KR20060121569A - 리프트핀 어셈블리 - Google Patents

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KR20060121569A
KR20060121569A KR1020050043814A KR20050043814A KR20060121569A KR 20060121569 A KR20060121569 A KR 20060121569A KR 1020050043814 A KR1020050043814 A KR 1020050043814A KR 20050043814 A KR20050043814 A KR 20050043814A KR 20060121569 A KR20060121569 A KR 20060121569A
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Abstract

본 발명은, 기판을 지지하는 리프트핀과; 상기 리프트핀이 관통되는 관통공이 형성되고, 상기 관통공의 내벽에는 리프트핀을 윤활시키는 윤활수단이 구비되어 리프트핀의 승강방향을 안내하는 리프트핀 가이드와; 내부에 상기 리프트핀 가이드가 구비되는 하우징을 포함하여 구성되고, LCD 등을 제작하기 위한 증착 장비의 챔버에서 리프트핀 가이드의 내부에서 리프트핀이 보다 자유롭게 승하강할 수 있도록 하여 리프트핀과 가이드 사이의 상호 마찰로 인하여 리프트핀이 파손되는 현상을 방지할 수 있는 리프트핀 어셈블리를 제공한다.
박막증착, 서셉터, 리프트핀, 가이드

Description

리프트핀 어셈블리{Lift pin assembly}
도 1a와 도 1b는 플라스마를 이용하여 기판 상에 박막을 증착하는 플라즈마 화학증착 장치에서 기판이 공정위치까지 로딩되는 과정을 도시하는 공정도.
도 2a 및 도 2b는 종래기술에 의한 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도 및 횡단면도.
도 2c는 서셉터의 열변형과 기판의 하중으로 변형된 상태를 도시하는 종단면도.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도.
도 3b는 도 3a의 리프트핀 가이드를 도시하는 단면사시도.
도 3c는 도 3a의 횡단면도.
도 4a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도.
도 4b는 도 4a의 리프트핀 가이드를 도시하는 단면사시도.
도 4c는 도 4a의 횡단면도.
도 5a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도.
도 5b는 도 5a의 리프트핀 가이드를 도시하는 단면사시도.
도 5c는 도 5a의 횡단면도.
도 5d는 상기 도 5c 중 외측가이드가 분해된 상태를 도시하는 횡단면도.
도 6은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 리프트핀 110 : 헤드
120 : 스템 130 : 단턱부
200 : 리프트핀 가이드 201, 203, 205 : 내측가이드
202, 204a, 204b, 206a, 206b : 외측가이드
210 : 관통공 220 : 윤활수단, 볼
230 : 안착공 232 : 제 1 안착공
234 : 제 2 안착공 240 : 덮개
300 : 하우징 310 : 걸림턱
320 : 결합구
본 발명은 리프트핀 어셈블리에 관한 것으로, 구체적으로는 LCD 증착장비 내부에 구비되어 서셉터의 승하강방향을 안내하는 리프트핀 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자(LCD, Liquid Crystal Display)는 인가전압에 따른 액정의 투과도 변화를 이용하여 각종 장치에서 발생되는 여러 가지 전기적인 신호를 시각정보로 변화시켜 전달하는 전자소자이다. 이러한 액정표시소자는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극과, 액정셀 별로 데이터 공급을 절환하기 위한 박막트랜지스터와, 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀로 공급하는 신호배선 및 박막트랜지스터의 제어신호를 공급하는 신호 배선 등이 구비된 하판과, 칼라 필터가 형성된 상판과, 일정한 셀 갭을 확보하기 위해 상기 상,하판 사이에 구비되는 스페이서와, 상기 스페이서에 의해 마련된 공간에 충진되는 액정으로 구성된다.
한편, 상기와 같은 액정표시소자의 제조는 웨이퍼 또는 글라스(이하 기판이라 함) 상에 유전체 물질 등을 박막으로 증착하는 박막증착공정과, 감광성 물질을 사용하여 상기 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피공정과, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각공정과, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정으로 이루어지되, 상기한 공정을 수차례 반복함으로써 완성되는 바, 이들 각 공정은 해당 공정의 최적 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행된다. 이 중, 박막증착공정은 박막트랜지스터의 채널부로 포함되는 활성층과 박막트랜지스터를 보호하기 위한 보호막을 기판에 증착하는 공정으로 플라스마를 이용하여 기판 상에 박막을 증착하는 플라즈마 화학증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition;PECVD)공법이 사용된다.
