WO2002070196A1 - Procede et appareil d'usinage de face de joint d'une piece - Google Patents

Description

明 細 書 ワークの接合面を加工するための方法及び装置 技術分野

本発明は、 接合面を有したワークの接合面を加工するための方法 及び装置に関する。 背景技

2つの部材を接合させる際、 金属などからなる部材の面同士で又 はゴムシールやガスケッ トを 2つの部材の間に介在させて密着させ ることを要する場合が存在する。 このような場合には、 通常、 平面 研削盤やロータリ研削盤を用いて接合面を研削加工で仕上げていた しかしながら、 砥石などの研削工具を用いることで、 上記接合面 には必然的に研削砥粒の移動方向に沿ってカッターマークや砥面マ ーク と呼称される mオーダの細かい条痕が形成されてしまう。

ところで、 半導体や液晶の製造装置で使用されるチャンパと呼ば れる真空容器などでは、 蓋と本体容器との接合面に対して高い気密 性が要求されている。 このような高い気密性を要求される接合面に は、 漏出を防ぐためにゴムシールやガスケッ トなどのシール部材に よ りシールが施されることが一般的である。

ところが、 従来の研削加工で仕上げた接合面では、 シール部材を 用いても上記の細かい条痕に起因して漏れが発生することが判明し た。 上記のよ うな研削砥粒による条痕は通常 μ mオーダであるので 、 条痕をシールによって完全に埋めることは困難である。 このため 、 容器の内側から外側へと連通するような条痕が存在すると、 この 条痕によ り漏れが発生していたのである。

すなわち、 細かい条痕のうち容器の内部と外部とを連通させるよ うな方向に延びる条痕が存在すると、 研削砥粒による条痕は非常に 細かく、 シール部材等では完全に塞がれ得ないことから、 条痕を伝 つて漏れが発生していたのである。 発明の開示

よって、 本発明の目的は、 研削砥粒による条痕に起因する漏れを 解消し、 気密性の高い接合面を提供することができる接合面の加工 方法及び装置を提供することにある。

本発明は、 上記目的に鑑み、 研削砥粒による細かい条痕の方向が 接合面の輪郭形状又は外周形状に沿った方向とほぼ一致するように 、 研削工具を用いて研削を行う ようにしたことを特徴とする。

すなわち、 本発明の第 1 の態様によれば、 ワークの接合面を加工 するための方法であって、 前記接合面とほぼ平行な回転軸線を有し 、 該回転軸線まわりに回転する研削工具を準備するステップと、 前 記研削工具を加工すべきワークの接合面に押し当てるステップと、 前記接合面の輪郭形状にほぼ沿った方向に研削条痕を形成するよ う に、 前記研削工具によ り前記ワークの接合面を研削加工するステツ プとを含むよ うにしたワークの接合面を加工するための方法が提供 される。

また、 本発明の第 2の態様によれば、 ワークの接合面を加工する ための方法であって、 前記接合面とほぼ平行な回転軸線を有し、 該 回転軸線まわりに回転する研削工具を用意するステップと、 前記研 削工具を加工すべきワークの接合面に押し当てるステップと、 前記 研削工具と前記ワーク との間で前記接合面の輪郭形状にほぼ沿った 方向の相対送り を与えると共に、 前記研削工具の回転軸線の方向が 前記相対送りの方向に対してほぼ直角となるように前記研削工具又 は前記ワークの向きを制御することにより、 ワークの接合面を研削 加工するステップとを含むよ うにしたワークの接合面を加工するた めの方法が提供される。

さ らに、 本発明の第 3の態様によれば、 ワークの接合面を加工す るための装置において、 加工工具が脱着可能に取り付けられる主軸 と、 前記ワークが取り付けられるテーブルと、 前記主軸と前記テー ブルとの間で X、 Y、 Ζの直交 3軸方向の相対移動を行わせる直線 送り機構と、 前記主軸又は前記テーブルに前記 Ζ軸まわりの回転運 動である C軸方向の移動を行わせる回転送り機構と、 前記接合面と ほぼ平行な回転軸線を有しており、 前記主軸に加工工具として取り 付けられ、 前記回転軸線周りに回転する研削工具と、 前記研削工具 が前記接合面の輪郭形状にほぼ沿った方向に研削条痕を形成するよ うに、 前記直線送り機構及び前記回転送り機構を制御する数値制御 装置とを具備するようにしたワークの接合面を加工するための装置 が提供される。

