JP4420025B2 - セラミック原料組成物、セラミック基板および非可逆回路素子 - Google Patents

セラミック原料組成物、セラミック基板および非可逆回路素子 Download PDF

Info

Publication number
JP4420025B2
JP4420025B2 JP2006542279A JP2006542279A JP4420025B2 JP 4420025 B2 JP4420025 B2 JP 4420025B2 JP 2006542279 A JP2006542279 A JP 2006542279A JP 2006542279 A JP2006542279 A JP 2006542279A JP 4420025 B2 JP4420025 B2 JP 4420025B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
weight
composition
ceramic substrate
raw material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006542279A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2006046361A1 (ja
Inventor
安隆 杉本
聡 大賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of JPWO2006046361A1 publication Critical patent/JPWO2006046361A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4420025B2 publication Critical patent/JP4420025B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • C04B35/465Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
    • C04B35/468Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C14/00Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix
    • C03C14/004Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix the non-glass component being in the form of particles or flakes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/062Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight
    • C03C3/064Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing boron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/076Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/089Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
    • C03C3/091Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/03Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on magnesium oxide, calcium oxide or oxide mixtures derived from dolomite
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/10Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/14Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silica
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • H01G4/1218Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/129Ceramic dielectrics containing a glassy phase, e.g. glass ceramic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3208Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3215Barium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3229Cerium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3232Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
    • C04B2235/3234Titanates, not containing zirconia
    • C04B2235/3236Alkaline earth titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/36Glass starting materials for making ceramics, e.g. silica glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/602Making the green bodies or pre-forms by moulding
    • C04B2235/6025Tape casting, e.g. with a doctor blade
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)

