the second ball 230 So that it is suitable to be formed of a material having high abrasion resistance. Accordingly, the first ball 220 may be formed of Al 2 O 3 or Al 2 O 3.
  • a plurality of second balls 230 are accommodated in the receiving grooves 211 and may be in rolling contact with the inner walls of the receiving grooves 211 and the first balls 220. Meanwhile, the second ball 230 may be formed of a different material from the first ball 220.
  • the first ball 220 and the second ball 230 may have a spherical shape and the inner wall of the receiving groove 211 may have a spherical shape with a part thereof opened.
  • the second ball 230 may be filled in plurality between the first ball 220 and the inner wall of the receiving groove 211.
  • the second ball 230 is rolled to the first ball 220 and the receiving groove 211 so that the rolling of the first ball 220,
  • the first ball 220 can be smoothly rolled by significantly reducing the frictional force generated on the surface of the first ball 220.
  • the supporting member 200 may be radially arranged in the coupling groove 130 in the circumferential direction of the pin insertion member 100.
  • the support members 200 may be arranged in two rows in the longitudinal direction of the pin insertion member 100. At this time, each row may be disposed in the coupling groove 130 formed at the upper and lower ends of the support member 200, respectively.
  • the coupling member 300 is disposed at a position corresponding to the support member 200 and the coupling member 300 needs to be easily arranged to be coupled to the pin insertion member 100.
  • a coupling groove 130 is formed at the upper and lower ends of the pin insertion member 100, which facilitates coupling of the coupling member 300, and the supporting member 200 and the coupling member 130 300 may be disposed.
  • the support member 200 and the engaging member 300 are arranged in two rows in total at the upper and lower ends in the longitudinal direction of the pin insertion member 100, respectively.
  • the engaging member 300 provided in a ring shape can be coupled to the engaging groove 130 of the pin insertion member 100 in an interference fit or a shape fitting manner.
  • the engaging member 300 is coupled to the engaging groove 130 in an interference fit or a shape fitting manner and is coupled without a separate engaging mechanism so that the engaging member 300 is easily coupled to the pin inserting member 100.
  • the support member 200 can be easily coupled to the pin insertion member 100 because the support member 200 is pressed by the support member 200 and coupled to the pin insertion member 100 without a separate coupling mechanism other than the coupling member 300 .
  • the support member 200 is pressed by using the ring-shaped engagement member 300 without fixing the support member 200 to the pin insertion member 100 using a coupling mechanism such as a bolt, It is possible to prevent deformation or breakage of the support structure due to thermal deformation of the coupling mechanism and effectively connect the support member 200 to the pin insertion member 100.
  • FIG. 5 is an enlarged view of a portion A in Fig. Since the contents shown in Fig. 5 are additional embodiments, Fig. 2 does not show the hook 212 and the depression grooves 312 shown in Fig.
  • FIG. 6 is a view in the BB direction in FIG.
  • a hook may be formed in the accommodating portion 210 and a recess 312 may be formed in the engaging member 300.
  • the accommodating portion 210 includes a hook 212 protruding from a portion facing the engaging member 300, and the engaging member 300 is provided at a portion opposite to the hook 212 And may include a depression groove 312 formed in a shape corresponding to the hook 212.
  • the hook 212 may be formed on both sides of a corner of a portion where the receiving portion 210 is opposed to the engaging member 300, for example. In the embodiment, since four support members 200 are provided in total, the number of the hooks 212 may be eight.
  • the hook 212 may be formed at the center of a portion where the receiving portion 210 faces the engaging member 300. At this time, one hook 212 is provided at the center of the accommodating portion 210 and four hooks 212 are provided, so that the number of the hooks 212 is four.
  • the recesses 312 may be provided in the number corresponding to the positions corresponding to the hooks 212 formed at the center of the accommodating portion 210.
  • the engaging member 300 is engaged with the engaging groove portion of the pin insertion member 100 in an interference fit or a shape fit, but can be detached from the pin insertion member 100.
  • the coupling member 300 can repeat thermal expansion and contraction according to the rise and fall of the temperature of the chamber, and continuous vibrations may occur as various devices installed in the chamber operate.
  • the engaging member 300 can be separated from the pin insertion member 100 due to the thermal expansion, contraction and vibration, the engaging member 300 can be stably coupled to the pin insertion member 100 Need to keep.
