JP4783210B2 - 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 - Google Patents

不揮発性半導体記憶装置の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4783210B2
JP4783210B2 JP2006151540A JP2006151540A JP4783210B2 JP 4783210 B2 JP4783210 B2 JP 4783210B2 JP 2006151540 A JP2006151540 A JP 2006151540A JP 2006151540 A JP2006151540 A JP 2006151540A JP 4783210 B2 JP4783210 B2 JP 4783210B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dummy
transistor
film
insulating film
conductive film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006151540A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007324300A (ja
Inventor
正一 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2006151540A priority Critical patent/JP4783210B2/ja
Priority to US11/756,200 priority patent/US7705393B2/en
Publication of JP2007324300A publication Critical patent/JP2007324300A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4783210B2 publication Critical patent/JP4783210B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/10Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
    • H01L27/105Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including field-effect components
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66007Multistep manufacturing processes
    • H01L29/66075Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
    • H01L29/66227Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
    • H01L29/66409Unipolar field-effect transistors
    • H01L29/66477Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
    • H01L29/66825Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a floating gate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772Field effect transistors
    • H01L29/78Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/788Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
    • H01L29/7881Programmable transistors with only two possible levels of programmation
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B41/00Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
    • H10B41/40Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the peripheral circuit region
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B41/00Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
    • H10B41/40Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the peripheral circuit region
    • H10B41/42Simultaneous manufacture of periphery and memory cells
    • H10B41/49Simultaneous manufacture of periphery and memory cells comprising different types of peripheral transistor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)

Description

本発明は、不揮発性半導体記憶装置に関するもので、特に、データを電気的に書き換えることが可能なEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)に関する。
周知のように、EEPROMには、大きく分けて2種類のトランジスタ素子が存在する。1つはメモリセル部に設けられたトランジスタ素子(以下、セルトランジスタ)であって、このセルトランジスタは、基板上にトンネル酸化膜、浮遊ゲート電極、インターポリ絶縁膜、制御ゲート電極が下から順番に積層されたゲート電極構造を有し、浮遊ゲート電極中に電荷がある場合とない場合とで変化するしきい値の違いにより、データを不揮発に保持する。一方、もう1つのトランジスタ素子は周辺回路部に設けられた周辺トランジスタであって、インターポリ絶縁膜以外はセルトランジスタと同じゲート電極構造を有している。つまり、周辺トランジスタは、インターポリ絶縁膜の一部または全てが開口されており、制御ゲート電極と浮遊ゲート電極とが電気的に接続されたMISFET(Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)構造を持つ。また、周辺トランジスタは、駆動電圧の大小によって、ゲート酸化膜の厚いものと薄いものとの2種類に分類され、それぞれ高電圧系トランジスタと低電圧系トランジスタと呼ばれている。この周辺トランジスタは、主に、論理回路を構成するのに用いられる。
EEPROMの場合、RC遅延を抑制する観点からも、制御ゲート電極の抵抗値は低い方が望ましい。これまで、制御ゲート電極には、不純物をドープして導電性を持たせたポリシリコンが用いられてきたが、EEPROMの高速化に対する要求が高まるにつれて、一般的にポリシリコンよりも低抵抗のシリサイドを用いる場合が増えてきた。シリサイドは、ポリシリコン上に反応種である金属を堆積させた後に加熱し、シリコンと金属とを反応させることで形成される。しかし、シリサイドは、一般的にポリシリコンよりもドライエッチングのためのエッチングガスや薬液に対する耐性が大きく、ポリシリコンに比べて加工難易度が高い。そのため、制御ゲート電極にシリサイドを用いる場合は、まず、制御ゲート膜をポリシリコンで成膜し、そのポリシリコンを制御ゲート電極パターンに加工した後にシリサイド化する方法が望まれる。
ここで、制御ゲート電極パターンの加工には、リソグラフィーのためのレジストのみでは加工時の保護膜としては十分でないため、通常、ハードマスクとしてシリコン窒化膜が用いられる。このシリコン窒化膜のうち、制御ゲート膜上にあるものは、制御ゲート電極パターンの加工後も除去されずに残る。また、制御ゲート電極パターンの加工後には、一般的に、制御ゲート電極間絶縁膜からのメモリセルや周辺トランジスタへの不純物拡散を防止するためのバリア窒化膜、および、コンタクト加工の際のストッパとなるシリコン窒化膜が、制御ゲート膜上に積層される。
すなわち、制御ゲート電極パターンのシリサイド化を行うためには、制御ゲート膜上の窒化膜を除去し、ポリシリコンを露出させる必要がある。その窒化膜の除去には、一般的に、ドライエッチングが用いられる。
しかしながら、通常、ドライエッチングはプラズマ雰囲気中で行われるため、プラズマ中の電荷(電子や正孔)が、エッチング時にメモリセルや周辺トランジスタに侵入しようとする。窒化膜には電荷の進入に対する耐性があるが、ポリシリコンにはない。また、窒化膜には、その膜厚に、ある程度のばらつきがある。そのため、制御ゲート膜上の全ての窒化膜を完全に除去できる時間だけエッチングを行うと、窒化膜の膜厚が薄い部分ではポリシリコンがむき出しの状態となってプラズマに曝され、電荷の侵入を受ける。侵入した電荷は、メモリセルのインターポリ絶縁膜や周辺トランジスタのゲート酸化膜中に捕獲され、捕獲された電荷量に相当した大きさのしきい値変動を引き起こす。これがもとで、メモリセルや周辺トランジスタのしきい値がばらつき、信頼性を劣化させる原因となっている。
このように、ドライエッチングに起因する電荷蓄積(チャージアップ)を軽減することが、シリサイドを制御ゲート電極に持つEEPROMの信頼性の向上のためにも求められている。
なお、チャージングダメージを防止するために、ゲート絶縁膜の厚いMISトランジスタの形成領域内に、回路動作に用いないダミー配線を設けるようにした構成を有する装置がすでに提案されている(たとえば、特許文献1参照)。しかしながら、この提案の場合、製造工程数の増加や面積が増大しやすいという問題があった。
特開2000−183043
本発明は、上記の問題点を解決すべくなされたもので、ドライエッチングに起因するチャージアップを軽減でき、信頼性の向上を図ることが可能な不揮発性半導体記憶装置を提供することを目的としている。
実施形態の一態様によれば、メモリセル形成領域、ダミーセルトランジスタ形成領域、周辺トランジスタ形成領域、及びダミー周辺トランジスタ形成領域を有する半導体基板上に、前記メモリセルのトンネル酸化膜、前記ダミーセルトランジスタのゲート酸化膜、前記周辺トランジスタのゲート酸化膜、及び前記ダミー周辺トランジスタのゲート酸化膜となる第1の絶縁性膜を形成することと、前記第1の絶縁性膜上に、前記メモリセルの浮遊ゲート電極、前記ダミーセルトランジスタの第1のダミー電極、前記周辺トランジスタの第1のゲート電極、及び前記ダミー周辺トランジスタの第1のダミー電極となる第1の導電性膜を形成することと、前記第1の導電性膜、及び前記第1の絶縁性膜の一部をエッチングして前記半導体基板の一部を露出することと、前記露出された半導体基板の一部をエッチングして前記半導体基板に溝部を形成することと、前記溝部内に素子分離用絶縁膜を形成することと、前記素子分離用絶縁膜上、及び前記第1の導電性膜上に、前記メモリセルのインターポリ絶縁膜となる第2の絶縁性膜を形成することと、前記第2の絶縁性膜上に、前記メモリセルの第1のコントロールゲートとなる第2の導電性膜を形成することと、前記ダミーセルトランジスタ形成領域、及び前記ダミー周辺トランジスタ形成領域に形成された前記第2の導電性膜、前記第2の絶縁性膜、前記第1の導電性膜、及び前記第1の絶縁性膜の一部をエッチングして前記半導体基板の一部を露出することと、前記第2の導電性膜上、及び前記露出された半導体基板の一部上に、前記メモリセルの第2のコントロールゲート電極、前記ダミーセルトランジスタの第2のダミー電極、前記周辺トランジスタの第2のゲート電極、及び前記ダミー周辺トランジスタの第2のダミー電極となる表面領域にマスクを有する第3の導電性膜を形成することと、プラズマ雰囲気で、前記プラズマ雰囲気に起因して、前記メモリセル形成領域、前記ダミーセルトランジスタ形成領域、前記周辺トランジスタ形成領域、及び前記ダミー周辺トランジスタ形成領域に形成された前記第3の導電性膜に侵入する電荷を前記第3の導電性膜を介して前記半導体基板に排出しながら、前記マスクをエッチングすることと、を備えることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
上記の構成により、ドライエッチングに起因するチャージアップを軽減でき、信頼性の向上を図ることが可能な不揮発性半導体記憶装置を提供できる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。ただし、図面は模式的なものであり、各図面の寸法や比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。特に、以下に示すいくつかの実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための装置や方法を例示したものであって、構成部品の形状、構造、配置などによって、本発明の技術思想が特定されるものではない。この発明の技術的思想は、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることができる。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態にしたがった、不揮発性半導体記憶装置の基本構成を示すものである。なお、ここでは、実際の回路動作には用いない導電性のダミー電極を含む、たとえば、ダミーのメモリセル(以下、ダミーセルトランジスタ)およびダミーの周辺回路(以下、ダミー周辺トランジスタ)を有するEEPROMを例に説明する。また、ダミーセルトランジスタとダミー周辺トランジスタとをそれぞれMISFET構造とするとともに、高電圧系のダミー周辺トランジスタのゲート絶縁膜を薄膜化(たとえば、高電圧系トランジスタのゲート絶縁膜の膜厚よりも薄く形成)することによって、高電圧系のダミー周辺トランジスタの導電性を確保するようにした場合の例である。
このEEPROMは、たとえば図1に示すように、シリコンからなる半導体基板11の表面上に、トランジスタ素子によって各回路部が形成されてなる構成とされている。すなわち、半導体基板11の表面には、メモリセル領域13と周辺回路領域15とが規定されている。周辺回路領域15には、さらに、低電圧系トランジスタ領域15aと高電圧系トランジスタ領域15bとが規定されている。
メモリセル領域13には、複数(便宜上、ここでは1つ)のメモリセル(セルトランジスタ)130といくつか(少なくとも、1つ)のダミーセルトランジスタ131とが形成されている。メモリセル130は、半導体基板11の表面上に第1の絶縁性膜21からなるトンネル酸化膜130aを介して第1の導電性膜22からなるフローティングゲート電極(浮遊ゲート電極)130bが積層され、さらに、その上に第2の絶縁性膜23からなるインターポリ絶縁膜130cを介して、第2の導電性膜(たとえば、ドープドポリシリコン膜)24からなる第1のコントロールゲート電極(第1の制御ゲート電極)130d、および、表面部にシリサイド層30が形成された、第3の導電性膜(たとえば、ドープドポリシリコン膜)25からなる第2のコントロールゲート電極(第2の制御ゲート電極)130eが順に積層された、2層(積層)構造のゲート電極部を有している。
一方、ダミーセルトランジスタ131は、たとえば、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極131cの一部が、上記第2の絶縁性膜23を貫通し、第1のダミー電極131bとなる上記第1の導電性膜22に接続されてなる構造の、電流リークパスLPaを有して形成されている。すなわち、このダミーセルトランジスタ131は、上記第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜131aを介して、上記第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極131bと上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる上記第2のダミー電極131cとが電気的に接続されてなる、1層構造のゲート電極部を有して形成されている。
これに対し、低電圧系トランジスタ領域15aには、複数(便宜上、ここでは1つ)の低電圧系トランジスタ(周辺トランジスタ)150といくつか(少なくとも、1つ)の低電圧系のダミー周辺トランジスタ151とが形成されている。低電圧系トランジスタ150は、上記半導体基板11の表面上に、上記第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜150aを介して、上記第1の導電性膜22からなる第1のゲート電極150bが積層されてなる、1層構造のゲート電極部を有している。また、このゲート電極部には、さらに、上記第2の導電性膜24上に設けられるとともに、その一部が上記第2の導電性膜24および上記第2の絶縁性膜23を貫通し、上記第1のゲート電極150bに電気的に接続された、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のゲート電極150cによって、実際の回路動作に用いられる電流パスが形成されている。
一方、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151は、上記低電圧系トランジスタ150のゲート電極部と同一構造のダミーのゲート電極部を有して形成されている。すなわち、この低電圧系のダミー周辺トランジスタ151は、たとえば、上記半導体基板11の表面上に、上記第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜151aを介して、上記第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極151bが積層されてなる、1層構造のダミー電極を有している。そして、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極151cの一部が、上記第2の絶縁性膜23を貫通し、上記第1のダミー電極151bに電気的に接続されてなる構造の、電流リークパスLPbを有して形成されている。
高電圧系トランジスタ領域15bには、複数(便宜上、ここでは1つ)の高電圧系トランジスタ(周辺トランジスタ)152といくつか(少なくとも、1つ)の高電圧系のダミー周辺トランジスタ153とが形成されている。高電圧系トランジスタ152は、上記半導体基板11の表面上に、上記第1の絶縁性膜21の膜厚よりも厚い第3の絶縁性膜26からなるゲート酸化膜152aを介して、上記第1の導電性膜22からなる第1のゲート電極152bが積層されてなる、1層構造のゲート電極部を有している。また、このゲート電極部には、さらに、上記第2の導電性膜24上に設けられるとともに、その一部が上記第2の導電性膜24および上記第2の絶縁性膜23を貫通し、上記第1のゲート電極152bに電気的に接続された、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のゲート電極152cによって、実際の回路動作に用いられる電流パスが形成されている。
一方、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153は、上記低電圧系トランジスタ150のゲート電極部および上記低電圧系のダミー周辺トランジスタ151のダミーのゲート電極部と同一構造のダミーのゲート電極部を有して形成されている。すなわち、この高電圧系のダミー周辺トランジスタ153は、たとえば、上記半導体基板11の表面上に、上記第3の絶縁性膜26からなるゲート酸化膜152aの膜厚よりも薄い上記第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜153aを介して、上記第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極153bが積層されてなる、1層構造のダミー電極を有している。そして、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極153cの一部が、上記第2の絶縁性膜23を貫通し、上記第1のダミー電極153bに電気的に接続されてなる構造の、電流リークパスLPcを有して形成されている。
本実施形態の場合、上記第3の導電性膜25の上面に、それぞれ、低抵抗化のためのシリサイド層30が形成されている。また、このシリサイド層30を介して、上記第3の導電性膜25の上方を含む、上記半導体基板11上には、厚い層間絶縁膜31が設けられている。
また、上記したメモリセル領域13と周辺回路領域15の低電圧系トランジスタ領域15aとの間、および、低電圧系トランジスタ領域15aと高電圧系トランジスタ領域15bとの間は、それぞれ、上記半導体基板11の表面部に素子分離用絶縁膜33を埋め込んでなる素子分離領域35によって画定されている。同様に、メモリセル領域13内における上記メモリセル130と上記ダミーセルトランジスタ131との間、低電圧系トランジスタ領域15a内における上記低電圧系トランジスタ150と上記ダミー周辺トランジスタ151との間、および、高電圧系トランジスタ領域15b内における上記高電圧系トランジスタ152と上記ダミー周辺トランジスタ153との間は、それぞれ、上記半導体基板11の表面部に上記素子分離用絶縁膜33が埋め込み形成された上記素子分離領域35によって画定されている。
上記した構成のEEPROMの場合、メモリセル領域13においては、メモリセル130の周辺部に、電流リークパスLPaを有するMISFET構造のダミーセルトランジスタ131が配置されている。また、周辺回路領域15においては、低電圧系トランジスタ150の周辺部に、電流リークパスLPbを有するMISFET構造のダミー周辺トランジスタ151が配置され、高電圧系トランジスタ152の周辺部に、電流リークパスLPcを有するMISFET構造のダミー周辺トランジスタ153が配置されている。上記ダミーセルトランジスタ131および上記ダミー周辺トランジスタ151,153を設けることによって、加工時の平坦性、たとえばケミカル・メカニカル・ポリッシュ(CMP)法での仕上がりの高さをウェーハ面内で一定に保つことが容易となる。
なお、実際のEEPROMにおいては、上記した構成の複数のメモリセル130がマトリクス(格子)状に配列されて所定のメモリ容量を有するセルアレイが形成されるとともに、低電圧系および高電圧系の複数の周辺トランジスタ150,152によって所望の論理回路(周辺回路)が形成されている。
次に、上記した構成のEEPROMの製造方法について簡単に説明する。なお、ここでは、メモリセルおよび周辺トランジスタなどを形成する工程のうち、本実施形態の構成に直接関連しない、たとえばイオンインプランテーション工程や熱工程については説明を省略している。
まず、半導体基板11の表面全体に、高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜152aを形成するための第3の絶縁性膜26を成膜する(図2参照)。その後、リソグラフィー工程により、高電圧系トランジスタ領域15bの高電圧系トランジスタ152を形成するための領域以外を開口する。つまり、高電圧系トランジスタ152を形成するための領域にのみ、レジスト41をパターニングする(図3参照)。そして、そのレジスト41をマスクに、それ以外の領域の第3の絶縁性膜26を除去する。こうして、高電圧系トランジスタ152を形成するための領域にのみ、第3の絶縁性膜26を残存させた後、上記レジスト41を除去する(図4参照)。このように、従来の場合とは異なり、一旦は、高電圧系トランジスタ領域15b内の高電圧系のダミー周辺トランジスタ153を形成するための領域も開口される。
次いで、基板11の表面全体に、メモリセル130のトンネル酸化膜130a、ダミーセルトランジスタ131のゲート酸化膜131a、低電圧系トランジスタ150のゲート酸化膜150a、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151のゲート酸化膜151a、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153のゲート酸化膜153aを形成するための、第1の絶縁性膜21を成膜する(図5参照)。この第1の絶縁性膜21は、先の工程で成膜した第3の絶縁性膜26よりも薄く形成される。これにより、高電圧系トランジスタ領域15b内に形成される高電圧系のダミー周辺トランジスタ153のゲート酸化膜153aの膜厚を、低電圧系トランジスタ150のゲート酸化膜150aやメモリセル130のトンネル酸化膜130aなどと同じ膜厚となるように制御することができる。
次いで、基板11の表面全体に、上記第1,第3の絶縁性膜21,26を介して、メモリセル130のフローティングゲート電極130b、ダミーセルトランジスタ131の第1のダミー電極131b、低電圧系トランジスタ150の第1のゲート電極150b、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151の第1のダミー電極151b、高電圧系トランジスタ152の第1のゲート電極152b、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153の第1のダミー電極153bとなる、不純物がドープされたポリシリコンからなる第1の導電性膜22を成膜する(図6参照)。その上に、加工用のハードマスクとなるシリコン窒化(SiN)膜42を成膜する(図7参照)。
次いで、そのSiN膜42上に、リソグラフィー工程にて、素子分離領域35を形成するためのレジスト43をパターニングする(図8参照)。そして、そのレジスト43をマスクに、上記SiN膜42を選択的にエッチングして除去して、ハードマスク42aを形成した後、上記レジスト43を除去する(図9参照)。
次いで、上記ハードマスク42aを用いて第1の導電性膜22および第1,第3の絶縁性膜21,26をエッチングし(図10参照)、さらに、基板11の表面部を適当な深さ分だけエッチングして溝部35aを開口する(図11参照)。その後、溝部35a内を埋め込むように、基板11の表面全体に素子分離用絶縁膜33を堆積させ(図12参照)、その表面を、たとえばCMP法によって研磨して、上記ハードマスク42aの上端部の高さと同じ高さになるように平坦化する(図13参照)。さらに、第1の導電性膜22の上部が突出するまで素子分離用絶縁膜33をエッチングした後(図14参照)、ハードマスク42aを除去する。
こうして、素子分離用絶縁膜33が埋め込まれてなる素子分離領域35によって各素子領域が画定されることにより、メモリセル領域13に対応する素子領域には、メモリセル130のトンネル酸化膜130aおよびフローティングゲート電極130bと、ダミーセルトランジスタ131のゲート酸化膜131aおよび第1のダミー電極131bとが、それぞれ形成される。また、周辺回路領域15の低電圧系トランジスタ領域15aに対応する素子領域には、低電圧系トランジスタ150のゲート酸化膜150aおよび第1のゲート電極150bと、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151のゲート酸化膜151aおよび第1のダミー電極151bとが、それぞれ形成される。また、周辺回路領域15の高電圧系トランジスタ領域15bに対応する素子領域には、高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜152aおよび第1のゲート電極152bと、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153のゲート酸化膜153aおよび第1のダミー電極153bとが、それぞれ形成される。
次いで、基板11の表面全体に、インターポリ絶縁膜130cなどを形成するための第2の絶縁性膜23を成膜した後(図15参照)、続いて、不純物がドープされたポリシリコンからなる第2の導電性膜24を成膜する(図16参照)。
次いで、第2の絶縁性膜23の開口を行う。第2の絶縁性膜23の開口は、従来の場合とは異なり、メモリセル領域13および周辺回路領域15において、トランジスタ機能を持つかどうかにかかわらず、メモリセル130を除く全てのトランジスタ素子、つまり、低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のみでなく、ダミーセルトランジスタ131、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153をも対象にして行われる。すなわち、上記第2の導電性膜24上に、リソグラフィー工程にて、ダミーセルトランジスタ131、低電圧系トランジスタ150、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151、高電圧系トランジスタ152、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153を形成するための各領域以外の領域を覆うように、レジスト43をパターニングする(図17参照)。そして、そのレジスト43をマスクに、第2の導電性膜24、第2の絶縁性膜23、および、第1の導電性膜22の一部を選択的にエッチングし、開口部44を形成する(図18参照)。
次いで、上記レジスト43を除去した後、基板11の表面全体に、不純物がドープされたポリシリコンからなる第3の導電性膜25を成膜する(図19参照)。そして、この第3の導電性膜25をパターニングすることで、低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152に限らず、ダミーセルトランジスタ131、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153についても、第2の導電性膜24を含んで、第3の導電性膜25と第1の導電性膜22とが電気的に接続される(電気的には、MISFET構造となる)。
すなわち、メモリセル領域13には、半導体基板11の表面上に、第1の絶縁性膜21からなるトンネル酸化膜130aを介して第1の導電性膜22からなるフローティングゲート電極130bが積層され、さらに、その上に第2の絶縁性膜23からなるインターポリ絶縁膜130cを介して、第2の導電性膜24からなる第1のコントロールゲート電極130d、および、第3の導電性膜からなる第2のコントロールゲート電極130eが順に積層された、2層構造のゲート電極部を有するメモリセル130と、第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜131aを介して、第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極131bと第2の導電性膜24および第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極131cとが電気的に接続されてなる、1層構造のゲート電極部を有するダミーセルトランジスタ131とが形成される。
これに対し、周辺回路領域15の低電圧系トランジスタ領域15aには、半導体基板11の表面上に、第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜150aを介して、第1の導電性膜22からなる第1のゲート電極150bと第2の導電性膜24および第3の導電性膜25からなる第2のゲート電極150cとが電気的に接続されてなる、1層構造のゲート電極部を有する低電圧系トランジスタ150と、第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜151aを介して、第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極151bと第2の導電性膜24および第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極151cとが電気的に接続されてなる、1層構造のゲート電極部を有する低電圧系のダミー周辺トランジスタ151とが形成される。
一方、周辺回路領域15の高電圧系トランジスタ領域15bには、半導体基板11の表面上に、第1の絶縁性膜21の膜厚よりも厚い第3の絶縁性膜26からなるゲート酸化膜152aを介して、第1の導電性膜22からなる第1のゲート電極152bと第2の導電性膜24および第3の導電性膜25からなる第2のゲート電極152cとが電気的に接続されてなる、1層構造のゲート電極部を有する高電圧系トランジスタ152と、第3の絶縁性膜26の膜厚よりも薄い第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜153aを介して、第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極153bと第2の導電性膜24および第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極153cとが電気的に接続されてなる、1層構造のゲート電極部を有する高電圧系のダミー周辺トランジスタ153とが形成される。
次いで、第3の導電性膜25の表面に残る、パターニングのための窒化膜(図示していない)をドライエッチングによって除去した後、ポリシリコンと金属とを反応させることにより、第3の導電性膜25の表面にシリサイド層30を形成する。このエッチングの際に、むき出しの状態となってプラズマに曝されたポリシリコンに侵入した電荷は、そのほとんどが、メモリセル130のインターポリ絶縁膜130cや低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜150a,152a中に捕獲されることなく、ダミーセルトランジスタ131の電流リークパスLPaや低電圧系および高電圧系のダミー周辺トランジスタ151,153の各電流リークパスLPb,LPcをそれぞれ介して、半導体基板11へと抜けるようになる。ゆえに、ドライエッチング時に捕獲された電荷量に相当した大きさのしきい値変動がもとで、メモリセル130や低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のしきい値がばらつき、EEPROMとしての信頼性を劣化させるという、プラズマダメージ(ドライエッチングに起因するチャージアップ)を軽減できる。
しかる後、そのシリサイド層30上を含む、基板11の表面全体に層間絶縁膜31を形成する。そして、その層間絶縁膜31の表面をCMP法により平坦化することで、図1に示した構造のEEPROMが得られる。
上記したように、ダミーセルトランジスタ131と低電圧系および高電圧系のダミー周辺トランジスタ151,153とをそれぞれMISFET構造とし、電流リークパスLPa,LPb,LPcを形成するとともに、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153のゲート酸化膜153aの膜厚を、高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜152aの膜厚よりも薄く形成するようにしている。これにより、ダミーセルトランジスタ131と低電圧系および高電圧系のダミー周辺トランジスタ151,153とに電流が流れるようになるので、ドライエッチング時に、メモリセル130のインターポリ絶縁膜130cや低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜150a,152aに加わる電圧を低下させることが可能となり、その結果として、メモリセル130のインターポリ絶縁膜130cや低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜150a,152a中に捕獲される電荷量を減少できるようになる。したがって、メモリセル130のコントロールゲート電極にシリサイドを用いるようにした場合にも、捕獲された電荷量に相当する、メモリセル130や低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のしきい値のばらつきを改善でき、メモリセル130や低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152の信頼性を向上させることが可能となるものである。
ここで、上記の構成とした場合において、ドライエッチングに起因するチャージアップを軽減するための作用・効果について考察する。一般に、EEPROMには、先に説明した通り、ダミーセルトランジスタおよびダミー周辺トランジスタとよばれる、実際の回路動作には用いないダミーのトランジスタ素子(単に、ダミー素子)が数多く配置されている。ダミー素子は、CMP法での加工の際に、仕上がりの高さをウェーハ面内で一定に保つ役割を持つ。その一方で、ダミー素子は、他の回路とは電気的に絶縁され、電気的な役割を持たない。つまり、ダミー素子とメモリセルおよび周辺トランジスタとの違いは、電気的に他の回路と絶縁されているという点のみである。
従来において、ダミー素子の形成方法および膜構造は、高電圧系トランジスタ領域の高電圧系トランジスタおよびダミー周辺トランジスタのゲート絶縁膜がメモリセルのトンネル絶縁膜よりも厚い他には、基本的にメモリセルと変わらない。そのため、ダミー素子は、制御ゲート電極に対応する第2のダミー電極と浮遊ゲート電極に対応する第1のダミー電極との間、および、浮遊ゲート電極に対応する第1のダミー電極と基板との間が、それぞれ、電気的に絶縁されている。
このように、ダミー素子は、本来、その形状にのみ意味があるため、意図的にゲート絶縁膜の膜厚を調整することはない。そのため、従来のEEPROMの場合、高電圧系のダミー周辺トランジスタは高電圧系トランジスタと同じゲート絶縁膜厚を持ち、低電圧系のダミー周辺トランジスタおよびダミーセルトランジスタは低電圧系トランジスタおよびメモリセルと同じゲート絶縁膜厚を持つのが一般的である。
以下に、上述した第1の実施形態に示したEEPROMのように、高電圧系のダミー周辺トランジスタのゲート絶縁膜厚を、高電圧系トランジスタのゲート絶縁膜厚よりも薄くした場合の効果について説明する。
図20(a)は、ドライエッチング時におけるプラズマと基板との状態を模式的に示すものである。プラズマ雰囲気1中に基板2があり、基板2上には、メモリセル3と周辺トランジスタ4とダミー素子5とが存在する。基板2には電圧が印加され、プラズマと基板2との間には電位差Vが存在する。
まず、従来のEEPROMでの周辺トランジスタ4に蓄積される電荷について考える。図20(b)は、従来のEEPROMの等価回路を示すものである。ここでは、理解を容易にするため、周辺トランジスタ4とダミー素子5とに着目し、メモリセル3は考えないものとする。
周辺トランジスタ4の静電容量をCP 、ダミー素子5の静電容量をCD とし、周辺トランジスタ4に蓄積される電荷をQP 、ダミー素子5に蓄積される電荷をQD とし、基板2の抵抗をRS とする。周辺トランジスタ4とダミー素子5とは、基板2上で電気的に接続されていると同時に、プラズマによっても電気的に接続されている。
よって、周辺トランジスタ4に蓄積される電荷QP は、
P =CP ・V … (1)
となる。
次に、第1の実施形態に示した構成のEEPROMでの周辺トランジスタ4に蓄積される電荷について考える。図20(c)は、第1の実施形態に示した構成のEEPROMの等価回路を示すものである。従来の場合と同様、理解を容易にするため、周辺トランジスタ4とダミー素子5とに着目し、メモリセル3は考えないものとする。
第1の実施形態の構成とした場合、ダミー素子5に電流が流れることになるため、ダミー素子5は抵抗と考えることができ、その抵抗値(ダミー抵抗)をRD とする。また、このダミー素子5にかかる電圧をVD 、同じく基板2の抵抗(基板抵抗RS )にかかる電圧をVS とする。
すると、周辺トランジスタ4に蓄積される電荷QP ’は、
P ’=CP ・VD … (2)
となる。
電位差Vは、
V=VD +VS …(3)
なので、この(3)式を上記(2)式に代入すると、
P ’=CP (V−VS ) … (4)
となり、周辺トランジスタ4に蓄積される電荷QP ’は従来のEEPROMの場合よりも小さくなる。
また、電圧VD は、
D =RD ・V/(RS +RD )=V/(RS /RD +1) … (5)
なので、電荷QP ’は、
P ’=CP ・V/(RS /RD +1) … (6)
となり、電荷QP ’は、基板抵抗とダミー抵抗との比(RS /RD )に反比例することが分かる。すなわち、ダミー素子5の抵抗値RD を小さくするほど、周辺トランジスタ4での蓄積電荷QP ’は少なくなる。
このように、EEPROMを第1の実施形態の構成とした場合、つまり、メモリセル130のコントロールゲート電極にシリサイドを用いるようにしたEEPROMにおいて、高電圧系トランジスタ領域15bのダミー周辺トランジスタ153を、第1のダミー電極153bと第2のダミー電極153cとを電気的に接続し、かつ、低電圧系トランジスタ150のゲート酸化膜150aと同程度の膜厚を有するゲート酸化膜153aを備えた構成とすることにより、ドライエッチングの際のメモリセル130および低電圧系/高電圧系トランジスタ150,152へのプラズマダメージを軽減でき、そのプラズマダメージに起因するしきい値のばらつきを抑制することが可能となるものである。
なお、詳細な説明は省略したが、メモリセル3でも同様の議論が成り立ち、ダミー素子5の抵抗値RD を小さくすることによって、メモリセル3に蓄積される電荷量を削減することが可能である。
上記した第1の実施形態の構成によれば、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153のゲート酸化膜153aの膜厚を、メモリセル130のトンネル酸化膜130a、ダミーセルトランジスタ131のゲート酸化膜131a、低電圧系トランジスタ150のゲート酸化膜150a、および、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151のゲート酸化膜151aと同じ膜厚とすることにより、さほどの工程数の増加を招くことなしに実現できる。
また、上記した第1の実施形態においては、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153のゲート酸化膜153aの膜厚を、メモリセル130のトンネル酸化膜130a、ダミーセルトランジスタ131のゲート酸化膜131a、低電圧系トランジスタ150のゲート酸化膜150a、および、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151のゲート酸化膜151aと同じ膜厚とする場合に限らず、たとえば、さらに薄く形成することも容易に可能である。
[第2の実施形態]
図21は、本発明の第2の実施形態にしたがった、不揮発性半導体記憶装置の基本構成を示すものである。ここでは、実際の回路動作には用いない導電性のダミー電極を含む、たとえば、ダミーのメモリセル(以下、ダミーセルトランジスタ)およびダミーの周辺回路(以下、ダミー周辺トランジスタ)を有するEEPROMを例に説明する。また、ダミーセルトランジスタおよびダミー周辺トランジスタのゲート絶縁膜を開口し、ダミー抵抗をより減少させることによって、高電圧系のダミー周辺トランジスタの導電性を高めるようにした場合の例である。なお、第1の実施形態に示した構成のEEPROMと同一箇所には同一符号を付して、詳しい説明は割愛する。
このEEPROMは、たとえば図21に示すように、シリコンからなる半導体基板11の表面上に、トランジスタ素子によって各回路部が形成されてなる構成とされている。すなわち、半導体基板11の表面には、メモリセル領域13と周辺回路領域15とが規定されている。周辺回路領域15には、さらに、低電圧系トランジスタ領域15aと高電圧系トランジスタ領域15bとが規定されている。
メモリセル領域13には、複数(便宜上、ここでは1つ)のメモリセル(セルトランジスタ)130といくつか(少なくとも、1つ)のダミーセルトランジスタ131’とが形成されている。メモリセル130は、半導体基板11の表面上に第1の絶縁性膜21からなるトンネル酸化膜130aを介して第1の導電性膜22からなるフローティングゲート電極(浮遊ゲート電極)130bが積層され、さらに、その上に第2の絶縁性膜23からなるインターポリ絶縁膜130cを介して、第2の導電性膜(たとえば、ドープドポリシリコン膜)24からなる第1のコントロールゲート電極(第1の制御ゲート電極)130d、および、表面部にシリサイド層30が形成された、第3の導電性膜(たとえば、ドープドポリシリコン膜)25からなる第2のコントロールゲート電極(第2の制御ゲート電極)130eが順に積層された、2層(積層)構造のゲート電極部を有している。
一方、ダミーセルトランジスタ131’は、たとえば、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極131cの一部が、上記第2の絶縁性膜23および上記第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜131aを貫通し、第1のダミー電極131bとなる上記第1の導電性膜22を介して上記基板11に接続されてなる構造の、電流リークパスLPa’を有して形成されている。すなわち、このダミーセルトランジスタ131’は、上記第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極131bと上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる上記第2のダミー電極131cとが、直接、上記半導体基板11に接続されてなる構造のゲート電極部を有して形成されている。
これに対し、低電圧系トランジスタ領域15aには、複数(便宜上、ここでは1つ)の低電圧系トランジスタ(周辺トランジスタ)150といくつか(少なくとも、1つ)の低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’とが形成されている。低電圧系トランジスタ150は、上記半導体基板11の表面上に、上記第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜150aを介して、上記第1の導電性膜22からなる第1のゲート電極150bが積層されてなる、1層構造のゲート電極部を有している。また、このゲート電極部には、さらに、上記第2の導電性膜24上に設けられるとともに、その一部が上記第2の導電性膜24および上記第2の絶縁性膜23を貫通し、上記第1のゲート電極150bに電気的に接続された、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のゲート電極150cによって、実際の回路動作に用いられる電流パスが形成されている。
一方、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’は、たとえば、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極151cの一部が、上記第2の絶縁性膜23、上記第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極151b、および、上記第1の絶縁性膜21からなるゲート酸化膜151aを貫通し、直接、上記半導体基板11に接続されてなる構造の、電流リークパスLPb’を有して形成されている。
高電圧系トランジスタ領域15bには、複数(便宜上、ここでは1つ)の高電圧系トランジスタ(周辺トランジスタ)152といくつか(少なくとも、1つ)の高電圧系のダミー周辺トランジスタ153’とが形成されている。高電圧系トランジスタ152は、上記半導体基板11の表面上に、上記第1の絶縁性膜21の膜厚よりも厚い第3の絶縁性膜26からなるゲート酸化膜152aを介して、上記第1の導電性膜22からなる第1のゲート電極152bが積層されてなる、1層構造のゲート電極部を有している。また、このゲート電極部には、さらに、上記第2の導電性膜24上に設けられるとともに、その一部が上記第2の導電性膜24および上記第2の絶縁性膜23を貫通し、上記第1のゲート電極152bに電気的に接続された、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のゲート電極152cによって、実際の回路動作に用いられる電流パスが形成されている。
一方、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153’は、たとえば、上記第2の導電性膜24および上記第3の導電性膜25からなる第2のダミー電極153cの一部が、上記第2の絶縁性膜23、上記第1の導電性膜22からなる第1のダミー電極153b、および、上記第3の絶縁性膜26からなるゲート酸化膜153aを貫通し、直接、上記半導体基板11に接続されてなる構造の、電流リークパスLPc’を有して形成されている。
本実施形態の場合、上記第3の導電性膜25の上面に、それぞれ、低抵抗化のためのシリサイド層30が形成されている。また、このシリサイド層30を介して、上記第3の導電性膜25の上方を含む、上記半導体基板11上には、厚い層間絶縁膜31が設けられている。
また、上記したメモリセル領域13と周辺回路領域15の低電圧系トランジスタ領域15aとの間、および、低電圧系トランジスタ領域15aと高電圧系トランジスタ領域15bとの間は、それぞれ、上記半導体基板11の表面部に素子分離用絶縁膜33を埋め込んでなる素子分離領域35によって画定されている。同様に、メモリセル領域13内における上記メモリセル130と上記ダミーセルトランジスタ131’との間、低電圧系トランジスタ領域15a内における上記低電圧系トランジスタ150と上記ダミー周辺トランジスタ151’との間、および、高電圧系トランジスタ領域15b内における上記高電圧系トランジスタ152と上記ダミー周辺トランジスタ153’との間は、それぞれ、上記半導体基板11の表面部に上記素子分離用絶縁膜33が埋め込み形成された上記素子分離領域35によって画定されている。
上記した構成のEEPROMの場合、メモリセル領域13においては、メモリセル130の周辺部に、電流リークパスLPa’を有するダミーセルトランジスタ131’が配置されている。また、周辺回路領域15においては、低電圧系トランジスタ150の周辺部に、電流リークパスLPb’を有するダミー周辺トランジスタ151’が配置され、高電圧系トランジスタ152の周辺部に、電流リークパスLPc’を有するダミー周辺トランジスタ153’が配置されている。上記ダミーセルトランジスタ131’および上記ダミー周辺トランジスタ151’,153’を設けることによって、加工時の平坦性、たとえばケミカル・メカニカル・ポリッシュ(CMP)法での仕上がりの高さをウェーハ面内で一定に保つことが容易となる。
なお、実際のEEPROMにおいては、上記した構成の複数のメモリセル130がマトリクス(格子)状に配列されて所定のメモリ容量を有するセルアレイが形成されるとともに、低電圧系および高電圧系の複数の周辺トランジスタ150,152によって所望の論理回路(周辺回路)が形成されている。
次に、上記した構成のEEPROMの製造方法について簡単に説明する。なお、ここでは、メモリセルおよび周辺トランジスタなどを形成する工程のうち、本実施形態の構成に直接関連しない、たとえばイオンインプランテーション工程や熱工程については説明を省略している。
まず、半導体基板11の表面全体に、高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜152aを形成するための第3の絶縁性膜26を成膜する(図22参照)。その後、リソグラフィー工程により、高電圧系トランジスタ領域15bの高電圧系トランジスタ152およびダミー周辺トランジスタ153’を形成するための領域以外を開口する。つまり、高電圧系トランジスタ152およびダミー周辺トランジスタ153’を形成するための高電圧系トランジスタ領域15bにのみ、レジスト51をパターニングする(図23参照)。そして、そのレジスト51をマスクに、それ以外の領域の第3の絶縁性膜26を除去する。こうして、高電圧系トランジスタ152およびダミー周辺トランジスタ153’を形成するための高電圧系トランジスタ領域15bにのみ、第3の絶縁性膜26を残存させた後、上記レジスト51を除去する(図24参照)。
次いで、基板11の表面全体に、メモリセル130のトンネル酸化膜130a、ダミーセルトランジスタ131’のゲート酸化膜131a、低電圧系トランジスタ150のゲート酸化膜150a、および、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’のゲート酸化膜151aを形成するための、第1の絶縁性膜21を成膜する(図25参照)。この第1の絶縁性膜21は、先の工程で成膜した第3の絶縁性膜26よりも薄く形成される。