Description

この発明は、セラミック原料組成物、このセラミック原料組成物を用いて構成されるセラミック基板、およびこのセラミック基板を備える非可逆回路素子に関するもので、特に、セラミック原料組成物を焼結させて得られた焼結体の比誘電率を高めるための改良に関するものである。
この発明にとって興味ある電子部品として、たとえばアイソレータまたはサーキュレータのような非可逆回路素子がある。非可逆回路素子についても、他の電子部品と同様、これを小型化することが求められている。非可逆回路素子の小型化は、そこに用いられるセラミック基板の大きさに大きく左右される。非可逆回路素子に備えるセラミック基板には、コンデンサ素子および抵抗素子が内蔵されているが、たとえば800MHz〜1.5GHz帯のような高周波領域で用いる場合には、コンデンサ素子の容量は100pF程度必要であり、この容量を維持したまま、小型化を実現するためには、セラミック基板を構成するセラミックの比誘電率を高めなければならない。
セラミック基板の材料となるセラミック原料組成物であって、上述のように高い比誘電率を実現し得るものとして、たとえば特開2002−97072号公報(特許文献1)に記載されたものがある。この特許文献1では、1000℃以下の低温で焼結させることができ、Ag等の金属と共焼成することができ、また、比誘電率およびQ値が高くかつ誘電特性の温度変化率の絶対値が小さい誘電体セラミックを得ることが可能なセラミック原料組成物が提案されている。
すなわち、特許文献1に記載されたセラミック原料組成物は、フィラーとしてのBaO−TiO2−ReO3/2(Reは希土類元素)系セラミック組成物と、Li2O−MO−ZnO−Al23−B23−SiO2(Mは、Ba、Sr、CaおよびMgのうちの少なくとも1種)系ガラス組成物とを含んでいる。
上述した特許文献1に記載のセラミック原料組成物では、フィラーとしてのBaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物が、好ましくは、65〜85重量%と比較的多く含まれているため、焼結性が悪くなる傾向があり、この焼結性を高めるために、粘度の低いガラスを用いる必要がある。そのため、ガラス組成物には、前述したように、Li2Oが添加され、これによって、ガラスの粘度を低下させている。
しかしながら、特許文献1に記載のようなセラミック原料組成物を用いて、前述した非可逆回路素子に備えるセラミック基板を作製すると、セラミック基板に内蔵される抵抗素子の抵抗特性が低下するという問題を招くことがわかった。そして、本件発明者による実験の結果、このような抵抗特性の低下は、セラミック原料組成物に含まれるガラス成分と抵抗素子を構成する抵抗体とが反応するためであることを見出した。
特開2002−97072号公報
そこで、この発明の目的は、上述のような問題を解決し得るセラミック原料組成物、このセラミック原料組成物を用いて構成されるセラミック基板、およびこのセラミック基板を備える非可逆回路素子を提供しようとすることである。
この発明に係るセラミック原料組成物は、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
すなわち、この発明に係るセラミック原料組成物は、まず、フィラーとして、xBaO−yTiO2−zReO3/2(ただし、x、yおよびzはモル%を示し、8≦x≦18、52.5≦y≦65、20≦z≦40であり、x+y+z=100であり、Reは希土類元素である。)で表される、BaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物と、アルミナとを含む。
また、この発明に係るセラミック原料組成物は、4〜17.5重量%のB23 、28〜50重量%のSiO2、0〜20重量%のAl23および36〜50重量%のMO(ただし、MOは、CaO、MgO、SrOおよびBaOから選ばれた少なくとも1種である。)を含む、ホウケイ酸ガラス組成物を含む。
上記の各成分の含有比率については、BaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物が10〜45重量%とされ、アルミナが5〜40重量%とされ、ホウケイ酸ガラス組成物が40〜65重量%とされる。そして、BaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物とアルミナとの合計量は35重量%以上とされる。
この発明に係るセラミック原料組成物は、さらに、CaTiO3を20重量%以下含んでいてもよい。また、ホウケイ酸ガラス組成物は、Li2O、Na2OおよびK2Oから選ばれた少なくとも1種を、0.5重量%未満であれば含んでいてもよい。また、BaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物とアルミナとホウケイ酸ガラス組成物との合計量100重量部に対して、CeO2を3重量部以下含んでいてもよい。
この発明は、上述のこの発明に係るセラミック原料組成物を焼成して得られた焼結体からなるセラミック層を備える、セラミック基板にも向けられる。
この発明に係るセラミック基板は、積層された複数のセラミック層からなる多層構造を有していてもよい。この場合、セラミック層に関連して、AgまたはCuを主成分とする導体が設けられていても、抵抗素子が内蔵されていてもよい。
この発明に係るセラミック基板は、さらに、比誘電率が10以下の第2のセラミック層を備えていてもよい。
また、この発明に係るセラミック基板は、さらに、CaO−Al23−B23−SiO2系ガラス組成物およびアルミナを、前者が26〜65重量%および後者が35〜74重量%となる割合で含むセラミック材料の焼結体からなる第2のセラミック層を備えていてもよい。
この発明は、さらに、永久磁石と、基体、基体に所定の交差角度で積み重ねて配置された複数の中心電極、および中心電極相互を電気的に絶縁するために中心電極間に配置された電気絶縁層を備え、永久磁石により直流磁界が印加される、中心電極組立体と、永久磁石および中心電極組立体を収容する、ケースと、中心電極組立体が実装される、コンデンサ素子および抵抗素子が設けられたセラミック基板とを備える、非可逆回路素子にも向けられる。
この発明に係る非可逆回路素子は、上述したセラミック基板が、この発明に係るセラミック基板をもって構成されることを特徴としている。
この発明に係るセラミック原料組成物によれば、1000℃以下の低温で焼結させることができ、したがって、AgまたはCuのような導電性に優れた金属と共焼成することができる。そのため、積層された複数のセラミック層からなる多層構造を有するセラミック基板において、内蔵される導体の材料として、上述のような金属を用いることができる。
また、この発明に係るセラミック原料組成物を焼成して得られた焼結体によれば、比較的高い比誘電率を得ることができる。したがって、たとえばアイソレータについて言えば、そこに備えるセラミック基板を構成する材料として、この発明に係るセラミック原料組成物の焼結体を用いると、セラミック基板の面積を従来の2/3〜1/2にまで小型化することが可能となる。
また、この発明に係るセラミック原料組成物によれば、ホウケイ酸ガラス組成物がLiなどのアルカリ金属を含まなくてもよいため、抵抗素子を構成する抵抗体との反応による抵抗特性の低下という問題を回避することができる。したがって、抵抗素子が内蔵されているセラミック基板、より具体的には、アイソレータのような非可逆回路素子に備える、抵抗素子が設けられたセラミック基板の材料として、この発明に係るセラミック原料組成物を有利に用いることができる。
上述した効果をより確実に達成するためには、ホウケイ酸ガラス組成物に、Li2O、Na2OおよびK2Oから選ばれた少なくとも1種が含まれるとしても、その含有量は0.5重量%未満に抑えられることが好ましい。
この発明に係るセラミック基板が、この発明に係るセラミック原料組成物の焼結体からなるセラミック層、すなわち第1のセラミック層に加えて、比誘電率が10以下の第2のセラミック層を備えている場合、あるいは、CaO−Al23−B23−SiO2系ガラス組成物およびアルミナを、前者が26〜65重量%および後者が35〜74重量%となる割合で含むセラミック材料の焼結体からなる第2のセラミック層を備えている場合には、次のような効果が奏される。
すなわち、まず、第1のセラミック層が高誘電率層となり、第2のセラミック層が低誘電率層となる。したがって、低誘電率層である第2のセラミック層に関連して専ら配線のための導体を配置し、高誘電率層である第1のセラミック層に関連してコンデンサやフィルタのような素子を構成するようにすれば、セラミック基板の小型化を行なうことができる。
また、上述のように、第2のセラミック層がCaO−Al23−B23−SiO2系ガラス組成物を含む場合、第1のセラミック層に含まれるホウケイ酸ガラス組成物と第2のセラミック層に含まれるガラス組成物とは、含有元素がほぼ同じであるため、焼成時の相互拡散による特性変動や特性ばらつき等が生じにくい。また、第1のセラミック層と第2のセラミック層との熱膨張係数が同じまたは近似しているので、デラミネーション等の構造欠陥が生じにくい。また、第2のセラミック層についても、アルカリ金属元素を含む必要がないため、抵抗素子を構成する抵抗体との反応による抵抗特性の低下という問題を回避することができる。
さらに、第1および第2のセラミック層は、ともにガラス成分を含んでいるため、比較的低温での焼結が可能である。したがって、第1および第2のセラミック層が焼結する温度では焼結しない無機材料を含む拘束層を生のセラミック基板の少なくとも一方主面上に形成した状態で、第1および第2のセラミック層が焼結する温度で焼成を実施すれば、拘束層によってセラミック層の主面方向での収縮を抑制することができる。その結果、寸法精度に優れたセラミック基板を作製することができる。
図1は、この発明の一実施形態によるセラミック基板1を図解的に示す断面図である。 図2は、この発明の他の実施形態による非可逆回路素子の一例としての集中定数型アイソレータ11を分解して示す斜視図である。 図3は、図2に示した集中定数型アイソレータ11が与える等価回路図である。 図4は、この発明のさらに他の実施形態によるセラミック基板41を図解的に示す断面図である。
符号の説明
1,14,41 セラミック基板
2,42 セラミック層
3 導体
4,44 外部導体膜
5,45 内部導体膜
6,46 ビアホール導体
7,47,C1,C2,C3 コンデンサ素子
8,R 抵抗素子
11 集中定数型アイソレータ
12 永久磁石
13 中心電極組立体
15 上側ケース
16 下側ケース
28 基体
30,31,32 中心電極
33 電気絶縁層
43 第2のセラミック層
まず、この発明に係るセラミック原料組成物を用いて有利に構成されるセラミック基板について説明する。図1は、この発明の一実施形態によるセラミック基板1を図解的に示す断面図である。
図1を参照して、セラミック基板1は、積層された複数のセラミック層2からなる多層構造を有している。これらセラミック層2に関連して、たとえばAgまたはCuを主成分とする導体3が設けられている。導体3としては、セラミック基板1の外表面上に形成されるいくつかの外部導体膜4、セラミック層2間の特定の界面に沿って形成されるいくつかの内部導体膜5および特定のセラミック層2を貫通するように設けられるいくつかのビアホール導体6がある。
これらの導体3は、単なる配線のために設けられるもののほか、たとえばコンデンサ素子やインダクタ素子のような受動素子をセラミック基板1の内部に構成するために設けられるものもある。図1において、セラミック基板1の右部分に図示されている内部導体膜5およびビアホール導体6は、コンデンサ素子7を構成している。このコンデンサ素子7を構成する内部導体膜5に挟まれるセラミック層2を本発明に係るセラミック原料組成物の焼結体からなる第1のセラミック層で構成し、コンデンサ素子7を構成しないセラミック層2を比較的誘電率の低い原料組成物の焼結体からなる第2のセラミック層で構成してもよい。
また、セラミック基板1には、抵抗素子8が内蔵されている。抵抗素子8は、特定のセラミック層2間の界面に沿って形成された抵抗体膜によって構成される。この抵抗体膜は、たとえば、RuO2を主成分とし、無機成分としてケイ酸系ガラスを含む抵抗体ペーストを焼結させることによって形成される。
次に、この発明に係るセラミック原料組成物を用いて有利に構成されるセラミック基板を備える非可逆回路素子について説明する。図2は、非可逆回路素子の一例としての集中定数型アイソレータ11を分解して示す斜視図である。
図2を参照して、集中定数型アイソレータ11は、矩形板状の永久磁石12と中心電極組立体13と実装用のセラミック基板14と金属ケースとしての上側ケース15および下側ケース16とを備えている。
上側ケース15は、下方に向く開口を有する箱状をなしており、上壁部17と4つの側壁部18〜21とを備えている。下側ケース16は、互いに対向する2つの立ち上がり壁22および23とこれら立ち上がり壁22および23間を連結する底壁部24とを備えている。上側ケース15および下側ケース16は、好ましくは、強磁性体材料から構成され、その表面にAgまたはCuめっきが施される。
図3は、図2に示した集中定数型アイソレータ11が与える等価回路図である。以下、図2とともに、図3を参照しながら、中心電極組立体13およびセラミック基板14の詳細について説明する。
セラミック基板14は、その機械的構造については図示を省略するが、積層された複数のセラミック層からなる多層構造を有していて、図3に示すような整合用コンデンサ素子C1、C2およびC3ならびに抵抗素子Rを内蔵している。なお、これら整合用コンデンサ素子C1〜C3ならびに抵抗素子Rの内蔵構造については、図1に示したセラミック基板1におけるコンデンサ素子7および抵抗素子8の内蔵構造と実質的に同様である。
セラミック基板14の上面には、ポート電極P1、P2およびP3ならびにアース電極25が露出している。セラミック基板14の下面には、図2では図示されないが、図3に示すように、このアイソレータ11を外部回路に電気的に接続する入力電極26および出力電極27が形成されている。
中心電極組立体13は、矩形板状のマイクロ波フェライトからなる基体28を備えている。基体28の上面には、3つの中心電極30、31および32が配置されている。これら中心電極30〜32は、互いの間に電気絶縁層33を介在させることにより、互いに電気的に絶縁されている。また、3つの中心電極30〜32は、略120度毎に交差するように配置されている。
中心電極30〜32を配置する順序は任意であるが、図2に示した実施形態では、下から、中心電極32、電気絶縁層33、中心電極31、電気絶縁層33、中心電極30の順に配置されている。
これら中心電極30〜32は、各々の一端が基体28の側面34に形成されている接続電極35を介して基体10の下面36に形成されているアース電極37に接続され、各々の他端が、側面34に形成されている接続電極35を介してセラミック基板14のポート電極P1〜P3に接続されている。
このようにして、中心電極30〜32のアース側は、接続電極35を介して共通のアース電極37に接続されている。この共通のアース電極37は、基体28の下面36と略同形状であり、セラミック基板14に形成されているポート電極P1〜P3との接触を避けるようにして下面36の略全面を被覆している。また、アース電極37は、セラミック基板14のアース電極25に接続される。
以上のような構成部品をもって、集中定数型アイソレータ11を組み立てるにあたっては、まず、下側ケース16内にセラミック基板14を組み込み、その上に中心電極組立体13を載せ、所定の電気的接続を達成する。他方、永久磁石12を、上側ケース15の上壁部17の下面側に配置する。そして、これらの状態を維持しながら、上側ケース15と下側ケース16とを接合し、一体的な金属ケースとする。
上述のように組み立てられたとき、永久磁石12は、中心電極組立体13に直流磁界を印加する。このとき、上側ケース15と下側ケース16とからなる金属ケースは、磁気回路を構成し、ヨークとしても機能する。
以上のような図1に示したセラミック基板1において、ならびに図2および図3を参照して説明した集中定数型アイソレータ11に備えるセラミック基板14において、この発明に係るセラミック原料組成物がセラミック層を構成するために有利に用いられる。
この発明に係るセラミック原料組成物は、前述したように、フィラーとして、BaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物とアルミナとを含み、さらに、LiO等のアルカリ金属酸化物の添加量が0.5重量%未満であるホウケイ酸ガラス組成物を含むことを特徴としている。このようなセラミック原料組成物によれば、その焼結体において比較的高い誘電率を得ることができ、また、抵抗素子を内蔵するセラミック基板を構成したとき、抵抗素子の抵抗特性を低下させることがない。
より詳細には、前述したBaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物は、xBaO−yTiO2−zReO3/2(ただし、x、yおよびzはモル%を示し、8≦x≦18、52.5≦y≦65、および20≦z≦40であり、x+y+z=100であり、Reは希土類元素である。)で表されるものである。
また、前述したホウケイ酸ガラス組成物は、4〜17.5重量%のB23、28〜50重量%のSiO2、0〜20重量%のAl23および36〜50重量%のMO(ただし、MOは、CaO、MgO、SrOおよびBaOから選ばれた少なくとも1種である。)を含むものである。
また、この発明に係るセラミック原料組成物は、前述のBaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物を10〜45重量%と、アルミナを5〜40重量%と、ホウケイ酸ガラス組成物を40〜65重量%とを含むようにされる。そして、BaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物とアルミナとの合計量が35重量%以上とされる。
この発明に係るセラミック原料組成物は、さらに、CaTiO3を20重量%以下含んでいてもよい。また、ホウケイ酸ガラス組成物は、0.5重量%未満であれば、Li2O、Na2OおよびK2Oから選ばれた少なくとも1種を含んでいてもよい。また、BaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物とアルミナとホウケイ酸ガラス組成物との合計量100重量部に対して、さらに、CeO2を3重量部以下含んでいてもよい。
また、この発明に係るセラミック原料組成物において、TiO2およびZrO2の少なくとも一方が1重量%以下の添加量をもって添加されていると、これを焼成して得られた焼結体の比誘電率の温度変化率の絶対値を小さくすることができる。
この発明に係るセラミック原料組成物は、図4に示すようなセラミック基板41においても用いることができる。図4は、この発明のさらに他の実施形態によるセラミック基板41を図解的に示す断面図である。
図4に示したセラミック基板41は、高誘電率層と低誘電率層との複合構造を有している。より詳細には、セラミック基板41は、積層された複数の第1のセラミック層42および積層された複数の第2のセラミック層43からなる複合積層構造を有している。この実施形態では、複数の第1のセラミック層42は、複数の第2のセラミック層43によって挟まれるように位置していて、第1のセラミック層42の特定のものは、第2のセラミック層43の特定のものに接している。
第1のセラミック層42は、この発明に係るセラミック原料組成物の焼結体から構成されるもので、比較的高い比誘電率、たとえば10を超える比誘電率を有している。他方、第2のセラミック層43は、CaO−Al23−B23−SiO2系ガラス組成物およびアルミナを、前者が26〜65重量%および後者が35〜74重量%となる割合で含むセラミック材料の焼結体から構成されるもので、比較的低い誘電率、たとえば10以下の比誘電率を有している。
セラミック基板41は、セラミック層42および43の各々に関連して設けられる種々の導体を備えている。導体は、たとえばAgまたはCuを主成分としている。導体としては、典型的には、セラミック基板41の外表面に形成されるいくつかの外部導体膜44、セラミック層42および43の各々間の特定の界面に沿って形成されるいくつかの内部導体膜45、ならびにセラミック層42および43の特定のものを貫通するように延びるいくつかのビアホール導体46がある。
上述の内部導体膜45およびビアホール導体46のうち、第1のセラミック層42に関連して設けられるもののいくつかは、静電容量を与えるように配置され、それによって、コンデンサ素子47を構成している。
また、内部導体膜45およびビアホール導体46のうち、第2のセラミック層43に関連して設けられるものが、専ら配線のために用いられるとき、第2のセラミック層43は比較的低い比誘電率を有しているので、電気信号の遅延やライン間のクロストーク等を低減することができる。
このようなことから、図4に示したような複合構造のセラミック基板41によれば、その小型化を図ることが可能となる。また、第1のセラミック層42に含まれるガラス成分と第2のセラミック層43に含まれるガラス成分とは、ほぼ同じ元素を含有しているので、後述する実験例からわかるように、相互拡散による特性の変動やばらつき等を生じさせにくくすることができる。また、第1のセラミック層42と第2のセラミック層43とは、同じまたは近似した熱膨張係数を有しているので、後述する実験例からわかるように、デラミネーション等の構造欠陥を生じさせにくくすることができる。
図4では抵抗素子を図示していないが、セラミック基板41は、抵抗素子を内蔵していてもよい。この場合、第1のセラミック層42だけでなく、第2のセラミック層43についても、アルカリ金属を含有させる必要がないため、抵抗素子を構成する抵抗体との反応による抵抗特性の低下という問題を回避することができる。
また、第1および第2のセラミック層42および43の各々を構成するセラミック材料は、ともに、たとえば1000℃以下といった比較的低温で焼結させることができる。したがって、セラミック基板41を製造するにあたって、この焼結温度では焼結しない無機材料を含む拘束層を、生の状態のセラミック基板41の少なくとも一方の主面上に配置し、その状態で、第1および第2のセラミック層42および43に含まれるセラミック材料が焼結する温度で焼成すれば、拘束層によって第1および第2のセラミック層42および43の主面方向での収縮が抑制され、その結果、セラミック基板41において高い寸法精度を得ることができるとともに、セラミック基板41に反りが生じにくくすることができる。
図4に示したセラミック基板41の上面には、図示しないが、半導体デバイス、積層コンデンサまたはインダクタ等を構成するいくつかのチップ部品が、上面に形成された外部導体膜44の特定のものに電気的に接続された状態で実装される。また、これらチップ部品を覆うように、金属ケースがセラミック基板41の上面上に装着されることもある。また、セラミック基板41は、その下面上に形成された外部導体膜44の特定のものを接続用端子として、図示しないマザーボード上に実装される。
次に、この発明に係るセラミック原料組成物の組成範囲を求める根拠となった実験例について説明する。
[実験例1]
1.セラミック組成物の作製
BaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物を作製するため、BaO、TiO2、ReO3/2等が、表1に示すような各比率となるように、BaCO3、TiO2、Nd23、Pr23およびSm23の各粉末を秤量し、かつ混合した。次いで、混合された原料粉末を、1150℃の温度で1時間仮焼した後、仮焼物を粉砕した。
このようにして、表1に示されているセラミック組成物S1〜S10を得た。
Figure 0004420025
2.ガラス組成物の作製
ホウケイ酸ガラス組成物を作製するため、CaO、MgO、SrO、BaO、Al23、B23、SiO2、Li2O、Na2O、K2OおよびPbOの各粉末を、表2に示すような各比率となるように秤量し、かつ十分に混合した。次いで、混合された原料粉末を、1100〜1400℃の温度で溶融させ、次いで、水中へ投入して急冷した後、湿式粉砕した。
このようにして、表2に示されているガラス組成物G1〜G27を得た。
Figure 0004420025
3.セラミック原料組成物および焼結体の作製
上述のようにして得られたセラミック組成物S1〜S10のいずれかおよびガラス組成物G1〜G18、21、23および25〜27のいずれかを用いながら、表3に示す組成比となるように、これら特定のセラミック組成物および特定のガラス組成物の各粉末を秤量するとともに、アルミナおよびCeO2 の各粉末を秤量し、次いで、これらの粉末を十分に混合した。
なお、表3において、セラミック組成物、ガラス組成物およびアルミナについては、その組成比が重量%で示され、CeO2については、セラミック組成物とガラス組成物とアルミナとの合計量100重量部に対する重量部で示されている。
Figure 0004420025
次に、上記のようにして得られた混合粉末に対して、適当量のバインダ、可塑剤および溶剤を加え、混練し、スラリーを得た。
次に、このスラリーを、ドクターブレード法により厚さ50μmのシート状に成形した。得られたセラミックグリーンシートを、30mm×10mmの平面寸法の矩形状に切断した。次に、これら矩形状のセラミックグリーンシートを複数枚積層し、圧着した後、厚さ0.5mmの積層体を得た。
次に、上記積層体を、870℃の温度で1時間焼成し、試料1〜32の各々に係る板状の焼結体を得た。
4.評価
上記のようにして得られた焼結体について、比誘電率、Q値、静電容量の温度変化率およびPCT信頼性を評価した。これらの結果が、表4に示されている。
なお、比誘電率およびQ値については、振動法により、3GHzで測定した。また、PCT信頼性については、PCT(プレッシャクッカーテスト)により、温度120℃、2気圧および湿度95%の条件下に、試料を100時間投入した後の絶縁破壊強度を評価したもので、絶縁破壊が生じていないものを、表4において「○」とした。
また、表4の「備考」欄には、実験においてもたらされた好ましくない現象が簡潔に記載されている。
Figure 0004420025
試料1〜32は、表3からわかるように、セラミック組成物、アルミナ、CeO2およびガラス組成物の各々の含有量がすべて同じであり、セラミック組成物またはガラス組成物の種類が異なるのみである。より具体的には、セラミック組成物の種類について言えば、試料1および11〜32において、セラミック組成物S1が用いられ、試料2〜10において、セラミック組成物S1以外のものが用いられている。他方、ガラス組成物の種類について言えば、試料1〜10において、ガラス組成物G1が用いられ、試料11〜32において、ガラス組成物G1以外のものが用いられている。
試料1〜32のうち、表4に示すように、試料1、6〜10、12、13、15、16、19、20および23〜29において、好ましい結果が得られている。
これらの試料は、セラミック組成物が10〜45重量%、アルミナが5〜40重量%、およびガラス組成物が40〜65重量%であり、セラミック組成物とアルミナとの合計量が35重量%以上であるという条件をまず満たしている。また、CeO2が3重量部以下であるという条件も満たしている。
そして、セラミック組成物については、表1に示したセラミック組成物S1およびS6〜S10のいずれかが用いられ、これらは、xBaO−yTiO2−zReO3/2において、8≦x≦18、52.5≦y≦65、および20≦z≦40、ならびに、x+y+z=100の条件を満たしている。
また、ガラス組成物については、表2に示したG1、G3、G4、G6、G7、G10、G11、G14〜G18、G21およびG23のいずれかが用いられ、これらは、B23が4〜17.5重量%、SiO2が28〜50重量%、Al23が0〜20重量%、ならびにCaO、MgO、SrOおよびBaOから選ばれた少なくとも1種が36〜50重量%であるという条件を満たしている。
これらに対して、試料2では、表4に示すように、温度変化率の絶対値が大きく、また、Qfが小さい。これは、表3に示すようにセラミック組成物S2が用いられたためである。セラミック組成物S2は、表1に示すように、BaOを18モル%より多い25モル%も含んでいる。
試料3では、表4に示すように、温度変化率の絶対値が大きい。これは、表3に示すように、セラミック組成物S3が用いられたためである。セラミック組成物S3は、表1に示すように、BaOを8モル%より少ない5モル%しか含まず、また、TiO2を65モル%より多い75モル%も含んでいる。
試料4では、表4に示すように、比誘電率が低く、また、Qfが小さい。これは、表3に示すように、セラミック組成物S4が用いられたためである。セラミック組成物S4は、表1に示すように、BaOを8モル%より少ない2モル%しか含んでいない。
試料5では、表4に示すように、比誘電率が低い。これは、表3に示すように、セラミック組成物S5が用いられたためである。セラミック組成物S5は、表1に示すように、TiO2を52.5モル%より少ない50モル%しか含んでいない。
試料11は、870℃の焼成温度では、表4に示すように、焼結していない。これは、表3に示すように、ガラス組成物G2が用いられたためである。ガラス組成物G2は、表2に示すように、CaOを36重量%より少ない30重量%しか含まず、また、SiO2を50重量%より多い60重量%も含んでいる。
試料14では、表4に示すように、PCT信頼性に関して絶縁破壊が生じている。これは、表3に示すように、ガラス組成物G5が用いられたためである。ガラス組成物G5は、表2に示すように、CaOを50重量%より多い60重量%も含んでいる。
試料17では、表4に示すように、Qfが小さい。これは、表3に示すように、ガラス組成物G8が用いられたためである。ガラス組成物G8は、表2に示すように、CaOを36重量%より少ない35重量%しか含まず、また、Al23を20重量%より多い30重量%も含んでいる。
試料18は、870℃の焼成温度では、表4に示すように、焼結していない。これは、表3に示すように、ガラス組成物G9が用いられたためである。ガラス組成物G9は、表2に示すように、B23を4重量%より少ない2重量%しか含んでいない。
試料21では、表4に示すように、PCT信頼性に関して絶縁破壊が生じている。これは、表3に示すように、ガラス組成物G12が用いられたためである。ガラス組成物G12は、表2に示すように、B23を17.5重量%より多い20重量%も含んでいる。
試料22では、表4に示すように、PCT信頼性に関して絶縁破壊が生じている。これは、表3に示すように、ガラス組成物G13が用いられたためである。ガラス組成物G13は、表2に示すように、SiO2を28重量%より少ない25重量%しか含んでいない。
試料30〜32では、表4に示すように、比誘電率が低い。これは、表3に示すように、ガラス組成物G25〜G27がそれぞれ用いられたためである。ガラス組成物G25〜G27は、表2に示すように、Li2Oなどのアルカリ金属酸化物を含んでいないが、前述したように、比誘電率を高くすることができない。他方、ガラス組成物G25〜G27は、表2に示すように、焼結性を向上させるためのPbOを含んでいる。上述のように、比誘電率が低くなったのは、このPbOがフィラーとしてのセラミック組成物および/またはアルミナと反応したためであると考えられる。このことから、ガラス組成物については、単にアルカリ金属を除去すればよいというものではなく、フィラーと相性の良いガラス組成物を選ぶ必要があることがわかる。
[実験例2]
実験例2では、実験例1において作製した、表1のセラミック組成物S1および表2のガラス組成物G1を用いながら、表5に示すように、セラミック組成物、アルミナおよびガラス組成物の各々の含有量を異ならせたことを除いて、実験例1と同様の操作を経て、セラミック原料組成物を作製し、その焼結体を作製した。
Figure 0004420025
次に、表5に示した各試料につき、実験例1の場合と同様の方法により、比誘電率、Q値、静電容量の温度変化率およびPCT信頼性を評価した。さらに、実験例2では、絶縁抵抗も評価した。絶縁抵抗については、温度25℃において、試料に直流電圧50Vを30秒間印加し、絶縁抵抗値を測定し、その結果を対数値(logIR)で示したものである。これらの結果が表6に示されている。
Figure 0004420025
試料33〜44のうち、表6に示すように、試料34、35、37、38、39、42および43において、好ましい結果が得られている。
これらの試料は、セラミック組成物が10〜45重量%、アルミナが5〜40重量%、およびガラス組成物が40〜65重量%であり、セラミック組成物とアルミナとの合計量が35重量%以上であるという条件を満たしている。また、CeO2が3重量部以下であるという条件も満たしている。
これらに対して、試料33では、表6に示すように、比誘電率が低く、また、温度変化率の絶対値が大きい。これは表5に示すように、セラミック組成物S1の含有量が10重量%未満の5.0重量%であるためである。
試料36では、表6に示すように、温度変化率の絶対値が大きく、また、絶縁抵抗の劣化が生じている。これは、表5に示すように、セラミック組成物S1の含有量が45重量%を超える55.0重量%もあり、また、アルミナの含有量が、5重量%未満の0重量%であるためである。
試料40では、表6に示すように、比誘電率が低く、また、温度変化率の絶対値が大きい。これは、表5に示すように、アルミナの含有量が40重量%を超える50.0重量%であるためである。
試料41は、表6に示すように、870℃の焼成温度では焼結していない。これは、表5に示すように、ガラス組成物G1の含有量が40重量%未満の30.0重量%であるためである。
試料44では、表6に示すように、比誘電率が低い。これは、表5に示すように、セラミック組成物S1とアルミナの合計量が35重量%未満の30.0重量%であり、また、ガラス組成物G1の含有量が65重量%を超える70.0重量%であるためである。
[実験例3]
実験例3では、実験例1において作製した、表1のセラミック組成物S1および表2のガラス組成物G1を用いながら、表7に示すように、セラミック組成物S1およびCeO2の各々の含有量を異ならせるとともに、特定の試料については、CaTiO3を添加したことを除いて、実験例1の場合と同様の操作を経て、セラミック原料組成物およびその焼結体を作製した。
Figure 0004420025
次に、表7に示した各試料について、実験例1の場合と同様の方法により、比誘電率、Q値、静電容量の温度変化率およびPCT信頼性を評価した。これらの結果が表8に示されている。
Figure 0004420025
試料45〜50のうち、試料45、46および48において、好ましい結果が得られている。
これらの試料は、セラミック組成物が10〜45重量%、アルミナが5〜40重量%、およびガラス組成物が40〜65重量%であり、セラミック組成物とアルミナとの合計量が35重量%以上であるという条件を満たしている。また、CeO2が3重量部以下であり、かつCaTiO3が20重量%以下であるという条件も満たしている。
これらに対して、試料47では、表8に示すように、Q値が低い。これは表7に示すように、CeO2を、3重量部を超える5.0重量部含むからである。
試料49では、表8に示すように、温度変化率の絶対値が大きい。これは、表7に示すように、セラミック組成物S1とアルミナとの合計量が35重量%未満の32.0重量%であるためである。
試料50では、表8に示すように、温度変化率の絶対値が大きい。これは、表7に示すように、セラミック組成物S1とアルミナとの合計量が35重量%未満の22.0重量%であり、また、CaTiO3の含有量が20重量%を超える30.0重量%であるためである。
[実験例4]
実験例4では、表9に示すように、実験例1において作製した試料1および27ならびに実験例2において作製した試料34を再度取り上げるとともに、ガラス組成物として、表2のガラス組成物G19およびG20をそれぞれ用いた試料51および52となるセラミック原料組成物およびその焼結体、ならびに表2のガラス組成物G19、G20、G22およびG24をそれぞれ用いた試料53、54、55および56となるセラミック原料組成物およびその焼結体を作製した。
Figure 0004420025
表9に示すように、試料1、27、51および52の間では、セラミック組成物およびアルミナの各含有率が共通しており、同様に、試料34、53、54、55および56の間においても、セラミック組成物およびアルミナの各含有率が共通している。そして、試料1、27、51および52のグループと試料34、53、54、55および56のグループとの間では、セラミック組成物およびアルミナの各含有率が異なっている。
次に、表9に示した試料1、27、51および52ならびに試料34、53、54、55および56について、実験例1の場合と同様の方法により、表10に示すように、比誘電率、Q値、静電容量の温度変化率およびPCT信頼性を評価するとともに、さらに、抵抗特性を評価した。
なお、抵抗特性は、焼成に際しての抵抗素子とセラミックとの反応による抵抗素子への影響を評価するためのものである。すなわち、RuO2を主成分とし、無機成分としてケイ酸鉛ガラスを含む抵抗体ペーストを用意した。この抵抗体ペーストは、これを用いて、0.5mm角で厚さ20μmの抵抗体膜を形成したとき、100Ωの抵抗値を示すものである。この抵抗体ペーストを用いて、前述したように作製された積層体を構成するセラミックグリーンシート間の界面に沿って、0.5mm角で厚さ20μmの抵抗体膜となるべき抵抗体ペースト膜を形成し、このように抵抗体ペースト膜が内蔵された積層体を、前述した条件にて焼成した。そして、焼成後において、焼結した抵抗体膜の抵抗値を測定した。この結果が、表10の「抵抗特性」の欄に示されている。この抵抗特性に関して、それが20Ω以下となるとき、「備考」欄に「抵抗特性×」と記載した。
Figure 0004420025
表10に示すように、試料51、52、53、54、55および56において、抵抗特性が大きく劣化している。これは、表9に示すように、ガラス組成物G19、G20、G22またはG24が用いられたためである。
表2に示すように、ガラス組成物G19は、Li2 Oを0.5重量%含み、ガラス組成物G20は、Li2Oを1重量%含み、ガラス組成物G22は、Na2Oを0.5重量%含み、ガラス組成物G24は、K2Oを0.5重量%含んでいる。
このように、Li2O、Na2OまたはK2Oのようなアルカリ金属酸化物が0.5重量%以上含まれていると、セラミック組成物の含有率に関わらず、アルカリ金属と抵抗体ペーストに含まれる鉛とが反応して、抵抗特性を劣化させるものと考えられる。
[実験例5]
実験例5では、表11に示すように、実験例1において作製した試料1、12および13を再度取り上げるとともに、表1に示したBaO−TiO2−ReO3/2系セラミック組成物を含まず、アルミナ、CeO2ならびに表2のガラス組成物G1、G15、G16、G17およびG20のいずれかを含む、試料57〜65となるセラミック材料およびその焼結体を作製した。
上述のガラス組成物G1、G15、G16、G17およびG20に関して、ガラス組成物G1は、CaO−Al23−B23−SiO2系であるが、ガラス組成物G15、G16、G17およびG20は、CaO−Al23−B23−SiO2系ではない。
Figure 0004420025
次に、表11に示した試料1、12、13および57〜65について、実験例1の場合と同様の方法により、図12に示すように、比誘電率、Q値、静電容量の温度変化率およびPCT信頼性を評価するとともに、さらに、熱膨張係数を評価した。
Figure 0004420025
表12の「備考」欄には、実験においてもたらされた好ましくない現象が簡潔に記載されている。ここで、「絶縁破壊」は、表4の場合と同様、PCT信頼性に関して絶縁破壊が生じたことを示している。また、「α大」は、熱膨張係数(α)について、試料1、12または13との差が大きくなっていることを示している。
表12に示すように、試料57では、PCT信頼性に関して絶縁破壊が生じている。これは、表11に示すように、アルミナを35重量%未満の30.0重量%しか含まず、また、ガラス組成物G1を65重量%より多い70.0重量%も含んでいるためである。
試料61では、表12に示すように、熱膨張係数(α)が大きくなっている。これは、表11に示すように、アルミナを74重量%より多い75.0重量%も含み、また、ガラス組成物G1を26重量%より少ない25.0重量%しか含んでいないためである。
また、試料64についても、表12に示すように、熱膨張係数(α)が大きくなっている。これは、表11に示すように、ガラス組成物として、G17を用いたためであると考えられる。
次に、表11に示した試料1、12および13のいずれかである高誘電率材料と、試料57〜65のいずれかである低誘電率材料とを組み合わせた複合構造のセラミック基板について評価した。
すなわち、表11に示した試料1、12、13および57〜65の各々を含むスラリーを作製し、各スラリーに対して、ドクターブレード法を適用することによって、厚さ50μmのセラミックグリーンシートを作製し、ここから、30mm×10mmの平面寸法を有する矩形状のセラミックグリーンシートを切り出した。
次に、表13の「複合構造の組み合わせ」の欄に示した試料の組み合わせをもって、各試料に係るセラミックグリーンシートを1枚ずつ積層し、圧着した後、870℃の温度で1時間焼成して、焼結後の複合構造のセラミック基板を得た。
次に、得られた各試料に係るセラミック基板について、デラミネーションの発生の有無を評価した。この結果が表13の「デラミネーション」の欄に示されている。
また、複合構造のセラミック基板から、低誘電率層としての試料57〜65の各々に係るセラミック層を除去した後、残された高誘電率層である試料1、12および13の各々に係るセラミック層の比誘電率を振動法により3GHzで測定した。そして、このようにして求められた比誘電率と、表12に示した試料1、12および13の各々の比誘電率、すなわち単独で焼成して得られた焼結体の比誘電率とを比較して、比誘電率がどの程度低下しているかを算出した。この結果が表13の「誘電率低下率」の欄に示されている。
Figure 0004420025
表13からわかるように、複合構造が試料1と試料62〜65との組み合わせによって与えられたものについては、比誘電率が比較的大きく低下している。これは、表11に示すように、試料62〜65では、ガラス組成物として、CaO−Al23−B23−SiO2系ガラス組成物以外のガラス組成物、すなわちG15、G16、G17およびG20のいずれかを用いたことに起因しており、高誘電率層と低誘電率層との間で相互拡散反応が生じ、界面近傍での比誘電率が低下したためであると考えられる。
また、複合構造が試料1と試料61との組み合わせによって与えられたもの、ならびに試料1と試料64との組み合わせによって与えられたものについては、表12に示すように、熱膨張係数(α)の差が大きく、そのため、表13に示すように、デラミネーションが発生している。

Claims (11)

  1. xBaO−yTiO−zReO3/2(ただし、x、yおよびzはモル%を示し、8≦x≦18、52.5≦y≦65、および20≦z≦40であり、x+y+z=100であり、Reは希土類元素である。)で表される、BaO−TiO −ReO3/2系セラミック組成物を10〜45重量%と、
    アルミナを5〜40重量%と、
    4〜17.5重量%のB、28〜50重量%のSiO、0〜20重量%のAlおよび36〜50重量%のMO(ただし、MOは、CaO、MgO、SrOおよびBaOから選ばれた少なくとも1種である。)を含む、ホウケイ酸ガラス組成物を40〜65重量%と
    を含み、かつ、
    前記BaO−TiO−ReO3/2系セラミック組成物と前記アルミナとの合計量が35重量%以上である、
    セラミック原料組成物。
  2. さらに、CaTiOを20重量%以下含む、請求項1に記載のセラミック原料組成物。
  3. 前記ホウケイ酸ガラス組成物は、さらに、LiO、NaOおよびKOから選ばれた少なくとも1種を0.5重量%未満含む、請求項1に記載のセラミック原料組成物。
  4. 前記BaO−TiO−ReO3/2系セラミック組成物と前記アルミナと前記ホウケイ酸ガラス組成物との合計量100重量部に対して、さらに、CeOを3重量部以下含む、請求項1に記載のセラミック原料組成物。
  5. 請求項1ないし4のいずれかに記載のセラミック原料組成物の焼結体からなるセラミック層を備える、セラミック基板。
  6. 積層された複数の前記セラミック層からなる多層構造を有する、請求項5に記載のセラミック基板。
  7. 前記セラミック層に関連して、AgまたはCuを主成分とする導体が設けられている、請求項6に記載のセラミック基板。
  8. 抵抗素子が内蔵されている、請求項6に記載のセラミック基板。
  9. さらに、比誘電率が10以下の第2のセラミック層を備える、請求項5に記載のセラミック基板。
  10. さらに、CaO−Al−B−SiO系ガラス組成物およびアルミナを、前者が26〜65重量%および後者が35〜74重量%となる割合で含むセラミック材料の焼結体からなる第2のセラミック層を備える、請求項5に記載のセラミック基板。
  11. 永久磁石と、
    基体、前記基体に所定の交差角度で積み重ねて配置された複数の中心電極、および前記中心電極相互を電気的に絶縁するために前記中心電極間に配置された電気絶縁層を備え、前記永久磁石により直流磁界が印加される、中心電極組立体と、
    前記永久磁石および前記中心電極組立体を収容する、金属ケースと、
    前記中心電極組立体が実装される、コンデンサ素子および抵抗素子が設けられたセラミック基板と
    を備える、非可逆回路素子であって、
    前記セラミック基板が、請求項5ないし10のいずれかに記載のセラミック基板をもって構成されている、非可逆回路素子。
JP2006542279A 2004-10-26 2005-09-14 セラミック原料組成物、セラミック基板および非可逆回路素子 Active JP4420025B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004310304 2004-10-26
JP2004310304 2004-10-26
JP2004340084 2004-11-25
JP2004340084 2004-11-25
PCT/JP2005/016900 WO2006046361A1 (ja) 2004-10-26 2005-09-14 セラミック原料組成物、セラミック基板および非可逆回路素子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2006046361A1 JPWO2006046361A1 (ja) 2008-05-22
JP4420025B2 true JP4420025B2 (ja) 2010-02-24

Family

ID=36227612

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006542279A Active JP4420025B2 (ja) 2004-10-26 2005-09-14 セラミック原料組成物、セラミック基板および非可逆回路素子

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8455381B2 (ja)
EP (1) EP1829841B1 (ja)
JP (1) JP4420025B2 (ja)
KR (1) KR100768662B1 (ja)
CN (1) CN1914134B (ja)
AT (1) ATE515486T1 (ja)
WO (1) WO2006046361A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020023407A (ja) * 2018-08-06 2020-02-13 Agc株式会社 ガラス組成物

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4246716B2 (ja) 2005-05-02 2009-04-02 Tdk株式会社 積層型フィルタ
EP1981046B1 (en) * 2006-01-30 2012-02-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for regulating capacitance value of built-in capacitor in multilayered ceramic substrate, and multilayered ceramic substrate and process for producing the same
JP2010052970A (ja) * 2008-08-27 2010-03-11 Murata Mfg Co Ltd セラミック組成物、セラミックグリーンシート、及びセラミック電子部品
WO2010044213A1 (ja) * 2008-10-14 2010-04-22 パナソニック株式会社 セラミック積層部品とその製造方法
CN102216238B (zh) 2008-11-21 2013-05-01 株式会社村田制作所 陶瓷组合物、陶瓷生片以及陶瓷电子部件
CN101429011B (zh) * 2008-12-10 2011-08-17 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 一种低温固化陶瓷粉末及其制备方法
DE102009008292B4 (de) * 2009-02-10 2014-09-25 Schott Ag Kondensator und Verfahren zur Herstellung eines solchen
JP2011035170A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Olympus Corp 多層積層回路
KR101252530B1 (ko) * 2010-10-01 2013-04-09 주식회사 아이엠텍 내장형 저항이 구비된 다층회로기판 및 그 제조방법
US8963406B2 (en) * 2011-06-03 2015-02-24 Fram Group Ip Llc Spark plug
CN104355613B (zh) * 2014-10-22 2016-11-30 五行科技股份有限公司 一种陶瓷组合物
US20170062385A1 (en) * 2015-08-28 2017-03-02 Electronics And Telecommunications Research Institute Power converting device
JP6278173B2 (ja) * 2016-01-12 2018-02-14 株式会社村田製作所 積層体及び電子部品
CN110349925B (zh) * 2019-07-16 2021-01-22 上海航天电子通讯设备研究所 一种叠层封装基板及其制备方法

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0785363B2 (ja) 1985-07-15 1995-09-13 沖電気工業株式会社 マイクロ波用誘電体セラミツクス
DE68923781T2 (de) * 1988-12-27 1995-12-21 Toshiba Kawasaki Kk Keramische Zusammensetzung mit hoher Dielektrizitätskonstante und keramische Kondensatorelemente.
US5103370A (en) * 1989-12-04 1992-04-07 Taiyo Yuden Co., Ltd. Solid dielectric capacitor and method of manufacture
JP2781501B2 (ja) * 1991-09-27 1998-07-30 日本碍子株式会社 低温焼成用誘電体磁器組成物
JP3325051B2 (ja) * 1992-08-26 2002-09-17 太陽誘電株式会社 誘電体磁器組成物
JPH06260768A (ja) 1993-03-03 1994-09-16 Sumitomo Metal Ind Ltd セラミックス多層回路基板
JP2695602B2 (ja) 1993-12-03 1998-01-14 松下電器産業株式会社 ガラスセラミックス多層基板
JP3085625B2 (ja) * 1994-05-31 2000-09-11 京セラ株式会社 誘電体磁器組成物
JPH0859344A (ja) 1994-08-24 1996-03-05 Murata Mfg Co Ltd 誘電体磁器組成物
JPH08183654A (ja) * 1994-12-28 1996-07-16 Kyocera Corp 低温焼成多層回路基板用ガラス−セラミック組成物
JPH08283066A (ja) 1995-04-12 1996-10-29 Sumitomo Kinzoku Electro Device:Kk 低温焼成セラミック基板
JPH0992983A (ja) 1995-07-17 1997-04-04 Sumitomo Kinzoku Electro Device:Kk セラミック多層基板の製造方法
JPH11228222A (ja) 1997-12-11 1999-08-24 Murata Mfg Co Ltd 誘電体磁器組成物及びそれを用いたセラミック電子部品
JPH11310455A (ja) * 1998-02-27 1999-11-09 Murata Mfg Co Ltd 誘電体磁器組成物およびそれを用いたセラミック電子部品
JPH11335162A (ja) 1998-05-25 1999-12-07 Murata Mfg Co Ltd セラミック基板用組成物およびセラミック回路部品
JP3358589B2 (ja) 1999-06-08 2002-12-24 株式会社村田製作所 セラミック基板用組成物、グリーンシートおよびセラミック回路部品
JP3680765B2 (ja) * 2000-07-21 2005-08-10 株式会社村田製作所 誘電体磁器組成物
EP1230653B1 (en) * 2000-08-08 2007-01-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Dielectric composition, method of manufacturing a ceramic multilayer element, and electronic device.
JP2002226259A (ja) * 2000-11-29 2002-08-14 Murata Mfg Co Ltd セラミック電子部品の基体用組成物、セラミック電子部品および積層型セラミック電子部品の製造方法
JP3903781B2 (ja) 2000-12-19 2007-04-11 株式会社村田製作所 複合積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP2002368420A (ja) * 2001-06-05 2002-12-20 Murata Mfg Co Ltd ガラスセラミック多層基板の製造方法およびガラスセラミック多層基板
JP3960768B2 (ja) * 2001-10-03 2007-08-15 オリンパス株式会社 撮像装置及びその露出の表示方法
JP2003176171A (ja) * 2001-10-04 2003-06-24 Ube Electronics Ltd 誘電体磁器組成物
WO2004094338A1 (ja) * 2003-04-21 2004-11-04 Asahi Glass Company, Limited 誘電体形成用無鉛ガラス、誘電体形成用ガラスセラミックス組成物、誘電体および積層誘電体製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020023407A (ja) * 2018-08-06 2020-02-13 Agc株式会社 ガラス組成物
JP7020335B2 (ja) 2018-08-06 2022-02-16 Agc株式会社 ガラス組成物

Also Published As

Publication number Publication date
EP1829841A1 (en) 2007-09-05
KR20060125854A (ko) 2006-12-06
US8455381B2 (en) 2013-06-04
EP1829841B1 (en) 2011-07-06
CN1914134A (zh) 2007-02-14
CN1914134B (zh) 2010-05-05
KR100768662B1 (ko) 2007-10-18
WO2006046361A1 (ja) 2006-05-04
EP1829841A4 (en) 2010-12-29
US20070036996A1 (en) 2007-02-15
JPWO2006046361A1 (ja) 2008-05-22
ATE515486T1 (de) 2011-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4420025B2 (ja) セラミック原料組成物、セラミック基板および非可逆回路素子
US6458734B1 (en) Dielectric ceramic composition
JP4720829B2 (ja) 多層セラミック基板の内蔵コンデンサの容量値調整方法、ならびに多層セラミック基板およびその製造方法
JP5056528B2 (ja) 絶縁体セラミック組成物およびそれを用いた絶縁体セラミック
US6472074B2 (en) Dielectric ceramic composition
JP5104761B2 (ja) セラミック基板およびその製造方法
US9881743B2 (en) Glass ceramic material and multilayer ceramic electronic component
US6108192A (en) Dielectric ceramic composition and ceramic electronic parts using the same
JP5821975B2 (ja) 複合積層セラミック電子部品
US10906839B2 (en) Low temperature cofired ceramic material, ceramic sintered body, and ceramic electronic component
WO2012157300A1 (ja) 複合積層セラミック電子部品
JP5888524B2 (ja) 複合積層セラミック電子部品
JP4967388B2 (ja) セラミック積層デバイスの製造方法およびセラミック積層デバイス
JP3903781B2 (ja) 複合積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP3934841B2 (ja) 多層基板
JPH0729764A (ja) コンデンサ材料及び多層アルミナ質配線基板並びに半導体素子収納用パッケージ
JP3680714B2 (ja) 絶縁体磁器組成物
JP2001139373A (ja) 誘電体磁器組成物、セラミック多層基板、セラミック電子部品及び積層セラミック電子部品
JP2001284818A (ja) 回路基板およびその製法
JP2004345914A (ja) 誘電体ガラスセラミック組成物および多層回路基板
JP2002185147A (ja) 複合積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP2001139372A (ja) 誘電体磁器組成物、セラミック多層基板、セラミック電子部品及び積層セラミック電子部品
JP2004296545A (ja) セラミック多層配線基板

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091110

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091123

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121211

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4420025

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131211

Year of fee payment: 4