JP4468765B2 - ダミーセルを有するフラッシュメモリ素子及びその消去方法 - Google Patents
ダミーセルを有するフラッシュメモリ素子及びその消去方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4468765B2 JP4468765B2 JP2004238856A JP2004238856A JP4468765B2 JP 4468765 B2 JP4468765 B2 JP 4468765B2 JP 2004238856 A JP2004238856 A JP 2004238856A JP 2004238856 A JP2004238856 A JP 2004238856A JP 4468765 B2 JP4468765 B2 JP 4468765B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dummy
- main
- erase voltage
- control gate
- cell array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/14—Dummy cell management; Sense reference voltage generators
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/10—Programming or data input circuits
- G11C16/14—Circuits for erasing electrically, e.g. erase voltage switching circuits
- G11C16/16—Circuits for erasing electrically, e.g. erase voltage switching circuits for erasing blocks, e.g. arrays, words, groups
Description
55a メイントンネル絶縁膜
55b ダミートンネル絶縁膜
57 ゲート層間絶縁膜
MWL メイン制御ゲート電極
MG1,…,MGn メインゲートパターン
DWL ダミー制御ゲート電極
DG1,DG2,DG3,DG4 ダミーゲートパターン
Claims (7)
- メインセルアレイ領域内の複数の平行なメイン制御ゲート電極に第1消去電圧を印加する段階と、
前記メインセルアレイ領域内の集積回路基板のPウェル領域に前記第1消去電圧よりも高い第2消去電圧を印加する段階と、
平行な前記メイン制御ゲート電極に直行する方向の前記メインセルアレイ領域の両サイドに、それぞれ配置された第1及び第2内部ダミー制御ゲート電極に前記第2消去電圧よりも低い第3消去電圧を印加する段階と、を含み、
前記第1消去電圧は負の電圧(negative voltage) であり、前記第2消去電圧は正の電圧(positive voltage)であり、前記第3消去電圧は負の電圧であり、
前記第3消去電圧は、前記第1消去電圧よりも高いことを特徴とする集積回路メモリ素子の消去方法。 - 前記第1消去電圧は−7ボルトであり、前記第2消去電圧は+9ボルトであることを特徴とする請求項1に記載の集積回路メモリ素子の消去方法。
- 前記第3消去電圧は−7ボルトよりも高く、0ボルト(接地電圧)よりも低いことを特徴とする請求項2に記載の集積回路メモリ素子の消去方法。
- メインセルアレイ領域及び該メインセルアレイ領域に設けられた複数の平行なメイン制御ゲート電極に直行する方向の前記メインセルアレイ領域の両サイドにそれぞれ位置する第1及び第2ダミーセルアレイ領域で構成されるセルアレイ領域を有する集積回路基板に形成されて、前記第1及び第2ダミーセルアレイ領域は前記メイン制御ゲート電極と平行なダミー制御ゲート電極を備え、
前記メイン制御ゲート電極は前記第1ダミーセルアレイ領域に隣接する第1最外郭(outermost)メイン制御ゲート電極及び前記第2ダミーセルアレイ領域に隣接する第2最外郭メイン制御ゲート電極を備え、前記第1及び第2ダミーセルアレイ領域はそれぞれ前記第1最外郭メイン制御ゲート電極に隣接する第1内部(inner)ダミー制御ゲート電極及び前記第2最外郭メイン制御ゲート電極に隣接する第2内部ダミー制御ゲート電極を備えるフラッシュメモリ素子の消去方法において、前記消去方法は、
前記メイン消去ゲート電極に第1消去電圧を印加する段階と、
前記セルアレイ領域内の前記集積回路基板のPウェル領域に前記第1消去電圧よりも高い第2消去電圧を印加する段階と、
前記第1及び第2内部ダミー制御ゲート電極に前記第2消去電圧よりも低い第3消去電圧を印加する段階と、を含み、
前記第1消去電圧は負の電圧(negative voltage) であり、前記第2消去電圧は正の電圧(positive voltage)であり、前記第3消去電圧は負の電圧であり、
前記第3消去電圧は、前記第1消去電圧よりも高いことを特徴とするフラッシュメモリ素子の消去方法。 - 前記第1消去電圧は−7ボルトであり、前記第2消去電圧は+9ボルトであることを特徴とする請求項4に記載のフラッシュメモリ素子の消去方法。
- 前記第3消去電圧は−7ボルトよりも高く、0ボルトよりも低いことを特徴とする請求項5に記載のフラッシュメモリ素子の消去方法。
- 前記第3消去電圧は、前記第1及び第2ダミーセルアレイ領域内の全てのダミー制御ゲート電極に印加されることを特徴とする請求項4ないし請求項6の何れか1項に記載のフラッシュメモリ素子の消去方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0057368A KR100506941B1 (ko) | 2003-08-19 | 2003-08-19 | 더미 셀들을 갖는 플래쉬 메모리소자 및 그것의 소거방법들 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005063650A JP2005063650A (ja) | 2005-03-10 |
JP4468765B2 true JP4468765B2 (ja) | 2010-05-26 |
Family
ID=34192139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004238856A Active JP4468765B2 (ja) | 2003-08-19 | 2004-08-18 | ダミーセルを有するフラッシュメモリ素子及びその消去方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7158419B2 (ja) |
JP (1) | JP4468765B2 (ja) |
KR (1) | KR100506941B1 (ja) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10139305A1 (de) * | 2001-08-07 | 2003-03-06 | Schott Glas | Verbundmaterial aus einem Substratmaterial und einem Barriereschichtmaterial |
US6987696B1 (en) * | 2004-07-06 | 2006-01-17 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of improving erase voltage distribution for a flash memory array having dummy wordlines |
