JPH09277158A - ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置 - Google Patents
ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置Info
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- JPH09277158A JPH09277158A JP11529496A JP11529496A JPH09277158A JP H09277158 A JPH09277158 A JP H09277158A JP 11529496 A JP11529496 A JP 11529496A JP 11529496 A JP11529496 A JP 11529496A JP H09277158 A JPH09277158 A JP H09277158A
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- B24B19/02—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding grooves, e.g. on shafts, in casings, in tubes, homokinetic joint elements
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- G11B5/82—Disk carriers
Abstract
(57)【要約】
【課題】 一工程できめ細かな条痕パターンを形成する
ことができ、しかも、条痕パターンの交差角度を任意か
つ正確に調整することができるようにして、設備コスト
と製造コストの低廉化、磁気特性と加工精度の向上を図
ったディスクの条痕パターン形成方法及びその装置を提
供する。 【解決手段】 条痕パターン形成装置１は、ドラム２と
パッド回転体３と公転用モータ５と自転用モータ６とを
具備している。これにより、パッド回転体３に取り付け
られた研磨パッド４の中心孔４０内に、磁気ディスク２
００の情報収納面２０１が位置するように、研磨パッド
４を磁気ディスク２００に接触させた後、ドラム２とパ
ッド回転体３とを回転させることにより、研磨パッド４
が公転及び自転し、磁気ディスク２００に所望の条痕パ
ターンを形成することができる。
ことができ、しかも、条痕パターンの交差角度を任意か
つ正確に調整することができるようにして、設備コスト
と製造コストの低廉化、磁気特性と加工精度の向上を図
ったディスクの条痕パターン形成方法及びその装置を提
供する。 【解決手段】 条痕パターン形成装置１は、ドラム２と
パッド回転体３と公転用モータ５と自転用モータ６とを
具備している。これにより、パッド回転体３に取り付け
られた研磨パッド４の中心孔４０内に、磁気ディスク２
００の情報収納面２０１が位置するように、研磨パッド
４を磁気ディスク２００に接触させた後、ドラム２とパ
ッド回転体３とを回転させることにより、研磨パッド４
が公転及び自転し、磁気ディスク２００に所望の条痕パ
ターンを形成することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、所定の交差角度を
有した条痕パターンを磁気ディスクなどに形成するため
のディスクの条痕パターン形成方法及びその装置に関す
るものである。
有した条痕パターンを磁気ディスクなどに形成するため
のディスクの条痕パターン形成方法及びその装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ディスクの大容量化が進み、
将来的には、１枚に数ギガバイトの情報を格納可能な磁
気ディスクが期待されている。そして、このような大容
量，高密度の磁気ディスクでは、その磁気特性を高める
ために、図１０に示すように、線状痕の交差角度θが２
０°〜３０°の範囲の条痕パターンを形成すること好ま
しい。従来、この種の磁気ディスクの条痕パターン形成
技術としては、図１１に示すような技術がある。図１１
の（ａ）は、ポリッシング工程を示す概略平面図であ
り、図１１の（ｂ）は、ポリッシング加工した磁気ディ
スクに、条痕パターンを形成するテクスチャー工程を示
す概略図である。すなわち、図１１の（ａ）のポリッシ
ング工程において、基板面に下地膜が形成された状態の
磁気ディスク２００を、キャリア１１０のワーク保持孔
１１２に挿入する。そして、この磁気ディスク２００を
図示しない上定盤と下定盤１３０とで上下から挟み、キ
ャリア１１０をサンギア１００とインターナルギア１２
０の間で公転及び自転させる。これと同時に、上定盤と
下定盤１３０とを互いに逆方向に回転させて、磁気ディ
スク２００を研磨する。このポリッシング加工によっ
て、磁気ディスク２００の下地膜を、中心線平均粗さが
約１０Åという、ほぼ真っ平らな面に研磨する。
将来的には、１枚に数ギガバイトの情報を格納可能な磁
気ディスクが期待されている。そして、このような大容
量，高密度の磁気ディスクでは、その磁気特性を高める
ために、図１０に示すように、線状痕の交差角度θが２
０°〜３０°の範囲の条痕パターンを形成すること好ま
しい。従来、この種の磁気ディスクの条痕パターン形成
技術としては、図１１に示すような技術がある。図１１
の（ａ）は、ポリッシング工程を示す概略平面図であ
り、図１１の（ｂ）は、ポリッシング加工した磁気ディ
スクに、条痕パターンを形成するテクスチャー工程を示
す概略図である。すなわち、図１１の（ａ）のポリッシ
ング工程において、基板面に下地膜が形成された状態の
磁気ディスク２００を、キャリア１１０のワーク保持孔
１１２に挿入する。そして、この磁気ディスク２００を
図示しない上定盤と下定盤１３０とで上下から挟み、キ
ャリア１１０をサンギア１００とインターナルギア１２
０の間で公転及び自転させる。これと同時に、上定盤と
下定盤１３０とを互いに逆方向に回転させて、磁気ディ
スク２００を研磨する。このポリッシング加工によっ
て、磁気ディスク２００の下地膜を、中心線平均粗さが
約１０Åという、ほぼ真っ平らな面に研磨する。
【０００３】そして、この磁気ディスク２００を洗浄し
た後、図１１の（ｂ）に示すテクスチャー工程に移る。
この工程では、磁気ディスク２００を回転させながら、
砥粒面を磁気ディスク２００に接触させたテープ１３０
を、磁気ディスク２００の系方向に揺動させる。これに
より、図１０に示したように、線状痕の交差角度θが２
０°〜３０°の範囲の条痕パターンを形成するようにし
ている。
た後、図１１の（ｂ）に示すテクスチャー工程に移る。
この工程では、磁気ディスク２００を回転させながら、
砥粒面を磁気ディスク２００に接触させたテープ１３０
を、磁気ディスク２００の系方向に揺動させる。これに
より、図１０に示したように、線状痕の交差角度θが２
０°〜３０°の範囲の条痕パターンを形成するようにし
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
のディスクの条痕パターン形成技術では、次のような問
題がある。まず、図１０に示すような条痕パターンを形
成するまでに、ポリッシング工程と洗浄工程とテクスチ
ャー工程という多くの工程を必要とするので、その分研
磨作業に長時間を要すると共に、設備及び製造コストが
高く付く。また、テクスチャー工程において、固定砥粒
を用いたテープ１３０で磁気ディスク２００を研磨する
ので、数Åのバリや返りが磁気ディスク２００の表面に
生じ、磁気特性がさほど向上せず、しかも、加工精度が
かなり低い。
のディスクの条痕パターン形成技術では、次のような問
題がある。まず、図１０に示すような条痕パターンを形
成するまでに、ポリッシング工程と洗浄工程とテクスチ
ャー工程という多くの工程を必要とするので、その分研
磨作業に長時間を要すると共に、設備及び製造コストが
高く付く。また、テクスチャー工程において、固定砥粒
を用いたテープ１３０で磁気ディスク２００を研磨する
ので、数Åのバリや返りが磁気ディスク２００の表面に
生じ、磁気特性がさほど向上せず、しかも、加工精度が
かなり低い。
【０００５】本発明は上述した課題を解決するためにな
されたもので、一工程できめ細かな条痕パターンを形成
することができ、しかも、条痕パターンの交差角度を任
意かつ正確に調整することができるようにして、設備コ
ストと製造コストの低減化、磁気特性と加工精度の向上
を図ったディスクの条痕パターン形成方法及びその装置
を提供することを目的としている。
されたもので、一工程できめ細かな条痕パターンを形成
することができ、しかも、条痕パターンの交差角度を任
意かつ正確に調整することができるようにして、設備コ
ストと製造コストの低減化、磁気特性と加工精度の向上
を図ったディスクの条痕パターン形成方法及びその装置
を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明に係るディスクの条痕パターン形成
方法は、リング状研磨パッドの中心孔内にディスクの情
報収納面が位置するように、一以上のリング状研磨パッ
ドをディスクの情報収納面に接触させる接触過程と、上
記リング状研磨パッドを、上記ディスクの中心点の周り
で回転させる公転過程と、上記リング状研磨パッドを、
その中心点の周りで回転させる自転過程とを具備する構
成とした。かかる構成により、接触過程において、リン
グ状研磨パッドの中心孔内にディスクの情報収納面が位
置するように、リング状研磨パッドをディスクの情報収
納面に接触させ、公転過程及び自転過程において、リン
グ状研磨パッドを、ディスクの中心点の周りで回転させ
ると共に、その中心点の周りで回転させると、リング状
研磨パッドによって、線状痕が交差した条痕パターン
が、ディスクの情報収納面に形成される。そして、自転
過程において、リング状研磨パッドの自転速度を調整す
ることで、条痕パターンの交差角度を任意に設定するこ
とができる。
に、請求項１の発明に係るディスクの条痕パターン形成
方法は、リング状研磨パッドの中心孔内にディスクの情
報収納面が位置するように、一以上のリング状研磨パッ
ドをディスクの情報収納面に接触させる接触過程と、上
記リング状研磨パッドを、上記ディスクの中心点の周り
で回転させる公転過程と、上記リング状研磨パッドを、
その中心点の周りで回転させる自転過程とを具備する構
成とした。かかる構成により、接触過程において、リン
グ状研磨パッドの中心孔内にディスクの情報収納面が位
置するように、リング状研磨パッドをディスクの情報収
納面に接触させ、公転過程及び自転過程において、リン
グ状研磨パッドを、ディスクの中心点の周りで回転させ
ると共に、その中心点の周りで回転させると、リング状
研磨パッドによって、線状痕が交差した条痕パターン
が、ディスクの情報収納面に形成される。そして、自転
過程において、リング状研磨パッドの自転速度を調整す
ることで、条痕パターンの交差角度を任意に設定するこ
とができる。
【０００７】請求項２の発明は、請求項１に記載のディ
スクの条痕パターン形成方法において、３つの上記リン
グ状研磨パッドを、上記ディスクの中心点に関して点対
称に配置し、これら３つのリング状研磨パッドに対し
て、上記接触過程，公転過程，自転過程を実行する構成
とした。かかる構成により、３つのリング状研磨パッド
が、ディスクの情報収納面に接触しながら自転，公転す
るので、きめの細かい条痕パターンがディスクの情報収
納面に形成される。
スクの条痕パターン形成方法において、３つの上記リン
グ状研磨パッドを、上記ディスクの中心点に関して点対
称に配置し、これら３つのリング状研磨パッドに対し
て、上記接触過程，公転過程，自転過程を実行する構成
とした。かかる構成により、３つのリング状研磨パッド
が、ディスクの情報収納面に接触しながら自転，公転す
るので、きめの細かい条痕パターンがディスクの情報収
納面に形成される。
【０００８】請求項３の発明に係るディスクの条痕パタ
ーン形成装置は、回転可能な公転部と、上記公転部に回
転可能に取り付けられ、その先端面にリング状研磨パッ
ドが取り付けられた一以上の自転部と、上記公転部及び
自転部を回転駆動するための駆動部とを具備する構成と
した。かかる構成により、ディスクの情報収納面をリン
グ状研磨パッドに接触させ、駆動部によって、この自転
部を回転させると共に公転部を回転させると、リング状
研磨パッドによって、条痕パターンがディスクの情報収
納面に形成される。そして、自転部の回転速度を調整す
ることで、条痕パターンの交差角度を任意に設定するこ
とができる。
ーン形成装置は、回転可能な公転部と、上記公転部に回