  • the hook 212 formed on the coupling member 300 can be mounted on the depression groove 312, thereby preventing the coupling member 300 from being separated from the pin insertion member 100.
  • the engaging member 300 presses the accommodating portion 210 to keep the supporting member 200 in a state of being coupled to the pin insertion member 100, and to prevent the releasing from the pin insertion member 100.
  • the supporting member 200 is mounted to the recessed groove 312 formed in the coupling member 300 so that the coupling member 300 is inserted into the pin insertion member 100, It is possible to maintain the state of engagement with the pin insertion member 100 and to prevent the release from the pin insertion member 100.
  • the coupling member 300 and the support member 200 are constrained to each other so that the coupling member 300 and the support member 200 are stably coupled to the pin insertion member 100, (Not shown).
  • the upper end of the hook 212 may be formed as an inclined surface 212a, and the lower end may be formed as a stepped surface 212b.
  • the depression grooves 312 may be inclined at an upper portion to correspond to the hooks 212, and a step may be formed at a lower portion.
  • the engaging member 300 When the engaging member 300 is mounted on the engaging groove of the pin insertion member 100, the engaging member 300 moves downward from the upper side along the longitudinal direction of the pin insertion member 100, that is, .
  • the engaging member 300 When the engaging member 300 is completely mounted on the pin insertion member 100, the engaging member 300 is restrained by the stepped surface 212b of the hook 212 and moves downward along the longitudinal direction of the pin insertion member 100 So that the engagement member 300 can be restrained from separating from the pin insertion member 100. As a result,
  • the engagement member 300 stably engages the pin insertion member 100 by the stepped surface 212b formed in the hook 212, Can be pressed by the engaging member (300) and stably engaged with the pin insertion member (100).
  • the present invention relates to a support structure. Therefore, the present invention is industrially applicable.

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Abstract

지지구조체의 일 실시예는, 기판지지핀이 삽입되는 중공이 길이방향으로 형성되는 핀삽입부재; 상기 핀삽입부재의 상부 및 하부에 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀의 상기 핀삽입부재의 길이방향 이동을 지지하는 지지부재; 및 상기 핀삽입부재 외주면에 결합하며, 복수의 상기 지지부재를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 가압하고, 복수의 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재에 결합하는 결합부재를 포함할 수 있다.

Description

지지구조체
실시예는, 기판지지핀이 기판안착부에 대하여 원활하게 이동하도록 하고, 기판지지핀의 이동시 기판지지핀에 발생하는 마찰력을 줄일 수 있고, 열변형에 용이하게 대응하는 지지구조체에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
기판의 식각, 증착이 진행되는 챔버 내부에는 가공대상이 기판이 안착되는 기판안착부가 구비될 수 있다.
기판지지핀은 상기 챔버 내에서 기판안착부와 로봇암 사이에서 기판이 이송될 수 있도록, 기판안착부에 안착된 기판을 상승시키거나, 로봇암에 의해 전달되는 기판을 지지하고 기판안착부에 대해 상하이동하여 상기 기판을 기판안착부에 안착시키는 장치이다.
기판지지핀은 기판안착부에 형성되는 통공에 삽입되어 기판안착부에 대하여 상하이동하도록 구비될 수 있다. 따라서, 기판지지핀은 상기 통공의 내벽과 마찰이 발생할 수 있다.
이러한 기판지지핀과 통공 내벽 사이의 마찰은 기판지지핀의 마모, 파손의 원인이 되고, 기판지지핀의 마모, 파손으로 인해 기판지지핀이 지지하는 기판의 파손, 제품불량의 원인이 될 수 있다.
따라서, 실시예는, 기판지지핀이 기판안착부에 대하여 원활하게 이동하도록 하고, 기판지지핀의 이동시 기판지지핀에 발생하는 마찰력을 줄일 수 있고, 열변형에 용이하게 대응하는 지지구조체에 관한 것이다.
실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 실시예가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
지지구조체의 일 실시예는, 기판지지핀이 삽입되는 중공이 길이방향으로 형성되는 핀삽입부재; 상기 핀삽입부재의 상부 및 하부에 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀의 상기 핀삽입부재의 길이방향 이동을 지지하는 지지부재; 및 상기 핀삽입부재 외주면에 결합하며, 복수의 상기 지지부재를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 가압하고, 복수의 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재에 결합하는 결합부재를 포함할 수 있다.
상기 결합부재는, 링형상으로 형성되고, 상기 핀삽입부재에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합하는 것일 수 있다.
상기 결합부재는, 알루미늄 재질로 형성되는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 핀삽입부재의 길이방향으로 복수로 구비되는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 핀삽입부재의 상단 및 하단에 각각 배치되는 것일 수 있다.
상기 핀삽입부재는, 몸체; 및 상기 몸체의 상단 및 하단에 상기 핀삽입부재의 길이방향으로 연장형성되고, 외주의 직경이 상기 몸체의 외주직경보다 작은 결합홈부를 포함하고, 상기 결합부재는 상기 결합홈부에 결합하는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 결합홈부에 상기 핀삽입부재의 원주방향으로 4개가 방사상으로 배치되는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 핀삽입부재의 길이방향으로 2열로 배치되는 것일 수 있다.
상기 결합홈부에는 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 형성되고, 상기 중공과 연통되는 관통홀이 구비되며, 상기 지지부재는 상기 관통홀에 배치되는 것일 수 있다.
상기 지지부재는, 일측이 개방되는 수용홈이 형성되는 수용부; 상기 수용홈에 수용되고, 일부가 외부로 노출되어 상기 기판지지핀과 롤링접촉하는 제1볼(ball); 및 복수로 구비되고, 상기 수용홈에 수용되며, 상기 수용홈의 내벽 및 상기 제1볼과 롤링접촉하는 제2볼을 포함하는 것일 수 있다.
상기 수용부는 상기 결합부재와 대향하는 부위에 돌출형성되는 훅(hook)을 포함하고, 상기 결합부재는 상기 훅과 대향하는 부위에 상기 훅에 대응하는 형상으로 형성되는 함몰홈을 포함하는 것일 수 있다.
상기 훅은, 상단이 경사면으로 형성되고 하단이 단차면으로 형성되는 것일 수 있다.
실시예에서는 열변형이 발생하더라도 지지부재에 대한 가압력을 양호하게 가지는 링형상의 결합부재를 사용하여 지지부재를 핀삽입부재에 결합함으로써, 지지부재, 핀삽입부재 또는 지지구조체 전체가 변형 또는 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
실시예에서, 결합부재는 챔버 내부가 고온이든 저온이든 온도분위기에 상관없이 양호한 탄성력을 가지므로, 온도변화에 관계없이 지지부재가 핀삽입부재에 안정적으로 결합한 상태를 유지할 수 있다.
실시예에서, 볼트 등의 결합기구를 사용하여 지지부재를 핀삽입부재에 고정하지 않고, 링형상의 결합부재를 사용하여 지지부재를 가압하여 핀삽입부재에 결합함으로써, 결합기구의 열변형에 의한 지지구조체의 변형 또는 파손을 방지하고, 효과적으로 지지부재를 핀삽입부재에 결합시킬 수 있다.
실시예에서, 상기 훅에 형성된 상기 단차면에 의해 결합부재는 핀삽입부재에 안정적으로 결합하고, 따라서, 지지부재도 결합부재에 의해 가압되어 핀삽입부재에 안정적으로 결합할 수 있다.
도 1은 일 실시예의 지지구조체를 나타낸 단면도이다.
도 2는 일 실시예의 지지구조체를 나타낸 평면도이다.
도 3은 일 실시예의 지지부재를 나타낸 단면도이다.
도 4는 일 실시예의 지지구조체를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 2의 A부분을 확대한 도면이다.
도 6은 도 5에서 BB 방향으로 바라본 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 실시예를 상세히 설명한다. 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 실시예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 실시예의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
"제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 또한, 실시예의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이고, 실시예의 범위를 한정하는 것이 아니다.
실시예의 설명에 있어서, 각 element의 "상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 "상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.
또한, 이하에서 이용되는 "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서 이용될 수도 있다.
도 1은 일 실시예의 지지구조체를 나타낸 단면도이다. 실시예의 지지구조체는 핀삽입부재(100), 지지부재(200) 및 결합부재(300)를 포함할 수 있다.
핀삽입부재(100)는 중공(110)이 길이방향으로 형성될 수 있다. 상기 중공(110)에는 기판지지핀(10)이 삽입되고, 상기 기판지지핀(10)은 핀삽입부재(100)에 대하여 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 왕복이동할 수 있다.