また、 本発明の第 4の態様によれば、 ワークの接合面を加工する ための装置において、 加工工具が脱着可能に取り付けられる主軸と 、 前記ワークが取り付けられるテーブルと、 前記主軸と前記テープ ルとの間で X、 Υ、 Ζの直交 3軸方向の相対移動を行わせる直線送 り機構と、 前記主軸又は前記テーブルに前記 Ζ軸まわりの回転運動 である C軸方向の移動を行わせる回転送り機構と、 前記接合面とほ ぼ平行な回転軸線を有しており、 前記主軸に加工工具と して取り付 けられ、 前記回転軸線周りに回転する研削工具と、 前記研削工具と 前記ワークの接合面との間に Ζ軸方向の切り込みと、 前記接合面の 輪郭形状にほぼ沿った方向の X、 Υ軸に関する相対送りを与える と 共に、 前記研削工具の回転軸線の方向が前記相対送りの方向に対し てほぼ直角になるように前記 C軸の送り制御を行う数値制御装置と を具備するよ うにしたワークの接合面を加工するための装置が提供 される。

また、 上記の第 3、 第 4の様態の加工装置において、 前記研削ェ 具が砥石車又はベルト研削工具であることが好ましく、 前記研削ェ 具が、 前記主軸の軸心に流通する加圧流体を利用して砥石車又は研 削ベルトを回転駆動させる流体圧モータを有していることがさ らに 好ましい。

研削工具 （詳細には、 その砥粒） による研削条痕が接合面の輪郭 形状にほぼ沿って形成されれば、 例えば、 容器の内部と外部とを連 通させるような研削条痕は形成されないので、 気密性の高い接合面 が提供される。

また、 研削工具とワークの接合面との間で接合面の輪郭形状に沿 つて相対送り を与え、 接合面とほぼ平行な研削工具の回転軸線の方 向が研削工具の相対送り方向に対してほぼ直角となるように研削ェ 具をワーク接合面に対して相対移動させることによ り、 研削工具 （ 詳細には、 その砥粒） による条痕は常に接合面の輪郭形状すなわち 外周形状に沿って形成される。

主軸に取り付けられた砥石車又は研削ベルトを回転駆動させる駆 動装置と して流体圧モータを用いれば、 主軸軸心に供給される圧縮 空気などの加圧流体を動力源と して利用するこ とができるので、 外 部から別途動力を供給する必要がなくなり、 人手を介した取り付け を行う必要がなくなる。 その結果、 自動工具交換装置の利用が可能 となる。

なお、 本願における 「研削」 とは、 砥粒を利用した加工を総称す るものであり、 砥石など砥粒を備えた工具を用いた加工のみならず 、 砥粒を含んだ液体などを用いた研磨を含むものとする。 また、 Γ 接合面」 とは、 シール性を必要とする合わせ面を意味するものとす る。 さらに、 「回転する研削工具」 には、 ベルト研削工具のように 研削ベルトが円、 楕円又は長円形状の軌道に沿って移動するような 工具を含むものと し、 かかるベルト研削工具の 「回転軸線の方向」 とは研削ベルトの軌道又は砥粒の軌跡がなす円、 楕円又は長円形の 平面に対して垂直な方向を意味するものとする。 図面の簡単な説明

本発明の上述の目的及び他の目的、 特徴、 利点を以下、 添付図面 を参照して、 本発明の実施形態に基づいてよ り詳細に説明する。 添 付図面において、

図 1 は本発明による接合面の加工方法を実施するための加工装置 の一実施態様の部分斜視図、

図 2は気密性を要する接合面を有する容器の一例の斜視図、 図 3 A及び図 3 Bは図 2に示されている容器の線 A— A及び線 B 一 Bに沿った断面図、

図 4は接合面の拡大図、

図 5は図 1に示されている加工装置の概略全体図、

図 6は図 1に示されている加工装置の主軸先端に取り付けられた 工具の拡大断面図、

図 7は図 6に示されている工具の側面図である。 発明を実施するための最良の形態

最初に、 図 2を参照する と、 半導体や液晶の製造で必要とされる 真空容器の一例が示されている。 かかるワークすなわち真空容器 1 3は、 蓋部分 1 3 a と本体部分 1 3 b とに分割されており、 対向す る接合面 1 5 a、 1 5 bを有している。 使用する際には、 蓋部分 1 3 a及び本体部分 1 3 bのそれぞれの接合面 1 5 a、 1 5 bを合わ せ、 ポルト （不図示） などの締結具を用いて締結して使用する。 図 2に示されている真空容器では、 蓋部分 1 3 aの外周部分に沿って 複数の貫通孔 1 7が設けられていると共に、 本体部分 1 3 bにも貫 通孔 1 7に対応する位置に複数のネジ孔 1 9が設けられており、 蓋 部分 1 3 aの貫通孔 1 7にポルトを通して本体部分 1 3 bのネジ孔 1 9に係合させることによ り蓋部分 1 3 a と本体部分 1 3 b とを締 結させるようにしている。

かかる接合面 1 5 a、 1 5 bは、 通常、 気密性を高めるために、 研削砥粒を備えた研削工具を回転させて研削を行う研削加工を施さ れる。 しかしながら、 研削加工を行う と、 接合面 1 5 a、 1 5 bに 、 図 4において矢印 2 1、 2 3によって示されているような μ πιォ ーダのサイズの細かい条痕が形成されてしま う。 このような条痕に は真空容器の内部と外部とを連通させるものが含まれている。

したがって、 蓋部分 1 3 a と本体部分 1 3 b との間には気密性を 確保するために、 Oリ ングなどのゴムシール又はガスケッ トを介在 させることが一般的である。 図 2に示されている真空容器 1 3では 、 図 3 Aに示されているように、 蓋部分 1 3 aの接合面 1 5 aの輪 郭形状すなわち外周に沿って溝 2 5が設けられており、 その溝 2 5 に Oリ ングなどのシール部材 2 7が配置されている。 このような溝 2 5は、 例えば、 特開昭 6 0— 1 5 5 3 1 0号公報に記載されてい るような総形ヘールバイ トを用いたヘール加工によ り形成される。 一方、 対面する本体部分 1 3 bの接合面 1 5 bは図 3 Bに示されて いるように平坦な平面として形成されている。 蓋部分 1 3 aの溝 2 5に配置されたシール部材 2 7力 この平面 （接合面 1 5 b ) に当 接してボルトによる締結力で変形して、 真空容器 1 3の内部と外部 との間を遮断する。 ,しかしながら、 Οリ ングなどのシール部材 2 7が当接する本体部 分 1 3 bの接合面 1 5 bに形成された条痕 2 1、 2 3は、 μ πιォー ダのサイズであるため、 シール部材 2 7の変形によって完全に閉塞 させることが困難であり、 真空容器 1 3の内部と外部とが連通して しまい僅かに漏れが発生してしまう。

本出願人は、 上記の漏れは、 研削工具 1 1の研削砥粒による接合 面上の細かい条痕が接合面の輪郭形状すなわち外周形状に沿った方 向に形成されていないことが根本の原因であることを突きとめた。 そこで、 本発明による接合面の加工方法では、 砥粒による条痕が図 4の矢印 2 9によって示されている条痕のよ うに真空容器 1 3など のワークの接合面 1 5 a、 1 5 bの輪郭形状にほぼ沿って形成され るよ うに研削加工を行うよ うにする。

詳細には、 回転する研削工具 1 1 を加工すべきワーク 3 1 (例え ば、 真空容器 1 3 ) の接合面 1 5 ( 1 5 a、 1 5 b ) に押し当てた ときに、 砥粒が少なく とも接合面 1 5 ( 1 5 a , 1 5 b ) 上では円 運動を行わず概略直線的な 1方向のみに沿った運動を行うよ うな研 削装置を用いる。 これによ り、 研削工具 1 1 の砥粒による条痕は必 ず概略直線的で 1方向に揃ったものとなる。

さ らに、 かかる研削装置の研削工具 1 1 とワーク 3 1 との間で接 合面 1 5の輪郭形状にほぼ沿った方向の相対送り を与え、 研削工具 1 1 の回転軸線 3 3、 3 5の方向が相対送りの方向に対してほぼ直 角となるように制御する。 これによ り、 研削工具 1 1 とワーク 3 1 との接触部分においては、 研削工具 1 1の砥粒の速度ベク トルの方 向が常に研削工具 1 1 とワーク 3 1 との間の相対送りの方向と一致 するようになり、 相対移動の方向とほぼ一致する条痕 2 9のみがヮ ーク 3 1 の接合面 1 5に形成される。 すなわち、 ワーク 3 1 の接合 面 1 5の輪郭形状にほぼ沿った条痕 2 9のみが形成されるよ うにな る。

この結果、 接合面 1 5を横断して延び、 ワーク 3 1 によって隔て られる 2つの空間を連通させるような条痕.2 1、 2 3は形成されな くなり、 接合面 1 5の気密性は格段に向上する。 したがって、 シー ル部材 2 7を用いず、 ワーク 3 1 の接合面 1 5同士を直接接触させ てもシール性を確保することが可能となる。

次に、 図 5〜図 7を参照して、 本発明の接合面の加工方法を実施 するための装置の実施態様を説明する。

ワーク 3 1 と研削工具 1 1 との間で接合面の輪郭形状に沿った相 対移動を与えるために、 図 5に示されているような工作機械 3 7が 使用される。 図 5に示されている工作機械 3 7は、 コラム 3 9 と、 コラム 3 9の上部に支持されている主軸頭 4 1 と、 主軸頭 4 1 に回 転可能に支持されている加工工具が脱着可能に取り付けられる主軸 4 3 と、 コラム 3 9の下部に設けられており ワーク 3 1が取り付け られるテーブル 4 5 と、 主軸 4 3 とテーブル 4 5 との間で相対移動 を行わせる直線送り機構と、 主軸 4 3に C軸方向の移動を行わせる 回転送り機構 4 7 と、 主軸に加工工具として取り付けられる研削ェ 具 1 1 と、 直線送り機構及び回転送り機構 4 7の作動を制御する数 値制御装置 4 9 とを備えている。 ここで、 C軸方向の移動とは Z軸 まわりの回転運動を意味する。 すなわち、 図 5においては、 主軸 4 3が C軸方向に回転することになる。 図 5においては、 簡単化のた めに加工工具を簡略化して示してある。

直線送り機構は、 テーブル 4 5の下部に設けられ、 主軸 4 3 とテ 一ブル 4 5 との間に水平面内で直交する X、 Y軸方向の相対移動を 行わせる X軸送り機構 5 1及び Y軸送り機構 5 3 と、 コラム 3 9の 上部に設けられ、 主軸 4 3 とテーブル 4 5 との間に上記 X及び Y軸 に直交する Z軸方向の相対移動を行わせる Z軸送り機構 5 5 とから なり、 それぞれの作動が数値制御装置 4 9によって独立に制御され て.いる。 もちろん、 主軸 4 3又はテーブル 4 5が X、 Y、 Ζ軸の直 ¾ 3軸の移動を全て行う ように構成されていてもよい。

回転送り機構 4 7は少なく とも ± 1 8 0度の範囲で運動が可能に なっていればよく、 通常の工作機械のように主軸 4 3に高速の連続 回転を与えるように構成されている必要はない。

数値制御装置 4 9は、 研削工具 1 1 とワーク 3 1 の接合面 1 5 と の間に Ζ軸方向の切り込みと接合面 1 5の輪郭形状にほぼ沿った方 向の X、 Υ軸に関する相対送りを与える。 さらに、 数値制御装置 4 9は回転送り機構 4 7による主軸 4 3の C軸方向の作動を制御して 、 研削工具 1 1 の回転軸線 3 3、 3 5の方向がこの相対送りの方向 に対してほぼ直角となるようにする。

このような制御を行う ことによ り、 周知の工作機械を用いて本発 明による接合面の加工方法の特徴であるワーク 3 1 の接合面 1 5の 輪郭形状にほぼ沿った条痕 2 9のみを形成させ得るようになる。

図 6及び図 7は、 図 5に示されている加工工具すなわち研削工具 1 1の詳細を示している。 図 6及び図 7を参照すると、 研削工具 1 1は工具ホルダ 5 7を介して主軸 4 3に取り付けられている。

工具ホルダ 5 7は、 その一方の端部に主軸 4 3 と結合させるため のテーパシヤンク 5 9を備えており、 伝動キー 6 1 を介して主軸 4 3のテーパ穴 6 3 と結合されている。 工具ホルダ 5 7の他方の端部 にはブラケッ ト部 6 5が設けられている。 ブラケッ ト部 6 5には中 央部分に底面が平坦になっている凹部 6 7が設けられており、 この 凹部 6 7は図面の下側の端部の壁が除去されて開放した状態になつ ている。 凹部 6 7の底面には図面上の上下方向に長い細長い楕円形 状の 2つの貫通長孔 6 9が上下方向に離間して形成されている。 ま た、 開放している端部からはさらに下側すなわちヮーク 3 1側へタ ブ状部分 7 1が延びている。

凹部 6 7 とは反対側に位置するブラケッ ト部 6 5の面もまた平坦 になっており、 ここに研削工具 1 1 の駆動装置であるエアモータ 7 3が取り付けられる。 エアモータ 7 3は、 フランジ 7 4を備えてお り、 このフランジ 7 4及びブラケッ ト部 6 5の貫通長孔 6 9に取付 ポルト 7 5を貫通させた後、 取付ポルト 7 5をナツ ト 7 7 と係合さ せることによって、 エアモータ 7 3 を工具ホルダ 5 7のブラケッ ト 部 6 5に締結している。 したがって、 この貫通長孔 6 9に沿った方 向に、 ブラケッ ト部 6 5におけるエアモータ 7 3の取付位置を調節 することが可能である。

凹部 6 7内にはエアモータ 7 3 と対応する位置に ドライブプーリ 7 9が配置されている。 ドライブプーリ 7 9の直径が凹部 6 7の水 平方向の幅よ り も小さくなつていることはいうまでもない。 この ド ライブプーリ 7 9はブラケッ ト部分 6 5をはさんで反対側に配置さ れているエアモータ 7 3にカツプリ ング 8 1 を介して結合されてお り、 エアモータ 7 3によって駆動力を付与されるよ うになつている 。 ドライブプーリ 7 9は、 その回転軸線 3 3がワーク 3 1に対して 平行となるようにブラケッ ト部 6 5に支持されている。 ブラケッ ト 部 6 5には、 さ らに、 この ドライブプーリ 7 9に対して主軸 4 3か ら離れる側に離間して従動プーリ 8 3がベアリ ングなどを介して回 転可能に取り付けられている。 従動プーリ 8 3は、 その回転軸線 3 5が ドライブプーリ 7 9の回転軸線 3 3 と平行となるよ うに配置さ れている。

上記 2つのブーリ 7 9 、 8 3の間には研削ベルト 8 5がループ状 に掛けられている。 したがって、 研削ベルト 8 5は、 ドライブブー リ 7 9を介してエアモータ 7 3によ り回転駆動され、 ドライブブー リ 7 9及び従動プーリ 8 3を経て周回運動している。 なお、 エアモ ータ 7 3又はドライブプーリ 7 9の位置は、 上述したように、 貫通 長孔 6 9により固定の従動プーリ 8 3に対して上下方向に調整可能 になっているので、 研削ベルト 8 5の張力を調整することが可能で あり、 研削ベルト 8 5の交換も容易になっている。 ドライブプーリ 7 9を固定にして従動プーリ 8 3の上下方向位置を調整可能にして もよいことはもちろんである。

本願において、 研削工具 1 1 としてこのよ うな研削ベルト 8 5を 使用する場合、 研削ベルト 8 5の回転軸線とは、 ドライブプーリ 7 9及び従動ブーリ 8 3の回転軸線 3 3 、 3 5 を指すものとする。 す なわち、 研削ベルト 8 5上の砥粒が移動する方向に対して垂直な方 向を指すものとする。

工具ホルダ 5 7の中心部には工具ホルダ 5 7の長手方向にテーパ シャンク 5 9側の端部からブラケッ ト部 6 5へ向かって延びている エア通路 8 7が設けられており、 エア通路 8 7はブラケッ ト部 6 5 の近傍で半径方向に曲がって工具ホルダ 5 7の側面に開口している 。 エア通路 8 7はさらにホース 8 9を介してエアモータ 7 3に接続 されている。 このような工具ホルダ 5 7の構造及びエアモータ 7 3 の使用によ り、 主軸 4 3の中心部を通って供給される圧縮エアを利 用して研削工具 1 1 を駆動することができるようになる。 このこと は、 かかる研削工具 1 1 の交換に対して自動工具交換装置を適用す ることを可能とさせる利点を有する。

エアモータ 7 3に代えて他の種類の流体圧モータを使用し、 圧縮 エアに代えて他の種類の加圧流体を使用しても同様の利点が達成さ れる。

上述したような研削工具 1 1 を用いることによ り、 上述した加工 方法で使用するような、 回転する研削工具 1 1 を加工すべきワーク 3 1 (例えば、 真空容器 1 3 ) の接合面 1 5に押し当てたときに、 砥粒が少なく とも接合面 1 5上では円運動を行わず概略直線的な 1 方向のみに沿った運動を行う ような研削装置が実現される。 水平方 向又はワーク 3 1の接合面 1 5に対して平行に延びる回転軸線を有 する概略円筒形状の砥石車を研削工具と して使用しても同様の機能 を有する装置が実現され得る。

本発明の接合面の加工方法及び装置によれば、 接合面の研削加工 の結果形成される砥粒による条痕が接合面の輪郭形状に沿った方向 とほぼ一致して形成されるため、 真空容器の蓋部分と本体部分など の気密性を要する接合面.を接合したときの気密性が向上される。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . ワークの接合面を加工するための方法であって、

前記接合面とほぼ平行な回転軸線を有し、 該回転軸線まわりに回 転する研削工具を準備するステツプと、

前記研削工具を加工すべきワークの接合面に押し当てるステップ と、

前記接合面の輪郭形状にほぼ沿った方向に研削条痕を形成するよ うに、 前記研削工具によ り前記ワークの接合面を研削加工するステ ップとを含むことを特徴と したワークの接合面を加工するための方 法。

2 . ワークの接合面を加工するための方法であって、

前記接合面とほぼ平行な回転軸線を有し、 該回転軸線まわりに回 転する研削工具を用意するステツプと、

前記研削工具を加工すべきワークの接合面に押し当てるステップ と、

前記研削工具と前記ワークとの間で前記接合面の輪郭形状にほぼ 沿った方向の相対送り を与えると共に、 前記研削工具の回転軸線の 方向が前記相対送りの方向に対してほぼ直角となるよ うに前記研削 工具又は前記ワークの向きを制御するこ とによ り、 ワークの接合面 を研削加工するステップとを含むことを特徴と したワークの接合面 を加工するための方法。

3 . ワークの接合面を加工するための装置において、

加工工具が脱着可能に取り付けられる主軸と、

前記ワークが取り付けられるテーブルと、

前記主軸と前記テーブルとの間で X、 Y、 Ζの直交 3軸方向の相 対移動を行わせる直線送り機構と、 前記主軸又は前記テーブルに前記 Z軸まわりの回転運動である C 軸方向の移動を行わせる回転送り機構と、

前記接合面とほぼ平行な回転軸線を有しており、 前記主軸に加工 工具として取り付けられ、 前記回転軸線周りに回転する研削工具と 前記研削工具が前記接合面の輪郭形状にほぼ沿った方向に研削条 痕を形成するよ うに、 前記直線送り機構及び前記回転送り機構を制 御する数値制御装置と、

を具備するこ とを特徴と したワークの接合面を加工するための装 置。

4 . 前記研削工具が砥石車又はベルト研削工具である、 請求項 3 に記載のワークの接合面を加工するための装置。

5 . 前記研削工具が、 前記主軸の軸心に流通する加圧流体を利用 して砥石車又は研削ベルトを回転駆動させる流体圧モータを有して いる、 請求項 3に記載のワークの接合面を加工するための装置。

6 . ワークの接合面を加工するための装置において、

加工工具が脱着可能に取り付けられる主軸と、

前記ワークが取り付けられるテーブルと、

前記主軸と前記テーブルとの間で X、 Y、 Ζの直交 3軸方向の相 対移動を行わせる直線送り機構と、

前記主軸又は前記テーブルに前記 Ζ軸まわりの回転運動である C 軸方向の移動を行わせる回転送り機構と、

前記接合面とほぼ平行な回転軸線を有しており、 前記主軸に加工 工具として取り付けられ、 前記回転軸線周りに回転する研削工具と 前記研削工具と前記ワークの接合面との間に Ζ軸方向の切り込み と、 前記接合面の輪郭形状にほぼ沿った方向の X、 Υ軸に関する相 対送り を与えると共に、 前記研削工具の回転軸線の方向が前記相対 送りの方向に対してほぼ直角になるよ うに前記 C軸の送り制御を行 う数値制御装置と、

を具備することを特徴と したワークの接合面を加工するための装 置。

7 . 前記研削工具が砥石車又はベルト研削工具である、 請求項 6 に記載のワークの接合面を加工するための装置。

8 . 前記研削工具が、 前記主軸の軸心に流通する加圧流体を利用 して砥石車又は研削ベルトを回転駆動させる流体圧モータを有して いる、 請求項 6に記載のワークの接合面を加工するための装置。