次いで、基板11の表面全体に、上記第1,第3の絶縁性膜21,26を介して、メモリセル130のフローティングゲート電極130b、ダミーセルトランジスタ131’の第1のダミー電極131b、低電圧系トランジスタ150の第1のゲート電極150b、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’の第1のダミー電極151b、高電圧系トランジスタ152の第1のゲート電極152b、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153’の第1のダミー電極153bとなる、不純物がドープされたポリシリコンからなる第1の導電性膜22を成膜する(図26参照)。その上に、加工用のハードマスクとなるシリコン窒化(SiN)膜52を成膜する(図27参照)。
次いで、そのSiN膜52上に、リソグラフィー工程にて、素子分離領域35を形成するためのレジスト53をパターニングする(図28参照)。そして、そのレジスト53をマスクに、上記SiN膜52を選択的にエッチングして除去して、ハードマスク52aを形成した後、上記レジスト53を除去する(図29参照)。
次いで、上記ハードマスク52aを用いて第1の導電性膜22および第1,第3の絶縁性膜21,26をエッチングし(図30参照)、さらに、基板11の表面部を適当な深さ分だけエッチングして溝部35aを開口する(図31参照)。その後、溝部35a内を埋め込むように、基板11の表面全体に素子分離用絶縁膜33を堆積させ(図32参照)、その表面を、たとえばCMP法によって研磨して、上記ハードマスク52aの上端部の高さと同じ高さになるように平坦化する(図33参照)。さらに、第1の導電性膜22の上部が突出するまで素子分離用絶縁膜33をエッチングした後(図34参照)、ハードマスク52aを除去する。
こうして、素子分離用絶縁膜33が埋め込まれてなる素子分離領域35によって各素子領域が画定されることにより、メモリセル領域13に対応する素子領域には、メモリセル130のトンネル酸化膜130aおよびフローティングゲート電極130bと、ダミーセルトランジスタ131’のゲート酸化膜131aおよび第1のダミー電極131bとが、それぞれ形成される。また、周辺回路領域15の低電圧系トランジスタ領域15aに対応する素子領域には、低電圧系トランジスタ150のゲート酸化膜150aおよび第1のゲート電極150bと、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’のゲート酸化膜151aおよび第1のダミー電極151bとが、それぞれ形成される。また、周辺回路領域15の高電圧系トランジスタ領域15bに対応する素子領域には、高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜152aおよび第1のゲート電極152bと、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153’のゲート酸化膜153aおよび第1のダミー電極153bとが、それぞれ形成される。
次いで、基板11の表面全体に、インターポリ絶縁膜130cなどを形成するための第2の絶縁性膜23を成膜した後(図35参照)、続いて、不純物がドープされたポリシリコンからなる第2の導電性膜24を成膜する(図36参照)。
次いで、第2の絶縁性膜23の開口を行う。第2の絶縁性膜23の開口は、メモリセル領域13および周辺回路領域15において、低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152を対象にして行われる。すなわち、上記第2の導電性膜24上に、リソグラフィー工程にて、低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152を形成するための各領域以外の領域を覆うように、レジスト53をパターニングする(図37参照)。そして、そのレジスト53をマスクに、第2の導電性膜24、第2の絶縁性膜23、および、第1の導電性膜22の一部を選択的にエッチングし、開口部54を形成する(図38参照)。
次いで、上記レジスト53を除去した後、第1の絶縁性膜21の開口を行う。第1の絶縁性膜21の開口は、メモリセル領域13および周辺回路領域15において、全てのダミートランジスタ素子、つまり、ダミーセルトランジスタ131’、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153’を対象にして行われる。すなわち、上記第2の導電性膜24上に、リソグラフィー工程にて、ダミーセルトランジスタ131’、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153’を形成するための各領域以外の領域を覆うように、レジスト55をパターニングする(図39参照)。そして、そのレジスト55をマスクに、第2の導電性膜24、第2の絶縁性膜23、第1の導電性膜22、および、第1,第3の絶縁性膜21,26を選択的にエッチングし、開口部56を形成する(図40参照)。
次いで、上記レジスト55を除去した後、基板11の表面全体に、不純物がドープされたポリシリコンからなる第3の導電性膜25を成膜する(図41参照)。そして、この第3の導電性膜25をパターニングすることで、低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152については、第2の導電性膜24を含んで、第3の導電性膜25と第1の導電性膜22とが電気的に接続され、ダミーセルトランジスタ131’、低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153’については、第1,第2の導電性膜22,24を含んで、第3の導電性膜25が基板11と電気的に接続される。
次いで、第3の導電性膜25の表面に残る、パターニングのための窒化膜(図示していない)をドライエッチングによって除去した後、ポリシリコンと金属とを反応させることにより、第3の導電性膜25の表面にシリサイド層30を形成する。このエッチングの際に、むき出しの状態となってプラズマに曝されたポリシリコンに侵入した電荷は、そのほとんどが、メモリセル130のインターポリ絶縁膜130cや低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜150a,152a中に捕獲されることなく、ダミーセルトランジスタ131’の電流リークパスLPa’や低電圧系および高電圧系のダミー周辺トランジスタ151’,153’の各電流リークパスLPb’,LPc’をそれぞれ介して、半導体基板11へと抜けるようになる。ゆえに、ドライエッチング時に捕獲された電荷量に相当した大きさのしきい値変動がもとで、メモリセル130や低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のしきい値がばらつき、EEPROMとしての信頼性を劣化させるという、プラズマダメージ(ドライエッチングに起因するチャージアップ)を軽減できる。
しかる後、そのシリサイド層30上を含む、基板11の表面全体に層間絶縁膜31を形成する。そして、その層間絶縁膜31の表面をCMP法により平坦化することで、図21に示した構造のEEPROMが得られる。
上記したように、ダミーセルトランジスタ131’と低電圧系および高電圧系のダミー周辺トランジスタ151’,153’とに、基板11に直接つながる電流リークパスLPa’,LPb’,LPc’を形成するようにしている。これにより、ドライエッチングの際のメモリセル130および低電圧系/高電圧系トランジスタ150,152へのプラズマダメージを軽減でき、そのプラズマダメージに起因するしきい値のばらつきを抑制することが可能となる。
特に、メモリセル130のコントロールゲート電極にシリサイドを用いるようにしたEEPROMにおいては、ダミーセルトランジスタ131’と低電圧系および高電圧系のダミー周辺トランジスタ151’,153’とに電流が流れるようになるので、ドライエッチング時に、メモリセル130のインターポリ絶縁膜130cや低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜150a,152aに加わる電圧を低下させることが可能となり、その結果として、メモリセル130のインターポリ絶縁膜130cや低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜150a,152a中に捕獲される電荷量を減少できるようになる。したがって、捕獲された電荷量に相当する、メモリセル130や低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のしきい値のばらつきを改善でき、メモリセル130や低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152の信頼性を向上させることが可能となるものである。
しかも、本実施形態の場合、ダミーセルトランジスタ131’と低電圧系および高電圧系のダミー周辺トランジスタ151’,153’とにおいては、いずれもゲート酸化膜が開口されているため、第1の実施形態に示した構成のEEPROMよりもダミー抵抗の低抵抗化が可能であり、メモリセル130のインターポリ絶縁膜130cや低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152のゲート酸化膜150a,152a中に捕獲される電荷量をより減少できる。
なお、上記した第2の実施形態にあっては、第2の絶縁性膜23を開口した後の工程において、第1,第3の絶縁性膜21,26を第2の絶縁性膜23とともに開口するようにした場合を例に説明したが、これに限らず、開口の順序は逆でもかまわない。また、メモリセル130を除く、全てのトランジスタ素子における第2の絶縁性膜23を先に開口し、その後、低電圧系トランジスタ150および高電圧系トランジスタ152をマスクで覆い、ダミーセルトランジスタ131’と低電圧系のダミー周辺トランジスタ151’とにおける第1の絶縁性膜21、および、高電圧系のダミー周辺トランジスタ153’における第3の絶縁性膜26を一度に開口するようにしてもよい。
また、いずれの実施形態の場合においても、ダミーセルトランジスタの導電性と低電圧系および高電圧系のダミー周辺トランジスタの導電性とをそれぞれ確保する場合に限らず、少なくとも高電圧系のダミー周辺トランジスタの導電性のみを確保できるように構成した場合にも十分な効果を得ることが可能である。
その他、本願発明は、上記(各)実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。さらに、上記(各)実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。たとえば、(各)実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題(の少なくとも1つ)が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果(の少なくとも1つ)が得られる場合には、その構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
本発明の第1の実施の形態にしたがった、不揮発性半導体記憶装置(EEPROM)の構成例を示す断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図1に示したEEPROMの作用効果を説明するために示す図。 本発明の第2の実施の形態にしたがった、不揮発性半導体記憶装置(EEPROM)の構成例を示す断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。 図21に示したEEPROMの製造方法を説明するために示す工程断面図。
符号の説明
11…半導体基板、13…メモリセル領域、15…周辺回路領域、15a…低電圧系トランジスタ領域、15b…高電圧系トランジスタ領域、30…シリサイド層、130…メモリセル、131,131’…ダミーセルトランジスタ、150…低電圧系トランジスタ、151,151’…低電圧系のダミー周辺トランジスタ、152…高電圧系トランジスタ、153,153’…高電圧系のダミー周辺トランジスタ、LPa,LPa’LPb,LPb’LPc,LPc’…電流リークパス。