상기 핀삽입부재(100)는 기판의 증착, 식각 가공이 진행되는 챔버의 하부에 배치되는 기판안착부(미도시)에 형성되는 통공에 삽입 및 고정될 수 있다.
상기 핀삽입부재(100)는 챔버 내부에서 반응가스 또는 세정가스 또는 세정액 등에 노출되어 부식될 수 있고, 따라서 내부식성 재질로 구비되는 것이 적절하다. 따라서, 상기 핀삽입부재(100)는 예를 들어, 알루미늄 또는 스테인리스스틸(SUS) 또는 세라믹 또는 내부식성 고분자 폴리머(Polymer) 재질 중에서 어느 하나 또는 둘 이상의 복합 재질 등으로 형성될 수 있다.
상기 기판지지핀(10)은 상단(11)에 기판(미도시)이 안착될 수 있으며, 가공대상인 기판이 챔버 내부로 인입되어 기판안착부에 안착하는 경우 또는 가공이 완료된 기판이 챔버 외부로 인출되는 경우 등에서, 기판안착부 및 핀삽입부재(100)에 대하여 이동하여 기판을 이동시킬 수 있다.
기판지지핀(10)의 상기 핀삽입부재(100)에 대한 원활한 이동을 위해, 상기 기판지지핀(10)의 직경은, 기판지지핀(10)의 상단(11)을 제외하고, 상기 핀삽입부재(100)에 형성되는 중공(110)의 직경보다 작게 구비될 수 있다.
상기 기판안착부에는 복수의 통공이 형성되고 상기 통공에 핀삽입부재(100) 및 기판지지핀(10)이 배치되어 상기 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.
지지부재(200)는 상기 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀(10)과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀(10)의 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향 이동을 지지할 수 있다.
복수의 상기 지지부재(200)는 각각 상기 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 일정한 간격으로 배치되어, 상기 핀삽입부재(100)의 중심을 기준으로 방사상으로 배치될 수 있다.
복수의 상기 지지부재(200)가 방사상으로 배치됨으로 인해, 상기 기판지지핀(10)은 각각의 지지부재(200)와 고르게 접촉하여 상기 핀삽입부재(100)의 중공(110)에서 원활하게 이동할 수 있다.
도 2를 참조하면, 실시예에서 상기 지지부재(200)는 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 예를 들어, 4개가 구비될 수 있다. 지지부재(200)와 핀삽입부재(100)의 크기, 지지구조체 제작의 용이성, 기판지지핀(10)의 지지부재(200) 사이에 끼임방지 등을 고려하면 4개로 구비되는 것이 적절할 수 있다.
상기 지지부재(200)는 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 복수로 구비될 수 있다. 복수의 상기 지지부재(200)는, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 핀삽입부재(100)의 상부와 하부에 각각 구비될 수 있다.
상기 지지부재(200)는, 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 핀삽입부재(100)의 상단 및 하단에 각각 배치될 수 있다. 이때, 상기 핀삽입부재(100)가 배치되는 위치와 대응되는 위치에 결합부재(300)가 배치되어 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 결합할 수 있다.
결합부재(300)는 복수의 상기 지지부재(200)를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재(200)를 가압하고, 복수의 상기 지지부재(200)를 상기 핀삽입부재(100)에 결합할 수 있다. 도 2를 참조하면, 상기 결합부재(300)는 링형상으로 형성될 수 있다.
상기 결합부재(300)는 가열과 냉각의 반복으로 인해 팽창 및 수축을 반복하더라도, 소성변형이 발생하지 않고 양호한 탄성력을 유지함으로써, 상기 지지부재(200)를 안정적으로 가압하여 상기 지지부재(200)와 상기 핀삽입부재(100) 사이의 결합을 유지할 수 있다.
한편, 상기 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100)에 용이하게 결합될 수 있도록, 상기 핀삽입부재(100)에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합할 수 있다.
상기 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100) 외주면에 결합하고, 상기 지지부재(200)를 상기 핀삽입부재(100)의 직경방향으로 가압하도록 구비될 수 있다.
일반적으로, 볼트 등의 결합기구를 사용하여 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 고정할 수 있다. 그러나, 결합기구로 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 고정하는 경우, 챔버 내부의 가열에 의한 열변형에 취약할 수 있다.
즉, 챔버 내부가 가열되어 고온이 되는 경우, 결합기구는 가열에 의해 팽창하고, 결합기구의 팽창으로 인해 지지부재(200), 핀삽입부재(100) 또는 지지구조체 전체가 변형 또는 파손될 수 있다.
따라서, 실시예에서는 열변형이 발생하더라도 지지부재(200)에 대한 가압력을 양호하게 가지는 링형상의 결합부재(300)를 사용하여 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 결합함으로써, 지지부재(200), 핀삽입부재(100) 또는 지지구조체 전체가 변형 또는 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 핀삽입부재(100)는 몸체(140) 및 결합홈부(130)를 포함할 수 있다. 몸체(140)는 상기 결합홈부(130)보다 외주의 직경이 크게 형성될 수 있다.
결합홈부(130)는 상기 몸체(140)의 상단 및 하단에 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 연장형성되고, 외주의 직경이 상기 몸체(140)의 외주직경보다 작게 형성될 수 있다. 이때, 결합부재(300)는 상기 결합홈부(130)에 결합할 수 있다.
따라서, 상기 몸체(140)와 상기 결합홈부(130) 사이에는 단차가 형성될 수 있다. 상기 단차는 결합부재(300)에 대한 스토퍼(stopper)의 역할을 할 수 있다.
즉, 상기 단차는 결합부재(300)가 결합홈부(130)에 결합하는 경우, 결합부재(300)의 일면이 상기 단차에 접촉하면 더이상 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 이동하지 않고 결합홈부에 안정적으로 장착될 수 있다.
물론, 상기 결합홈부(130)에는 복수의 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 방사상으로 배치되고, 결합부재(300)는 복수의 지지부재(200)를 가압하여 핀삽입부재(100)에 결합할 수 있다.
도 2는 일 실시예의 지지구조체를 나타낸 평면도이다. 도 2는 상기 결합홈부(130)의 단면을 도시한 평면도이다. 결합부재(300)는 링형상으로 형성되고, 상기 결합홈부(130)에 결합할 수 있다.
결합부재(300)는 방사상으로 배치되는 복수의 지지부재(200)를 가압하여 상기 복수의 지지부재(200)가 상기 핀삽입부재(100)에 결합한 상태를 유지할 수 있다.
한편, 상기 결합부재(300)는 가열에 의해 팽창, 수축을 반복하더라도 양호한 탄성력을 유지하고, 소성변형이 발생하지 않는 재질 예를 들어, 알루미늄 재질로 형성되는 것이 적절하다.
만약, 상기 결합부의 직경방향 폭이 과도하게 작은 경우, 핀삽입부재(100)의 결합홈부(130)에 결합시 및 열팽창시 소성변형이 발생할 수 있다.
한편, 상기 결합부의 직경방향 폭이 과도하게 큰 경우, 핀삽입부재(100)에 결합이 어려울 수 있고, 핀삽입부재(100)에 결합시 결합홈부(130) 및 지지부재(200)의 변형 또는 파손을 유발할 수 있다.
또한, 상기 결합부재(300)는 결합홈부(130)에 결합시 및 열팽창시 소성변형이 일어나지 않고, 핀삽입부재(100) 및 지지부재(200)의 변형 또는 파손을 억제하도록 적절한 직경방향 폭으로 구비될 수 있다.
실시예에서, 상기 결합홈부(130)에는 상기 핀삽입부재(100)의 직경방향으로 형성되고, 상기 중공(110)과 연통되는 관통홀(120)이 구비되며, 상기 지지부재(200)는 상기 관통홀(120)에 배치될 수 있다.
이때, 상기 관통홀(120)은 상기 지지부재(200)와 접촉하는 부위가 상기 지지부재(200)의 형상과 대응되는 형상으로 형성되어, 상기 관통홀(120)에 배치된 지지부재(200)의 흔들림을 현저히 줄일 수 있다.
챔버 내부가 상온 또는 이와 유사한 저온에서 가열되어 고온이 되는 경우, 핀삽입부재(100), 지지부재(200) 및 결합부재(300)가 함께 열팽창할 수 있다.
이때, 상기 결합부재(300)는 고온에서도 양호한 탄성력을 가지므로, 상기 지지부재(200)를 가압하여 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합한 상태를 유지할 수 있다.
챔버 내부가 냉각되어 고온에서 상온 또는 이와 유사한 저온이 되는 경우, 핀삽입부재(100), 지지부재(200) 및 결합부재(300)가 함께 수축할 수 있다.
이때, 상기 결합부재(300)는 저온의 분위기에서 수축한 경우에도 양호한 탄성력을 가지므로, 상기 지지부재(200)를 가압하여 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합한 상태를 유지할 수 있다.
실시예에서, 결합부재(300)는 챔버 내부가 고온이든 저온이든 온도분위기에 상관없이 양호한 탄성력을 가지므로, 온도변화에 관계없이 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합한 상태를 유지할 수 있다.
도 3은 일 실시예의 지지부재(200)를 나타낸 단면도이다. 실시예의 지지부재(200)는 수용부(210), 제1볼(220) 및 제2볼(230)을 포함할 수 있다.
수용부(210)는 일측이 개방되는 수용홈(211)이 형성될 수 있다. 수용부(210)의 후면부위 즉, 상기 수용홈(211)의 개방부위가 형성되지 않는 부위를 결합부재(300)가 가압하여, 상기 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 형성되는 관통홀(120)에 안정적으로 배치할 수 있다.
상기 수용홈(211)에는 제1볼(220) 및 제2볼(230)이 수용될 수 있고, 상기 수용홈(211)의 개방부위에는 상기 제1볼(220)의 일부가 외부로 노출되며 이러한 제1볼(220) 노출부위는 기판지지핀(10)과 접촉할 수 있다.
이러한 구조로 인해, 제1볼(220)은 상기 수용홈(211)에 수용되고, 일부가 외부로 노출되어 상기 기판지지핀(10)과 롤링접촉할 수 있다.
제1볼(220)은 상기 기판지지핀(10)이 핀삽입부재(100)에 대하여 이동하는 경우 롤링함으로써, 기판지지핀(10)과 지지부재(200) 사이의 마찰력을 현저히 줄여 기판지지핀(10)이 원활이 이동할 수 있도록 하고, 기판지지핀(10)의 마모를 줄일 수 있다.
한편, 상기 제1볼(220)은 고온분위기의 챔버에서 부식될 수 있으므로, 내식성이 강한 재질로 형성되는 것이 적절하고, 기판지지핀(10) 및 제2볼(230)과 마찰에 의해 마모될 수 있으므로 내마모성이 강한 재질로 형성되는 것이 적절하다. 따라서, 상기 제1볼(220)은 Al2O3재질 또는 Al2O3가 표면에 코팅된 구조로 형성할 수 있다.
제2볼(230)은 복수로 구비되고, 상기 수용홈(211)에 수용되며, 상기 수용홈(211)의 내벽 및 상기 제1볼(220)과 롤링접촉할 수 있다. 한편, 상기 제2볼(230)은 상기 제1볼(220)과 다른 재질로 형성될 수 있다.
제1볼(220)과 제2볼(230)은 구형으로 구비되고, 수용홈(211)의 내벽은 일부가 개방된 구형으로 구비될 수 있다. 제2볼(230)은 제1볼(220)과 수용홈(211)의 내벽 사이에 복수로 채워질 수 있다.
상기 제1볼(220)이 롤링하는 경우, 이에 따라 상기 제2볼(230)은 상기 제1볼(220) 및 상기 수용홈(211)에 대하여 롤링함으로써, 상기 제1볼(220)의 롤링시 상기 제1볼(220)의 표면에 발생하는 마찰력을 현저히 줄여 제1볼(220)이 원활하게 롤링되도록 할 수 있다.
도 4는 일 실시예의 지지구조체를 설명하기 위한 도면이다. 상기한 바와 같이, 상기 지지부재(200)는, 상기 결합홈부(130)에 상기 핀삽입부재(100)의 원주방향으로 4개가 방사상으로 배치될 수 있다.
또한, 상기 지지부재(200)는 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 2열로 배치될 수 있다. 이때, 각 열은 각각 지지부재(200)의 상단 및 하단에 형성되는 결합홈부(130)에 배치될 수 있다.
상기 지지부재(200)에 대응하는 위치에 결합부재(300)가 배치되고, 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)에 결합이 용이하게 배치될 필요가 있다.
따라서, 이러한 이유로 결합부재(300)의 결합이 용이한 핀삽입부재(100)의 상단 및 하단에 각각 결합홈부(130)를 형성하고 상기 결합홈부(130)에 지지부재(200) 및 결합부재(300)가 배치될 수 있다.
