JP3746432B2 - 接合面の加工方法及び装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、接合面を有した容器の接合面の加工方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
2つの部材を接合させる際、金属などからなる部材の面同士で又はゴムシールやガスケットをその間に介在させて密着させることを要する場合が存在する。このような場合には、通常、平面研削盤やロータリ研削盤を用いて接合面を研削加工で仕上げていた。
【0003】
しかしながら、砥石などの研削工具を用いることで、上記接合面には必然的に研削砥粒の移動方向に沿ってカッターマークや砥面マークと呼称されるμmオーダの細かい条痕が形成されてしまう。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半導体や液晶の製造装置で使用されるチャンバと呼ばれる真空容器などでは、蓋と本体容器との接合面に対して高い気密性が要求されている。このような高い気密性を要求される接合面には、漏出を防ぐためにゴムシールやガスケットなどのシール部材によりシールが施されることが一般的である。
【0005】
ところが、従来の研削加工で仕上げた接合面では、シール部材を用いても上記の細かい条痕に起因して漏れが発生することが判明した。上記のような研削砥粒による条痕は通常μmオーダであるので、条痕をシールによって完全に埋めることは困難である。このため、容器の内側から外側へと連通するような条痕が存在すると、この条痕により漏れが発生していたのである。
【0006】
すなわち、細かい条痕のうち容器の内部と外部とを連通させるような方向に延びる条痕が存在すると、研削砥粒による条痕は非常に細かくシール部材等では完全に塞がれ得ないことから、条痕を伝って漏れが発生していたのである。
よって、本発明の目的は、上記従来技術に存する問題を解決するために、研削砥粒による条痕に起因する漏れを解消し、気密性の高い接合面を提供することができる容器の接合面の加工方法及び装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的に鑑み、研削砥粒による細かい条痕の方向が容器の接合面の輪郭形状又は外周形状に沿った方向とほぼ一致するように、研削工具を用いて研削を行うようにしたことを特徴とする。
すなわち、本発明は、接合面を有した容器の接合面の加工方法において、前記接合面とほぼ平行な回転軸線まわりに回転する研削工具を加工すべき容器の前記研削工具の砥粒によって前記接合面の内側から外側に連通する条痕が形成されないように、接合面に押し当て、前記研削工具と前記容器との間で前記接合面の輪郭形状にほぼ沿って相対送りを与えると共に、前記研削工具の回転軸線の方向が前記相対送りの方向に対してほぼ直角になるように前記研削工具又は前記容器の向きを制御し、前記容器の接合面を研削加工するようにした接合面の加工方法を提供する。
【0008】
また、本発明は、接合面を有した容器の接合面を加工する装置において、研削工具又は工具ホルダーが脱着可能に取り付けられる主軸と、前記容器が取り付けられるテーブルと、前記主軸と前記テーブルとの間でX、Y、Zの直交3軸方向の相対移動を行わせる直線送り軸と、前記主軸又は前記テーブルに前記Z軸まわりの回転運動であるC軸方向の移動を行わせる回転送り軸と、前記主軸に取り付けられ、前記容器の接合面とほぼ平行な回転軸線まわりに回転する研削工具と、前記研削工具の砥粒によって前記接合面の内側から外側に連通する条痕が形成されないように、前記研削工具と前記容器の接合面との間で前記接合面の輪郭形状にほぼ沿ってX、Y軸に関する相対送りを与えると共に、前記研削工具の回転軸線の方向が前記相対送りに対してほぼ直角になるように前記C軸の回転送り制御を行うことができる数値制御装置とを具備するようにした接合面の加工装置を提供する。
【0009】
また、本発明は、前記研削工具がベルト研削工具である接合面の加工装置を提供する。
前記研削工具の砥粒によって前記接合面の内側から外側に連通する条痕が形成されないように、研削工具と容器の接合面との間で接合面の輪郭形状に沿って相対送りを与え、接合面とほぼ平行な研削工具の回転軸線の方向が研削工具の相対送り方向に対してほぼ直角となるように研削工具を容器の接合面に対して相対移動させることにより、研削工具(詳細には、その砥粒)による条痕は常に接合面の輪郭形状すなわち外周形状に沿って形成される。したがって、容器の内部と外部とを連通させるような条痕は形成されず、気密性の高い容器の接合面が提供される。
【0011】
なお、本願における「研削」とは、砥粒を利用した加工を総称するものであり、砥石など砥粒を備えた工具を用いた加工のみならず、砥粒を含んだ液体などを用いた研磨を含むものとする。また、「接合面」とは、シール性を必要とする合わせ面を意味するものとする。さらに、「回転する研削工具」には、ベルト研削工具のように研削ベルトが円、楕円又は長円形状の軌道に沿って移動するような工具を含むものとし、かかるベルト研削工具の「回転軸線の方向」とは研削ベルトの軌道又は砥粒の軌跡がなす円、楕円又は長円形の平面に対して垂直な方向を意味するものとする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明による接合面の加工方法及び装置の実施態様を説明する。
図1は本発明による接合面の加工方法を実施するための加工装置の一実施態様の部分斜視図、図2は気密性を要する接合面を有する容器の一例の斜視図、図3は図2に示されている容器の線A−A及び線B−Bに沿った断面図、図4は接合面の拡大図、図5は図1に示されている加工装置の概略全体図、図6は図1に示されている加工装置の主軸先端に取り付けられた工具の拡大断面図、図7は図6に示されている工具の側面図である。
【0013】
図2は半導体や液晶の製造で必要とされる真空容器の一例を示している。かかるワークすなわち真空容器13は、蓋部分13aと本体部分13bとに分割されており、対向する接合面15a、15bを有している。使用する際には、蓋部分13a及び本体部分13bのそれぞれの接合面15a、15bを合わせ、ボルト(不図示)などの締結具を用いて締結して使用する。図2に示されている真空容器では、蓋部分13aの外周部分に沿って複数の貫通孔17が設けられていると共に、本体部分13bにも貫通孔17に対応する位置に複数のネジ孔19が設けられており、蓋部分13aの貫通孔17にボルトを通して本体部分13bのネジ孔19に係合させることにより蓋部分13aと本体部分13bとを締結させるようにしている。
【0014】
かかる接合面15a、15bは、通常、気密性を高めるために、研削砥粒を備えた研削工具を回転させて研削を行う研削加工を施される。しかしながら、研削加工では、接合面15a、15bに、図4において矢印21、23によって示されているようなμmオーダのサイズの細かい条痕が形成されてしまう。このような条痕には真空容器の内部と外部とを連通させるものが含まれている。
【0015】
そこで、蓋部分13aと本体部分13bとの間には気密性を確保するために、Oリングなどのゴムシール又はガスケットを介在させることが一般的である。図2に示されている真空容器13では、図3(A)に示されているように、蓋部分13aの接合面15aの輪郭形状すなわち外周に沿って溝25が設けられており、その溝25にOリングなどのシール部材27が配置されている。このような溝25は、例えば、特開昭60−155310号公報に記載されているような総形ヘールバイトを用いたヘール加工により形成される。一方、対面する本体部分13bの接合面15bは図3(B)に示されているように平坦な平面として形成されている。蓋部分13aの溝25に配置されたシール部材27が、この平面(接合面15b)に当接してボルトによる締結力で変形して、真空容器13の内部と外部との間を遮断する。
【0016】
しかしながら、Oリングなどのシール部材27が当接する本体部分13bの接合面15bに形成された条痕21、23は、μmオーダのサイズであるため、シール部材27の変形によって完全に閉塞させることが困難であり、真空容器13の内部と外部とが連通してしまい僅かに漏れが発生してしまう。
本出願人は、上記の漏れは、研削工具11の研削砥粒による接合面上の細かい条痕が接合面の輪郭形状すなわち外周形状に沿った方向に形成されていないことが根本の原因であることを突きとめた。本発明による接合面の加工方法では、砥粒による条痕が図4の矢印29によって示されている条痕のように真空容器13などのワークの接合面15a、15bの輪郭形状にほぼ沿って形成されるように研削加工を行うようにする。
【0017】
詳細には、回転する研削工具11を加工すべきワーク31(例えば、真空容器13)の接合面15a、15bに押し当てたときに、砥粒が少なくとも接合面15a、15b上では円運動を行わず概略直線的な1方向のみに沿った運動を行うような研削装置を用いる。これにより、研削工具11の砥粒による条痕は必ず概略直線的で1方向に揃ったものとなる。
【0018】
さらに、かかる研削装置の研削工具11とワーク31との間で接合面15の輪郭形状にほぼ沿った方向の相対送りを与え、研削工具11の回転軸線33、35の方向が相対送りの方向に対してほぼ直角となるように制御する。これにより、研削工具11とワーク31との接触部分においては、研削工具11の砥粒の速度ベクトルの方向が常に研削工具11とワーク31との間の相対送りの方向と一致するようになり、相対移動の方向とほぼ一致する条痕29のみがワーク31の接合面15に形成される。すなわち、ワーク31の接合面15の輪郭形状にほぼ沿った条痕29のみが形成されるようになる。
【0019】
この結果、接合面15を横断して延び、ワーク31によって隔てられる2つの空間を連通させるような条痕21、23は形成されなくなり、接合面15の気密性は格段に向上する。したがって、シール部材27を用いず、ワーク31の接合面15同士を直接接触させてもシール性を確保することが可能となる。
次に、図5〜図7を参照して、本発明の接合面の加工方法を実施するための装置の実施態様を説明する。
【0020】
ワーク31と研削工具11との間で接合面の輪郭形状に沿った相対移動を与えるために、図5に示されているような工作機械37が使用される。図5に示されている工作機械37は、コラム39と、コラム39の上部に支持されている主軸頭41と、主軸頭41に回転可能に支持されている加工工具が脱着可能に取り付けられる主軸43と、コラム39の下部に設けられておりワーク31が取り付けられるテーブル45と、主軸43とテーブル45との間で相対移動を行わせる直線送り機構と、主軸43にC軸方向の移動を行わせる回転送り機構と、主軸に加工工具として取り付けられる研削工具11と、直線送り機構及び回転送り機構47の作動を制御する数値制御装置49とを備えている。ここで、C軸方向の移動とはZ軸まわりの回転運動を意味する。すなわち、図5においては、主軸43がC軸方向に回転することになる。図5においては、簡単化のために加工工具を簡略化して示してある。
【0021】
直線送り機構は、テーブル45の下部に設けられ、主軸43とテーブル45との間に水平面内で直交するX、Y軸方向の相対移動を行わせるX軸送り機構51及びY軸送り機構53と、コラム39の上部に設けられ、主軸43とテーブル45との間に上記X及びY軸に直交するZ軸方向の相対移動を行わせるZ軸送り機構55とからなり、それぞれの作動が数値制御装置49によって独立に制御されている。もちろん、主軸43又はテーブル45がX、Y、Z軸の直交3軸の移動を全て行うように構成されていてもよい。
【0022】
回転送り機構47は少なくとも±180度の範囲で運動が可能になっていればよく、通常の工作機械のように主軸43に高速の連続回転を与えるように構成されている必要はない。
数値制御装置49は、研削工具11とワーク31の接合面15との間にZ軸方向の切り込みと接合面15の輪郭形状にほぼ沿った方向のX、Y軸に関する相対送りを与える。さらに、数値制御装置49は回転送り機構47による主軸43のC軸方向の作動を制御して、研削工具11の回転軸線33、35の方向がこの相対送りの方向に対してほぼ直角となるようにする。
【0023】
このような制御を行うことにより、周知の工作機械を用いて本発明による接合面の加工方法の特徴であるワーク31の接合面15の輪郭形状にほぼ沿った条痕29のみを形成させ得るようになる。
図6及び図7は、図5に示されている加工工具すなわち研削工具11の詳細を示している。図6及び図7を参照すると、研削工具11は工具ホルダ57を介して主軸43に取り付けられている。
【0024】
工具ホルダ57は、その一方の端部に主軸43と結合させるためのテーパシャンク59を備えており、伝動キー61を介して主軸43のテーパ穴63と結合されている。工具ホルダ57の他方の端部にはブラケット部65が設けられている。ブラケット部65には中央部分に底面が平坦になっている凹部67が設けられており、この凹部67は図面の下側の端部の壁が除去されて開放した状態になっている。凹部67の底面には図面上の上下方向に長い細長い楕円形状の2つの貫通長孔69が上下方向に離間して形成されている。また、開放している端部からはさらに下側すなわちワーク31側へタブ状部分71が延びている。
【0025】
凹部67とは反対側に位置するブラケット部65の面もまた平坦になっており、ここに研削工具11の駆動装置であるエアモータ73が取り付けられる。エアモータ73は、フランジ74を備えており、このフランジ74及びブラケット部65の貫通長孔69に取付ボルト75を貫通させた後、取付ボルト75をナット77と係合させることによって、エアモータ73を工具ホルダ57のブラケット部65に締結している。したがって、この貫通長孔69に沿った方向に、ブラケット部65におけるエアモータ73の取付位置を調節することが可能である。
【0026】
凹部67内にはエアモータ73と対応する位置にドライブプーリ79が配置されている。ドライブプーリ79の直径が凹部67の水平方向の幅よりも小さくなっていることはいうまでもない。このドライブプーリ79はブラケット部分65をはさんで反対側に配置されているエアモータ73にカップリング81を介して結合されており、エアモータ73によって駆動力を付与されるようになっている。ドライブプーリ79は、その回転軸線33がワーク31に対して平行となるようにブラケット部65に支持されている。ブラケット部65には、さらに、このドライブプーリ79に対して主軸43から離れる側に離間して従動プーリ83がベアリングなどを介して回転可能に取り付けられている。従動プーリ83は、その回転軸線35がドライブプーリ79の回転軸線33と平行となるように配置されている。
【0027】
上記2つのプーリ79、83の間には研削ベルト85がループ状に掛けられている。したがって、研削ベルト85は、ドライブプーリ79を介してエアモータ73により回転駆動され、ドライブプーリ79及び従動プーリ83を経て周回運動している。なお、エアモータ73又はドライブプーリ79の位置は、上述したように、貫通長孔69により固定の従動プーリ83に対して上下方向に調整可能になっているので、研削ベルト85の張力を調整することが可能であり、研削ベルト85の交換も容易になっている。ドライブプーリ79を固定にして従動プーリ83の上下方向位置を調整可能にしてもよいことはもちろんである。
【0028】
本願において、研削工具11としてこのような研削ベルト85を使用する場合、研削ベルト85の回転軸線とは、ドライブプーリ79及び従動プーリ83の回転軸線33、35を指すものとする。すなわち、研削ベルト85上の砥粒が移動する方向に対して垂直な方向を指すものとする。
工具ホルダ57の中心部には工具ホルダ57の長手方向にテーパシャンク59側の端部からブラケット部65へ向かって延びているエア通路87が設けられており、エア通路87はブラケット部65の近傍で半径方向に曲がって工具ホルダ57の側面に開口している。エア通路87はさらにホース89を介してエアモータ73に接続されている。このような工具ホルダ57の構造及びエアモータ73の使用により、主軸43の中心部を通って供給される圧縮エアを利用して研削工具11を駆動することができるようになる。このことは、かかる研削工具11の交換に対して自動工具交換装置を適用することを可能とさせる利点を有する。
【0029】
エアモータ73に代えて他の種類の流体圧モータを使用し、圧縮エアに代えて他の種類の加圧流体を使用しても同様の利点が達成される。
上述したような研削工具11を用いることにより、上述した加工方法で使用するような、回転する研削工具11を加工すべきワーク31(例えば、真空容器13)の接合面15に押し当てたときに、砥粒が少なくとも接合面15上では円運動を行わず概略直線的な1方向のみに沿った運動を行うような研削装置が実現される。水平方向又はワーク31の接合面15に対して平行に延びる回転軸線を有する概略円筒形状の砥石車を研削工具として使用しても同様の機能を有する装置が実現され得る。
【0030】
【発明の効果】
本発明の接合面の加工方法及び装置によれば、接合面の研削加工の結果形成される砥粒による条痕が接合面の輪郭形状に沿った方向とほぼ一致して形成されるため、真空容器の蓋部分と本体部分などの気密性を要する接合面を接合したときのシール性が向上される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による接合面の加工方法を実施するための加工装置の一実施態様の部分斜視図である。
【図2】気密性を要する接合面を有する容器の一例の斜視図である。
【図3】図2に示されている容器の線A−A及び線B−Bに沿った断面図である。
【図4】接合面の拡大図である。
【図5】図1に示されている加工装置の概略全体図である。
【図6】図1に示されている加工装置の主軸先端に取り付けられた工具の拡大断面図である。
【図7】図6に示されている工具の側面図である。
【符号の説明】
11…研削工具
13…真空容器
15、15a、15b…接合面
31…ワーク
33…回転軸線
35…回転軸線
37…工作機械
43…主軸
45…テーブル
47…回転送り機構
49…数値制御装置
51…X軸送り機構
53…Y軸送り機構
55…Z軸送り機構
73…エアモータ
85…研削ベルト
Claims (3)
- 接合面を有した容器の接合面の加工方法において、
前記接合面とほぼ平行な回転軸線まわりに回転する研削工具を加工すべき容器の接合面に押し当て、
前記研削工具の砥粒によって前記接合面の内側から外側に連通する条痕が形成されないように、前記研削工具と前記容器との間で前記接合面の輪郭形状にほぼ沿って相対送りを与えると共に、
前記研削工具の回転軸線の方向が前記相対送りの方向に対してほぼ直角になるように前記研削工具又は前記容器の向きを制御し、
前記容器の接合面を研削加工することを特徴とした接合面の加工方法。 - 接合面を有した容器の接合面を加工する装置において、
研削工具又は工具ホルダーが脱着可能に取り付けられる主軸と、
前記容器が取り付けられるテーブルと、
前記主軸と前記テーブルとの間でX、Y、Zの直交3軸方向の相対移動を行わせる直線送り機構と、
前記主軸又は前記テーブルに前記Z軸まわりの回転運動であるC軸方向の移動を行わせる回転送り機構と、
前記主軸に取り付けられ、前記容器の接合面とほぼ平行な回転軸線まわりに回転する研削工具と、
前記研削工具の砥粒によって前記接合面の内側から外側に連通する条痕が形成されないように、前記研削工具と前記容器の接合面との間で前記接合面の輪郭形状にほぼ沿ってX、Y軸に関する相対送りを与えると共に、前記研削工具の回転軸線の方向が前記相対送りの方向に対してほぼ直角になるように前記C軸の回転送り制御を行うことができる数値制御装置と、
を具備することを特徴とした接合面の加工装置。 - 前記研削工具がベルト研削工具である請求項2に記載の接合面の加工装置。
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