JP2006286141A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】メモリテストを中断せずに不良メモリセルを救済する。
【解決手段】半導体記憶装置は、複数のメモリブロック102を有するメモリセルアレイ101と、複数のメモリブロック102に対応して夫々設けられ、且つ不良メモリセルと置換される複数の冗長部105と、メモリセルアレイ101のテストを行い、且つ不良データを出力するテスト回路200と、不良データを一時的に記憶する第1及び第2記憶回路301と、第1及び第2記憶回路に不良データを交互に書き込む第1書き込み回路と、第1及び第2記憶回路から不良データを交互に読み出す第1読み出し回路と、複数のメモリブロック102に対応して設けられ、且つ不良データを記憶する複数の第3記憶回路309と、不良が発生したメモリブロック102に対応する第3記憶回路に、第1読み出し回路により読み出された不良データを書き込む第2書き込み回路とを含む。
【選択図】 図5
【解決手段】半導体記憶装置は、複数のメモリブロック102を有するメモリセルアレイ101と、複数のメモリブロック102に対応して夫々設けられ、且つ不良メモリセルと置換される複数の冗長部105と、メモリセルアレイ101のテストを行い、且つ不良データを出力するテスト回路200と、不良データを一時的に記憶する第1及び第2記憶回路301と、第1及び第2記憶回路に不良データを交互に書き込む第1書き込み回路と、第1及び第2記憶回路から不良データを交互に読み出す第1読み出し回路と、複数のメモリブロック102に対応して設けられ、且つ不良データを記憶する複数の第3記憶回路309と、不良が発生したメモリブロック102に対応する第3記憶回路に、第1読み出し回路により読み出された不良データを書き込む第2書き込み回路とを含む。
【選択図】 図5
Description
本発明は、半導体記憶装置に係り、BIST(Built-In Self Test)回路を備えた半導体記憶装置に関する。
近年、LSI(Large-Scale Integrated Circuit)の大規模化により、DRAM(Dynamic Random Access Memory)やSRAM(Static Random Access Memory)等の大容量メモリを搭載した半導体記憶装置が開発されている。このような半導体記憶装置は、BIST回路を備えている。
BIST回路とは、従来、メモリテスタで行っていた半導体記憶装置の試験機能を同一チップ上に回路として組み込んだもので、チップ内のデバイスに対してテストパターン(メモリ制御信号、テストアドレスデータ及び書き込みデータ等)を入力したり、チップ内のデバイスから読み出されるデータを比較しパス/フェイル判定できる機能を有するものである。
一方、エレクトリカルフューズ(e-fuse)は、メモリの救済に従来用いられてきたオプティカルフューズ(o-fuse)に代わるものとして近年メモリデバイスのリダンダンシに利用され始めている。e-fuseを用いる利点としては、o-fuseではレーザー等によるフューズ切断を必要としていた作業が不要となり、ウエハだけではなくパッケージング後でもテスター等を用いて救済が可能となることや、将来的にはo-fuseに比べてチップ面積を小さくできる。
現在は全面的にo-fuseの代わりにe-fuseを用いているメモリデバイスもあるが、o-fuseとe-fuseとのそれぞれの利点を利用したo-fuse/e-fuse併用のメモリデバイスも多く存在する。o-fuse/e-fuse併用のメモリデバイスでは、ウエハテスト時のメインの救済をo-fuseに担当させ、アセンブリ後のパッケージテストにおいて発生する2次的なテスト不良をe-fuseに担当させリダンダンシしている。
ところが、チップの外(例えばメモリテスタ)にその情報を蓄えておくための記憶媒体がない場合、BIST回路によるテスト時に不良アドレスが出力される毎にテストを終了し、e-fuseを用いて救済してその後テストを再開することが必要となる。当然、パス/フェイル判定するだけのテストに比べてテスト時間が長くなりテストコストの上昇につながる。
さらに、BIST回路は、通常何種類ものメモリテストを行う。また、1種類のメモリテストの間に、各メモリセルに対して何度もデータを書き込み及び読み出しする場合がある。よって、一連のBIST回路によるメモリテストにおいて、同じ不良アドレスが出力される可能性が高い。これにより、テスト時間がさらに長くなってしまう。
この種の関連技術として、不良データを蓄積する記憶容量を低減する技術が開示されている(特許文献1参照)。
特開2002−184197号公報
本発明は、メモリテスト時間を低減することができ、且つメモリテストを中断せずに不良メモリセルを救済することが可能な半導体記憶装置を提供することを目的とする。
本発明の一視点に係る半導体記憶装置は、複数のメモリブロックを有し、各メモリブロックは、マトリクス状に配置された複数のメモリセルを有するメモリセルアレイと、前記複数のメモリブロックに対応して夫々設けられ、且つ不良メモリセルと置換される複数の冗長部と、前記メモリセルアレイのテストを行い、且つ不良データを出力するテスト回路と、前記不良データを一時的に記憶する第1及び第2記憶回路と、前記第1及び第2記憶回路に前記不良データを交互に書き込む第1書き込み回路と、前記第1及び第2記憶回路から前記不良データを交互に読み出す第1読み出し回路と、前記複数のメモリブロックに対応して設けられ、且つ前記不良データを記憶する複数の第3記憶回路と、不良が発生したメモリブロックに対応する第3記憶回路に、前記第1読み出し回路により読み出された不良データを書き込む第2書き込み回路とを具備する。
本発明によれば、メモリテスト時間を低減することができ、且つメモリテストを中断せずに不良メモリセルを救済することが可能な半導体記憶装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。半導体記憶装置は、メモリ部100、BIST回路200及び不良アドレス記憶部300を備えている。この半導体記憶装置は、メモリ部100、BIST回路200及び不良アドレス記憶部300が同一基板上に実装された半導体集積回路により構成されている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。半導体記憶装置は、メモリ部100、BIST回路200及び不良アドレス記憶部300を備えている。この半導体記憶装置は、メモリ部100、BIST回路200及び不良アドレス記憶部300が同一基板上に実装された半導体集積回路により構成されている。
メモリ部100は、メモリとして機能するブロックを表し、メモリセルアレイ101、ロウデコーダ、カラムデコーダ及びセンスアンプ回路等を有する。本実施形態では、メモリ部100は、例えばDRAMにより構成されている。
さらに、メモリ部100は、リダンダンシ回路を備えている。リダンダンシ回路は、不良メモリセルが存在するメモリセルアレイを救済するために、メモリセルアレイ101内の不良メモリセルと置き換えられる。この際、不良メモリセルとリダンダンシ回路との接続を変えるために、オプティカルフューズ(以下、o-fuseという)とエレクトリカルフューズ(以下、e-fuseという)とが用いられる。
o-fuseとは、レーザー等を用いて光学的にフューズを切断したか否かにより導通と非導通とを切り替えるものである。o-fuseは、例えば金属により構成される。e-fuseとは、電気的にフューズを切断したか否かにより導通と非導通とを切り替えるものである。e-fuseは、例えばMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタにより構成される。
e-fuseを用いる利点としては、o-fuseではレーザー等によるフューズ切断を必要としていた作業が不要となり、ウエハだけではなくパッケージング後でもテスター等を用いて救済が可能となることや、o-fuseに比べてチップ面積を小さくできる。
ここで、半導体記憶装置の出荷テストの一例について説明する。図2は、出荷テストの一例を示すフローチャートである。
先ず、ウエハに対してプリフューズ(Pre-fuse)テストを行う(ステップ2a)。プリフューズテストとは、不良メモリセルをリダンダンシ回路で救済して良品とするためのテストである。次に、不良メモリセルをリダンダンシ回路で置き換えるために、o-fuseをレーザーにより切断する(ステップ2b)。
次に、ウエハに対してポストフューズ(Post-fuse)テストを行う(ステップ2c)。ポストフューズテストとは、リダンダンシ後に不良メモリセルを検出し不良品として選別するためのテストである。
次に、ウエハをダイシングし、ダイシングされたチップをパッケージングする(ステップ2d)。次に、パッケージングされた半導体記憶装置に対して最終テストを行う(ステップ2e)。
次に、不良メモリセルをリダンダンシ回路で置き換えるために、e-fuseを切断する(ステップ2f)。本実施形態では、ウエハ状態でのテストにより検出した不良メモリセルの救済をo-fuseで行う。そして、パッケージング後のテストにより検出された2次的な不良メモリセルの救済を、テスター等を用いて簡単に切断できるe-fuseで行う。
図3は、図1に示したメモリ部100の構成を示す概略図である。なお、周辺回路(デコーダ及びセンスアンプ回路等)は、図示を省略している。
メモリセルアレイ101は、マトリクス状に配置された複数のメモリセルMCにより構成されている。メモリセルアレイ101には、複数のビット線対BL0〜BLm,/BL0〜/BLmが配設されている。また、メモリセルアレイ101には、複数のワード線WL0〜WLnが配設されている。
メモリ部100が備えるメモリセルアレイ101は、救済単位ごとに複数のブロック102(以下、救済単位ブロックという)に分割されている。
各救済単位ブロック102には、o-fuseを有し且つ救済単位内の1カラム(救済単位内の1つのビット線対BL,/BLと、このビット線対BL,/BLに接続されたメモリセルとからなる)と同じ構成を有するリダンダンシ回路103(以下、スペアカラム(o-fuse)という)が設けられている。スペアカラム(o-fuse)103には、救済単位ブロック102に配設された複数のワード線WLが接続されている。
また、各救済単位ブロック102には、o-fuseを有し且つ1ロウ(1つのワード線WLと、このワード線WLに接続されたメモリセルとからなる)と同じ構成を有するリダンダンシ回路104(以下、スペアロウ(o-fuse)という)が設けられている。スペアロウ(o-fuse)104には、救済単位ブロック102に配設された複数のビット線対BL,/BLが接続されている。
また、各救済単位ブロック102には、e-fuseを有し且つ1ロウと同じ構成を有するリダンダンシ回路105(以下、スペアロウ(e-fuse)という)が設けられている。スペアロウ(e-fuse)105には、救済単位ブロック102に配設された複数のビット線対BL,/BLが接続されている。
スペアロウ或いはスペアカラムの本数は、通常、正規ロウ或いは正規カラムの本数に比べてかなり少ない。スペアの数を多くすれば救済能力は向上するがチップ面積が大きくなることから、スペアロウ或いはスペアカラムの本数は正規ロウ或いは正規カラムの本数に比べて数倍から数十倍少ない。
更にメインの救済をo-fuseに任せ、e-fuseを2次的な救済として用いている本実施形態の場合、1つの救済単位に必要なe-fuseは更に少なくて済み、ロウとカラムとのどちらか一方のスペアで対応可能な場合が多い。本実施形態では、e-fuseを救済単位あたり1つ割り当てる構成を例に説明する。
次に、BIST回路200の一例について説明する。図4は、図1に示したBIST回路200の構成を示すブロック図である。BIST回路200は、最初にロウ方向にスキャン(すなわち、ロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメント)し、次にカラムアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントするロウファーストスキャン方式と、最初にカラム方向にスキャン(すなわち、カラムアドレスデータをインクリメント或いはディクリメント)し、次にロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントするカラムファーストスキャン方式との2種類のスキャン方式を実行することができる。
さらに、BIST回路は、何種類ものメモリテストを実行する。これにより、BIST回路は、不良メモリセルの検出をより正確に行うことができる。
BIST回路200は、テスト制御回路201と、アドレス発生回路202と、データ発生回路203と、メモリ制御信号発生回路204と、比較回路205と、期待値発生回路206とを備えている。
アドレス発生回路202は、テストアドレスデータを発生する。ロウファーストスキャン方式では、アドレス発生回路202は、ロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントし、次にカラムアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
カラムファーストスキャン方式では、アドレス発生回路202は、カラムアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントし、次にロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。ユーザは、ロウファーストスキャン方式とカラムファーストスキャン方式とを任意に選択可能である。このテストアドレスデータは、メモリ部100に供給される。
データ発生回路203は、テストデータを発生する。このテストデータは、メモリ部100に供給される。メモリ制御信号発生回路204は、メモリ部100のテストを制御するためのメモリ制御信号を発生する。このメモリ制御信号は、メモリ部100に供給される。
比較回路205は、メモリ部100から読み出されたリードデータと、期待値発生回路206が発生した期待値とを比較する。そして、比較回路205は、ビットの良否を判定する。
テスト制御回路201は、BIST回路200内の各回路を制御する。また、テスト制御回路201は、テストアドレスデータと不良アドレスデータとを不良アドレス記憶部300に供給する。この不良アドレスデータは、不良ビットが発生した救済単位ブロックのブロックアドレスと、救済単位ブロック内の不良ロウアドレスとを含む。なお、e-fuseのリダンダンシ回路がスペアカラムである場合、不良アドレスデータは、救済単位ブロック内の不良カラムアドレスから構成される。
次に、不良アドレス記憶部300について説明する。図5は、図1に示した不良アドレス記憶部300の構成を示すブロック図である。不良アドレス記憶部300は、テンポラリレジスタ301と、制御回路304と、ブロックデコーダ305と、比較回路306と、AND回路307と、複数のAND回路308と、フューズレジスタ309とを備えている。
テンポラリレジスタ301は、テンポラリレジスタ_Aとテンポラリレジスタ_Bとを備えている。テンポラリレジスタ_Aは、不良が発生した救済単位ブロックのアドレスを示すブロックアドレスを記憶するブロックアドレス記憶回路302と、救済単位ブロック内の不良ビットのロウアドレスを示す不良ロウアドレスを記憶する不良ビット記憶回路303とを備えている。テンポラリレジスタ_Bは、テンポラリレジスタ_Aと同じ構成である。
フューズレジスタ309は、救済単位ブロック数に対応した複数のe-fuseレジスタ310を備えている。フューズレジスタ309は、救済単位ブロック毎に不良ロウアドレスを記憶する。
ブロックデコーダ305は、ブロックアドレスをデコードし、このデコード結果に基づいてe-fuseレジスタ310を選択する。
比較回路306は、テンポラリレジスタ301に記憶された不良ロウアドレスと、この不良ロウアドレスに対応する救済単位ブロックのe-fuseレジスタ310に記憶された不良ロウアドレスとを比較する。そして、テンポラリレジスタ301に記憶された不良ロウアドレスがe-fuseレジスタ310に既存しているか否かを判定する。
制御回路304は、テンポラリレジスタ301とフューズレジスタ309との制御を行う。図6は、図5に示した制御回路304の構成を示すブロック図である。
制御回路304は、第1書き込み回路304aと、第2書き込み回路304bと、第1読み出し回路304cと、第2読み出し回路304dと、テストアドレス判定回路304eと、救済判定回路304fと、データ判定回路304gと、消去回路304hとを備えている。
第1書き込み回路304aは、BIST回路200から出力された不良アドレスデータをテンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに書き込む。第2書き込み回路304bは、テンポラリレジスタに記憶された不良ロウアドレスをe-fuseレジスタ310に書き込む。
第1読み出し回路304cは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータを読み出す。第2読み出し回路304dは、e-fuseレジスタ310から不良ロウアドレスを読み出す。
テストアドレス判定回路304eは、BIST回路200が生成したテストアドレスデータに基づいてテストの進行状態を判定する。救済判定回路304fは、半導体記憶装置が救済可能か否かを判定する。
データ判定回路304gは、e-fuseレジスタ310に不良ロウアドレスが記憶されているか否かを判定する。消去回路304hは、e-fuseレジスタ310に不良ロウアドレスが書き込まれた後に、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータを消去する。
このように構成された半導体記憶装置の動作について説明する。先ず、ロウファーストスキャン方式について説明する。図7は、ロウファーストスキャン方式における制御回路304の動作を示すフローチャートである。
制御回路304は、BIST回路200から不良アドレスデータが入力されたか否かを監視している(ステップ7a)。BIST回路200から不良アドレスデータが入力された場合、救済判定回路304fは、不良アドレスデータの記憶に現在使用しているテンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに不良アドレスデータが記憶されているか否かを判定する(ステップ7b)。
テンポラリレジスタに不良アドレスデータが記憶されている場合、救済判定回路304fは、救済不可能であると判定する(ステップ7c)。具体的には、スペアロウ(e-fuse)105は1つの救済単位ブロックに対して1つしかないため、救済単位ブロック内の1つのカラムにロウアドレスが異なる2つの不良メモリセルが存在した場合、半導体記憶装置は救済できない。この場合、救済判定回路304fは、例えば救済不可能である旨の救済不可能信号を外部に出力する。あるいは、救済判定回路304fは、BIST回路200に対してテストを終了するように制御してもよい。
テンポラリレジスタに不良アドレスデータが記憶されていない場合、第1書き込み回路304aは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに不良アドレスデータを書き込む(ステップ7d)。次に、テストアドレス判定回路304eは、不良が発生した救済単位ブロックの全てのテストロウアドレスデータがスキャンされたか否かを判定する(ステップ7e)。
救済単位ブロックの全てのテストロウアドレスデータがスキャンされていない場合、制御回路304は、ステップ7aに戻って、BIST回路200から不良アドレスデータが入力されたか否かを監視する。BIST回路200は、テストロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
救済単位ブロックの全てのテストロウアドレスデータがスキャンされた場合、制御回路304は、不良アドレスデータを記憶するテンポラリレジスタをAからB、或いはBからAに変更する(ステップ7f)。
また、不良アドレスデータを記憶するテンポラリレジスタを変更する動作と平行して、第1読み出し回路304cは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータを読み出す(ステップ7i)。この時、ブロックアドレス記憶回路302に記憶されたブロックアドレスは、ブロックデコーダ305に入力される。ブロックデコーダ305は、ブロックアドレスに基づいて対応するe-fuseレジスタ310を選択する。
次に、データ判定回路304gは、ブロックデコーダ305により選択されたe-fuseレジスタ310に既に不良ロウアドレスが記憶されているか否かを判定する(ステップ7j)。不良ロウアドレスが記憶されていない場合、第2書き込み回路304bは、e-fuseレジスタ310に不良ロウアドレスを書き込む(ステップ7k)。
具体的には、ブロックデコーダ305はハイレベルの信号を出力し、比較回路306はハイレベルの信号を出力する。これにより、第2書き込み回路304bは、不良ロウアドレスをAND回路307とAND回路308とを介してe-fuseレジスタ310に書き込む。
その後、消去回路304hは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータを消去する(ステップ7p)。
ステップ7jにおいて不良ロウアドレスが記憶されている場合、第2読み出し回路304dは、e-fuseレジスタ310から不良ロウアドレスを読み出す(ステップ7l)。この読み出された不良ロウアドレスは、比較回路306に入力される。比較回路306は、e-fuseレジスタ310から読み出された不良ロウアドレスと、テンポラリレジスタから読み出された不良ロウアドレスとを比較する(ステップ7m)。
2つの不良ロウアドレスが異なる場合、救済判定回路304fは、救済不可能であると判定する(ステップ7n)。すなわち、1つの救済単位ブロック内にロウアドレスが異なる2つの不良メモリセルが存在したため、半導体記憶装置は救済できない。そして、救済判定回路304fは、救済不可能信号を外部に出力する。
一方、2つの不良ロウアドレスが同じアドレスである場合、第2書き込み回路304bは、テンポラリレジスタから読み出された不良ロウアドレスをe-fuseレジスタ310に書き込まない。具体的には、比較回路306は、ローレベルの信号をAND回路307に供給する。これにより、テンポラリレジスタから転送された不良ロウアドレスは、e-fuseレジスタ310に書き込まれない。
その後、消去回路304hは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータを消去する(ステップ7p)。
そして、制御回路304は、メモリセルアレイ101の全てのテストロウアドレスデータがスキャンされるまで、上記制御を繰り返す(ステップ7g)。この時、BIST回路200は、テストロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
さらに、制御回路304は、全てのテストカラムアドレスデータがスキャンされるまで、上記制御を繰り返す(ステップ7h)。この時、BIST回路200は、テストカラムアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
次に、カラムファーストスキャン方式について説明する。カラムファーストスキャン方式では、同じワード線に接続されたメモリセルMCは、1つのスペアロウ(e-fuse)105で救済可能である。図8は、カラムファーストスキャン方式における制御回路304の動作を示すフローチャートである。
制御回路304は、BIST回路200から不良アドレスデータが入力されたか否かを監視している(ステップ8a)。BIST回路200から不良アドレスデータが入力された場合、救済判定回路304fは、不良アドレスデータの記憶に現在使用しているテンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに不良アドレスデータが記憶されているか否かを判定する(ステップ8b)。
テンポラリレジスタに不良アドレスデータが記憶されていない場合、第1書き込み回路304aは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに不良アドレスデータを書き込む(ステップ8c)。次に、テストアドレス判定回路304eは、全てのテストカラムアドレスデータがスキャンされたか否かを判定する(ステップ8d)。
全てのテストカラムアドレスデータがスキャンされていない場合、制御回路304は、ステップ8aに戻って、BIST回路200から不良アドレスデータが入力されたか否かを監視する。BIST回路200は、テストカラムアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
全てのテストカラムアドレスデータがスキャンされた場合、テストアドレス判定回路304eは、救済単位ブロック内の全てのテストロウアドレスデータがスキャンされたか否かを判定する(ステップ8e)。
救済単位ブロック内の全てのテストロウアドレスデータがスキャンされていない場合、制御回路304は、ステップ8aに戻って、BIST回路200から不良アドレスデータが入力されたか否かを監視する。BIST回路200は、テストロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
救済単位ブロック内の全てのテストロウアドレスデータがスキャンされた場合、制御回路304は、不良アドレスデータを記憶するテンポラリレジスタをAからB、或いはBからAに変更する(ステップ8f)。
また、不良アドレスデータを記憶するテンポラリレジスタを変更する動作と平行して、制御回路304は、不良アドレスデータをe-fuseレジスタ310に書き込む。この動作は、図7で説明した動作と同じである。
そして、制御回路304は、メモリセルアレイ101の全てのテストロウアドレスデータがスキャンされるまで、上記制御を繰り返す(ステップ8g)。この時、BIST回路200は、テストロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
ここで留意すべきことは、先にも述べたとおり、正規ロウに比べてスペアロウ(e-fuse)105の数が1つで圧倒的に少ない点である。すなわち、テンポラリレジスタから転送される不良ロウアドレスがe-fuseレジスタ310に記憶された既存の不良ロウアドレスと比較され且つe-fuseレジスタ310に書き込まれる時間はメモリテストを行っている時間よりも短い。よって、メモリテストの動作に影響を与えず、テンポラリレジスタとe-fuseレジスタ310とのデータの比較および転送が可能となる。
以上詳述したように本実施形態によれば、不良が発生したメモリセルMCのアドレスを示す不良アドレスデータを半導体記憶装置に記憶することができる。これにより、メモリテスト中に不良が発生してもテストを中断する必要がない。また、1種類のメモリテストだけでなく数種類のメモリテストが全て終了した時点で冗長回路を用いて救済を実行することが可能となる。
また、2つのテンポラリレジスタのうち一方をBIST回路200から出力される不良アドレスデータの記憶に用い、他方をフューズレジスタに書き込むための処理に用いるようにしている。よって、テンポラリレジスタの不良アドレスデータとフューズレジスタの不良アドレスデータとを比較する処理時間を確保することが可能となる。
また、テンポラリレジスタの不良アドレスデータとフューズレジスタの不良アドレスデータとを比較することにより、同じ不良アドレスデータをフューズレジスタに記憶しないようにしている。よって、BIST回路が同じメモリセルMCのテストを繰り返し行うような場合でも、フューズレジスタに同じ不良アドレスデータが記憶されることがない。
また、同じ冗長回路で救済可能な複数の不良アドレスデータを1つの不良アドレスデータとして記憶するようにしている。よって、不良アドレスデータを記憶するフューズレジスタの数を最小限にすることができる。
また、不良ビットの不良カラムアドレス及び不良ロウアドレスのうち、不良ロウアドレスのみをe-fuseレジスタ310に記憶するようにしている。これにより、フューズレジスタ309の記憶データを最小限にすることができるため、フューズレジスタ309の回路面積を縮小することができる。
また、メモリテスト中に、適時救済可能か否かを判定するようにしている。よって、テスト中に救済不可能であると判定された場合にメモリテストを中止することができるため、無駄なテスト時間を費やす必要がない。これにより、テストコストを低減するこができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態は、1つの救済単位ブロックに対して2つ以上のスペアロウ(e-fuse)がある場合の例である。
第2の実施形態は、1つの救済単位ブロックに対して2つ以上のスペアロウ(e-fuse)がある場合の例である。
図9は、本発明の第2の実施形態に係るメモリ部100の構成を示す概略図である。各救済単位ブロック102には、複数のスペアロウ(e-fuse)105が設けられている。各スペアロウ(e-fuse)105には、救済単位ブロック102に配設された複数のビット線対BL,/BLが接続されている。
図10は、本発明の第2の実施形態に係る不良アドレス記憶部300の構成を示すブロック図である。不良アドレス記憶部300は、テンポラリレジスタ301と、制御回路304と、ブロックデコーダ305と、比較回路306と、AND回路307と、複数のAND回路308と、フューズレジスタ309とを備えている。
テンポラリレジスタ301は、テンポラリレジスタ_Aとテンポラリレジスタ_Bとを備えている。テンポラリレジスタ_Aは、ブロックアドレス記憶回路302と、各救済単位ブロック102のスペアロウ(e-fuse)105の数と同じ数の不良ビット記憶回路303とを備えている。テンポラリレジスタ_Bは、テンポラリレジスタ_Aと同じ構成である。
フューズレジスタ309は、救済単位ブロック数に対応した複数のe-fuseレジスタ群320を備えている。各e-fuseレジスタ群320は、各救済単位ブロック102のスペアロウ(e-fuse)105の数と同じ数のe-fuseレジスタ310を備えている。フューズレジスタ309は、救済単位ブロック毎に不良ロウアドレスを記憶する。
ブロックデコーダ305は、ブロックアドレスをデコードし、このデコード結果に基づいてe-fuseレジスタ群320を選択する。
比較回路306は、テンポラリレジスタ301に記憶された不良ロウアドレスと、この不良ロウアドレスに対応するe-fuseレジスタ群320のe-fuseレジスタ310に記憶された不良ロウアドレスとを比較する。そして、テンポラリレジスタ301に記憶された不良ロウアドレスがe-fuseレジスタ310に既存しているか否かを判定する。
このように構成された半導体記憶装置の動作について説明する。先ず、ロウファーストスキャン方式について説明する。図11は、ロウファーストスキャン方式における制御回路304の動作を示すフローチャートである。
制御回路304は、BIST回路200から不良アドレスデータが入力されたか否かを監視している(ステップ11a)。BIST回路200から不良アドレスデータが入力された場合、第1書き込み回路304aは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに不良アドレスデータを書き込む(ステップ11b)。
次に、救済判定回路304fは、不良アドレスデータの記憶に現在使用しているテンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータの数が、1つの救済単位ブロックのスペアロウ(e-fuse)105の数より少ないか否かを判定する(ステップ11c)。
不良アドレスデータの数がスペアロウ(e-fuse)105の数より多い場合、救済判定回路304fは、救済不可能であると判定する(ステップ11d)。一方、不良アドレスデータの数がスペアロウ(e-fuse)105の数より少ない場合、テストアドレス判定回路304eは、不良が発生した救済単位ブロックの全てのテストロウアドレスデータがスキャンされたか否かを判定する(ステップ11e)。
救済単位ブロックの全てのテストロウアドレスデータがスキャンされていない場合、制御回路304は、ステップ11aに戻って、BIST回路200から不良アドレスデータが入力されたか否かを監視する。BIST回路200は、テストロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
救済単位ブロックの全てのテストロウアドレスデータがスキャンされた場合、制御回路304は、不良アドレスデータを記憶するテンポラリレジスタをAからB、或いはBからAに変更する(ステップ11f)。
また、不良アドレスデータを記憶するテンポラリレジスタを変更する動作と平行して、第1読み出し回路304cは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータを読み出す(ステップ11i)。この時、ブロックアドレス記憶回路302に記憶されたブロックアドレスは、ブロックデコーダ305に入力される。ブロックデコーダ305は、ブロックアドレスに基づいて対応するe-fuseレジスタ群320を選択する。
次に、データ判定回路304gは、ブロックデコーダ305により選択されたe-fuseレジスタ群320に既に不良ロウアドレスが記憶されているか否かを判定する(ステップ11j)。不良ロウアドレスが記憶されていない場合、第2書き込み回路304bは、e-fuseレジスタ310に不良ロウアドレスを書き込む(ステップ11p)。
その後、消去回路304hは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータを消去する(ステップ11q)。
ステップ11jにおいて不良ロウアドレスが記憶されている場合、救済判定回路304fは、e-fuseレジスタ群320に記憶されている不良ロウアドレスの数が、スペアロウ(e-fuse)105の数より少ないか否かを判定する(ステップ11k)。不良ロウアドレスの数がスペアロウ(e-fuse)105の数より多い場合、救済判定回路304fは、救済不可能であると判定する(ステップ11l)。
一方、不良ロウアドレスの数がスペアロウ(e-fuse)105の数より少ない場合、第2読み出し回路304dは、e-fuseレジスタ310から不良ロウアドレスを読み出す(11m)。e-fuseレジスタ310から読み出された不良ロウアドレスと、テンポラリレジスタから読み出された不良ロウアドレスとは、比較回路306により比較される。
2つの不良ロウアドレスが異なる場合、第2書き込み回路304bは、テンポラリレジスタから読み出された不良ロウアドレスをe-fuseレジスタ310に書き込む(ステップ11p)。一方、2つの不良ロウアドレスが同じである場合、第2書き込み回路304bは、テンポラリレジスタから読み出された不良ロウアドレスをe-fuseレジスタ310に書き込まない(ステップ11o)。第2書き込み回路304bは、テンポラリレジスタから読み出された複数の不良ロウアドレスに対して同じ制御を行う。
その後、消去回路304hは、テンポラリレジスタ_A或いはテンポラリレジスタ_Bに記憶された不良アドレスデータを消去する(ステップ11q)。
そして、制御回路304は、メモリセルアレイ101の全てのテストロウアドレスデータがスキャンされるまで、上記制御を繰り返す(ステップ11g)。この時、BIST回路200は、テストロウアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
さらに、制御回路304は、全てのテストカラムアドレスデータがスキャンされるまで、上記制御を繰り返す(ステップ11h)。この時、BIST回路200は、テストカラムアドレスデータをインクリメント或いはディクリメントする。
次に、カラムファーストスキャン方式について説明する。図12は、カラムファーストスキャン方式における制御回路304の動作を示すフローチャートである。
BIST回路200から不良アドレスデータが入力されてから全てのテストロウアドレスデータがスキャンされるまでの制御回路304の動作は、図8で説明した動作と同じである。また、不良アドレスデータをe-fuseレジスタ310に書き込むまでの制御回路304の動作は、図11で説明した動作と同じである。
本実施形態では、1つの救済単位ブロックに対して複数のスペアロウ(e-fuse)105が存在する。よって、テンポラリレジスタに記憶された不良ロウアドレスと、e-fuseレジスタ群320に記憶された既存の不良ロウアドレスとを順番に比較する必要がある。
しかし、正規ロウに比べてスペアロウ(e-fuse)105の数が圧倒的に少ない。よって、テンポラリレジスタから転送される不良ロウアドレスがe-fuseレジスタ310に記憶された既存の不良ロウアドレスと比較され且つe-fuseレジスタ310に書き込まれる時間は、メモリテストを行っている時間内に収まる。この結果、メモリテストの動作に影響を与えず、テンポラリレジスタとe-fuseレジスタ310とのデータの比較および転送が可能となる。
以上詳述したように本実施形態によれば、1つの救済単位ブロックに対して複数のスペアロウ(e-fuse)105が設けられた場合でも、第1の実施形態と同じ効果を得ることができる。
なお、上記各実施形態は、e-fuseを有し且つ救済単位内の1カラム(救済単位内の1つのビット線対BL,/BLと、このビット線対BL,/BLに接続されたメモリセルとからなる)と同じ構成を有する冗長回路(スペアカラム(e-fuse))に適用しても同様に実施可能なことは勿論である。
また、上記各実施形態では、半導体記憶装置としてDRAMを一例として説明したが、フラッシュメモリ等のその他のメモリに適用してもよい。
この発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その他、本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形して実施可能である。
MC…メモリセル、WL…ワード線、BL,/BL…ビット線、100…メモリ部、101…メモリセルアレイ、102…救済単位ブロック、103…スペアカラム(o-fuse)、104…スペアロウ(o-fuse)、105…スペアロウ(e-fuse)、200…BIST回路、201…テスト制御回路、202…アドレス発生回路、203…データ発生回路、204…メモリ制御信号発生回路、205…比較回路、206…期待値発生回路、300…不良アドレス記憶部、301…テンポラリレジスタ、302…ブロックアドレス記憶回路、303…不良ビット記憶回路、304…制御回路、304a…第1書き込み込み回路、304b…第2書き込み込み回路、304c…第1読み出し回路、304d…第2読み出し回路、304e…テストアドレス判定回路、304f…救済判定回路、304g…データ判定回路、304h…消去回路、305…ブロックデコーダ、306…比較回路、307,308…AND回路、309…フューズレジスタ、310…e-fuseレジスタ、320…e-fuseレジスタ群。
Claims (5)
- 複数のメモリブロックを有し、各メモリブロックは、マトリクス状に配置された複数のメモリセルを有するメモリセルアレイと、
前記複数のメモリブロックに対応して夫々設けられ、且つ不良メモリセルと置換される複数の冗長部と、
前記メモリセルアレイのテストを行い、且つ不良データを出力するテスト回路と、
前記不良データを一時的に記憶する第1及び第2記憶回路と、
前記第1及び第2記憶回路に前記不良データを交互に書き込む第1書き込み回路と、
前記第1及び第2記憶回路から前記不良データを交互に読み出す第1読み出し回路と、
前記複数のメモリブロックに対応して設けられ、且つ前記不良データを記憶する複数の第3記憶回路と、
不良が発生したメモリブロックに対応する第3記憶回路に、前記第1読み出し回路により読み出された不良データを書き込む第2書き込み回路とを具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記各メモリブロックは、第1方向に沿って配置された複数のメモリセル列から構成され、
前記複数の冗長部のそれぞれは、1つのメモリセル列と同じ構成を有することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記テスト回路は、前記メモリセルアレイを前記第1方向に沿ってスキャンすることを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。
- 前記テスト回路は、前記メモリセルアレイを前記第1方向と直交する方向に沿ってスキャンすることを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。
- 前記不良データは、不良が発生したメモリブロックのアドレスを示す第1不良データと、不良ビットのアドレスを示す第2不良データとを含むことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005107696A JP2006286141A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | 半導体記憶装置 |
US11/194,539 US7263010B2 (en) | 2005-04-04 | 2005-08-02 | Semiconductor memory device with test circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005107696A JP2006286141A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | 半導体記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006286141A true JP2006286141A (ja) | 2006-10-19 |
Family
ID=37070221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005107696A Pending JP2006286141A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | 半導体記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7263010B2 (ja) |
JP (1) | JP2006286141A (ja) |
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US7263010B2 (en) | 2007-08-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100930 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101026 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110308 |