JP3848004B2 - 半導体メモリ装置及び半導体メモリ装置搭載システム - Google Patents
半導体メモリ装置及び半導体メモリ装置搭載システム Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、不良ビットを救済するための構成を備えた半導体メモリ装置及びこの装置を含む半導体メモリ装置搭載システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年LSIの大規模化により、SRAMをはじめとしてDRAMやフラッシュメモリなどの大容量メモリを搭載したシステムLSIが登場してきている。これらのメモリセルは、高集積化のためその他のロジックエリアより厳しい加工ルールを使用したり、クリティカルエリア(最小の加工ルールで設計された領域)が大きくなることが一般的である。したがって、メモリセルエリアの歩留まりは、その他のロジック部分に比較して低くなっていた。
【0003】
この問題を解決するため、システムの組み込みメモリにおいても、汎用メモリと同じように不良メモリの救済手段(冗長回路、リダンダンシ回路)を具備し、システムLSIの歩留まりを上げる手法が取られてきている。
【0004】
図10にメモリのリダンダンシの一構成例を示す。図10において、正規メモリアレイ100はm行×n列で構成され、行デコーダ101により所望の行(第i行)が選択される。これにより、第i行に接続されたすべてのメモリセルが活性化される。各列は、n個の読み出し回路102、書き込み回路103を介して、nビットのバスラインに接続されている。選択された第i行に接続されたメモリセルの読み出し回路102又は書き込み回路103によりアクセスされる。
【0005】
このような構成において、例えば1ビットの不良ビット救済を可能にするため、1つの冗長ビット列104が正規メモリアレイ100に近接して配置されている。通常、この冗長ビット列104には正規メモリアレイ100の読み出し回路102、書き込み回路103と同様の読み出し回路、書き込み回路も冗長に接続されている。ここで、不良ビットが第j行、第k列に存在する場合には、第k列のすべてのメモリセルを読み出し回路/書き込み回路を含めて使用不可とする。その代わり、第(k+1)列のメモリセル列及び読み出し回路102、書き込み回路103を第kビットのバスラインに接続する。第(k+1)ビットのバスラインには第(k+2)列のメモリセル列及び読み出し回路、書き込み回路を接続という具合にバスラインとの接続を1ビットずつシフトする。第nビットのバスラインには、冗長ビット列104のメモリセル列及び読み出し回路、書き込み回路が接続される。このような冗長救済法をシフトリダンダンシと呼び、システムLSIに組み込まれるメモリのようにバス幅の大きなメモリには、非常に有効な手法である。これにより、1ビットの不良ビットが存在しても本来の機能を損なうことがない。したがって、不良ビットがあっても良品とできるので、歩留まりは飛躍的に向上する。
【0006】
このようなビットシフトを実現するプログラム回路105の実施形態を図11に示す。図11において、このプログラム回路105は各ビット列に配置され、通常は、論理積(AND)ゲート106の両入力がハイレベルとなりマルチプレクサ(MUX)107により正規メモリアレイ100のビット列とバスラインは同一のビットにそれぞれ対応して接続されており、一方、k列目のメモリセル列のリダンダンシを行う場合には、k列目に対応した金属配線層あるいはポリシリコン配線層で構成されてk列目に対応したヒューズ108がレーザー等により溶断されてANDゲート106の一方の入力がロウレベルとなることによりMUX107は第kビットのバスラインに正規メモリアレイの第(k+1)列を接続し、さらに第k列のANDゲート106の出力は上位側の全てのANDゲート106に伝搬されて第kビット以降の上位ビットのMUX107は全て上位側のビット列を選択し、不良ビットを含む第k列から隣の第(k+1)列へ接続をシフトさせる。このシフト情報はANDゲート106を介して第kビットから第nビットのプログラム回路105に伝播されるため、1つの不良ビットを修復するのに必要なヒューズ108の溶断は1つでよい。
【0007】
しかしながら、このようなヒューズを用いる手法では、ヒューズを溶断しやすくするため、ヒューズ上の保護膜を薄くするなどのプロセス工程が必要である。また、レーザーにより溶断するため、ヒューズのレイアウトパターンが小さくできないうえ、いかなる能動素子および配線層もヒューズ領域に配置できないため、面積的なオーバヘッドが大きいという問題があった。これにより、図12のBIST(Built-In Self-Test)による冗長回路を含むシステムLSIのテスト工程のフローチャートに示すように、ヒューズ溶断のための後工程やヒューズ溶断後の再度のメモリテストが必要であるという問題が生じていた。また、当初からメモリセルに不良ビットが含まれる場合には、最初のメモリテストで冗長手段を持たない論理回路部分のテストが十分にできず、冗長処理後に再テストを行わなければならないため、テストコストが増大するという問題があった。
【0008】
このような問題を解決するため、BISTの手法を用いて不良ビットを抽出し、この情報をレジスタに記憶させヒューズ溶断を実現するBISR(Built-In Self-Repair)が考案されている。図13にBISTを使用したメモリのセルフテストの一構成例を示す。図13において、BISTは、テスト対象メモリ110に対してアドレスパターン発生器111、データパターン発生器112、期待値発生器及び各ビットのバスに付帯した期待値と読み出してきたデータを比較する比較回路113を備えて構成され、メモリテスタの機能をLSIチップ内に実現し、メモリセルアレイの良否判定をするものである。BISRでは、上述した比較回路113の出力にレジスタを接続し、このレジスタにビットの良否判定結果を格納する。このレジスタは前述したヒューズと同じ役割を果たし、不良セルの存在するメモリセル列を使用せず、隣のメモリセル列に接続をシフトさせる。
【0009】
図14にメモリセルから読み出されたデータと期待値とを比較して比較結果をレジスタに格納し、格納内容に応じて不良ビットの救済のためのビットシフトを実施するBISRの構成例を示す。図14において、センスアンプ(S/A)114で増幅された読み出しデータは、排他的否定論理和(EX−NOR)ゲート115で期待値と比較されて比較結果がレジスタ116に保持される。比較結果が不一致の場合には、レジスタ116には“0”が保持され、この情報がANDゲート117、118を介して上位ビット側に伝搬され、伝搬された情報にしたがってMUX119により前述したように上位側のビットにシフトされ不良ビット列が冗長ビット列に置換される。しかしながら、レジスタ116に不良セルの情報を保持するというBISRはヒューズ溶断とは異なり、一時的にしか不良情報を保持することができない。したがって、レジスタを使用したBISRであってもヒューズを併用する必要があり、前述した問題点のうち、メモリ部が救済可能なチップに対してヒューズ溶断の工程前に他の論理回路部分の良否判断ができるようになるだけにすぎなかった。このため、BISRを採用した場合であっても、ヒューズ導入のためのプロセス工程増やチップ面積へのオーバヘッドは改善されず、また図15のBISRによるテストフローに示すように、ヒューズ溶断工程ならびにその後のテストは必要になっていた。
【0010】
一方、完全にヒューズを不要にするためには、システムの起動時のたびに前述したBISRによるテストを実施することが考えられる。しかしながら、システム起動時と実際にシステム稼働時の環境が全く変化しないという保証がない。例えば、システム起動時は筐体内の温度が低く、システム稼働時には温度が上昇してくることも考えられる。長期間システムが稼働している場合には、筐体外の外気温変動の影響も受ける。また、システムの電源に関しても、周囲温度や経時変化や他のシステム稼働状況により変動を受ける場合もありうる。したがって、メモリセルのマージンが小さく、システム起動時の条件でかろうじてテストをパスしたものは、電圧/温度変動に伴いシステム稼働時に不良を引き起こす可能性がある。これでは、システムの信頼性を著しく落としてしまう。通常、LSIの出荷テストでは、高温/低温、高電圧/低電圧などの動作環境のマージンテストを行う。これらを行った状態で良否判定してリダンダンシを行っているので、元来動作マージンのないメモリセルは出荷時にスクリーニングされている。このため、単純にシステムの起動時にBISRによるテストを実施するだけでは、実用性はない。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、ヒューズを使用した従来の冗長救済法にあっては、ヒューズの専有面積が大きくなって面積的なオーバーヘッドが大きくなり、集積化の障害になるという不具合を招いていた。また、ヒューズの溶断のための工程やヒューズ溶断後の再度のテスト工程が必要となり、多くの時間と手間を要していた。
【0012】
一方、ヒューズを使用した従来の冗長救済法を採用したメモリを含むシステムの起動時毎に前述したBISRによるテストを実施して不良情報をレジスタに保持することによりヒューズを不要化することが考えられるが、システムの起動時と稼働時とではシステム環境が変化するおそれがあり、単にシステムの起動時にBISRによるテストを実施するだけでは、動作環境による経時変化を考慮することができないという不具合を招いていた。
【0013】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、不揮発性メモリを含むでヒューズを使用することなく冗長救済を可能にした半導体メモリ装置及び半導体メモリ搭載システムを提供することにあり、また不揮発性メモリを含むことなく回路形成領域外に形成されたヒューズにより冗長救済を可能にした半導体メモリ装置及び半導体メモリ搭載システムを提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、課題を解決する第1の手段は、不揮発性の正規のメモリセルアレイの中の不良なメモリセルの不良情報を一時的に保持するレジスタと、前記不良なメモリセルと置換される冗長メモリセルと、前記レジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良なメモリセルを前記冗長メモリセルに置換制御する制御回路と、前記正規のメモリセルアレイとカラムを共有して前記正規のメモリセルアレイと同一のメモリセルが拡張され、前記レジスタに保持された不良情報を前記不良なメモリセルと同一のカラムに記憶するプログラムアレイと、前記レジスタに保持された不良情報を前記プログラムアレイに書き込む書き込み回路と、前記プログラムアレイに記憶された不良情報を前記レジスタに読み出す読み出し回路とを有することを特徴とする。
【0015】
第2の手段は、正規の揮発性メモリセルアレイの中の不良な揮発性メモリセルの不良情報を一時的に保持し、保持内容がスキャン入出力される第1のスキャンレジスタと、前記不良な揮発性メモリセルと置換される揮発性の冗長メモリセルと、前記第1のスキャンレジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良な揮発性メモリセルを前記揮発性の冗長メモリセルに置換制御する第1の制御回路とを備えてなる揮発性の半導体メモリ装置と、保持内容がスキャン入出力され、前記第1のスキャンレジスタに接続されて保持内容が相互にスキャン転送され、前記第1のスキャンレジスタに保持されてスキャン転送された前記正規の揮発性メモリセルアレイの中の不良な揮発性メモリセルの不良情報を一時的に保持する第2のスキャンレジスタと、正規の不揮発性メモリセルアレイとカラムを共有して前記正規の不揮発性メモリセルアレイと同一のメモリセルが拡張され、前記第2のスキャンレジスタに保持された不良情報を記憶するプログラムアレイと、前記第2のスキャンレジスタに保持された不良情報を前記プログラムアレイに書き込む書き込み回路と、前記プログラムアレイに記憶された不良情報を前記第2のスキャンレジスタに読み出す読み出し回路とを備えてなる不揮発性の半導体メモリ装置とを有することを特徴とする。
【0016】
第3の手段は、正規の揮発性メモリセルアレイの中の不良な揮発性メモリセルの不良情報を一時的に保持し、保持内容がスキャン入出力される第1のスキャンレジスタと、前記不良な揮発性メモリセルと置換される揮発性の冗長メモリセルと、前記第1のスキャンレジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良な揮発性メモリセルを前記揮発性の冗長メモリセルに置換制御する第1の制御回路とを備えてなる揮発性の半導体メモリ装置と、保持内容がスキャン入出力され、前記第1のスキャンレジスタに接続されて保持内容が相互にスキャン転送され、前記第1のスキャンレジスタに保持されてスキャン転送された前記正規の揮発性メモリセルアレイの中の不良な揮発性メモリセルの不良情報、又は正規の不揮発性メモリセルアレイの中の不良な不揮発性メモリセルの不良情報を一時的に保持する第2のスキャンレジスタと、前記不良な不揮発性メモリセルと置換される不揮発性の冗長メモリセルと、前記第2のスキャンレジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良な不揮発性のメモリセルを前記不揮発性の冗長メモリセルに置換制御する第2の制御回路と、前記正規の不揮発性のメモリセルアレイとカラムを共有して前記正規の不揮発性のメモリセルアレイと同一のメモリセルが拡張され、前記第1のスキャンレジスタに保持されて前記第2のスキャンレジスタにスキャン転送された不良情報を記憶する第1のプログラムアレイと、前記正規の不揮発性のメモリセルアレイとカラムを共有して前記正規の不揮発性のメモリセルアレイと同一のメモリセルが拡張され、前記第2のスキャンレジスタに保持された前記不揮発性メモリセルの不良情報を記憶する第2のプログラムアレイと、前記第2のスキャンレジスタに保持された不良情報を前記第1又は第2のプログラムアレイに書き込む書き込み回路と、前記第1又は第2のプログラムアレイに記憶された不良情報を前記第2のレジスタに読み出す読み出し回路とを備えてなる不揮発性の半導体メモリ装置とを有することを特徴とする。
【0018】
第4の手段は、メモリセルの良否のテストを実施して前記メモリセルの良否を判別するテスト手段と、前記テスト手段によりテストされたメモリセルの中の不良なメモリセルの不良情報を一時的に保持するレジスタと、前記不良なメモリセルと置換される冗長メモリセルと、前記レジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良なメモリセルを前記冗長メモリセルに置換制御する制御回路と、前記メモリセルをアクセスする複数の異なるアクセス電圧を生成し、生成したアクセス電圧を前記メモリセルに供給する制御型電圧源とを備え、半導体メモリ装置を使用して所望の処理を行う処理手段を備えた半導体メモリ装置搭載システムに含まれ、前記テスト手段は、前記半導体メモリ装置搭載システムが起動される毎に前記制御型電圧源から前記メモリセルに供給される複数の異なるアクセス電圧に基づいて前記メモリセルのテストを実施し、実施結果にしたがって前記メモリセルの良否を判別してなることを特徴とする。
【0022】
第5の手段は、前記第1,2ならびに第3の手段のいずれか1つの手段に記載の半導体メモリ装置と、前記半導体メモリ装置を使用して所望の処理を行う処理手段とを有することを特徴とする。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いてそれぞれの発明の実施形態を説明する。
【0024】
図1はこの発明の一実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【0025】
図1において、この実施形態の特徴とするところは、フラッシュメモリ等の不揮発性の半導体メモリ装置において、不良ビットの情報をメモリ自身に不揮発に記憶するようにしたことにある。ここで、不揮発性メモリは、書き込みに電子雪崩現象を用いているため、チャージポンプ回路などの昇圧回路が必要で、書き込み/読み出しにも特殊な回路が必要である。したがって、単にリダンダンシヒューズの代わりを不揮発性メモリで作ってしまうというと、面積的なオーバヘッドがかなりでることになる。そこで、この実施形態では、正規の不揮発性メモリアレイに冗長アレイ(プログラムアレイ)を追加し、その領域をリダンダンシ情報(不良ビットの情報)のプログラムに使用することを特徴とする。この方法であれば、書き込み/読み出し回路などのアクセス回路はすべて正規の不揮発性メモリアレイに付属のものが使えるので、面積のオーバヘッドは小さい。プログラムアレイの行デコーダは、通常には開放されておらず、出荷時およびシステム起動時にのみアクセス可能なように設計されている。
【0026】
具体的には、図1において、不揮発性の半導体メモリ装置は、正規のメモリ(ROM)アレイ1と、正規のメモリアレイ1の任意の行を選択する行デコーダ2と、行デコーダ2で選択された行のメモリセルの記憶データを読み出す読み出し回路3と、行デコーダ2で選択された行のメモリセルにデータを書き込む書き込み回路4と、図14に示す構成からヒューズを除いて構成されたたBISR回路5と、正規のメモリアレイ1の1ビットの不良ビットと置換される冗長ビット列6と、プログラムイネーブル(PE)信号により選択され、BISR回路5のレジスタ116の保持内容のリダンダンシ情報が書き込まれて(プログラムされて)リダンダンシ情報を不揮発に記憶し、記憶されたリダンダンシ情報がレジスタ116に読み出されるプログラムアレイ7を備えて構成されている。
【0027】
読み出し回路3は、通常の読み出し動作時に正規のメモリアレイ1から読み出された記憶データ又はプログラムアレイ7から読み出されたリダンダンシ情報を受けて、PE信号に基づいて読み出しバッファ又はBISR回路5の対応するビットのレジスタ116に与えるデマルチプレクサを備え、通常の読み出し動作時には、例えばロウレベルのPE信号により読み出しデータを選択して読み出しバッファに与え、一方、プログラムアレイ1からのリダンダンシ情報の出力時には、ハイレベルのPE信号によりプログラムアレイ7から読み出されたリダンダンシ情報を対応するビットのレジスタ116に与える。
【0028】
書き込み回路4は、BISR回路5の対応するビットのレジスタ116の保持出力又は通常動作時の書き込みデータをPE信号に基づいて選択するマルチプレクサ(MUX)を備え、通常の書き込み動作時には、例えばロウレベルのPE信号により書き込みデータを選択して選択した書き込みデータを書き込みバッファを介して選択された行のメモリセルに書き込み、一方、リダンダンシ情報のプログラムアレイ1への書き込み(プログラム)時には、ハイレベルのPE信号により対応するビットのレジスタ116に保持された内容を選択して選択した内容を書き込みバッファを介して選択されたプログラムアレイ7のメモリセルに書き込む。
【0029】
このような構成において、出荷時のテストでBIST回路5を起動して、不良ビットのテストが行われ、不良ビットがある場合には、このリダンダンシ情報がレジスタ116に保持格納される。レジスタ16に保持されたリダンダンシ情報は対応するビットの書き込み回路3のMUXにより選択され、書き込みバッファならびにビット線を介してプログラムアレイ7のメモリセルに書き込まれてプログラムされる。出荷後、システム起動時にプログラムアレイ7に不揮発に記憶されたリダンダンシ情報は読み出し回路3により読み出されて対応するビットのBISR回路5のレジスタ116に格納され、レジスタに格納されたリダンダンシ情報にしたがって不良ビットは冗長ビット列6に置換される。
【0030】
したがって、この実施形態にあっては、ヒューズを使用することなく冗長救済が可能となり、ヒューズを使用した際の前述した不具合を全て解消することができる。
【0031】
図2はこの発明の他の実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【0032】
図2において、この実施形態の特徴とするところは、図1に示すような不揮発性の半導体メモリ装置(ROM)と揮発性の半導体メモリ装置(RAM)を含むシステムにおいて、不揮発性のメモリ装置に自身のリダンダンシ情報に加えて揮発性の半導体メモリ装置のリダンダンシ情報を記憶させ、揮発性の半導体メモリ装置の起動時にリダンダンシ情報を不揮発性の半導体メモリ装置から揮発性の半導体メモリ装置に読み出し、この読み出されたリダンダンシ情報により揮発性の半導体メモリ装置のリダンダンシを行うようにしたことにある。なお、不揮発性の半導体メモリ装置に揮発性の半導体メモリ装置のリダンダンシ情報のみを記憶するようにしてもよい。
【0033】
上記特徴を実施するために、この実施形態の不揮発性の半導体メモリ装置は、図1に示す実施形態の不揮発性の半導体メモリ装置に対して揮発性の半導体メモリ装置の不良情報をプログラムするRAM用プログラムアレイ8を設け、図1に示すBISR回路5のレジスタ116を図3に示すように保持内容がスキャン可能となるように構成してBISR回路9とし、正規のメモリ(RAM)アレイ11と、正規のメモリアレイ11の任意の行を選択する行デコーダ12と、行デコーダ12で選択された行のメモリセルの記憶データを読み出す読み出し回路13と、行デコーダ12で選択された行のメモリセルにデータを書き込む書き込み回路14と、BISR回路9と同様にレジスタ116がスキャン可能に構成されて不揮発性の半導体メモリ装置のBISR回路9のスキャン可能なレジスタ116と接続されてそれぞれのメモリ装置のレジスタ116の保持内容が相互にスキャン転送されるBISR回路15と、正規のメモリアレイ11の1ビットの不良ビットと置換される冗長ビット列16を備えてなる揮発性の半導体メモリ装置を有して構成される。RAM用プログラムアレイ8は、揮発性の半導体メモリ装置の1行のビット数(カラム数)がNとし、不揮発性の半導体メモリ装置の1行のビット数(カラム数)がMであるとすれば、Int(N/M)行のプログラム行を用意すればよい。また、ROM用のプログラムアレイ7とRAM用のプログラムアレイ8は、ROM用のプログラムイネーブル信号とRAM用のプログラムイネーブル信号により選択される。
【0034】
このような構成において、揮発性の半導体メモリ装置のBISTにより抽出された不良ビットのリダンダンシ情報はBISR回路15のレジスタ116に格納され、出荷時テストでは、揮発性の半導体メモリ装置のBISR回路15のレジスタ116に格納されたリダンダンシ情報が不揮発性の半導体メモリ装置のBISR回路9のレジスタ116に転送され、書き込み回路4を介してRAM用のプログラムアレイ8に書き込まれる。書き込まれたリダンダンシ情報は、出荷後のシステム起動時に読み出され、不揮発性の半導体メモリ装置のBISR回路9のレジスタ116から揮発性の半導体メモリ装置のBISR回路15のレジスタ116にスキャン転送され、揮発性の半導体メモリ装置におけるリダンダンシ情報のプログラムが完了する。
【0035】
したがって、この実施形態にあっては、ヒューズを使用することなく不揮発性ならびに揮発性の両半導体メモリ装置の冗長救済が可能となり、ヒューズを使用した際の前述した不具合を全て解消することができる。
【0036】
図4はこの発明の他の実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【0037】
図4において、この実施形態の特徴とするところは、揮発性の半導体メモリ装置単体、もしくは不揮発性の半導体メモリ装置を含まず揮発性の半導体メモリ装置を備えたシステムにおいて、リダンダンシ情報を記憶するカラム数に対応したヒューズ17とヒューズ17の溶断の有無を電気的に判別して保持するスキャン可能なレジスタ18を回路の形成領域19外のパッド20の形成領域に設け、レジスタ18に保持されたリダンダンシ情報を回路形成領域のメモリ本体にスキャン転送させるようにしたことにある。このような実施形態にあっては、従来に比べてヒューズの回路形成領域の専有面積へのオーバヘッドを少なくすることが可能となる。なお、カラムのビット数が多ビットである場合、例えば128(=27)ビットである場合には、7ビットのヒューズとレジスタにより1ビットのリダンダンシ情報を表現し、これをカウンタによりカウントアップするカウント動作によりリダンダンシ情報をBISR回路のレジスタにスキャン転送してセットするような構成を採用してもよい。このような構成によれば、カラム数と同数のヒューズならびにレジスタを設ける構成に比べて構成の小型化を図ることができる。
【0038】
図5はこの発明の他の実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【0039】
図5において、この実施形態の特徴とするところは、ヒューズを搭載せずにリダンダンシを実現するためにシステムテム起動時にBISR回路を行いて一時的にリダンダンシをプログラムする手法を改善し、システム起動時にメモリセルの動作マージンをチェックし、そのチェック結果にしたがって不良セルを冗長セルと置換するために、前述したBIST/BISRの構成要素の他に、図13に示す構成に加えてさらに制御型電圧源21を設け、この制御電圧源21から動作マージンをチェックするためのアクセス電圧を半導体メモリ装置に供給して動作マージンのチェックを行うようにしたことにある。
【0040】
この制御型電圧源21は、BIST/BISRのテストコントローラ22から制御されており、出力電圧はメモリセルのアクセス電圧となる。近年の半導体メモリ装置においては、複数の異なる電源電圧を使用しているものが多く、このような半導体メモリ装置の場合には複数の異なる電源電圧を生成する例えばチャージポンプならびにこのチャージポンプの出力電圧を制御するリミッタ回路を備えており、リミッタ回路を調整することによりチャージポンプで上記動作マージンをチャックするアクセス電圧を容易に生成することが可能となる。
【0041】
この実施形態におけるBIST/BISRのテストフローは、図6を示すように、まず最初にテストコントローラ22はアクセス電圧をノーミナルな電圧に設定し、種々のテストパターンと期待値を生成し、メモリブロックに送り良否判定を行う。同じように、ノーミナル電圧の例えば10%程度高い高電圧ならびに10%程度低い低電圧でもテストを行い、動作マージンの小さいメモリセルを振るい落とす。高電圧/低電圧により十分に大きなマージンをとれば、連続動作などによる温度変化に対するマージンも確保できる。また、システム起動時に毎回テストされるので、信頼性寿命などによるメモリセルの動作マージン劣化が原因で不良したとしても修復可能となり、システムレベルでの信頼性を飛躍的に向上させることができる。また、実際に動作するスピードでのチェックもその都度可能になり、パフォーマンス劣化により不良することも事前に検知し、冗長メモリセルと置換することができる。
【0042】
図7にSRAMのメモリセルの構成を示す。図7において、基本的にSRAMの場合は、メモリセルのワード線電位を上げ/下げすることにより、等価的に高/低電圧での動作マージンチェックをすることが可能である。あるいは、ワード線と接地線の活性化電位を制御するようにしてもよい。したがって、各ワード線ドライバの電源に上記制御型電圧源21を用いれば容易に実現できる。近年、プロセス微細化により動作電圧が低下するため、NチャネルFETのしきい値電圧Vthの2倍が最低必要である。しかし、Vthはビット線リークによる誤動作をさけるため、スクリーリングしていくことが難しい。したがって、通常動作でのワード線電圧を昇圧することが必要となる。ワード線を1レベルまで上げると同時に、メモリセルの接地線を負電位側に駆動することにより、メモリセルをアクセスする。このような場合に、すでにワード線駆動回路の電源として、外部電源とは異なる内部生成した電源を利用しているので、このような機能を実現する際のオーバヘッドは非常に小さい。
【0043】
図8にDRAMのメモリセルの構成を示す。図8において、動作電圧の変更は、SRAM同様ワード線電位を上げ下げすることにより実現できる。また、電源電圧(VDD)/2で実現されるビット線電位やキャパシタのプレート電位を上記したように変更することにより、“0”、“1”読み出しのアンバランスなどのマージンテストを実現できる。これらの電源発生回路は、元来通常のDRAM動作に必要なものであり、こちらもオーバヘッド少なく実現可能になる。
【0044】
図9に不揮発性メモリのメモリセルの構成を示す。図9において、フローティングゲートを用いたメモリセルの書き込み電圧と読み出し電圧は異なるが、書き込みワード線電位と読み出しワード線電位を上記したように制御することにより容易に動作マージンを含めたテストが可能になる。
【0045】
このような実施形態においては、、ヒューズを使用することなく不揮発性又は揮発性の半導体メモリ装置の冗長救済が可能となり、ヒューズを使用した際の前述した不具合を全て解消することができ、システムの起動時毎に動作マージンのチャックが可能となり、歩留まりならびに信頼性を向上させることができる。
【0046】
なお、上記それぞれの発明の半導体メモリ装置は、そのメモリ装置を使用して様々な処理を行うシステム、例えばプロセッサ、入力装置ならびに出力装置と組み合わされてなる情報処理システムに搭載し用いるようにしてもよい。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、メモリセルの不良情報を不揮発性のメモリに記憶し、あるいは装置の起動時毎に複数の異なるアクセス電圧によりメモリセルをテストする構成を採用したので、ヒューズを用いることなくリダンダンシが可能となり、ヒューズ導入のためのプロセス工程ならびにヒューズ溶断工程が削減され、チップ面積へのオーバヘッドが小さくなり、ヒューズ溶断後のテストが不要となり、歩留まりを向上させることができる。
【0048】
一方、メモリセルの不良情報を記憶したヒューズをパッド形成領域に配置形成する構成を採用したので、回路形成領域の面積的なオーバヘッドを少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【図2】 この発明の他の実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【図3】図2に示すBISR回路の構成を示す図である。
【図4】 この発明の他の実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【図5】 この発明の他の一実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【図6】図5に示す装置におけるテストフローを示す図である。
【図7】スタティックランダムアクセスメモリセルの構成を示す図である。
【図8】ダイナミックランダムアクセスメモリセルの構成を示す図である。
【図9】不揮発性メモリセルの構成を示す図である。
【図10】メモリセルのリダンダンシを行う従来の半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【図11】図10に示すプログラム回路の構成を示す図である。
【図12】メモリセルのリダンダンシを行う従来の半導体メモリ装置のテスト工程を示すフローチャートである。
【図13】BISTを実施する従来の半導体メモリ装置の構成を示す図である。
【図14】従来のBISR回路の構成を示す図である。
【図15】従来のBISR回路を用いたテスト工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
1 正規のメモリ(ROM)アレイ
2,12 行デコーダ
3,13 読み出し回路
4,14 書き込み回路
5,9,15 BISR回路
6,16 冗長ビット列
7 プログラムアレイ
8 RAM用プログラムアレイ
9 BISR回路
11 正規のメモリ(RAM)アレイ
17 ヒューズ
18 レジスタ
19 回路形成領域
20 パッド
21 制御型電圧源
22 テストコントローラ
Claims (8)
- 不揮発性の正規のメモリセルアレイの中の不良なメモリセルの不良情報を一時的に保持するレジスタと、
前記不良なメモリセルと置換される冗長メモリセルと、
前記レジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良なメモリセルを前記冗長メモリセルに置換制御する制御回路と、
前記正規のメモリセルアレイとカラムを共有して前記正規のメモリセルアレイと同一のメモリセルが拡張され、前記レジスタに保持された不良情報を前記不良なメモリセルと同一のカラムに記憶するプログラムアレイと、
前記レジスタに保持された不良情報を前記プログラムアレイに書き込む書き込み回路と、
前記プログラムアレイに記憶された不良情報を前記レジスタに読み出す読み出し回路と
を有することを特徴とする不揮発性の半導体メモリ装置。 - 正規の揮発性メモリセルアレイの中の不良な揮発性メモリセルの不良情報を一時的に保持し、保持内容がスキャン入出力される第1のスキャンレジスタと、
前記不良な揮発性メモリセルと置換される揮発性の冗長メモリセルと、
前記第1のスキャンレジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良な揮発性メモリセルを前記揮発性の冗長メモリセルに置換制御する第1の制御回路とを備えてなる揮発性の半導体メモリ装置と、
保持内容がスキャン入出力され、前記第1のスキャンレジスタに接続されて保持内容が相互にスキャン転送され、前記第1のスキャンレジスタに保持されてスキャン転送された前記正規の揮発性メモリセルアレイの中の不良な揮発性メモリセルの不良情報を一時的に保持する第2のスキャンレジスタと、
正規の不揮発性メモリセルアレイとカラムを共有して前記正規の不揮発性メモリセルアレイと同一のメモリセルが拡張され、前記第2のスキャンレジスタに保持された不良情報を記憶するプログラムアレイと、
前記第2のスキャンレジスタに保持された不良情報を前記プログラムアレイに書き込む書き込み回路と、
前記プログラムアレイに記憶された不良情報を前記第2のスキャンレジスタに読み出す読み出し回路とを備えてなる不揮発性の半導体メモリ装置と
を有することを特徴とする半導体メモリ装置。 - 正規の揮発性メモリセルアレイの中の不良な揮発性メモリセルの不良情報を一時的に保持し、保持内容がスキャン入出力される第1のスキャンレジスタと、
前記不良な揮発性メモリセルと置換される揮発性の冗長メモリセルと、
前記第1のスキャンレジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良な揮発性メモリセルを前記揮発性の冗長メモリセルに置換制御する第1の制御回路とを備えてなる揮発性の半導体メモリ装置と、
保持内容がスキャン入出力され、前記第1のスキャンレジスタに接続されて保持内容が相互にスキャン転送され、前記第1のスキャンレジスタに保持されてスキャン転送された前記正規の揮発性メモリセルアレイの中の不良な揮発性メモリセルの不良情報、又は正規の不揮発性メモリセルアレイの中の不良な不揮発性メモリセルの不良情報を一時的に保持する第2のスキャンレジスタと、
前記不良な不揮発性メモリセルと置換される不揮発性の冗長メモリセルと、
前記第2のスキャンレジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良な不揮発性のメモリセルを前記不揮発性の冗長メモリセルに置換制御する第2の制御回路と、
前記正規の不揮発性のメモリセルアレイとカラムを共有して前記正規の不揮発性のメモリセルアレイと同一のメモリセルが拡張され、前記第1のスキャンレジスタに保持されて前記第2のスキャンレジスタにスキャン転送された不良情報を記憶する第1のプログラムアレイと、
前記正規の不揮発性のメモリセルアレイとカラムを共有して前記正規の不揮発性のメモリセルアレイと同一のメモリセルが拡張され、前記第2のスキャンレジスタに保持された前記不揮発性メモリセルの不良情報を記憶する第2のプログラムアレイと、
前記第2のスキャンレジスタに保持された不良情報を前記第1又は第2のプログラムアレイに書き込む書き込み回路と、
前記第1又は第2のプログラムアレイに記憶された不良情報を前記第2のレジスタに読み出す読み出し回路とを備えてなる不揮発性の半導体メモリ装置と
を有することを特徴とする半導体メモリ装置。 - メモリセルの良否のテストを実施して前記メモリセルの良否を判別するテスト手段と、
前記テスト手段によりテストされたメモリセルの中の不良なメモリセルの不良情報を一時的に保持するレジスタと、
前記不良なメモリセルと置換される冗長メモリセルと、
前記レジスタに保持された不良情報に基づいて前記不良なメモリセルを前記冗長メモリセルに置換制御する制御回路と、
前記メモリセルをアクセスする複数の異なるアクセス電圧を生成し、生成したアクセス電圧を前記メモリセルに供給する制御型電圧源とを備え、
半導体メモリ装置を使用して所望の処理を行う処理手段を備えた半導体メモリ装置搭載システムに含まれ、
前記テスト手段は、前記半導体メモリ装置搭載システムが起動される毎に前記制御型電圧源から前記メモリセルに供給される複数の異なるアクセス電圧に基づいて前記メモリセルのテストを実施し、実施結果にしたがって前記メモリセルの良否を判別してなる
ことを特徴とする半導体メモリ装置。 - 前記メモリセルは、スタティックランダムアクセスメモリセルからなり、前記アクセス電圧は、前記メモリセルのワード線の活性化電圧とする
ことを特徴とする請求項4記載の半導体メモリ装置。 - 前記メモリセルは、ダイナミックランダムアクセスメモリセルからなり、前記アクセス電圧は、前記メモリセルのワード線ならびに前記メモリセルを構成するキャパシタのプレートの活性化電圧とする
ことを特徴とする請求項4記載の半導体メモリ装置。 - 前記メモリセルは、不揮発性メモリセルからなり、前記アクセス電圧は、書き込みワード線ならびに読み出しワード線の活性化電圧とする
ことを特徴とする請求項4記載の半導体メモリ装置。 - 前記請求項1,2ならびに3のいずれか1項に記載の半導体メモリ装置と、
前記半導体メモリ装置を使用して所望の処理を行う処理手段と
を有することを特徴とする半導体メモリ装置搭載システム。
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