KR101094138B1 - 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어 - Google Patents

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KR101094138B1 KR1020110051862A KR20110051862A KR101094138B1 KR 101094138 B1 KR101094138 B1 KR 101094138B1 KR 1020110051862 A KR1020110051862 A KR 1020110051862A KR 20110051862 A KR20110051862 A KR 20110051862A KR 101094138 B1 KR101094138 B1 KR 101094138B1
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coupling
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wafer
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임이택
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(주)상아프론테크
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Abstract

웨이퍼 캐리어용 클로징 도어가 개시되어 있다.
웨이퍼 박스의 전방 개구부를 폐쇄하기 위한 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어에 있어서,
상기 클로징 도어(10)는, 내부에 설치공간을 갖는 사각형의 내부도어(200)와, 상기 내부도어(200)의 설치공간을 폐쇄하는 외부도어(210)와; 상기 설치공간의 내부 양쪽에 설치되어 조절노브(230)의 조작에 따라 상하로 출몰되면서 상기 웨이퍼 박스(30)의 걸림홈(30a)에 걸림 또는 걸림 해제되는 래치바(220)와; 상기 외부도어(210)에 형성되어 상기 래치바(220)가 안정되게 상하 동작되도록 상기 래치바를 내부도어(200) 쪽으로 가압하는 가압 가이드(250)로 구성되며;
상기 내부도어(200)의 테두리측 각 코너부 양쪽에 형성되는 결합구멍(201)과; 상기 클로징 도어(10)의 테두리와 마주하는 결합면(261)에 상기 결합구멍(201)에 걸림 결합되는 한 쌍의 후크돌기(262)가 형성되고, 상기 결합면(261)의 상대면인 가이드 면(263)에는 가이드 면의 일부 구간이 상기 클로징 도어의 내면을 향할수록 점차로 함몰되게 경사진 경사면(264)이 형성된 평판형의 도어가이드(260)를 포함하며;
상기 도어가이드(260)의 재질은 폴리아세탈(Polyacetal:POM)을 포함하고 있으며, 그 표면에는 내마모성 향상을 위해 테프론오일이 코팅된 것을 더 포함하되,
상기 내부도어(200)의 내면에 설치홈(11)이 형성되고, 이 설치홈(11)에는 전방 리테이너(100)가 인입 설치되되, 상기 설치홈(11)의 설치면 일측에는 한 쌍의 수직리브(12)를 이격되게 형성하여, 이들 수직리브(12) 사이에 제1 결합슬롯(12a)이 형성되어지고, 상기 설치홈의 설치면 다른 일측에도 한 쌍의 수직리브(12)를 이격되게 형성하여, 이들 수직리브(12) 사이에 제2 결합슬롯(12b)이 형성되어지며, 상기 제1, 2 결합슬롯(12a,12b) 사이의 상측 및 하측에는, 상부 및 하부 결합편(13,14)이 각각 형성되어짐을 포함하며,
상기 전방 리테이너(100)는, 상기 제1 결합슬롯(12a)에 끼움 조립되는 수직상의 제1 수직요소(110)와; 상기 제2 결합슬롯(12b)에 끼움 조립되는 수직상의 제2 수직요소(120)와; 상기 제1, 2 수직요소(110,120)의 상측을 연결하며 상기 상부 결합편(13)에 결합되는 상 연결요소(130)와; 상기 제1, 2 수직요소(110,120)의 하측을 연결하며 상기 하부 결합편(14)에 결합되는 하 연결요소(140)와; 상기 제1 수직요소(110)의 좌측면 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 상기 제1 수직요소(110) 전면(前面)과의 사이각(θ)이 90°＜θ＜180°가 되도록 구배지게 형성되며, 전후방향으로 탄성변형이 가능한 제1 탄성바(151)와, 상기 제1 탄성바(151)의 자유단에 일체로 형성되되 상기 제1 탄성바(151)와 동일한 구배각도로 구배지게 형성되며, 전면(前面)에 웨이퍼(w)의 테두리부가 끼워질 수 있도록 슬롯(153)이 형성된 제1 홀더(152)로 이루어진 제1 지지요소(150); 상기 제1 수직요소(110)의 전면(前面) 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 이들 사이에 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(161)이 형성된 제2 지지요소(160); 상기 제2 수직요소(120)의 전면(前面) 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 이들 사이에 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(171)이 형성된 제3 지지요소(170) 및; 상기 제2 수직요소(120)의 우측면 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 상기 제2 수직요소(120) 전면(前面)과의 사이각(θ)이 90°＜θ＜180°가 되도록 구배지게 형성되며, 전후방향으로 탄성변형이 가능한 제2 탄성바(181)와, 상기 제2 탄성바(181)의 자유단에 일체로 형성되되 상기 제2 탄성바(181)와 동일한 구배각도로 구배지게 형성되며, 전면(前面)에 웨이퍼(w)의 테두리부가 끼워질 수 있도록 슬롯이 형성된 제2 홀더(182)로 이루어진 제4 지지요소(180);로 구성된 것을 더 포함하는 것이다.

Description

웨이퍼 캐리어용 클로징 도어{closing door for wafer carrier}
본 발명은 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어에 관한 것이다.
특히, 클로징 도어의 테두리측 각 모서리에 내마모성 재질의 후크형 도어 가이드가 낱개로 설치된 점, 클로징 도어의 내면에 4점 지지형 리테이너가 채용된 점에 특징을 갖는 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼와 같은 기판을 저장하거나 이송하기 위해서는 박스 형태의 캐리어가 이용된다. 캐리어는 일반적으로 전면 개방형의 웨이퍼 박스와, 웨이퍼 박스의 개방부를 폐쇄하기 위한 클로징 도어로 이루어진다. 웨이퍼 박스의 내부 양 측면에는 웨이퍼의 측면 에지부를 지지하기 위한 측방 리테이너가 설치되며, 클로징 도어의 내면(웨이퍼 박스를 향하는 면)에도 상기 측방 리테이너와 대응되는 형태의 전방 리테이너가 설치되어 있어서 클로징 도어의 폐쇄시에 웨이퍼의 전면 에지부를 지지하게 된다.
또한, 클로징 도어의 가장자리 각 모서리에는 클로징 도어를 열고 닫을 때, 클로징 도어의 가장자리와 웨이퍼 박스의 개방부의 마찰접촉에 의해 야기되는 파티클의 발생을 줄이기 위한 도어가이드가 설치된다.
그러나, 도 1에 도시된 바와 같이, 종래 클로징 도어의 전방 리테이너(1)는 2점 지지방식이고, 2점 지지거리(d)가 짧아서 기판의 견고한 지지가 어렵고, 각 탄성아암(2)이 기판의 외주 곡면과는 배치되게 직선상으로 배열되어 있어서 클로징 도어를 닫았을 때 각 탄성아암(2)이 기판의 외주 곡면에 맞게 탄성 변형되는데, 탄성변형 정도가 심각하여 각 탄성아암(2)과 각 세로프레임(3)의 연결부위에 응력이 집중되면서 연결부위가 단기간 내에 파단되는 문제점이 있었다.
또한, 웨이퍼 박스의 내부 양측면에 설치되는 측방 리테이너의 슬롯과 전방 리테이너(1)의 각 홀더부(2a)가 정확하게 수평을 이루어야만 기판을 수평하게 지지할 수 있을 것이나, 제작과정에서 이들 홀더부의 위치가 위아래로 격차가 있는 경우 기판이 전방 리테이너(1)의 각 홀더부(2a)에 정확하게 진입되지 못하고 홀더부를 벗어난 비 홀더부에 잘못 끼워질 수 있다는 문제점도 지적되고 있다.
또한, 각 탄성아암(2)은 변형률이 크기 때문에 기판을 견고하게 지지하지 못한다. 때문에, 웨이퍼 캐리어가 격렬하게 움직일 경우 기판이 탄성아암으로부터 이탈될 소지도 있다.
또한, 종래의 도어가이드(5)는 도 2에서와 같이, 클로징 도어(4)의 각 라운드 모서리와 유사한 곡률을 갖는 만곡브릿지(5a)와, 상기 만곡브릿지(5a)의 양단부에 각각 일체로 형성되는 제1, 2 가이드리브(5b,5c)로 구성된다. 이러한 도어가이드는 클로징 도어(4)의 각 라운드 모서리 양쪽에 형성된 노치부(4a)에 상기 제1, 2 가이드리브(5b,5c)를 삽입한 상태에서 만곡브릿지(5a)와 이와 맞닿는 클로징 도어(4)의 라운드 모서리를 나사 결합하여 고정하는 구조를 취하고 있다.
그러나, 종래의 도어가이드는 구성이 복잡하여 제작 원가가 비싸고, 제1, 2 가이드리브(5b,5c)가 만곡브릿지(5a)에 의해 일체로 구성되어 있어서 제1, 2 가이드리브(5b,5c) 중 어느 한 가이드리브가 편마모 되더라도 도어가이드 전체를 교체해야 하므로 유지관리 비용이 많이 드는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 도어가이드(5)는 마찰에 대하여 쉽게 마모되어 교환주기가 빠르다는 문제점도 있었다.
본 발명의 목적은 도어가이드가 마찰에 대하여 쉽게 마모되지 않도록 윤활성 수지로 되고, 낱개로 구성되어 마모된 낱개의 도어가이드만을 교환하면 되기 때문에 효율적인 유지관리가 가능한 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 클로징 도어의 내면에 설치되는 전방 리테이너를 4점지지형으로 개선하여 기판을 보다 안정적으로 지지할 수 있도록 한 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
웨이퍼 박스의 전방 개구부를 폐쇄하기 위한 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어에 있어서,
상기 클로징 도어(10)는, 내부에 설치공간을 갖는 사각형의 내부도어(200)와, 상기 내부도어(200)의 설치공간을 폐쇄하는 외부도어(210)와; 상기 설치공간의 내부 양쪽에 설치되어 조절노브(230)의 조작에 따라 상하로 출몰되면서 상기 웨이퍼 박스(30)의 걸림홈(30a)에 걸림 또는 걸림 해제되는 래치바(220)와; 상기 외부도어(210)에 형성되어 상기 래치바(220)가 안정되게 상하 동작되도록 상기 래치바를 내부도어(200) 쪽으로 가압하는 가압 가이드(250)로 구성되며;
상기 내부도어(200)의 테두리측 각 코너부 양쪽에 형성되는 결합구멍(201)과; 상기 클로징 도어(10)의 테두리와 마주하는 결합면(261)에 상기 결합구멍(201)에 걸림 결합되는 한 쌍의 후크돌기(262)가 형성되고, 상기 결합면(261)의 상대면인 가이드 면(263)에는 가이드 면의 일부 구간이 상기 클로징 도어의 내면을 향할수록 점차로 함몰되게 경사진 경사면(264)이 형성된 평판형의 도어가이드(260)를 포함하며;
상기 도어가이드(260)의 재질은 폴리아세탈(Polyacetal:POM)을 포함하고 있으며, 그 표면에는 내마모성 향상을 위해 테프론오일이 코팅된 것을 더 포함하되,
상기 내부도어(200)의 내면에 설치홈(11)이 형성되고, 이 설치홈(11)에는 전방 리테이너(100)가 인입 설치되되, 상기 설치홈(11)의 설치면 일측에는 한 쌍의 수직리브(12)를 이격되게 형성하여, 이들 수직리브(12) 사이에 제1 결합슬롯(12a)이 형성되어지고, 상기 설치홈의 설치면 다른 일측에도 한 쌍의 수직리브(12)를 이격되게 형성하여, 이들 수직리브(12) 사이에 제2 결합슬롯(12b)이 형성되어지며, 상기 제1, 2 결합슬롯(12a,12b) 사이의 상측 및 하측에는, 상부 및 하부 결합편(13,14)이 각각 형성되어짐을 포함하며,
상기 전방 리테이너(100)는, 상기 제1 결합슬롯(12a)에 끼움 조립되는 수직상의 제1 수직요소(110)와; 상기 제2 결합슬롯(12b)에 끼움 조립되는 수직상의 제2 수직요소(120)와; 상기 제1, 2 수직요소(110,120)의 상측을 연결하며 상기 상부 결합편(13)에 결합되는 상 연결요소(130)와; 상기 제1, 2 수직요소(110,120)의 하측을 연결하며 상기 하부 결합편(14)에 결합되는 하 연결요소(140)와; 상기 제1 수직요소(110)의 좌측면 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 상기 제1 수직요소(110) 전면(前面)과의 사이각(θ)이 90°＜θ＜180°가 되도록 구배지게 형성되며, 전후방향으로 탄성변형이 가능한 제1 탄성바(151)와, 상기 제1 탄성바(151)의 자유단에 일체로 형성되되 상기 제1 탄성바(151)와 동일한 구배각도로 구배지게 형성되며, 전면(前面)에 웨이퍼(w)의 테두리부가 끼워질 수 있도록 슬롯(153)이 형성된 제1 홀더(152)로 이루어진 제1 지지요소(150); 상기 제1 수직요소(110)의 전면(前面) 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 이들 사이에 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(161)이 형성된 제2 지지요소(160); 상기 제2 수직요소(120)의 전면(前面) 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 이들 사이에 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(171)이 형성된 제3 지지요소(170) 및; 상기 제2 수직요소(120)의 우측면 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 상기 제2 수직요소(120) 전면(前面)과의 사이각(θ)이 90°＜θ＜180°가 되도록 구배지게 형성되며, 전후방향으로 탄성변형이 가능한 제2 탄성바(181)와, 상기 제2 탄성바(181)의 자유단에 일체로 형성되되 상기 제2 탄성바(181)와 동일한 구배각도로 구배지게 형성되며, 전면(前面)에 웨이퍼(w)의 테두리부가 끼워질 수 있도록 슬롯이 형성된 제2 홀더(182)로 이루어진 제4 지지요소(180);로 구성된 것을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어를 제공하는 것이다.
삭제
이상의 본 발명은, 도어가이드가 마찰에 대하여 쉽게 마모되지 않도록 윤활성 수지로 되어 수명이 길고, 낱개로 구성되어 마모된 낱개의 도어가이드만을 교환하면 되기 때문에 효율적인 유지관리가 가능하다.
또한, 본 발명은, 클로징 도어의 내면에 설치되는 전방 리테이너를 4점지지방식으로 개선하여 기판을 견고하고 안정적으로 지지할 수 있어서 기판의 이탈을 방지할 수 있고, 이로 인해 제품의 신뢰도를 높일 수 있다.
도 1은 종래 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어에 장착되는 전방 리테이너의 요부사시도이다.
도 2는 종래 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어에 설치되는 도어 가이드의 분리사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 클로징 도어에 장착되는 전방 리테이너의 사시도이다.
도 5는 도 4의 A-A선 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 전방 리테이너의 설치 전 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 전방 리테이너의 설치 후 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어의 사시도이다.
도 3에 따르면, 본 발명의 클로징 도어(10)는, 내부에 설치공간(미도시)이 형성된 사각형의 내부도어(200)를 갖는다.
또한, 본 발명의 클로징 도어(10)는 상기 내부도어(200)의 설치공간을 폐쇄하는 외부도어(210)를 갖는다.
또한, 본 발명의 클로징 도어(10)는 상기 설치공간의 내부 양쪽에 설치되어 조절노브(230)의 회전 조작에 따라 상하방향으로 출몰되면서 웨이퍼 박스(30)의 전방 상하부에 형성된 걸림홈(30a)에 걸림 또는 걸림 해제되는 래치바(220)를 갖는다.
또한, 본 발명의 클로징 도어(10)는 상기 외부도어(210)에 형성되어 상기 래치바(220)가 들뜸 없이 안정되게 상,하 동작되도록 상기 래치바(220)를 내부도어(200) 쪽으로 가압하는 적어도 4개의 가압 가이드(250)를 갖는다. 여기서, 상기 가압 가이드(250)는 상기 외부도어(210)의 일부 살을 래치바(220) 쪽으로 기울어지게 성형하여 만들어질 수 있다.
한편, 상기 내부도어(200)의 테두리측 각 코너부 양쪽에는, 도 2에서와 같이, 결합구멍(201)이 형성된다. 상기 결합구멍(201)에는 도어가이드(260)가 각각 끼움된다. 상기 도어가이드(260)는 종래 기술에서 설명한 바 있듯이, 클로징 도어(10)를 열고 닫을 때 클로징 도어의 가장자리와 웨이퍼 박스(30) 개방부가 충돌하면서 혹은 마찰되면서 야기되는 파티클 발생을 줄이기 위한 것이다.
본 발명의 도어가이드(260)는 상기 클로징 도어(10)의 테두리와 마주하는 결합면(261)에 상기 결합구멍(201)의 단부에 걸림 결합되는 한 쌍의 후크돌기(262)가 형성된다. 또한, 상기 도어가이드(260)는 상기 결합면(261)의 상대면인 가이드 면(263)에, 가이드 면의 일부 구간을 상기 클로징 도어(10)의 내면을 향할수록 점차적으로 함몰 경사지게 한 경사면(264)이 형성된다. 상기 경사면(264)은 클로징 도어(10)를 닫을 때 원활하게 닫힐 수 있도록 가이드 해 주는 역할한다.
상기한 도어가이드(260)의 재질은 수지계로 되되, 내마모성 향상을 위해, 폴리아세탈(Polyacetal:POM)이 주원료로 포함될 수 있다. 상기 POM은 내피로성, 강인성, 내마모성 등 다른 재료에서는 볼 수 없는 우수한 특징을 가지고 있으며, 기계적 특성은 고온이나 저온에서 우수하며 stress와 strain의 관계는 금속에 가깝고 탄성회복도 좋기 때문에 350kg/㎠ 정도의 응력까지는 금속과 함께 사용할 수 있다. 내클리프성, 내피로성은 다른 수지 보다도 현저히 우수하며, 특히 본 발명에서 주목되고 있는 특성 중 마멸마모특성도 우수하여 자기 윤활성이 있으므로 접동부재로써 무윤활상태에서 사용할 수 있다. 이와 같이 본 발명의 도어가이드(260)는 자기 윤활성이 있으므로 해서 쉽게 마모되지 않으므로 수명 연장이 기대된다.
아울러, 보다 나은 내마모 특성을 위해, 도어가이드(260)의 표면에 테프론 오일을 코팅할 수도 있다. 테프론오일을 코팅하게 되면 윤활특성이 보다 향상되면서 마찰력을 줄일 수 있으므로 내마모 특성의 향상에 일조하게 된다.
도 4는 본 발명에 따른 클로징 도어에 장착되는 전방 리테이너의 사시도이고, 도 5는 도 4의 A-A선 단면도이다.
도 4, 5에 따르면, 본 발명의 전방 리테이너는 일체형의 플라스틱 사출물로서, 주요 구성은 아래와 같다.
상기 전방 리테이너(100)는 일정거리를 두고 나란하게 배치되는 수직상의 제1, 2 수직요소(110,120)를 포함한다.
여기서, 상기 제1, 2 수직요소(110,120)는 그 단면이 사각형상을 이루고 있다. 본 발명에서는 전방 리테이너(100)의 방향을 설정함에 있어서 웨이퍼 박스(30)를 향하는 방향을 전방으로 간주하여 이를 향하는 면을 전면(前面)이라 하였고, 제1 수직요소(110)의 도면상 좌측에 위치하는 면은 좌측면이라 하였고, 제2 수직요소(120)의 도면상 우측에 위치하는 면은 우측면이라 하였다. 이는 청구범위에도 동일하게 적용하고 있음을 미리 밝혀둔다.
본 발명의 전방 리테이너(100)는 상기 제1, 2 수직요소(110,120)의 상측과 하측을 각각 연결하는 상,하 연결요소(130,140)를 포함한다.
여기서, 상기 상 연결요소(130)는 그 길이방향 중심부에 사다리꼴 모양으로 하향으로 함몰된 형태의 제1 결합고리(131)가 형성되어 있다. 이의 상대 결합구조는 후술하기로 한다.
아울러, 상기 하 연결요소(140)는 그 길이방향 중심부에 사다리꼴 모양으로 상향으로 함몰된 형태의 제2 결합고리(141)가 형성되어 있다. 이의 상대 결합구조는 역시 후술하기로 한다.
본 발명의 전방 리테이너(100)는, 상기 웨이퍼(w)의 일 지점을 지지하는 제1 지지요소(150)를 포함한다. 상기 제1 지지요소(150)는 상기 제1 수직요소(110)의 좌측면 길이방향을 따라 다수 개가 형성된다.
이때, 상기 제1 지지요소(150)는 제1 탄성바(151)와 제1 홀더(152)로 세부 구성된다. 이 중 제1 탄성바(151)는 상기 제1 수직요소(110) 전면(前面)과의 사이각(θ)이 90°＜θ＜180°범위가 되도록 하며, 보다 바람직하게는 180°에 거의 근접되게 하여 구배각이 크지 않게 하는 것이 좋다.
상기 제1 탄성바(151)는 얇은 띠 형태로 되어 자체적으로 탄성을 가지고 있어서 전,후방향으로 탄성변형이 가능하다.
상기 제1 홀더(152)는 상기 제1 탄성바(151)의 자유단에 일체로 형성되며, 상기 제1 탄성바(151)와 동일한 구배각도로 구배지게 형성되고, 그 전면(前面)에 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(153)이 형성된다. 상기 제1 홀더(152)는 상기와는 다르게 제1 홀더(152) 자체는 구배지지 않고 슬롯(153)만 구배지게 형성할 수도 있다.
본 발명의 전방 리테이너(100)는 웨이퍼(w)의 이 지점을 지지하는 제2 지지요소(160)를 포함한다.
상기 제2 지지요소(160)는 상기 제1 수직요소(110)의 전면(前面) 길이방향을 따라 다수 개가 형성되며, 이들 사이에는 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(161)이 형성된다.
여기서, 상기 제2 지지요소(160)는 상기 제1 수직요소(110)의 전면과 연결되는 루트부로부터 그 선단으로 갈수록 상,하폭이 점차적으로 좁아지는 사다리꼴 형태로 되는 것이 바람직하다. 이에 따라 제2 지지요소(160) 사이에 형성되는 슬롯(161)은 그 입구가 넓고 후방으로 갈수록 좁아지는 형국을 띄게 되어 웨이퍼(w)의 원활한 진입을 가능케 한다. 또한, 제2 지지요소(160)는 상기 제1 지지요소(150)와는 다르게 탄성변형이 되지 않으므로 제1 지지요소(150)의 미약한 지지력을 보완함으로써 웨이퍼(w)의 이탈을 방지할 수 있다.
본 발명의 전방 리테이너(100)는 웨이퍼(w)의 삼 지점을 지지하는 제3 지지요소(170)를 포함한다.
상기 제3 지지요소(170)는 상기 제2 수직요소(120)의 전면(前面) 길이방향을 따라 다수 개가 형성되며, 이들 사이에는 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(171)이 형성된다.
여기서, 상기 제3 지지요소(170)는 상기 제2 수직요소(120)의 전면과 연결되는 루트부로부터 그 선단으로 갈수록 상,하폭이 점차적으로 좁아지는 사다리꼴 형태로 되는 것이 바람직하다. 이에 따라 제3 지지요소(170) 사이에 형성되는 슬롯(171)은 그 입구가 넓고 후방으로 갈수록 좁아지는 형국을 띄게 되어 웨이퍼(w)의 원활한 진입을 가능케 한다. 또한, 제3 지지요소(170)는 상기 제1 지지요소(150) 및 후술될 제4 지지요소(180)와는 다르게 탄성변형이 되지 않으므로 제1 지지요소(150) 및 제4 지지요소(180)의 미약한 지지력을 보완함으로써 웨이퍼(w)의 이탈을 방지할 수 있다.
본 발명의 전방 리테이너(100)는, 상기 웨이퍼(w)의 사 지점을 지지하는 제4 지지요소(180)를 포함한다. 상기 제4 지지요소(180)는 상기 제2 수직요소(120)의 우측면 길이방향을 따라 다수 개가 형성된다.
이때, 상기 제4 지지요소(180)는 제2 탄성바(181)와 제2 홀더(182)로 세부 구성된다. 이 중 제2 탄성바(181)는 상기 제2 수직요소(120) 전면(前面)과의 사이각(θ)이 90°＜θ＜180°범위가 되도록 하며, 보다 바람직하게는 180°에 거의 근접되게 하여 구배각이 크지 않게 하는 것이 좋다.
상기 제2 탄성바(181)는 얇은 띠 형태로 되어 자체적으로 탄성을 가지고 있어서 전,후방향으로 탄성변형이 가능하다.
상기 제2 홀더(182)는 상기 제2 탄성바(181)의 자유단에 일체로 형성되며, 상기 제2 탄성바(181)와 동일한 구배각도로 구배지게 형성되고, 그 전면(前面)에 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(183)이 형성된다. 상기 제2 홀더(182)는 상기와는 다르게 제2 홀더(182) 자체는 구배지지 않고 슬롯(183)만 구배지게 형성할 수도 있다. 이러한 조건들은 앞서 설명된 제1 지지요소(150)와 동일하다.
상기한 전방 리테이너(100)를 클로징 도어(10)에 채용하기 위해서, 도 6 및 도 7에서와 같이, 클로징 도어(10)의 내면 중앙부에 설치홈(11)을 형성하고, 이에 전방 리테이너(100)를 인입 설치하게 된다.
상기 설치홈(11)의 설치면에는 그 일측으로 한 쌍의 수직리브(12)를 이격되게 형성하여, 이들 수직리브(12) 사이에 제1 결합슬롯(12a)이 형성되게 한다. 이 제1 결합슬롯(12a)에는 상기 전방 리테이너(100)의 제1 수직요소(110)가 끼워진다.
또한, 상기 설치면의 다른 일측에도 한 쌍의 수직리브(12)를 이격되게 형성하여, 이들 수직리브(12) 사이에 제2 결합슬롯(12b)이 형성되게 한다. 이 제2 결합슬롯(12b)에는 상기 전방 리테이너(100)의 제2 수직요소(120)가 끼워진다.
또한, 상기 제1, 2 결합슬롯(12a,12b) 사이의 상측과 하측에는 상부 결합편(13)과 하부 결합편(14)이 각각 형성된다. 상기 상부 결합편(13)의 하면에는 상기 제1 결합고리(131)가 결합되고, 상기 하부 결합편(14)의 상면에는 상기 제2 결합고리(141)가 결합된다.
또한, 상,하부 결합편(13,14)는 서로 마주하는 한 쌍의 중앙 결합편(15)이 형성된다. 상기 중앙 결합편(15)에는 상기 전방 리테이너(100)의 제1 수직요소(110)의 우측면과 제2 수직요소(120)의 좌측면에 각각 형성된 중앙 결합고리(190)가 끼움 조립된다. 따라서, 전방 리테이너(100)는 앞서 설명된 바와 같이 클로징 도어(10)에 마련된 각종 결합구조에 의해 견고하게 결합된 상태를 유지하게 된다.
이상의 본 발명은, 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
10 : 클로징 도어 11 : 설치홈
12 : 수직리브 12a : 제1 결합슬롯
12b : 제2 결합슬롯 13 : 상부 결합편
14 : 하부 결합편 15 : 중앙 결합편
30 : 웨이퍼 박스 30a : 걸림홈
100 : 전방 리테이너 110 : 제1 수직요소
120 : 제2 수직요소 130 : 상 연결요소
131 : 제1 결합고리 140 : 하 연결요소
141 : 제2 결합고리 150 : 제 1 지지요소
151 : 제1 탄성바 152 : 제1 홀더
153 : 슬롯 160 : 제2 지지요소
161 : 슬롯 170 : 제3 지지요소
171 : 슬롯 180 : 제4 지지요소
181 : 제2 탄성바 182 : 제2 홀더
183 : 슬롯 190 : 중앙결합고리
200 : 내부도어 201 : 결합구멍
210 : 외부도어 220 : 래치바
230 : 조절노브 250 : 가압가이드
260 : 도어가이드 261 : 결합면
262 : 후크돌기 263 : 가이드 면
264 : 경사면

Claims (3)

  1. 웨이퍼 박스의 전방 개구부를 폐쇄하기 위한 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어에 있어서,
    상기 클로징 도어(10)는, 내부에 설치공간을 갖는 사각형의 내부도어(200)와, 상기 내부도어(200)의 설치공간을 폐쇄하는 외부도어(210)와; 상기 설치공간의 내부 양쪽에 설치되어 조절노브(230)의 조작에 따라 상하로 출몰되면서 상기 웨이퍼 박스(30)의 걸림홈(30a)에 걸림 또는 걸림 해제되는 래치바(220)와; 상기 외부도어(210)에 형성되어 상기 래치바(220)가 안정되게 상하 동작되도록 상기 래치바를 내부도어(200) 쪽으로 가압하는 가압 가이드(250)로 구성되며;
    상기 내부도어(200)의 테두리측 각 코너부 양쪽에 형성되는 결합구멍(201)과; 상기 클로징 도어(10)의 테두리와 마주하는 결합면(261)에 상기 결합구멍(201)에 걸림 결합되는 한 쌍의 후크돌기(262)가 형성되고, 상기 결합면(261)의 상대면인 가이드 면(263)에는 가이드 면의 일부 구간이 상기 클로징 도어의 내면을 향할수록 점차로 함몰되게 경사진 경사면(264)이 형성된 평판형의 도어가이드(260)를 포함하며;
    상기 도어가이드(260)의 재질은 폴리아세탈(Polyacetal:POM)을 포함하고 있으며, 그 표면에는 내마모성 향상을 위해 테프론오일이 코팅된 것을 더 포함하되,
    상기 내부도어(200)의 내면에 설치홈(11)이 형성되고, 이 설치홈(11)에는 전방 리테이너(100)가 인입 설치되되, 상기 설치홈(11)의 설치면 일측에는 한 쌍의 수직리브(12)를 이격되게 형성하여, 이들 수직리브(12) 사이에 제1 결합슬롯(12a)이 형성되어지고, 상기 설치홈의 설치면 다른 일측에도 한 쌍의 수직리브(12)를 이격되게 형성하여, 이들 수직리브(12) 사이에 제2 결합슬롯(12b)이 형성되어지며, 상기 제1, 2 결합슬롯(12a,12b) 사이의 상측 및 하측에는, 상부 및 하부 결합편(13,14)이 각각 형성되어짐을 포함하며,
    상기 전방 리테이너(100)는, 상기 제1 결합슬롯(12a)에 끼움 조립되는 수직상의 제1 수직요소(110)와; 상기 제2 결합슬롯(12b)에 끼움 조립되는 수직상의 제2 수직요소(120)와; 상기 제1, 2 수직요소(110,120)의 상측을 연결하며 상기 상부 결합편(13)에 결합되는 상 연결요소(130)와; 상기 제1, 2 수직요소(110,120)의 하측을 연결하며 상기 하부 결합편(14)에 결합되는 하 연결요소(140)와; 상기 제1 수직요소(110)의 좌측면 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 상기 제1 수직요소(110) 전면(前面)과의 사이각(θ)이 90°＜θ＜180°가 되도록 구배지게 형성되며, 전후방향으로 탄성변형이 가능한 제1 탄성바(151)와, 상기 제1 탄성바(151)의 자유단에 일체로 형성되되 상기 제1 탄성바(151)와 동일한 구배각도로 구배지게 형성되며, 전면(前面)에 웨이퍼(w)의 테두리부가 끼워질 수 있도록 슬롯(153)이 형성된 제1 홀더(152)로 이루어진 제1 지지요소(150); 상기 제1 수직요소(110)의 전면(前面) 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 이들 사이에 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(161)이 형성된 제2 지지요소(160); 상기 제2 수직요소(120)의 전면(前面) 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 이들 사이에 웨이퍼(w)의 테두리가 끼워질 수 있도록 슬롯(171)이 형성된 제3 지지요소(170) 및; 상기 제2 수직요소(120)의 우측면 길이방향을 따라 다수 개가 형성되되, 상기 제2 수직요소(120) 전면(前面)과의 사이각(θ)이 90°＜θ＜180°가 되도록 구배지게 형성되며, 전후방향으로 탄성변형이 가능한 제2 탄성바(181)와, 상기 제2 탄성바(181)의 자유단에 일체로 형성되되 상기 제2 탄성바(181)와 동일한 구배각도로 구배지게 형성되며, 전면(前面)에 웨이퍼(w)의 테두리부가 끼워질 수 있도록 슬롯이 형성된 제2 홀더(182)로 이루어진 제4 지지요소(180);로 구성된 것을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 상,하부 결합편(13,14) 사이에 서로 마주하는 한 쌍의 중앙 결합편(15)이 형성되고,
    상기 전방 리테이너(100)의 제1 수직요소(110)와 제2 수직요소(120)의 각 마주하는 면에는 상기 각 중앙 결합편(15)과의 조립을 위한 중앙 결합고리(190)가 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어.
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