KR20150125378A - 리프트 핀 지지 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판을 하측에서 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부 및 상기 가이드부의 내부에서 상측 또는 하측에 각각 복수개 결합되어 상기 리프트 핀과 접촉하는 볼트랜스퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공한다.

Description

리프트 핀 지지 어셈블리{LIFT PIN ASSEMBLY}
본 발명은 리프트 핀 지지 어셈블리에 관한 것으로서, 리프트 핀의 승강작동에 발생하는 마찰저항을 감소시킬 수 있도록 서셉터 상에 구비되는 리프트 핀 지지 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로, 리프트 핀은 반응챔버 내에서 서셉터와 로봇암 사이에서 기판이 이송될 수 있도록 서셉터의 안착부에 안착된 기판을 상승시키거나 로봇암에 의해 전달된 기판을 지지 또는 승강하여 상기 기판을 설정 높이로 서셉터의 안착부에 승강시키는 장치이다.
이러한, 리프트 핀은 기판의 하부면을 안정적으로 지지하기 위하여 서셉터의 테두리방향으로 복수개 구비된다.
종래기술에 따른 리프트 핀은 기판의 하부면에 접촉하여 지지하는 헤드부와, 상기 헤드부의 하부에 연결되는 연결부와, 상기 연결부의 하부에 연결되어 상기 헤드부를 승강시키는 몸체부를 포함한다.
기판이 안착되는 안착부재는 상기 헤드부를 수용하고 상기 헤드부의 이동을 안내하는 관통공과, 상기 헤드부의 하강을 저지하는 걸림턱을 포함한다.
연결부는 하부단부에는 핀홀이 구비되고, 상기 연결부의 하부단부는 상기 몸체부의 상단부에서 상기 핀홀을 관통하는 볼트와 상기 볼트에 체결되는 너트에 의해 고정된다.
또한 종래기술에 따른 헤드부는 몸체부에 대해 어떠한 회동도 이루어지지 않도록 연결된다.
이로 인해 종래기술은 넓은 기판(예를 들어, 웨이퍼 또는 유리기판)을 리프트 핀으로 지지할 때 기판의 처짐현상(warpage)으로 인해 기판의 하부면이 헤드부의 지지면에 의해 안정적으로 지지되지 못하고 헤드부의 테두리에 접촉하게 되어 기판에 손상이 발생하는 문제점이 존재한다.
또한, 기판의 처짐현상(warpage)으로 인한 기판과 헤드부의 테두리의 접촉으로 인해 기판의 하중이 리프트 핀에 수평 편하중으로 작용하게 되며, 이러한 수평 편하중으로 인해 리프트 핀에 부하가 걸려 리프트 핀의 수명이 단축되는 문제점이 있다.
게다가 이러한 편하중으로 인하여 관통공 내부에서 리프트 핀의 끼임현상이 발생하여 결국에는 파손되는 문제점이 있으며, 파손됨과 동시에 기판의 불량으로 연결되는 한계를 여전히 가지고 있다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 리프트 핀의 변형 또는 파손에 의해 지지하고 있던 기판이 손상되는 것을 방지하기 위하여, 리프트 핀의 승강 작동 시 발생하는 마찰력을 감소시키고, 또한 리프트 핀이 승강 운동 중에 파손되는 것을 방지할 수 있는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 수행하기 위한 본 발명은 서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판의 하측을 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부 및 상기 가이드부의 내부에서 상측 또는 하측에 각각 복수개 결합되어 상기 리프트 핀과 접촉하는 볼트랜스퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공한다.
상기 리프트 핀 지지 어셈블리는 상기 가이드부의 상측 또는 하측 단부에 각각 결합되어 상기 가이드부 상에서 상기 볼트랜스퍼부를 커버하도록 결합되는 커버부를 더 포함할 수 있다.
상기 볼트랜스퍼부는 상기 가이드부에 탈착 가능하도록 결합되는 하우징과, 상기 하우징 내부에 복수개 구비되는 제1베어링과, 상기 제1베어링 각각에 일 측이 접촉하고 상기 하우징에 형성된 통공을 통하여 외부로 돌출되어 상기 리프트 핀의 외주면과 타 측이 접촉하도록 마련되는 제2베어링을 포함할 수 있다.