또한, 이러한 이유로 상기 지지부재(200) 및 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100)의 길이방향으로 상단 및 하단에 각각 총 2열로 배치되는 것이 적절하다.
한편, 링형상으로 구비되는 상기 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100)의 결합홈부(130)에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합할 수 있다.
결합부재(300)는 결합홈부(130)에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합하고, 별도의 결합기구없이 결합하므로, 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)에 결합이 용이하다.
마찬가지로, 지지부재(200)는, 결합부재(300) 이외에 별도의 결합기구없이, 지지부재(200)에 의해 가압되어 핀삽입부재(100)에 결합하므로 핀삽입부재(100)에 결합이 용이하다.
실시예에서, 볼트 등의 결합기구를 사용하여 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 고정하지 않고, 링형상의 결합부재(300)를 사용하여 지지부재(200)를 가압하여 핀삽입부재(100)에 결합함으로써, 결합기구의 열변형에 의한 지지구조체의 변형 또는 파손을 방지하고, 효과적으로 지지부재(200)를 핀삽입부재(100)에 결합시킬 수 있다.
도 5는 도 2의 A부분을 확대한 도면이다. 도 5에 도시된 내용은 추가적인 실시예이므로, 도 2에는 도 5에 도시된 훅(212)및 함몰홈(312)을 도시하지 않았다. 도 6은 도 5에서 BB 방향으로 바라본 도면이다.
실시예에서, 수용부(210)에 훅(212)(hook)이 형성되고, 결합부재(300)에 함몰홈(312)이 형성될 수 있다.
즉, 수용부(210)는 상기 결합부재(300)와 대향하는 부위에 돌출형성되는 훅(212)(hook)을 포함하고, 결합부재(300)는 상기 훅(212)과 대향하는 부위에 상기 훅(212)에 대응하는 형상으로 형성되는 함몰홈(312)을 포함할 수 있다.
상기 훅(212)은, 예를 들어, 수용부(210)가 상기 결합부재(300)와 대향하는 부위의 모서리 양측에 각각 형성될 수 있다. 실시예에서, 지지부재(200)가 총 4개로 구비되므로, 상기 훅(212)은 총 8개로 구비될 수 있다.
다른 실시예로, 상기 훅(212)은 상기 수용부(210)가 상기 결합부재(300)와 대향하는 부위의 중앙에 형성될 수 있다. 이때에는, 훅(212)이 수용부(210)의 중앙에 1개가 구비되고 지지부재(200)가 총 4개로 구비되므로, 상기 훅(212)은 총 4개로 구비될 수 있다.
물론, 이때에는 상기 함몰홈(312)은 상기 수용부(210)의 중앙에 형성되는 훅(212)에 대응하는 위치에 대응하는 개수로 구비될 수 있다.
결합부재(300)는 핀삽입부재(100)의 결합홈부에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤으로 결합하지만, 핀삽입부재(100)로부터 이탈할 수 있다.
즉, 결합부재(300)는 챔버의 온도상승 및 하강에 따라 열팽창 및 수축을 반복할 수 있고, 챔버에 구비되는 각종 장치가 작동함에 따라 지속적인 진동이 발생할 수 있다.
이러한 열팽창 및 수축, 진동으로 인해, 상기 결합부재(300)는 상기 핀삽입부재(100)로부터 이탈할 수 있으므로, 상기 결합부재(300)가 상기 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합된 상태를 유지할 필요가 있다.
따라서, 상기 결합부재(300)에 형성되는 훅(212)은 상기 함몰홈(312)에 장착되어, 상기 결합부재(300)가 핀삽입부재(100)로부터 이탈하는 것을 억제할 수 있다.
즉, 결합부재(300)는 수용부(210)를 가압하여 지지부재(200)가 핀삽입부재(100)에 결합된 상태를 유지하도록 하고 핀삽입부재(100)로부터 이탈을 억제할 수 있다.
한편, 지지부재(200)는 수용부(210)에 형성되는 훅(212)이 결합부재(300)에 형성되는 함몰홈(312)에 장착되어, 결합부재(300)가 핀삽입부재(100)에 결합된 상태를 유지하도록 하고 핀삽입부재(100)로부터 이탈을 억제할 수 있다.
이러한 구조로 인해 결합부재(300)와 지지부재(200)는 서로를 구속함으로써, 결합부재(300)와 지지부재(200)는 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합한 상태를 유지하고 핀삽입부재(100)로부터 이탈되지 않을 수 있다.