도 1a와 도 1b는 플라스마를 이용하여 기판 상에 박막을 증착하는 PECVD 장치에서 기판이 공정위치까지 로딩되는 과정을 도시하는 공정도이다.
기판처리장치의 구성을 먼저 살펴보면, 일정한 반응공간이 내부에 형성되며 기판(S)을 출입시키기 위한 도어(D)가 측벽에 구비되는 챔버(10)와, 상면에 기판(S)이 안착되며 상기 챔버(10)의 내부에 위치되는 서셉터(20)와, 다수의 분사홀(42)를 통해 서셉터(20)의 상부에서 공정가스를 분사하는 가스분배판(40)과, 외부 가스저장부(미도시)와 연결되며 상기 가스분배판(40)을 통해 공정가스를 유입하는 가스유입관(80)과 가스배출구(미도시)를 포함한다.
상기의 가스분배판(40)은 RF전원(60)으로부터 RF전력이 인가되는 플라스마전극(50)과 일체로 결합되기도 하며, 상기 플라스마 전극(50)과 RF전원(60) 사이에는 상기 플라스마 전극(50)에 최대 전력이 인가될 수 있도록 경로 임피던스를 매칭하는 임피던스 정합기(Impedance Matching Box, 70)가 설치된다. 상기 플라스마 전극(50)에 대응되는 전극은 접지된 서셉터(20)가 되는데, 경우에 따라 서셉터(20)에도 RF전원을 연결하여 기판(S)으로 입사되는 플라스마 에너지를 제어하는 경우도 있다. 또한, 플라스마 전극(50)과 가스분배판(40) 사이에는 가스유입관(80)으로 유입된 공정가스를 일차 확산시키기 위한 버퍼공간(52)이 형성되어 공정가스가 분사홀(42)을 통하여 균일하게 분사될 수 있게 한다.
한편, 서셉터(20)에는 상하를 관통하는 리프트핀 홀(21)이 다수 형성되며, 각 리프트핀 홀(21)에는 리프트핀(30)이 결합되는 바, 이러한 리프트핀(30)은 기판(S)을 서셉터(20)에 안착시키거나 반출하는데 이용된다. 리프트핀(30)의 상단부에는 직경이 큰 헤드가 형성되고, 리프트핀 홀(21)의 상부에도 그에 대응하는 걸림턱이 형성되어있다. 기판(S)을 챔버(10)의 내부로 반입하여 서셉터(20)에 안착시키는 경우에는, 도 1a에 도시된 바와 같이, 서셉터(20)를 하강시켜 리프트핀(30)의 하단부가 챔버(10) 저면에 접촉됨으로써 리프트핀(30)의 상단부가 서셉터(20)의 상부로 돌출되고, 이때 도어(D)를 통해 반입된 기판(S)이 돌출된 리프트핀(30) 위에 안착된다.
상기 기판(S)이 리프트핀(30) 위에 안착된 후, 박막증착공정이 진행되기 전에 기판(S)을 서셉터(20)를 공정위치까지 상승시키게 되는데, 리프트핀(30)은 별도 구동장치 없이 서셉터(20)에 대하여 자유로이 결합되어 있는 상태이어서 서셉터(20)가 상승할 때 리프트핀(30)의 헤드가 관통홀 상부 걸림턱에 걸리게 되므로, 리프트핀(30)에 안착된 기판은 자연스럽게 서셉터(20)의 상면에 안착된다.
기판이 상면에 안치된 이후에도 서셉터(20)가 공정위치까지 계속 상승하면, 도 1b에 도시된 바와 같이 리프트핀(30)은 서셉터(20)에 매달린 상태에서 서셉터(20)와 함께 공정위치까지 상승하게 된다.
공정위치에서 공정을 마친 이후에는 다시 서셉터(20)가 하강하게 되며, 서셉터(20)에 매달린 리프트핀(30)의 하단부가 챔버(10)의 저면에 닿으면, 도 1a에 도시된 바와 마찬가지로 리프트핀(30)의 상단부가 다시 서셉터(20)의 상부로 돌출되며, 도어(40)를 통해 진입한 로봇이 서셉터(20)와 기판(S)의 사이로 진입하여 기판(S)을 반출하게 된다.
이상에서 리프트핀(30)은 서셉터(20)에 기판을 안치하거나 서셉터(20)로부터 기판(S)을 반출하는데 필수적인 역할을 하며, 주기적으로 리프트핀 홀(21)을 관통하여 상하로 운동함을 알 수 있다.
서셉터(20)는 통상 알루미늄 재질로 제작되며, 내부에 기판의 예열을 위한 히터를 내장하고 있다. 서셉터를 관통하는 리프트핀(30)은 알루미나(Al2O3) 등과 같은 세라믹 재질로 제작되고, 서셉터의 두께보다 길게 제작되며, 서셉터(20)의 하강 시 리프트핀(30)의 하단이 챔버(10)의 바닥면에 먼저 닿도록 제작된다.
그리고, 상기 서셉터(20)에는 상하로 관통된 리프트핀 홀(21)의 내부에 플라스마가 형성되는 것을 방지하기 위해서 절연재질의 리프트핀 가이드(100)를 리프트핀 홀(21) 내벽에 추가로 결합한다.
도 2a는 종래기술에 의한 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도이고, 도 2b는 종래기술에 의한 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 횡단면도이다.
도 2a를 참조하면, 리프트핀 가이드(90)는 중앙에 상하를 관통하는 관통홀(91)을 구비하는 관형의 구조체로서, 서셉터(20)의 하부로부터 삽입되어 고정되고, 리프트핀(30)의 상단에는 리프트핀 헤드(32)가 형성되어 서셉터 상면의 걸림턱(22)에 걸릴 수 있도록 한다.
리프트핀 가이드(90)의 상부와 하부에는 내벽에서 안쪽 방향으로 선접촉부(92) 또는 면접촉부(93)가 각각 형성되어 있는데, 이는 리프트핀 가이드(90)를 관통하여 승강하는 리프트핀(30)을 상부와 하부에서 고정하여 줌으로써 최대한 수직상태로 유지시키기 위한 것이다.
서셉터(20)가 하강할 때, 리프트핀(30)의 하단부가 챔버 저면에 닿은 후에도 서셉터(20)는 일정 거리를 더 하강하게 되는데, 이때 리프트핀(30)이 기울어져 있으면 하강하는 서셉터(20)에 의해 리프트핀(30)이 파손될 수 있으므로, 이를 방지하기 위해서는 리프트핀(30)을 최대한 수직상태로 유지하여야 한다.
하지만, 상기와 같이 구성된 종래의 증착장비에서는, 서셉터(20) 내의 리프트핀(30)이 외부 구동수단에 의하여 승강된 상태에서 로봇이 기판(S)을 챔버(10) 내부로 이동시켜 리프트핀(30) 상부에 올려놓으면, 서셉터(20)의 열변형과 상기 기판(S)의 하중으로 기판(S)은 도 2c와 같이 휘어지게 되고, 이로 인해 리프트핀(30)이 기울어지게 된다.
상기의 리프트핀(30)이 기울어짐에 따라 도 2c의 점(E)에서 리프트핀(30)이 리프트핀 가이드(90)를 누르게 되어 리프트 핀(30)과 리프트핀 가이드(90) 사이에서 대각선 방향으로 마찰력이 증가하게 되고, 이 상태에서 기판(S)의 언로딩(Unloading)을 위해 서셉터(20)가 하강을 하면, 상기 마찰력에 의해 순간적인 전단력이 발생하여 리프트핀(30)이 부러지는 상황이 발생한다.
상기의 리프트핀(30)이 파손되면, 파손된 리프트핀(30)을 교체하기 위하여 장비 가동을 중단시켜야 하므로, 장비의 생산성에 큰 지장을 초래할 뿐만 아니라, 상부에 안치된 기판(S)도 손상을 입거나 파손될 가능성이 커진다. 또한, 기판(S)이 파손되면 플라스마에 의하여 기판처리장비의 다른 부품들이 연쇄적으로 손상될 우려가 높아 그 피해가 큰 실정이다.
따라서 본 발명의 목적은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서 LCD 등을 제작하기 위한 증착 장비의 챔버에서 리프트핀 가이드의 내부에서 리프트핀이 보다 자유롭게 승하강할 수 있도록 하는 리프트핀 어셈블리를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 리프트핀과 가이드 사이의 상호 마찰로 인하여 리프트핀이 파손되는 현상을 방지할 수 있는 리프트핀 어셈블리를 제공하는데 있다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 리프트핀 어셈블리는, 기판을 지지하는 리프트핀과; 상기 리프트핀이 관통되는 관통공이 형성되고, 상기 관통공의 내벽에는 리프트핀과 점접촉하는 윤활수단이 구비되어 리프트핀의 승강방향을 안내하는 리프트핀 가이드와; 내부에 상기 리프트핀 가이드가 구비되는 하우징을 포함하여 구성된다.
이하, 본 발명에 따른 각 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
[실시예 1]
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도이고, 도 3b는 도 3a의 리프트핀 가이드를 도시하는 단면사시도이며, 도 3c는 도 3a의 횡단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이 상기 제 1 실시예는 기판을 지지하는 리프트핀(100)과, 상기 리프트핀(100)의 승강방향을 안내하는 리프트핀 가이드(200)와, 내 부에 상기 리프트핀 가이드(200)가 구비되는 하우징(300)을 포함하여 구성된다.
상기 리프트핀(100)은 기판(도 1a의 S)을 서셉터(20)의 상면에 안착시키거나 반출 시 기판(S)을 서셉터(20)의 상면으로부터 이격시키는데 사용되는 것으로 원기둥 형상의 헤드(110)와, 상기 헤드(110)의 하부로 소정 길이 돌출되는 스템(120)으로 형성된다. 이때, 상기 스템(120)은 상기 헤드(110)에 비해 작은 직경으로 형성되므로 헤드(110)와 스템(120)의 연결부위에는 단턱부(130)가 형성되는 바, 상기 단턱부(130)는 서셉터(20)의 리프트핀 홀(21) 내부에 형성된 걸림턱(22)에 대응되는 것으로 리프트핀(100)이 리프트핀 홀(21)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위함이다.
상기 리프트핀 가이드(200)는 내부에 관통공(210)이 형성되는 관형 구조체로 상기 관통공(210)은 리프트핀 가이드(200)의 상하면 중심을 관통하여 형성되고, 상기 관통공(210)에는 상기 리프트핀(100)이 관통하여 결합된다. 또한, 상기 관통공(210)의 내벽에는 상기 리프트핀(100)과 점접촉하는 윤활수단(220)이 구비되어 리프트핀(100) 승강 시 발생되는 마찰력을 최소화한다. 이때, 본 실시예에서는 상기 윤활수단(220)으로 볼을 예시하였으나 이에 한정되지 아니하며, 다른 예로 상기 리프트핀(100)의 중심축과 수직으로 배치되는 원기둥 형상의 윤활수단도 가능하다.
한편, 상기 리프트핀 가이드(200)의 측벽에는 상기 윤활수단(이하, 볼(220)이라함)이 안착되는 안착공(230)이 형성되고, 상기 안착공(230)에 볼(220)이 삽입된 상태에서 상기 하우징(300)의 내부로 삽입되어 결합된다. 이때, 상기 볼(220)은 상기 안착공(230)의 외부, 즉 상기 리프트핀(100) 측으로 일부 돌출되도록 삽입되 어 리프트핀(100)과 점접촉하게 되어, 상기 리프트핀 가이드(200)는 상기 하우징(300)의 내부에 고정된다.
여기서 상기 리프트핀(100)이 수직상태를 유지하기 위해서 리프트핀 가이드는(200) 상기 하우징(300)의 상하 양단부에 각각 구비되는 것이 바람직하며, 특히 리프트핀(100)과 접촉되는 상기 볼(220)은 동일한 평면상에 3개 이상이 서로 대칭적으로 구비되는 것이 더욱 바람직하다. 본 실시예의 경우 동일한 평면상에 4개의 볼(220)이 구비되며, 상기 4개의 볼(220)은 서로 등간격으로 배치되고, 리프트핀(100) 측으로 돌출되는 높이 또한 동일하다.
상기 하우징(300) 또한 관형 구조체로 상술한 바와 같이 내부에는 상기 리프트핀 가이드(200)가 구비되고, 외주면 상에는 걸림턱(310)이 형성된다. 상기 걸림턱(310)은 서셉터(20)와 결합된 상태에서 상기 하우징(300)이 서셉터(20)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 형성된 것이며, 본 실시예에서는 상기 하우징(300)이 서셉터(20)에 견고하게 고정될 수 있도록 별도의 결합구(320)가 더 구비된다. 상기 결합구(320)는 상기 하우징(300) 및 서셉터(20)의 일부와 접촉되며 서셉터(20)에 나사결합되어 하우징(300)을 고정한다.
상기와 같은 본실시예의 각 구성요소(100, 200, 300)는 공정가스에 항상 노출되므로 내식성이 강한 세라믹 재질 또는 절연재질로 제작되는 것이 바람직하다.
[실시예 2]
도 4a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합 상태를 도시하는 종단면도이고, 도 4b는 도 4a의 리프트핀 가이드를 도시하는 단면사시도이며, 도 4c는 도 4a의 횡단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이 상기 제 2 실시예는 기판을 지지하는 리프트핀(100)과, 상기 리프트핀(100)의 승강방향을 안내하는 리프트핀 가이드(200)와, 내부에 상기 리프트핀 가이드(200)가 구비되는 하우징(300)을 포함하여 구성된다. 그리고 상기 하우징(300)이 서셉터(20)에 견고하게 고정될 수 있도록 별도의 결합구(320)가 더 구비된다.
이때, 상기 리프트핀 가이드(200)는 상기 리프트핀(100) 측에 위치되는 내측가이드(201)와, 상기 내측가이드(201)가 내부에 삽입되어 결합되는 외측가이드(202)로 구성된다.
상기 리프트핀 가이드(200)는 볼(220)이 안착되는 안착공(230)이 측벽에 형성되는 내측가이드(201)와, 상기 내측가이드(201)가 내부에 삽입되어 결합되는 중공 원통형상의 외측가이드(202)로 구성된다. 그 구조를 좀 더 상세히 살펴보면, 상기 내측가이드(201)의 측벽에는 상기 볼(220)이 안착되는 안착공(230)이 형성되고, 상기 안착공(230)에 볼(220)이 삽입된 상태에서 상기 외측가이드(202)의 내부로 결합되어지되, 상기 볼(220)은 상기 안착공(230)의 외부, 즉 상기 리프트핀(100) 측으로 일부 돌출되도록 삽입되어 리프트핀(100)과 점접촉하게 된다. 상기 외측가이드(202)는 길이 방향으로 절개된 복수개(바람직하게는 2개)의 편부로 구성되어 안착공(230)에 볼(220)이 안착된 내측가이드(201)의 외부를 감싸도록 결합될 수도 있다.
여기서 상기 안착공(230)과 안착공(230)에 삽입되는 볼(220)은 복수개로 구비되며 상기 리프트핀(100)의 승강방향을 따라 일렬로 배열된다. 이는 상기 리프트핀(100)이 상기 리프트핀 가이드(200)에 형성된 관통공(210)에 관통, 결합된 상태에서 수직을 유지하기 위함으로 상기 볼(220)은 동일한 평면상에 4개가 구비되고, 상기 4개의 볼(220)은 서로 등간격으로 배치되며, 리프트핀 측으로 돌출되는 높이 또한 동일하다.
상기와 같은 구성의 본실시예는 상기 하우징(300)의 내벽과 리프트핀 가이드(200)의 외벽 사이에 소정 간극이 형성되고, 상기 리프트핀 가이드(200)의 상부, 즉 상기 하우징(300)의 내측 상단부에 소정의 공간이 마련되는 바, 상기 리프트핀(100) 승강 시 상기 리프트핀 가이드(200)는 리프트핀(100)을 따라 일정높이만큼 승강되므로 리프트핀(100) 승강 시 발생되는 마찰력을 더욱 감소시킬 수 있다.
[실시예 3]
도 5a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도이고, 도 5b는 도 5a의 리프트핀 가이드를 도시하는 단면사시도이다. 또한, 도 5c는 도 5a의 횡단면도이며, 도 5d는 상기 도 5c 중 외측가이드가 분해된 상태를 도시하는 횡단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이 상기 제 3 실시예는 기판을 지지하는 리프트핀(100)과, 상기 리프트핀(100)의 승강방향을 안내하는 리프트핀 가이드(200)와, 내부에 상기 리프트핀 가이드(200)가 구비되는 하우징(300)을 포함하여 구성된다. 그 리고 상기 하우징(300)이 서셉터(20)에 견고하게 고정될 수 있도록 별도의 결합구(320)가 더 구비된다.
이때, 상기 리프트핀 가이드(200)는 상기 리프트핀 측에 위치되는 내측가이드(203)와, 상기 내측가이드(203)의 외부를 감싸도록 결합되는 한 쌍의 외측가이드(204a, 204b)로 구성된다.
상기 리프트핀 가이드(200)는 볼(220)이 안착되는 안착공(230)이 측벽에 형성되는 내측가이드(203)와, 상기 내측가이드(203)의 외부를 감싸도록 결합되는 중공 원통형상의 외측가이드(204a, 204b)로 구성된다. 그 구조를 좀 더 상세히 살펴보면, 상기 내측가이드(203)의 측벽에는 상기 볼(220)이 안착되는 제 1 안착공(232)이 형성되고, 상기 제 1 안착공(232)에 볼(220)이 삽입된 상태에서 한 쌍의 외측가이드(204a, 204b)가 내측가이드(203)의 외부를 감싸도록 결합된다. 이때, 상기 외측가이드(204a, 204b)의 측벽에는 상기 제 1 안착공(232)과 대응되는 위치에 제 2 안착공(234)이 형성되며, 상기 볼(220)은 상기 제 1 안착공(232)과 제 2 안착공(234)의 외부, 즉 상기 리프트핀(100) 측과 상기 하우징 측(300)으로 일부 돌출되도록 삽입되어 리프트핀(100) 및 하우징(300)과 점접촉하게 된다. 한편, 상기 리프트핀 가이드(200)의 상하 양단부에는 리프트핀 가이드(200)의 결합상태를 유지하기 위한 덮개(240)가 더 구비된다.
여기서 상기 제 1, 2 안착공(232, 234)과 제 1, 2 안착공(232, 234)에 삽입되는 볼(220)은 복수개로 구비되며 상기 리프트핀(100)의 승강방향을 따라 일렬로 배열된다. 이는 상기 리프트핀(100)이 상기 리프트핀 가이드(200)에 형성된 관통공 (210)에 관통, 결합된 상태에서 수직을 유지하기 위함으로 상기 볼(220)은 동일한 평면상에 4개가 구비되고, 상기 4개의 볼(200)은 서로 등간격으로 배치되며, 돌출되는 높이 또한 동일하다. 한편, 외측가이드는 동일 평면상에 구비된 볼의 개수만큼 분리되어 구성되는 것이 바람직할 수 있다.
상기와 같은 구성의 본실시예는 상기 하우징(300)의 내벽과 리프트핀 가이드(200)의 외벽 사이에 간극이 형성되고, 상기 리프트핀 가이드(200)의 상부, 즉 상기 하우징(300)의 내측 상단부에 소정의 공간이 마련되는 바, 상기 리프트핀(100) 승강 시 상기 리프트핀 가이드(200)는 리프트핀(100)을 따라 일정높이만큼 승강되므로 리프트핀(100) 승강 시 발생되는 마찰력을 감소시킬 수 있다. 뿐만 아니라 상기 리프트핀 가이드(200)의 외측으로 돌출되는 볼(220)은 상기 하우징(300)과 점접촉하므로 리프트핀 승강 시 발생되는 마찰력을 더욱 감소시킬 수 있다.
[실시예 4]
도 6은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 리프트핀과 리프트핀 가이드의 결합상태를 도시하는 종단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이 상기 제 4 실시예는 기판을 지지하는 리프트핀(100)과, 상기 리프트핀(100)의 승강방향을 안내하는 리프트핀 가이드(200)와, 내부에 상기 리프트핀 가이드(200)가 구비되는 하우징(300)을 포함하여 구성된다. 이때, 상기 가이드(200)는 상기 리프트핀 측에 위치되는 내측가이드(205)와, 상기 내측가이드(205)의 외부를 감싸도록 결합되는 한 쌍의 외측가이드(206a, 206b)로 구 성된다.
여기서 상기 리프트핀 가이드(200)는 복수개로 구비되어 상기 리프트핀(100)의 승강방향을 따라 일렬로 배열되어지되, 상기 복수개의 리프트핀 가이드(200)는 상기 하우징(300) 내부에서 각각 독립적으로 유동되게 수납된다. 즉, 복수개의 상기 리프트핀 가이드(200)는 서로 구속되지 않고 상기 하우징(300) 내측면과 소정 거리로 이격되게 수납된다.
따라서 본 실시예의 경우 상기 리프트핀 가이드(200)가 상기와 같이 독립적으로 유동되므로 기판(도 1a의 S)의 자중에 의해 상기 리프트핀(100)이 일정 각도 기울어진 상태에서 리프트핀(100) 승강 시 발생되는 전단력을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 리프트핀 어셈블리의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
이상과 같은 본 발명 리프트핀 어셈블리는 LCD 등을 제작하기 위한 증착 장비의 챔버에 구비되어 리프트핀 가이드의 내부에서 리프트핀이 보다 자유롭게 승강할 수 있도록 한다. 또한, 리프트핀 가이드에 다수의 윤활수단을 구비함으로써 리프트핀이 기울어짐에 따라 리프트핀과 가이드 사이에 발생되는 마찰력을 최소화할 수 있으며, 그에 따라 리프트핀이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
뿐만 아니라, 윤활수단에 회전 가능한 볼(Ball)을 사용함으로써 상기 볼의 회전력으로 인하여 감소시킬 수 있어 리프트핀이 파손되는 현상을 방지하여 생산성 향상 및 PM 주기 증대라는 부가적인 효과를 거둘 수 있다.

Claims (10)

  1. 기판을 지지하는 리프트핀과;
    상기 리프트핀이 관통되는 관통공이 형성되고, 상기 관통공의 내벽에는 리프트핀을 윤활시키는 윤활수단이 구비되어 리프트핀의 승강방향을 안내하는 리프트핀 가이드와;
    내부에 상기 리프트핀 가이드가 구비되는 하우징;
    을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 윤활수단은 볼인 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 리프트핀 가이드는 한 쌍으로 구성되어 상기 하우징의 상하 양단부에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 리프트핀 가이드는 복수개로 구성되어 상기 리프트핀의 승강방향을 따라 일렬로 구비되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 복수개의 리프트핀 가이드는 상기 하우징의 내부에서 각각 독립적으로 유동되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 리프트핀 가이드는, 상기 윤활수단이 안착되는 제 1 안착공이 측벽에 형성되는 내측가이드와, 상기 내측가이드의 주위를 감싸는 외측가이드로 구성되고,
    상기 윤활수단은 상기 제 1 안착공을 통해 상기 리프트핀 측으로 일부 돌출되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 외측가이드의 측벽에는 상기 제 1 안착공과 대응되는 위치에 제 2 안착공이 형성되고, 상기 윤활수단은 상기 제 2 안착공을 통해 상기 하우징 측으로 일부 돌출되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 윤활수단 중 동일한 평면상에 구비되는 윤활수단은 복수개가 등간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 리프트핀 가이드는 상기 하우징에 고정되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 리프트핀 가이드는 상기 하우징의 내부에서 상기 리프트핀의 승강에 따라 유동되는 것을 특징으로 하는 리프트핀 어셈블리.
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