JP2006059481A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Renesas Technology Corp | 半導体記憶装置 |
JP4499587B2 (ja) * | 2005-03-09 | 2010-07-07 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体メモリおよび半導体メモリの製造方法 |
JP2006344900A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP4800109B2 (ja) * | 2005-09-13 | 2011-10-26 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
KR100684198B1 (ko) | 2005-09-16 | 2007-02-20 | 삼성전자주식회사 | 소스 스트래핑 라인이 구비된 반도체 장치 |
JP5076462B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2012-11-21 | ソニー株式会社 | 半導体メモリデバイス |
KR100749737B1 (ko) | 2006-01-25 | 2007-08-16 | 삼성전자주식회사 | 노어 플래시 메모리 및 그것의 소거 방법 |
KR100691384B1 (ko) | 2006-03-27 | 2007-03-12 | 삼성전자주식회사 | 절연막의 열화를 완화시키는 구조의 셀스트링을 가지는불휘발성 반도체 메모리 장치 |
JP4783210B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2011-09-28 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
US8385580B2 (en) * | 2006-08-31 | 2013-02-26 | Adamson Systems Engineering Inc. | High power low frequency transducers and method of assembly |
JP4405489B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2010-01-27 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体メモリ |
JP2008140488A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2008146771A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
KR100871606B1 (ko) * | 2007-06-18 | 2008-12-02 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 소자의 프로그래밍 방법 및 이를 이용한낸드 플래시 메모리 소자의 구동 방법 |
KR101392431B1 (ko) | 2007-08-14 | 2014-05-08 | 삼성전자주식회사 | 더미 셀을 갖는 플래시 메모리 장치 및 그것의 소거 방법 |
KR20090036698A (ko) * | 2007-10-10 | 2009-04-15 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
KR101434401B1 (ko) * | 2007-12-17 | 2014-08-27 | 삼성전자주식회사 | 집적 회로 메모리 장치 |
JP2009272026A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-19 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
KR101468098B1 (ko) * | 2008-06-23 | 2014-12-04 | 삼성전자주식회사 | 플래시 메모리 장치 및 그것을 포함하는 메모리 시스템 |
US9349655B2 (en) * | 2008-08-29 | 2016-05-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method for mechanical stress enhancement in semiconductor devices |
US8737129B2 (en) | 2008-11-14 | 2014-05-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Nonvolatile memory device and read method thereof |
US8693628B2 (en) * | 2009-04-27 | 2014-04-08 | Lindsay S. Machan | X-ray system |
TWI427636B (zh) * | 2009-11-27 | 2014-02-21 | Macronix Int Co Ltd | 於一記憶積體電路上進行抹除操作之方法與裝置 |
KR102046986B1 (ko) * | 2013-09-27 | 2019-11-20 | 삼성전자 주식회사 | 더미 셀 어레이를 포함하는 반도체 소자 |
US9437815B1 (en) | 2014-04-30 | 2016-09-06 | Adesto Technologies Corporation | Resistive switching memory device architecture for reduced cell damage during processing |
US9768182B2 (en) * | 2015-10-20 | 2017-09-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor structure and method for forming the same |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59168992A (ja) | 1983-03-15 | 1984-09-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 不揮発性メモリ及びそのアドレス方式 |
JPS61214559A (ja) | 1985-03-20 | 1986-09-24 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
WO1993019471A1 (en) * | 1992-03-25 | 1993-09-30 | Seiko Epson Corporation | Nonvolatile semiconductor device |
US5428578A (en) * | 1993-08-12 | 1995-06-27 | Texas Instruments Incorporated | Biasing circuit and method to achieve compaction and self-limiting erase in flash EEPROMs |
US5966330A (en) * | 1998-04-30 | 1999-10-12 | Eon Silicon Devices, Inc. | Method and apparatus for measuring the threshold voltage of flash EEPROM memory cells being applied a variable control gate bias |
JP3584181B2 (ja) * | 1999-05-27 | 2004-11-04 | シャープ株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP3629383B2 (ja) * | 1999-06-10 | 2005-03-16 | シャープ株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置の消去方式 |
US6407953B1 (en) | 2001-02-02 | 2002-06-18 | Matrix Semiconductor, Inc. | Memory array organization and related test method particularly well suited for integrated circuits having write-once memory arrays |
JP3640175B2 (ja) * | 2001-04-13 | 2005-04-20 | セイコーエプソン株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4005895B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2007-11-14 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体メモリ装置 |
JP4469649B2 (ja) * | 2003-09-17 | 2010-05-26 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体フラッシュメモリ |
JP4628114B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2011-02-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
-
2003
- 2003-08-19 KR KR10-2003-0057368A patent/KR100506941B1/ko active IP Right Grant
-
2004
- 2004-08-16 US US10/918,966 patent/US7158419B2/en active Active
- 2004-08-18 JP JP2004238856A patent/JP4468765B2/ja active Active
-
2006
- 2006-11-21 US US11/602,645 patent/US7333367B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7333367B2 (en) | 2008-02-19 |
US20050041477A1 (en) | 2005-02-24 |
US20070064498A1 (en) | 2007-03-22 |
US7158419B2 (en) | 2007-01-02 |
JP2005063650A (ja) | 2005-03-10 |
KR20050021616A (ko) | 2005-03-07 |
KR100506941B1 (ko) | 2005-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4468765B2 (ja) | ダミーセルを有するフラッシュメモリ素子及びその消去方法 | |
KR0167874B1 (ko) | 반도체 기억장치 | |
KR101169396B1 (ko) | 비휘발성 메모리 소자 및 그 동작 방법 | |
KR100665910B1 (ko) | 메모리 셀 유닛, 메모리 셀 유닛을 구비한 비휘발성반도체 기억 장치, 및 메모리 셀 어레이 구동 방법 | |
US7272040B2 (en) | Multi-bit virtual-ground NAND memory device | |
KR100598107B1 (ko) | 비휘발성 메모리 소자 및 그 형성 방법 | |
JP4859292B2 (ja) | 半導体集積回路装置およびnand型不揮発性半導体装置 | |
JP3354418B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
KR100851546B1 (ko) | 비휘발성 기억 장치 및 그 동작 방법 | |
KR100532429B1 (ko) | 바이트 오퍼레이션 비휘발성 반도체 메모리 장치 | |
US20170221916A1 (en) | Flash Memory | |
US7608882B2 (en) | Split-gate non-volatile memory | |
KR100754541B1 (ko) | 메모리 셀, 메모리, 메모리 셀 제조 방법, 메모리 제조방법, 메모리 셀의 프로그래밍 또는 디프로그래밍 방법 및메모리 셀 판독 방법 | |
US8754463B2 (en) | High density NOR flash array architecture | |
CN101124672A (zh) | 非易失性半导体存储装置 | |
US6822926B2 (en) | Non-volatile semiconductor memory device | |
US7495281B2 (en) | Non-volatile memory device and methods of forming and operating the same | |
JPH10125812A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US7217964B1 (en) | Method and apparatus for coupling to a source line in a memory device | |
JP3522836B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2960377B2 (ja) | メモリセルアレー | |
US20230410919A1 (en) | Three-dimensional flash memory for improving integration and operation method thereof | |
KR100684197B1 (ko) | 바이트 동작 비휘발성 메모리 장치 및 그 형성 방법 | |
JP2000068483A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JPH02110979A (ja) | 不揮発性半導体メモリ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100126 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4468765 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140305 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |