JP4302944B2 - めっき引込線がない印刷回路基板の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は印刷回路基板に係り、さらに詳細にはワイヤボンディングやソルダボールボンディングの接着力を高めるための金メッキを遂行する際に電源を供給するタイバーを形成しなくても良いので回路パターンの密集度を高めることができる印刷回路基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図11には従来技術による印刷回路基板の表面が図示されている。ここで、印刷回路基板1中実際に一つの製品に用いられる部分は点線で表示された製品部1′である。
【0003】
前記印刷回路基板1の中央にはチップ装着部2が具備される。前記チップ装着部2には半導体素子であるチップ(図示せず)が搭載される。前記チップ装着部2の縁を囲むワイヤボンディングパッド3が形成される。前記ワイヤボンディングパッド3は前記チップと印刷回路基板1の回路を電気的に連結するワイヤ(図示せず)がボンディングされる部分である。このようなワイヤボンディングパッド3は印刷回路基板1の表面に露出されるように形成されて、その表面にはワイヤとのボンディング力を高めるために金メッキをする。前記ワイヤボンディングパッド3は印刷回路基板1に形成された回路パターン(図示せず)と電気的に連結される。
【0004】
そして前記印刷回路基板1の表面には多数個のボールパッド4が形成される。前記ボールパッド4は印刷回路基板1と外部基板との連結のためのソルダボール(図示せず)が付着される部分でここにもやはり附着力を高めるために金メッキをする。このようなボールパッド4は印刷回路基板1に形成された回路パターン(図示せず)と電気的に連結されて実質的に前記ワイヤボンディングパッド3とも連結される。
【0005】
前記ワイヤボンディングパッド3とボールパッド4の表面に金メッキを実行するためには前記ワイヤボンディングパッド3とボールパッド4に電源を供給しなければならない。したがって前記製品部1′の外郭には電源が供給される主引込線6がその面積が広く回路パターンの形態で形成される。
【0006】
一方、前記各々のワイヤボンディングパッド3とボールパッド4には前記主引込線とは大きさが小さい副引込線5が各々連結される。前記副引込線5は各々のワイヤボンディングパッド3とボールパッド4に金メッキをするための電源を供給するものである。前記副引込線5は図面で一部のワイヤボンディングパッド3及びボールパッド4とのみ連結されるように図示されているが、実際にはすべてのワイヤボンディングパッド3及びボールパッド4に各々一つずつ形成される。前記副引込線5は再び印刷回路基板1が製品部1′外郭を囲み形成されている主引込線6と電気的に連結される。
【0007】
したがって前記ワイヤボンディングパッド3とボールパッド4に金メッキをするためには前記主引込線6に電源を供給すると、前記副引込線5を通して前記ワイヤボンディングパッド3及びボールパッド4に電源が伝えられるようになってその表面に金メッキが可能になる。
前記主引込線6と副引込線5は印刷回路基板1の製造過程中に形成され、一般的に回路パターンの形態で製造される。
図面中未説明符号7は、印刷回路基板の位置を設定するためのガイドホールである。
【0008】
しかし前記したような構成を有する従来の印刷回路基板には次のような問題点がある。
すなわち、チップが高集積化されることによってチップと印刷回路基板1そして印刷回路基板1と外部基板との連結のための多くのワイヤボンディングパッド3とボールパッド4が必要になる。そして製品の大きさが小型化されることによって印刷回路基板の大きさも小型が要求されており、印刷回路基板1の大きさを減らすために前記ワイヤボンディングパッド3とボールパッド4が稠密に配置されることが要求されて、前記ワイヤボンディングパッド3及びボールパッド4と連結される副引込線5の配置設計も稠密して精密にしなければならない。
【0009】
このような副引込線5は、各々のワイヤボンディングパッド3とボールパッド4の間をすぎるように形成され、金メッキが完了されると、前記点線部分に沿って切断して製品部1′のみ用いられる。
この際実際に用いられる製品部1′には金メッキ時に利用される以外には何らの機能がない副引込線5が存在するようになる。このように残存する副引込線5はチップが高密度になって高周波で利用される場合、前記副引込線5にもチップからの信号が流れて隣接した副引込線5と干渉を起こすようになって製品の性能が低下するという問題がある。
【0010】
このような問題点を改善するために、副引込線5を除去するエッジバック(Edge back)技術が提示されている。これは副引込線5に金メッキレジストを塗布した状態で前記ワイヤボンディングパッド3とボールパッド4にのみ金メッキを実施して、前記金メッキレジストを除去して副引込線5を露出させて、製品をアルカリエッチング溶液に通過させて露出された副引込線を除去するものである。
【0011】
しかしこの方法は、前記副引込線5を除去するために印刷回路基板1がエッチング液を通過する時、エッチング液が製品のワイヤボンディングパッド3とボールパッド4が同時に除去されることを防止するためにワイヤボンディングパッド3とボールパッド4から一定長さの副引込線5は除去しない。また、前記金メッキレジストは感光性レジストを用いるのでレジスト塗布時に位置偏差、ソルダレジストとの密着性低下などを考慮する時副引込線5を完全に除去できないという問題がある。
【0012】
他の方法でフルボディ(Full body)金メッキ法が用いられる場合もあるが、この方法によると印刷回路基板1の回路パターンが損傷されて微細な回路パターンを形成することが難しくなるという問題がある。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記したような従来技術の問題点を解決するためのものであり、印刷回路基板の機能と関係がない部分を除去して印刷回路基板の性能を極大化して、印刷回路基板に形成される回路パターンの密集度を高め、したがって結局これを用いて形成される製品の信頼性を高める印刷回路基板の製造方法を提供することにその目的がある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明による印刷回路基板の製造方法は、表面に金属層が形成された基板に1次フォトレジストが塗布される段階と、前記1次フォトレジストを露光して現像してボールパッド及び/またはボンディングパッドが形成される領域の金属層が露出される段階と、ボールパッド及び/またはボンディングパッドが形成される前記露出された金属層にめっき層が形成される段階と、前記めっき層に前記1次フォトレジストより相対的に差がある量の光量に反応する2次フォトレジストが塗布される段階と、前記1次フォトレジストと2次フォトレジストが塗布された表面に前記1次フォトレジストのみ反応する光を照射して現像して前記1次フォトレジスト部分のみ除去されて、回路パターンが形成される部分が除外された金属層が露出される段階と、前記露出された金属層に回路パターンが形成される段階が含まれる。
【0015】
また、前記1次フォトレジストは、露光された部分が現像により除去されるポジティブタイプであることを特徴とし、前記回路パターンが形成された後には回路パターンの保護のためにフォトソルダレジストが塗布されてボンディングパッドとボールパッドが露出されることを特徴とする。
また、前記めっきは金メッキであって、前記2次フォトレジストは1次フォトレジストより多量の光に反応することを特徴とする。
【0016】
本発明の他の特徴によると、本発明は基板の表面に形成された金属層中ボールパッド及び/またはボンディングパッドが形成される部分のみ露出される段階と、前記露出された金属層に金メッキ層が形成される段階と、前記金属層が選択的に除去されて前記基板上に回路パターンが形成される段階が含まれる。
【0017】
前記回路パターンが形成される段階は、金メッキされた前記ボールパッド及び/またはボンディングパッドが形成される部分に前記1次フォトレジストより相対的に多量の光に反応する2次フォトレジストが塗布される段階と、前記1次フォトレジストが反応できる程度の光を提供して回路パターン、ボールパッド及び/またはボンディングパッドが形成される部分を除外した残り部分に残存する1次フォトレジストが除去される段階と、前記回路パターン、ボールパッド及び/またはボンディングパッドが形成される部分に残っている1次及び2次フォトレジストをレジストとして用いて露出された金属層が除去される段階が含まれることを特徴とする。
【0018】
また、前記表面に金属層が形成された基板は、多数の層で形成されて内部の層との電気的連結のためのスルーホールが金属層と基板に形成されることを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、前記したような本発明による印刷回路基板の製造方法の望ましい実施形態を添付された図面を参考にして詳細に説明する。
図1乃至図10は、本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した平面図及び断面図である。
図1乃至図10を参照して本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に説明すると次のとおりである。
参考で図1乃至図10には印刷回路基板が製造される過程の平面図(a)と断面図(b)が同時に示されている。
【0020】
まず、図1に示したように、金属層30が表面に形成された基板20に1次フォトレジスト40を塗布する。ここで前記金属層30と基板20には層間を連結するためのスルーホール(図示せず)等が形成された状態であって、前記基板20が多層で形成された場合には最上層にのみ回路パターンが形成されない状態である。
【0021】
前記塗布された1次フォトレジスト40は、ポジティブタイプであって露光された部分が除去される特性を有する。これはボールパッド及び/またはボンディングパッドが形成される部分のみを露光させて金メッキさせて、残り部分に塗布された1次フォトレジスト40は後ほど回路パターンのための過程でレジストとして用いるためである。
【0022】
そして前記1次フォトレジスト40上に、図2に示したように、露光用フィルム50を位置させる。前記露光用フィルム50には金メッキがなされる領域、すなわちボールパッドとボンディングパッドが形成される部分に露光されるように露光ウィンドウ52が形成される。
【0023】
前記露光用フィルム50の露光ウィンドウ52を通して前記1次フォトレジスト40を露光して現像する。このようにすると、前記露光ウィンドウ52に該当する部分の1次フォトレジスト40は光に反応した部分であるので除去されて金属層30が露出される。このような状態が図3に示されている。
【0024】
次に前記金属層30に電極を連結して前記金属層30が露出された部分に金メッキ層60を形成する。前記露出された部分に金メッキ層60が形成された状態が図4に示されている。この際前記金属層30の表面にはニッケル層が形成されて前記ニッケル層の上部には金層が形成されて金メッキ層60を構成する。
【0025】
そして前記金メッキ層60の表面にのみ2次フォトレジスト70をコーティングする。前記2次フォトレジスト70はポジティブタイプであって前記1次フォトレジスト40に比べて相対的に多量の光に露光されてこそ反応するものを用いなければならない。図5には金メッキ層60の表面に2次フォトレジスト70がコーティングされた状態が図示されている。
【0026】
次に前記1次フォトレジスト40と2次フォトレジスト70上に再び露光用フィルム50′を位置させる。前記露光用フィルム50′には前記基板20上に形成される回路パターンの形状によって露光ウィンドウ52′が形成される。前記露光ウィンドウ52′は1次フォトレジスト40の領域に位置する第1領域53と2次フォトレジスト70の領域に位置する第2領域54を除外した部分に形成される。
【0027】
すなわち前記第1領域53と第2領域54には光が遮蔽される。ここで、前記露光用フィルム50′の積層時の位置、組立て偏差が発生しても前記1次フォトレジスト40が露光可能なように前記第1領域53はその端の一部が前記第2領域54と重畳されて形成される。このような構成が図6に示されている。
【0028】
ここで、前記露光ウィンドウ52′が形成される位置は、前記実施形態以外にも異なるように形成されることができることは本発明の技術分野に属する通常の知識を有する者に対して自明である。
そして、前記露光用フィルム50′を用いて露光を遂行し、光は露光ウィンドウ52′を通してフォトレジストに照射される。この際、照射される光量は前記1次フォトレジスト40は反応して2次フォトレジスト70は反応しない程度である。
【0029】
このような露光と現像過程を経ながらポジティブタイプである前記1次フォトレジスト40の特性上露光された部分が除去されて前記2次フォトレジスト70は露光されなかったことによって図7に示したように、露光された1次フォトレジスト40の領域は金属層30が露出された状態になる。
【0030】
但し、この際前記2次フォトレジスト70は、露光されても照射される光量が前記2次フォトレジスト70が反応されない量であるので前記2次フォトレジスト70は除去されない。したがって、除去されないフォトレジスト領域をさらに正確に形成できるようになる。
もちろん露光されていない露光ウィンドウ52′領域以外部分のフォトレジストは、除去されずに残っている。したがって、第1領域53と第2領域54に存在する1次フォトレジスト40と2次フォトレジスト70は除去されない。
【0031】
このような状態でエッチングを実施すると前記1次フォトレジスト40と2次フォトレジスト70が塗布されている部分はエッチング液が浸透できず金属層30が保存され、それ以外の露出された部分はエッチング液によって金属層30が除去される。図8にはこのような露出された金属層30が除去された状態が図示されている。
【0032】
そして前記1次フォトレジスト40と2次フォトレジスト70を剥離して除去すると図9に示したように、回路パターン32と金メッキ層60が形成されたボールパッド領域及びボンディングパッド領域が形成される。ここで前記回路パターン32は前記金属層30に形成されるものであり、前記金メッキされたボールパッド領域及びボンディングパッド領域は前記金メッキ層60と同一である。
【0033】
前記のように回路パターン32が完成された後にはこれら間の絶縁特性を向上させて回路パターン32の損傷(隣接回路パターンとの導通等)を防ぐためにフォトソルダレジスト80を塗布する。そして現像とキュアリング過程を経てワイヤボンディングのためのボンディングパッド63とソルダボールボンディングのためのボールパッド62が形成される。このような状態は図10に示されている。
また、前記回路パターン上に保護層が塗布できる。
【0034】
以下、前記したような過程で構成される本発明実施例の印刷回路製造方法の作用を説明する。
本発明では前記ボールパッド62及びボンディングパッド63表面の金メッキ層60を基板20の最上層に備わる回路パターン32の形成前に予め形成している。すなわち、基板20の最外側表面に金属層30を形成した状態でポジティブタイプの1次フォトレジスト40を塗布して前記金属層30中ボールパッド62とボンディングパッド63が形成される部分のみを露光して除去する。
【0035】
このような状態で予め前記ボールパッド62とボンディングパッド63が形成される部分に前記金属層30を電極と連結してめっき層60を形成する。
即ち、前記金属層を通して少なくとも一つ以上のボールパッド及びボンディングパッド形成領域に十分な電力が供給されて前記めっき層が形成されるものである。
【0036】
そして前記めっき層60には相対的に多量の光に反応する2次フォトレジスト70を塗布して、まだ残っている1次フォトレジスト40中回路パターン32になる部分を除外した残り部分を露光して除去する。この際1次フォトレジスト40の露光のために用いる光の量は前記2次フォトレジスト70が反応しない程度である。したがってボールパッド62とボンディングパッド63をさらに正確に形成できるようになる。
このようにすると前記基板20上には回路パターン32と前記ボールパッド62及びボンディングパッド63を形成する部分を除外した金属層30は全く存在しなくなる。言い換えれば従来の金メッキのための引込線が基板20で完全に除去される。
【0037】
【発明の効果】
以上で説明したような本発明による印刷回路基板の製造方法によると、ボールパッド及び/またはボンディングパッドの金メッキを回路パターンの形成前に予めめっきして、回路パターンの形成時に要らない金属層部分をすべて除去する。したがって、印刷回路基板に不要な構造物が形成されなくなり相対的に回路パターンの密集度を高めることができ、ノイズの発生、信号伝達の遅延などの現像を無くして印刷回路基板の性能を高めることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図2】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図3】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図4】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図5】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図6】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図7】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図8】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図9】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図10】本発明による印刷回路基板の製造方法の実施形態を順次に示した図で、(a)は平面図、(b)及び断面図である。
【図11】従来技術による印刷回路基板の表面構成を示した平面図。
【符号の説明】
20…基板
30…金属層
32…回路パターン
40…1次フォトレジスト
50、50′…露光用フィルム
52、52′…露光ウィンドウ
60…金メッキ層
62…ボールパッド
63…ボンディングパッド
70…2次フォトレジスト
80…フォトソルダレジスト
Claims (6)
- ボールパッド及びボンディングパッドを含み、引込み線を含まない回路パターンを形成する印刷回路基板の製造方法であって、
基板に形成された金属層上に、露光された部分が現像によって除去されるポジティブタイプである、1次フォトレジストが塗布される段階と、
前記金属層の少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成される領域が露出されるように前記1次フォトレジストを除去する段階と、
前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成される前記露出された金属層にめっき層が形成される段階と、
前記めっき層に前記1次フォトレジストより感度の低い2次フォトレジストが塗布される段階と、
前記1次フォトレジストと前記2次フォトレジストに前記1次フォトレジストのみ反応する予め指定された光を照射して、現像して前記1次フォトレジスト部分のみ除去されて、前記金属層から形成される前記回路パターン以外の部分が露出される段階と、
前記露出された金属層が除去されることによって前記回路パターンが形成される段階と、
前記1次フォトレジストと前記2次フォトレジストとを剥離して除去する段階と、が含まれることを特徴とする印刷回路基板の製造方法。 - 前記回路パターンの保護のためにフォトソルダレジストが塗布される段階と、少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成されるために少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッド形成領域が前記フォトソルダレジストから露出される段階がさらに含まれることを特徴とする請求項1に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記めっき層は、金メッキであることを特徴とする請求項1に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記回路パターン上に保護層が塗布される段階が含まれることを特徴とする請求項1に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記金属層を通して少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッド形成領域に十分な電力が供給されて前記めっき層が形成されることを特徴とする請求項1に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 最終層の配線、ボールパッド、及び、ボンディングパッドのみからなる回路パターンを形成する印刷回路基板の製造方法であって、
基板に形成された金属層上に、露光された部分が現像によって除去されるポジティブタイプである、1次フォトレジストが塗布される段階と、
前記金属層の少なくとも一つ以上の前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成される領域が露出されるように前記1次フォトレジストを除去する段階と、
前記ボールパッド及び前記ボンディングパッドが形成される前記露出された金属層にめっき層が形成される段階と、
前記めっき層に前記1次フォトレジストより感度の低い2次フォトレジストが塗布される段階と、
前記1次フォトレジストと前記2次フォトレジストに前記1次フォトレジストのみ反応する予め指定された光を照射して、現像して前記1次フォトレジスト部分のみ除去されて、前記金属層から形成される前記回路パターン以外の部分が露出される段階と、
前記露出された金属層が除去されることによって前記回路パターンが形成される段階と、
前記1次フォトレジストと前記2次フォトレジストとを剥離して除去する段階と、が含まれることを特徴とする印刷回路基板の製造方法。
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