상기 가이드부는 상측 및 하측 단부에서 각각 상기 하우징을 탈착 가능하도록 슬라이딩 결합시키는 가이드홈이 형성될 수 있다.
상기 제1베어링, 제2베어링 및 리프트 핀은 세라믹 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 볼트랜스퍼부는 상기 가이드부의 상측 일 방향 및 이와 대각선 방향으로 대향하는 상기 가이드부의 하측 타 방향에 배치되어 각각의 상기 제2베어링에 상기 리프트 핀이 접촉하여 운동할 수 있다.
상기 커버부는 상기 가이드부 상에 결합된 상기 하우징의 일 측 단부가 삽입되어 고정되도록 형성된 결합홈을 포함할 수 있다.
상기 볼트랜스퍼부는 상기 리프트 핀의 서로 다른 높이에서 원주방향을 따라 적어도 2개의 다른 각도로 각각 접촉하도록 배치될 수 있다.
또한 본 발명은 반응챔버 내부에서 서셉터 상의 기판을 하측에서 지지하는 리프트 핀; 상기 서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 상기 리프트 핀이 승강 하는 것을 안내하는 가이드부 및 상기 리프트 핀의 서로 다른 높이에서 각각 접촉하는 복수개의 볼트랜스퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공한다.
또한 본 발명은 서셉터 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판의 하측을 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부; 상기 리프트 핀과 점접촉하는 복수개의 제1부재 및 상기 제1부재와 점접촉하는 복수개의 제2부재를 포함하며, 상기 복수개의 제1부재는 상기 가이드부의 상측 또는 하측에서 각각 수용하고, 상기 복수개의 제2부재는 상기 복수개의 제1부재와 상기 가이드부 사이에 위치하며, 상기 복수개의 제1부재는 상기 리프트 핀과 상기 복수개의 제2부재에 대하여 회전운동이 가능한 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리를 제공한다.
본 발명에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리에 의하면,
첫째, 리프트 핀과 가이드부 사이에서 발생하는 마찰력을 현저히 감소시킬 수 있고,
둘째, 마찰력이 감소함에 따라 기판의 승강 운동을 안정적으로 지지함으로써 기판의 불량률을 감소시킬 수 있으며,
셋째, 리프트 핀의 승강 운동 시 발생하는 마찰력이 감소되면서 리프트 핀의 수명이 증가하고,
넷째, 볼트랜스퍼부의 지지각도를 변경하여 리프트 핀의 지지각도를 다각도에서 지지할 수 있으며,
다섯째, 이에 따라 리프트 핀의 수명이 증가하여 생산성을 증대시킬 수 있고, 유지관리가 용이한 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리에 대한 분리사시도이다
도 2는 도 1에 나타낸 리프트 핀 지지 어셈블리를 도시하는 단면도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 볼트랜스퍼부를 부분적으로 확대 도시하는 부분확대 단면도이다.
도 4는 도 1에 나타낸 볼트랜스퍼부와 가이드부가 결합된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 5는 도 1에 나타낸 리프트 핀 지지 어셈블리의 작동상태를 도시하는 참고도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리를 도시하는 단면도이다.
도 7은 도 6에 나타낸 볼트랜스퍼부와 가이드부가 결합된 상태를 도시하는 평면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명하기로 한다. 첨부된 도면들에서 구성에 표기된 도면번호는 다른 도면에서도 동일한 구성을 표기할 때에 가능한 한 동일한 도면번호를 사용하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지의 기능 또는 공지의 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 도면에 제시된 어떤 특징들은 설명의 용이함을 위해 확대 또는 축소 또는 단순화된 것이고, 도면 및 그 구성요소들이 반드시 적절한 비율로 도시되어 있지는 않다. 그러나 당업자라면 이러한 상세 사항들을 쉽게 이해할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(100)에 대한 분리사시도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 리프트 핀 지지 어셈블리(100)를 도시하는 단면도이다. 이하에서 전기한 참조부호와 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(100)는 웨이퍼나 유리기판 등과 같이 반응챔버 내에서 가공 공정이 수행되는 기판(S)을 승강시키는 리프트 핀(110)과, 상기 리프트 핀(110)이 승강하는 것을 안내할 수 있도록 서셉터 내부에 설치된 장착공에 삽입되는 가이드부(120)와, 상기 가이드부(120) 내부에 체결되어 상기 리프트 핀(110)과 점접촉하는 볼트랜스퍼부(130, 130')를 포함한다.
상기 리프트 핀(110)은 반응챔버 내부에 위치하여 기판(S)의 저면을 지지하며 선택적으로 승강하도록 마련된다. 상기 리프트 핀(110)은 기판(S)의 저면과 접촉하는 헤드와, 상기 헤드 하측으로 연장 형성되는 연결부재로 구성되며, 상기 연결부재가 상기 볼트랜스퍼부(130, 130')와 접촉하도록 배치되어 승강하는데 발생하는 마찰저항이 감소된다.
이때 상기 가이드부(120)의 상측 또는 하측에는 상기 가이드부(120) 내부에 결합된 상기 볼트랜스퍼부(130)를 고정시키는 커버부(140)가 마련될 수 있다.
상기 커버부(140)는 중앙에 상기 리프트 핀(110)이 출입할 수 있도록 핀홀(142)이 형성되고, 상기 핀홀(142)의 주면에는 상기 볼트랜스퍼부(130)의 하우징(133)이 일부 삽입되도록 결합홈(141)이 형성된다. 그러면 상기 볼트랜스퍼부(130)가 상기 가이드부(120)의 내부에서 보다 견고하게 결합이 이루어지기 때문에 상기 볼트랜스퍼부(130)와 가이드부(120) 사이의 유격을 정밀하게 유지할 수 있고, 또한 상기 볼트랜스퍼부(130)와 리프트 핀(110) 사이의 유격도 정밀하게 유지할 수 있는 효과가 있다.
상기 가이드부(120)의 외주면 상에는 원주방향을 따라서 걸림턱(122)이 형성된다. 상기 걸림턱(122)은 서셉터 상에 상기 가이드부(120)가 결합되면서 삽입되는 위치를 제한하고, 또한 서셉터에 삽입된 후 나사결합 또는 서셉터 상에 체결되도록 별도의 부재에 의해 결합될 수도 있다.
상기 가이드부(120)의 상측 단부에는 복수개의 볼트랜스퍼부(130)가 마련되고, 또한 하측 단부에는 복수개의 볼트랜스퍼부(130')가 마련된다. 여기서 상기 볼트랜스퍼부(130)과 볼트랜스퍼부(130')는 동일한 구성요소이며 위치에 따른 차이만이 존재하기 때문에 이하에서는 볼트랜스퍼부(130)에 대해서만 설명한다. 그리고 본 발명의 실시예에서는 구체적으로 상기 가이드부(120)의 상측 단부와 하측 단부에 각각 4개씩 등간격으로 배치되어 있다. 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 리프트 핀(110)을 지지하는 하중을 고려하여 적어도 3개 이상의 복수개가 등간격으로 마련되는 것이 바람직하며, 상기 볼트랜스퍼부(130)의 개수는 이에 한정되지 않는다.
그리고 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 가이드부(120)의 상측 또는 하측 단부 중 일 측에만 구비될 수도 있으며, 상기 가이드부(120)의 중심 부분에만 선택적으로 마련될 수도 있다. 이렇게 상기 볼트랜스퍼부(130)의 위치를 하측 단부 또는 중심부분에 배치하는 경우 상기 볼트랜스퍼부(130)의 사용량을 줄일 수 있어 생산비용을 절감시킬 수 있는 효과가 있다. 게다가 상기 볼트랜스퍼부(130)가 상기 가이드부(120)의 상측 단부에만 구비되는 경우 기판 안착부재의 상부와 가까워 불필요한 증착과 식각에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
도 2를 살펴보면, 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 가이드부(120)의 내부 중심방향을 향하여 결합되고, 도면에 도시하지는 않았지만 상기 볼트랜스퍼부(130)와 리프트 핀(110) 사이에는 소정의 간극이 형성될 수 있다.
그리고 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 리프트 핀(110)이 상기 가이드부(120) 내벽에 직접적으로 면 접촉 또는 선 접촉하는 것을 방지하여 상기 리프트 핀(110)이 승강하는데 발생하는 마찰저항을 현저히 감소시키는 기능을 제공한다.
또한 상기 리프트 핀(110)의 상부 헤드에는 기판(S)이 올려짐과 동시에 하중이 가해지며, 이때 상기 리프트 핀(110) 상부로부터 가해지는 하중이 편하중으로 가해질 수 있다. 여기서 편하중이란 상기 리프트 핀(110)의 상부에서 지구 중심방향으로 정확하게 하중이 가해지는 것이 아니라 소정의 각도로 휘어져 지구 중심방향에서 벗어난 방향으로 가해지는 것을 의미하며, 이때 상기 리프트 핀(110)의 상부 헤드부분에 가해진 편하중은 연결부재를 포함하여 상기 리프트 핀(110) 전체에 전단응력으로 가해질 수 있다. 이를 상기 볼트랜스퍼부(130)가 여러 방향에서 상기 리프트 핀(110)을 지지하여 마찰저항을 감소시킴과 동시에 상기 리프트 핀(110)의 파손을 방지한다.
그리고 상기 리프트 핀(110)은 비전도성 재질이며 경도가 높은 비금속 무기질의 세라믹 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
도 3은 도 1에 나타낸 볼트랜스퍼부를 부분적으로 확대 도시하는 부분확대 단면도이고, 도 4는 도 1에 나타낸 볼트랜스퍼부와 가이드부(120)가 결합된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 3 및 도 4를 살펴보면, 상기 볼트랜스퍼부(130)는 외형을 형성하고 상기 가이드부(120) 내부에 형성된 가이드홈(도 1 참조, 121) 상에서 탈착 가능하도록 마련되는 하우징(133)과, 상기 하우징(133) 내부에 일 측에 복수개 구비되는 제1베어링(132)과, 상기 하우징(133) 내부에 타 측에 배치되어 상기 하우징(133)에 형성된 통공(134)을 통하여 일부 돌출되도록 노출되는 제2베어링(131)을 포함한다.
상기 하우징(133)은 내부에 상기 제1베어링(132) 및 제2베어링(131)을 수용할 수 있는 수용공간이 형성되고, 상기 가이드홈(121) 상에 슬라이딩 결합 또는 억지끼움 방식으로 결합할 수 있도록 단차가 형성된다. 도면에 도시하지는 않았지만 상기 가이드홈(121)과 하우징(133)의 단차 사이에 형성되어 상기 가이드홈(121) 상에서 하우징(133)이 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 별도의 가압수단 또는 실링수단이 구비될 수 있다. 또한 상기 제1베어링(132)은 제2부재로 표현할 수 있으며, 상기 제2베어링(131)은 제1부재로 표현할 수 있다. 이는 표현상의 기재방법일 뿐 각각 동일한 구조의 구성요소를 나타낸다.
상기 제1베어링(132)과 제2베어링(131)은 세라믹 재질의 구형 볼베어링으로 구성된다. 상기 제1베어링(132)은 상기 제2베어링(131)의 일 방향에 복수개 구비되어 각각의 상기 제1베어링(132)은 상기 제1베어링(132)과 점접촉하도록 구비된다.
이때 상기 제2베어링(131)의 타 방향은 상기 하우징(133)에 형성된 통공(134)으로부터 외측으로 돌출되어 일부 노출된다. 그러면 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 가이드부(120) 내부 중심에 위치하는 상기 리프트 핀(110)의 외주면과 상기 제2베어링(131)이 접촉하게 된다.
따라서 상기 제2베어링(131)은 상기 리프트 핀(110)의 승강 작동에 대하여 상대적으로 회전이동이 발생하고, 상기 복수개의 제1베어링(132)과 상대회전이 발생하여 회전운동을 하게 된다.
여기서 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 가이드부(120) 상에서 착탈 가능하기 때문에 복수개의 볼트랜스퍼부(130) 중 파손된 볼트랜스퍼부(130)만 부분적으로 교체가 가능한 이점이 있다.
도 5는 도 1에 나타낸 리프트 핀 지지 어셈블리(100)의 작동상태를 도시하는 참고도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 리프트 핀(110)은 상기 가이드부(120) 내부에서 소정의 각도(θ)로 기울어진 상태에서 승강운동이 발생할 수 있다.
이는 상기 리프트 핀(110)과 볼트랜스퍼부(130) 사이에 형성된 간극에 의해서 또는 상기 볼트랜스퍼부(130)의 제1베어링(132) 또는 제2베어링(131)이 부분적으로 마모되면서 상기 리프트 핀(110)이 기울어진 상태로 승강작동이 이루어질 수 있다.
또한 상기 리프트 핀(110)의 상부에 배치된 기판(S)의 하중에 의해서 편하중이 발생하면서, 편하중에 의해 상기 리프트 핀(110)에 가해지는 힘의 방향에 따라 상기 리프트 핀(110)의 기울어지는 방향이 결정될 수 있다.
본 발명의 도 5에서는 좀 더 과도하게 상기 리프트 핀(110)의 기울어진 상태를 도시하고 있으며, 이렇게 상기 리프트 핀(110)이 기울어지기 때문에 결과적으로 상기 볼트랜스퍼부(130)는 상기 가이드부(120)의 상측과 하측에서 일 부분만이 상기 리프트 핀(110)과 접촉하게 된다. 물론 상기 리프트 핀(110)과 볼트랜스퍼부(130) 사이에 간극이 미약한 경우, 또는 상기 리프트 핀(110)의 상부 헤드에 가해지는 하중이 설정 하중 이하인 경우에는 상기 리프트 핀(110)과 모든 볼트랜스퍼부(130)가 점접촉하도록 마련될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(200)를 도시하는 단면도이고, 도 7은 도 6에 나타낸 볼트랜스퍼부와 가이드부가 결합된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(200)에서는 제1실시예와 달리 상기 가이드부(120) 중심부분에도 볼트랜스퍼부(130")가 마련된다. 이하에서는 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 지지 어셈블리(200)와 제1실시예에 기재된 기술과의 차이점을 중심으로 상세하게 설명한다.
상기 볼프랜스퍼부(130")는 상기 가이드부(120)의 상측에 구비된 볼트랜스퍼부(130)와 하측에 구비된 볼트랜스퍼부(130') 사이에 배치되며, 보다 바람직하게는 상기 상측에 구비된 볼트랜스퍼부(130)와 하측에 구비된 볼트랜스퍼부(130') 사이의 중심에 마련되는 것이 이상적이다. 물론 상기 리프트 핀(110)에 가해지는 정하중(지구 중심방향으로 가해지는 일반적인 하중) 또는 편하중의 크기에 따라서 상기 상측에 구비된 볼트랜스퍼부(130)와 하측에 구비된 볼트랜스퍼부(130') 사이에 높이를 가변적으로 설치할 수도 있으며, 또한 추가적인 볼트랜스퍼부의 장착이 가능함은 물론이다.
이와 같이 상기 가이드부(120)의 중심부분에 추가적으로 상기 볼트랜스퍼부(130")를 구비하면, 보다 안정적으로 상기 리프트 핀(110)의 승강작동을 지지할 수 있는 효과가 있다.
도 7을 살펴보면, 상기 상측에 구비된 볼트랜스퍼부(130)는 도면상에서 상기 리프트 핀(110)의 원주방향을 따라서 12시, 3시, 6시, 9시 방향에 배치된다. 그리고 중심부분에 구비된 상기 볼트랜스퍼부(130")는 배치각도를 달리하여 약 45°회전이동한 상태로 배치되어 상기 리프트 핀(110)의 원주방향을 따라서 1시반, 4시반, 7시반, 10시반 위치에 배치된다. 또한 상기 볼트랜스퍼부들(130, 130', 130")이 높이에 따라서 각각 서로 다른 각도로 배치되거나, 회전이동한 각도를 변경하여 설치할 수 있음은 물론이다.
이 경우 볼트랜스퍼부들(130, 130', 130")이 각각 시계방향을 따라서 동일한 배치구조를 이루는 구조와 비교하여 상기 리프트 핀(110)을 다각도로 지지할 수 있기 때문에 상기 리프트 핀(110)의 수명을 현저히 증가시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 리프트 핀 지지 어렘블리는 기판(S)의 편하중이 발생하는 경우라도 상기 리프트 핀의 승강작동에 마찰저항을 현저히 감소시킬 수 있기 때문에 기판(S)의 하부면을 안정적으로 지지할 수 있고, 또한 상기 리프트 핀의 파손에 의한 기판(S)의 손상을 방지할 수 있다. 이로 인해, 본 발명은 리프트 핀에 의한 기판(S)의 불량률을 상당히 감소시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위해 구체적인 실시 예로 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기와 같이 구체적인 실시 예와 동일한 구성 및 작용에만 국한되지 않고, 여러가지 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 실시될 수 있다. 따라서, 그와 같은 변형도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주해야 하며, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의해 결정되어야 한다.
100, 200 : 리프트 핀 지지 어셈블리
110 : 리프트 핀 120 : 가이드부
121 : 가이드홈 122 : 걸림턱
130, 130', 130" : 볼트랜스퍼부 132 : 제1베어링
131 : 제2베어링 133 : 하우징
134 : 통공 140 : 커버부
141 : 결합홈 142 : 핀홀
S : 기판

Claims (10)

  1. 서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판의 하측을 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부 및
    상기 가이드부의 내부에서 상측 또는 하측에 각각 복수개 결합되어 상기 리프트 핀과 접촉하는 볼트랜스퍼부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 가이드부의 상측 또는 하측 단부에 각각 결합되어 상기 가이드부 상에서 상기 볼트랜스퍼부를 커버하도록 결합되는 커버부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 볼트랜스퍼부는,
    상기 가이드부에 탈착 가능하도록 결합되는 하우징과,
    상기 하우징 내부에 복수개 구비되는 제1베어링과,
    상기 제1베어링 각각에 일 측이 접촉하고 상기 하우징에 형성된 통공을 통하여 외부로 돌출되어 상기 리프트 핀의 외주면과 타 측이 접촉하도록 마련되는 제2베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상측 및 하측 단부에서 각각 상기 하우징을 탈착 가능하도록 슬라이딩 결합시키는 가이드홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1베어링, 제2베어링 및 리프트 핀은 세라믹 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 볼트랜스퍼부는 상기 가이드부의 상측 일 방향 및 이와 대각선 방향으로 대향하는 상기 가이드부의 하측 타 방향에 배치되어 각각의 상기 제2베어링에 상기 리프트 핀이 접촉하여 운동하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 커버부는,
    상기 가이드부 상에 결합된 상기 하우징의 일 측 단부가 삽입되어 고정되도록 형성된 결합홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 볼트랜스퍼부는,
    상기 리프트 핀의 서로 다른 높이에서 원주방향을 따라 적어도 2개의 다른 각도로 각각 접촉하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  9. 반응챔버 내부에서 서셉터 상의 기판을 하측에서 지지하는 리프트 핀;
    상기 서셉터의 내부에 형성된 장착공에 결합되어 상기 리프트 핀이 승강 하는 것을 안내하는 가이드부 및
    상기 리프트 핀의 서로 다른 높이에서 각각 접촉하는 복수개의 볼트랜스퍼부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
  10. 서셉터 내부에 형성된 장착공에 결합되어 기판의 하측을 지지하는 리프트 핀이 승강하는 것을 안내하는 가이드부;
    상기 리프트 핀과 점접촉하는 복수개의 제1부재 및
    상기 제1부재와 점접촉하는 복수개의 제2부재를 포함하며,
    상기 복수개의 제1부재는 상기 가이드부의 상측 또는 하측에서 각각 수용하고, 상기 복수개의 제2부재는 상기 복수개의 제1부재와 상기 가이드부 사이에 위치하며, 상기 복수개의 제1부재는 상기 리프트 핀과 상기 복수개의 제2부재에 대하여 회전운동이 가능한 것을 특징으로 하는 리프트 핀 지지 어셈블리.
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