Claims (4)

  1. メモリセル形成領域、ダミーセルトランジスタ形成領域、周辺トランジスタ形成領域、及びダミー周辺トランジスタ形成領域を有する半導体基板上に、前記メモリセルのトンネル酸化膜、前記ダミーセルトランジスタのゲート酸化膜、前記周辺トランジスタのゲート酸化膜、及び前記ダミー周辺トランジスタのゲート酸化膜となる第1の絶縁性膜を形成することと、
    前記第1の絶縁性膜上に、前記メモリセルの浮遊ゲート電極、前記ダミーセルトランジスタの第1のダミー電極、前記周辺トランジスタの第1のゲート電極、及び前記ダミー周辺トランジスタの第1のダミー電極となる第1の導電性膜を形成することと、
    前記第1の導電性膜、及び前記第1の絶縁性膜の一部をエッチングして前記半導体基板の一部を露出することと、
    前記露出された半導体基板の一部をエッチングして前記半導体基板に溝部を形成することと、
    前記溝部内に素子分離用絶縁膜を形成することと、
    前記素子分離用絶縁膜上、及び前記第1の導電性膜上に、前記メモリセルのインターポリ絶縁膜となる第2の絶縁性膜を形成することと、
    前記第2の絶縁性膜上に、前記メモリセルの第1のコントロールゲートとなる第2の導電性膜を形成することと、
    前記ダミーセルトランジスタ形成領域、及び前記ダミー周辺トランジスタ形成領域に形成された前記第2の導電性膜、前記第2の絶縁性膜、前記第1の導電性膜、及び前記第1の絶縁性膜の一部をエッチングして前記半導体基板の一部を露出することと、
    前記第2の導電性膜上、及び前記露出された半導体基板の一部上に、前記メモリセルの第2のコントロールゲート電極、前記ダミーセルトランジスタの第2のダミー電極、前記周辺トランジスタの第2のゲート電極、及び前記ダミー周辺トランジスタの第2のダミー電極となる表面領域にマスクを有する第3の導電性膜を形成することと、
    ラズマ雰囲気で、前記プラズマ雰囲気に起因して、前記メモリセル形成領域、前記ダミーセルトランジスタ形成領域、前記周辺トランジスタ形成領域、及び前記ダミー周辺トランジスタ形成領域に形成された前記第3の導電性膜に侵入する電荷を前記第3の導電性膜を介して前記半導体基板に排出しながら、前記マスクをエッチングすることと、
    を備えることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
  2. 前記第1の絶縁性膜の膜厚が前記第2の絶縁性膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
  3. 前記第1の絶縁性膜の膜厚と、前記第2の絶縁性膜の膜厚とが同程度であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
  4. 前記第1の絶縁性膜、前記第1の導電性膜、前記第2の絶縁性膜、前記第2の導電性膜、及び前記半導体基板上に形成された前記第3の導電性膜はダミートランジスタを構成し、前記ダミートランジスタは、高電圧系トランジスタのダミートランジスタであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
JP2006151540A 2006-05-31 2006-05-31 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 Expired - Fee Related JP4783210B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006151540A JP4783210B2 (ja) 2006-05-31 2006-05-31 不揮発性半導体記憶装置の製造方法
US11/756,200 US7705393B2 (en) 2006-05-31 2007-05-31 Nonvolatile semiconductor storage device having silicide in control gate electrode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006151540A JP4783210B2 (ja) 2006-05-31 2006-05-31 不揮発性半導体記憶装置の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007324300A JP2007324300A (ja) 2007-12-13
JP4783210B2 true JP4783210B2 (ja) 2011-09-28

Family

ID=38789099

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006151540A Expired - Fee Related JP4783210B2 (ja) 2006-05-31 2006-05-31 不揮発性半導体記憶装置の製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7705393B2 (ja)
JP (1) JP4783210B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101361828B1 (ko) * 2007-09-03 2014-02-12 삼성전자주식회사 반도체 디바이스, 반도체 패키지, 스택 모듈, 카드, 시스템및 반도체 디바이스의 제조 방법
JP2010004020A (ja) * 2008-05-19 2010-01-07 Toshiba Corp 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1154730A (ja) * 1997-07-29 1999-02-26 Sony Corp 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法
JP2000183043A (ja) 1998-12-18 2000-06-30 Toshiba Corp 半導体装置及びその製造方法
JP2002176114A (ja) * 2000-09-26 2002-06-21 Toshiba Corp 半導体装置及びその製造方法
KR100357692B1 (ko) 2000-10-27 2002-10-25 삼성전자 주식회사 비휘발성 메모리소자 및 그 제조방법
KR100448911B1 (ko) 2002-09-04 2004-09-16 삼성전자주식회사 더미 패턴을 갖는 비휘발성 기억소자
US6730566B2 (en) * 2002-10-04 2004-05-04 Texas Instruments Incorporated Method for non-thermally nitrided gate formation for high voltage devices
JP2005026589A (ja) * 2003-07-04 2005-01-27 Toshiba Corp 半導体記憶装置及びその製造方法
KR100506941B1 (ko) * 2003-08-19 2005-08-05 삼성전자주식회사 더미 셀들을 갖는 플래쉬 메모리소자 및 그것의 소거방법들
US7154779B2 (en) * 2004-01-21 2006-12-26 Sandisk Corporation Non-volatile memory cell using high-k material inter-gate programming

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007324300A (ja) 2007-12-13
US7705393B2 (en) 2010-04-27
US20070278560A1 (en) 2007-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7071061B1 (en) Method for fabricating non-volatile memory
JP5013050B2 (ja) 半導体装置の製造方法
TWI613796B (zh) 形成記憶體陣列及邏輯裝置的方法
JP4764284B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
US7442998B2 (en) Non-volatile memory device
US20090047777A1 (en) Semiconductor device and method of manufacturing the same
KR101294495B1 (ko) 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법
US20150028409A1 (en) Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same
JP2000286349A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2006519491A (ja) ラテラルセレクトゲートを有する不揮発性メモリ・セルの製造方法
JP2009231300A (ja) 半導体記憶装置及びその製造方法
US7488645B2 (en) Method of fabricating a non-volatile memory
JP4783210B2 (ja) 不揮発性半導体記憶装置の製造方法
JP2009218494A (ja) 不揮発性半導体メモリ
US7183158B2 (en) Method of fabricating a non-volatile memory
JP2009206355A (ja) 不揮発性半導体メモリ及び不揮発性半導体メモリの製造方法
US7271062B2 (en) Non-volatile memory cell and fabricating method thereof and method of fabricating non-volatile memory
JP2009010110A (ja) 不揮発性メモリ及びその製造方法
JP2014187132A (ja) 半導体装置
JP2009076635A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP7376628B2 (ja) 半導体素子及びその製造方法
JP2013143482A (ja) 半導体装置および半導体装置の製造方法
JP2013026331A (ja) 不揮発性半導体記憶装置の製造方法
JP2010129740A (ja) 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法
JP4829144B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080829

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110104

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110307

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110329

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110614

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110708

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees