JPH02306690A - 表面実装用配線基板の製造方法 - Google Patents

表面実装用配線基板の製造方法

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JPH02306690A
JPH02306690A JP1128038A JP12803889A JPH02306690A JP H02306690 A JPH02306690 A JP H02306690A JP 1128038 A JP1128038 A JP 1128038A JP 12803889 A JP12803889 A JP 12803889A JP H02306690 A JPH02306690 A JP H02306690A
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bonding
die
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は表面実装用配線基板の製造方法に係り、特にダ
イ・パッドやボンディング・パッドのAuめっき被覆工
程を改良した表面実装用配線基板の製、遣方法に関する
(従来の技術) たとえば多層型配線基板などの配線基板の片面もしくは
両面に、5OP−LSl、QPP−LSI 、チップコ
ンデンサー、チップ抵抗、ベアチップなどの電子部品を
搭載・実装して成るハイブリッド回路(装置)が、各種
の電子機器類に広く実用に供されている。しかして、上
記ハイブリッド回路(装置)の構成においては、配線基
板の所定領域面に被着形成したダイ・パッド部に各種電
子部品を搭載・実装(マウント)するとともに、一方で
はボンディング・パッド部にワイヤーボンディングして
いる。つまり、CuやAIなどで形成されたダイ・パッ
ドおよびボンディング・パッドを、Auめっき層でさら
に被覆し安定化させてダイ・パッド部には、たとえばク
リーム半田を介して電子部品を搭載配置してリフロー半
田付けにより実装し、またボンディング・パッド部はボ
ンディングワイヤーによりICチップと接続して、所要
の各種電子部品を搭載・実装したハイブリッド回路を構
成している。
ところで、上〒己表面実装用配線基板は一般に次のよう
にして製造している。すなわち、配線基板の片面もしく
は両面の所定領域に、先ず他の回路パターンとともにダ
イ・パッドやポンディングパッドを選択的なエツチング
処理により形成する。なお、この際前記ダイ・パッドや
ポンディングパッドは、それぞれ電解Auめっきを行う
ための導通端子(めっきライン)をそれぞれ配線基板の
外周部まで引き出し形成しておき、この導通端子をめっ
き端子として所要のAu電解めっきを行い、表面実装用
配線基板を得ている。
(発明が解決しようとする課題) しかし、前記表面実装用配線基板の製造方法には次のよ
うな不都合がある。つまり、ダイ・パッドやポンディン
グパッドに、それぞれ電解Auめっきを行うためそれぞ
れ配線基板の外周部まで導通端子を引き出した構成を採
っており、このため、信号線(信号ライン)の配線密度
に制約が生じる。
特に搭載・実装する電子部品数が多い場合や電子部品の
端子リード数が多い場合には、前記パッド数も多くなる
ため電解Auめっき用導通端子が占める領域も必然的に
増大するので、実質的には実装密度の低下を招来するこ
とになる。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は上記事情に対処してなされたもので、配線基板
の所定領域面にCuもしくはAIから成るダイ・パッド
およびボンディング・パッドの少くともいずれかを互い
に電気的に接続して複数個形成する工程と、前記形成し
た各パッド面上に電解めっきによりAuめっき層を被覆
形成する工程と、前記Auめっき層を被、型形成した配
線基板の所要領域を選択的に切除し各パッドを電気的に
接続した導体を切離して各パッドを互いに電気的に隔絶
する工程とを具備して成ることを特徴とする。すなわち
、本発明は配線基板の所定領域面に形成したダイ・パッ
ドやボンディング・パッドなどの複数個を予め微細な配
線パターンで互いに電気的に接続しておき、−のめっき
用導通端子によって各パッド面上に電解Auめっき層を
被覆形成した後、前記微細な配線パターンを切断してダ
イ・パッドやボンディング・パッドを互いに電気的に隔
絶、独立化することを骨子とするものである。
(作 用) 上記のように本発明によれば、配線基板の所定領域面上
の、所要のダイ・パッドやボンディング・パッドに対す
る電解Auめっきは51本のめっき用導通端子で行われ
ることになる。つまり、配線パターン(信号ライン)の
配設上の制約も大幅に除去され、また電子部品の搭載・
実装領域面を十分に確保して前記所要の電解Auめっき
を容易にかつ、確実に行い得る。しかして、前記電解A
uめっき後においては、各ダイ−パッドやボンディング
・パッドを電気的に接続していた微細パターンを切断し
、ダイ・パッドやボンディング・パッドが互いに電気的
に隔絶されるため、所要の電子部品を搭載・実装してハ
イブリッド回路(装置)を構成した場合何らの支障もな
い。
(実施例) 以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。先ず両面
に銅箔層を張合せ内層回路パターン層を有する多層型配
線基板を用意し、前記両面銅箔層の所要領域面、すなわ
ち5OP−LSI 、 QFP−LSI、チップコンデ
ンサー、チップ抵抗、ベアチップなどの電子部品を搭載
・実装する領域(ダイ・パッド部)、それら電子部品に
対するボンディング・パッド部、これらダイ・パッドと
ボンディング・パッドとを電気的に接続する微細パター
ン領域および回路パターン(信号ライン)領域を、たと
えばホトレジストを用いて選択的な露光・現像処理して
レジストマスキングする。かくして、所要のマスキング
を行った後、選択的なエツチング処理を施して、前記ダ
イ・パッド部など形成してからマスキング層を除去して
、前記ダイ・パッド部、ボンディング・パッド部、ダイ
・パッドとボンディング・パッドとを電気的に接続する
微細パターン領域および回路パターン(信号ライン)領
域を有する配線基板を得る。しかる後、微細パターン領
域で互いに電気的に接続されたダイ・パッドおよびボン
ディング・パッドに電解めっき用導通端子を接続する一
方、電解Auめっき液に浸漬して前記ダイ・パッドおよ
びボンディング′・パッド表面を厚さ 0.5μm程度
のAuめっき層で被覆する。上記電解Auめっき終了後
、ダイ・パッドおよびボンディング・パッドを互いに電
気的に接続していた微細パターン領域を切離するように
前記配線基板面を選択的に切除することによって、所望
とする表面実装用の配線基板が得られる。第1図はこの
ときの状態例を模式的に示した平面図で、1はICダイ
・パッド、2はボンディング・パッド、3はICダイ・
パッド1とボンディング・パッド2とを接続している微
細パターン(めっき用ライン)、4は前記微細パターン
(めっき用ライン)3を切離しICダイ・パッド1とボ
ンディング・パッド2とを電気的に隔絶するため配線基
板5面を幅1111111程度にザグリ(溝切)した領
域である。
次に上記で製造した表面実装用配線基板に対する電子部
品の搭載・実装例を説明する。先ず配線基板面の各ダイ
・パッド部にたとえばクリーム半田を印刷被着し、所要
の電子部品たとえば5op−LSl、QFP−LSI 
、チップコンデンサー、チップ抵抗を搭載してリフロー
半田付けをそれぞれ行なった後、ペアチップを所定のダ
イ・パッド部にマウントし、次いで所要のワイヤボンデ
ィングを行なう。
かくして所要の搭載・実装した回路について機能テスト
を行い、このテストに合格したなら、プレコート用樹脂
でボッティンし、さらに外装用の樹脂層を被覆形成して
から加熱処理して被覆樹脂を硬化させ、再び機能テスト
を行い所望のハイブリッド回路が得られる。第2図は上
記により実装。
構成したハイブリッド回路(装置)を断面的に示したも
ので、5は多層型配線基板、6は5OP−LSIやQP
P−LSI 、7はチップコンデンサーやチップ抵抗、
8はペアチップ、9aはプレコート樹脂層、9bは外装
用の樹脂層。lOはリードピンである。
なお、上記表面実装用配線基板の製造例では両面実装多
層型配線基板の場合を示したが、片面実装多層型配線基
板や両面乃至片面型の非多層型配線基板の場合でも勿論
よい。、また、電解Auめっきで被覆形成するパッドは
ダイ・パッドおよびポンディングパッドの両者を常に対
象とする必要はなくいずれかの一方だけでもよい。さら
に、電子部品の搭載・実装において、たとえばペアチッ
プのみを一方の主面にマウントする方式を採れば、クリ
ーム半田など用いてのりフロー半田付けをより簡易に行
い得る。また、外装用樹脂としてたとえばフェノール樹
脂を用いた場合は、この外装用樹脂を溶解除去するのに
酸溶液が必要となるため、ボンディングワイヤーなども
併せて溶解する故セキュリティ性のうえでも好ましい。
[発明の効果] 上記の如く、本発明に係る表面実装用配線基板の製造方
法によれば、電子部品を搭載・実装するダイ・パッドや
搭載・実装する電子部品を信号ライン(配線パターン)
に接続するためのポンディングパッドを被覆する電解A
uめっきに当り、めっき用導通端子が共用される。つま
り、電解Auめっき用導通端子(めっきライン)数は大
幅に低減するため、このめっき用導通端子(めっきライ
ン)による配線基板の占拠面積も低減し、逆にそれだけ
実装面積を多くとれることになり、実装密度の向上に寄
与する。しかも前記電解Auめっきに当り共用されため
っき用導通端子(めっきライン)は、めっき終了後切離
され、前記ダイ・パッドやポンディングパッドはそれぞ
れ電気的に隔絶されるので、構成したハイブリッド回路
においては同等問題もない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法において、ダイ・パッドおよびポン
ディングパッドに電解Auめっきした後ダイ・パッド−
ボンディングパッド間を電気的に隔絶した状態を模式的
に示す平面図、第2図は本発明に係る表面実装型配線基
板を用いて構成したハイブリッド回路例を示す断面図で
ある。 1・・・・・・ダイ・パッド 2・・・・・・ポンディングパッド 3・・・・・・めっき用導通端子(めっきライン)4・
・・・・・配線基板切除部 5・・・・・・配線基板

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 配線基板の所定領域面にCuもしくはAlから成るダイ
    ・パッドおよびボンディング・パッドの少くともいずれ
    かを互いに電気的に接続して複数個形成する工程と、 前記形成した各パッド面上に電解めっきによりAuめっ
    き層を被覆形成する工程と、 前記Auめっき層を被覆形成した配線基板の所要領域を
    選択的に切除し各パッドを電気的に接続した導体を切離
    して各パッドを互いに電気的に隔絶する工程とを具備し
    て成ることを特徴とする表面実装用配線基板の製造方法
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US07/524,388 US5042147A (en) 1989-05-22 1990-05-17 Method of preparing surface-mounted wiring board
KR1019900007209A KR920007120B1 (ko) 1989-05-22 1990-05-19 표면장착용 배선기판의 제조방법
EP90305499A EP0399768B1 (en) 1989-05-22 1990-05-21 Mehod of manufacturing a surface-mounted wiring board
DE69015879T DE69015879T2 (de) 1989-05-22 1990-05-21 Verfahren zur Herstellung einer oberflächenmontierbaren Leiterplatte.

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013030712A (ja) * 2011-07-29 2013-02-07 Toshiba Corp 半導体モジュールおよび半導体モジュールの製造方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE9202077L (sv) * 1992-07-06 1994-01-07 Ellemtel Utvecklings Ab Komponentmodul
AU4782293A (en) * 1992-07-24 1994-02-14 Tessera, Inc. Semiconductor connection components and methods with releasable lead support
US5977618A (en) 1992-07-24 1999-11-02 Tessera, Inc. Semiconductor connection components and methods with releasable lead support
US5367763A (en) * 1993-09-30 1994-11-29 Atmel Corporation TAB testing of area array interconnected chips
KR0145768B1 (ko) * 1994-08-16 1998-08-01 김광호 리드 프레임과 그를 이용한 반도체 패키지 제조방법
JP3807508B2 (ja) 1995-09-18 2006-08-09 テセラ,インコーポレイテッド 誘電層を備えた超小形電子リード構造体
US5724717A (en) * 1996-08-09 1998-03-10 The Whitaker Corporation Method of making an electrical article
JPH11135898A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Asahi Optical Co Ltd プリント配線基板
JP3468179B2 (ja) * 1999-11-25 2003-11-17 株式会社村田製作所 表面実装部品
KR100389314B1 (ko) * 2001-07-18 2003-06-25 엘지전자 주식회사 도금인입선 없는 인쇄회로기판의 제조방법
JP4484444B2 (ja) * 2003-04-11 2010-06-16 三洋電機株式会社 回路装置の製造方法
US10754439B2 (en) * 2018-06-29 2020-08-25 Intel Corporation Selectively displaced keys for input and output

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5822767B2 (ja) * 1978-12-29 1983-05-11 富士ゼロックス株式会社 和文タイプライタ
JPH01108798A (ja) * 1987-10-21 1989-04-26 Nec Corp プリント配線板の製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1483570A (ja) * 1965-06-23 1967-09-06
US3614832A (en) * 1966-03-09 1971-10-26 Ibm Decal connectors and methods of forming decal connections to solid state devices
NL7101602A (ja) * 1971-02-05 1972-08-08
US3781596A (en) * 1972-07-07 1973-12-25 R Galli Semiconductor chip carriers and strips thereof
US3838984A (en) * 1973-04-16 1974-10-01 Sperry Rand Corp Flexible carrier and interconnect for uncased ic chips
US3996603A (en) * 1974-10-18 1976-12-07 Motorola, Inc. RF power semiconductor package and method of manufacture
JPS5559795A (en) * 1978-10-30 1980-05-06 Nippon Electric Co Printed circuit board and method of manufacturing same
DE3430290A1 (de) * 1984-08-17 1986-02-27 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zur selektiven metallisierung
DE3704547A1 (de) * 1987-02-13 1988-08-25 Bbc Brown Boveri & Cie Verfahren zur herstellung von loetpads und bondpads auf duennschichthybridschaltungen

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5822767B2 (ja) * 1978-12-29 1983-05-11 富士ゼロックス株式会社 和文タイプライタ
JPH01108798A (ja) * 1987-10-21 1989-04-26 Nec Corp プリント配線板の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013030712A (ja) * 2011-07-29 2013-02-07 Toshiba Corp 半導体モジュールおよび半導体モジュールの製造方法

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Publication number Publication date
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