도 6을 참조하면, 상기 훅(212)은 상단이 경사면(212a)으로 형성되고 하단이 단차면(212b)으로 형성될 수 있다. 상기 함몰홈(312)은 상기 훅(212)에 대응되도록, 상부에 경사가 형성되고, 하부에는 단차가 형성될 수 있다.
결합부재(300)가 핀삽입부재(100)의 결합홈부에 장착되는 경우, 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)의 길이방향을 따라 상측에서 하측 즉, 도 6에서 상측에서 하측으로 이동하여 장착될 수 있다.
이때, 결합부재(300)가 상측에서 하측으로 이동하는 경우, 결합부재(300)는 훅(212)의 경사면(212a)을 따라 슬라이딩하면서 이동하여, 상기 훅(212)이 함몰홈(312)에 장착이 완료됨으로써 결합부재(300)의 장착이 완료될 수 있다.
결합부재(300)가 핀삽입부재(100)에 장착이 완료되면 결합부재(300)는 훅(212)의 단차면(212b)에 의해 구속되어 핀삽입부재(100)의 길이방향을 따라 하측에서 상측으로 이동이 억제되고, 따라서 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)로부터 이탈이 억제될 수 있다.
상기한 구조로 인해, 실시예에서, 상기 훅(212)에 형성된 상기 단차면(212b)에 의해 결합부재(300)는 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합하고, 따라서, 지지부재(200)도 결합부재(300)에 의해 가압되어 핀삽입부재(100)에 안정적으로 결합할 수 있다.
실시예와 관련하여 전술한 바와 같이 몇 가지만을 기술하였지만, 이외에도 다양한 형태의 실시가 가능하다. 앞서 설명한 실시예들의 기술적 내용들은 서로 양립할 수 없는 기술이 아닌 이상은 다양한 형태로 조합될 수 있으며, 이를 통해 새로운 실시형태로 구현될 수도 있다.
발명의 실시를 위한 형태는 전술한 "발명의 실시를 위한 최선의 형태"에서 충분히 설명되었다.
본 발명은 지지구조체에 관한 것이다. 따라서, 본 발명은 산업상 이용가능성이 있다.

Claims (12)

  1. 기판지지핀이 삽입되는 중공이 길이방향으로 형성되는 핀삽입부재;
    상기 핀삽입부재의 상부 및 하부에 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀의 상기 핀삽입부재의 길이방향 이동을 지지하는 지지부재; 및
    상기 핀삽입부재 외주면에 결합하며, 복수의 상기 지지부재를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 가압하고, 복수의 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재에 결합하는 결합부재
    를 포함하는 지지구조체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 결합부재는,
    링형상으로 형성되고, 상기 핀삽입부재에 억지끼워맞춤 또는 형상끼워맞춤 방식으로 결합하는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 결합부재는,
    알루미늄 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 핀삽입부재의 길이방향으로 복수로 구비되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 핀삽입부재의 상단 및 하단에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 핀삽입부재는,
    몸체; 및
    상기 몸체의 상단 및 하단에 상기 핀삽입부재의 길이방향으로 연장형성되고, 외주의 직경이 상기 몸체의 외주직경보다 작은 결합홈부
    를 포함하고,
    상기 결합부재는 상기 결합홈부에 결합하는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 결합홈부에 상기 핀삽입부재의 원주방향으로 4개가 방사상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 핀삽입부재의 길이방향으로 2열로 배치되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 결합홈부에는 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 형성되고, 상기 중공과 연통되는 관통홀이 구비되며,
    상기 지지부재는 상기 관통홀에 배치되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    일측이 개방되는 수용홈이 형성되는 수용부;
    상기 수용홈에 수용되고, 일부가 외부로 노출되어 상기 기판지지핀과 롤링접촉하는 제1볼(ball); 및
    복수로 구비되고, 상기 수용홈에 수용되며, 상기 수용홈의 내벽 및 상기 제1볼과 롤링접촉하는 제2볼
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 수용부는 상기 결합부재와 대향하는 부위에 돌출형성되는 훅(hook)을 포함하고,
    상기 결합부재는 상기 훅과 대향하는 부위에 상기 훅에 대응하는 형상으로 형성되는 함몰홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 훅은,
    상단이 경사면으로 형성되고 하단이 단차면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 지지구조체.
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