転可能に取り付けられ、その先端面にリング状研磨パッ
ドが取り付けられた一以上の自転部と、上記公転部及び
自転部を回転駆動するための駆動部とを具備する構成と
した。かかる構成により、ディスクの情報収納面をリン
グ状研磨パッドに接触させ、駆動部によって、この自転
部を回転させると共に公転部を回転させると、リング状
研磨パッドによって、条痕パターンがディスクの情報収
納面に形成される。そして、自転部の回転速度を調整す
ることで、条痕パターンの交差角度を任意に設定するこ
とができる。
【０００９】請求項４の発明は、請求項３に記載のディ
スクの条痕パターン形成装置において、３つの上記自転
部を、上記公転部の中心点に関して点対称に取り付けた
構成としてある。かかる構成により、３つのリング状研
磨パッドが、ディスクの情報収納面に接触した状態で、
公転及び自転するので、きめの細かい条痕パターンがデ
ィスクの情報収納面に形成される。
スクの条痕パターン形成装置において、３つの上記自転
部を、上記公転部の中心点に関して点対称に取り付けた
構成としてある。かかる構成により、３つのリング状研
磨パッドが、ディスクの情報収納面に接触した状態で、
公転及び自転するので、きめの細かい条痕パターンがデ
ィスクの情報収納面に形成される。
【００１０】請求項５の発明は、請求項３または請求項
４に記載のディスクの条痕パターン形成装置において、
上記公転部は、外周面部に歯部を有し、上記自転部は、
上記公転部に回転自在に保持された軸体と、上記公転部
から露出した状態で上記軸体の一方端に取り付けられ、
その先端面に上記リング状研磨パッドが取り付けられた
パッド取付部と、上記軸体の他方端に取り付けられた歯
車とを有し、上記駆動部は、上記公転部の歯部に噛み合
う歯車を介して、上記公転部を回転させる公転用モータ
と、上記自転部の歯車と噛み合う歯車を介して、上記軸
体を回転させる自転用モータとを有する構成とした。か
かる構成により、公転用モータが、公転部の歯部に噛み
合う歯車を介して公転部を回転させると、自転部が公転
部と一体に回転する。そして、自転用モータが、自転部
の歯車と噛み合う歯車を介して軸体を回転させると、軸
体の一方端に取り付けられたパッド取付部が回転して、
その先端面のリング状研磨パッドが回転する。
４に記載のディスクの条痕パターン形成装置において、
上記公転部は、外周面部に歯部を有し、上記自転部は、
上記公転部に回転自在に保持された軸体と、上記公転部
から露出した状態で上記軸体の一方端に取り付けられ、
その先端面に上記リング状研磨パッドが取り付けられた
パッド取付部と、上記軸体の他方端に取り付けられた歯
車とを有し、上記駆動部は、上記公転部の歯部に噛み合
う歯車を介して、上記公転部を回転させる公転用モータ
と、上記自転部の歯車と噛み合う歯車を介して、上記軸
体を回転させる自転用モータとを有する構成とした。か
かる構成により、公転用モータが、公転部の歯部に噛み
合う歯車を介して公転部を回転させると、自転部が公転
部と一体に回転する。そして、自転用モータが、自転部
の歯車と噛み合う歯車を介して軸体を回転させると、軸
体の一方端に取り付けられたパッド取付部が回転して、
その先端面のリング状研磨パッドが回転する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形
態に係るディスクの条痕パターン形成装置を一部破断し
て示す側面図である。図１に示すように、本実施形態の
条痕パターン形成装置１は、公転部としてのドラム２
と、自転部としてのパッド回転体３と、公転用モータ５
と、自転用モータ６とを備えている。
て図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形
態に係るディスクの条痕パターン形成装置を一部破断し
て示す側面図である。図１に示すように、本実施形態の
条痕パターン形成装置１は、公転部としてのドラム２
と、自転部としてのパッド回転体３と、公転用モータ５
と、自転用モータ６とを備えている。
【００１２】ドラム２は、図１の右側に円板状の取付面
２０を有した円筒状体であり、筐体７によって回転可能
に支持されている。具体的には、台座７０の上に固定さ
れた筐体７の内側に、ドラム２が配置されている。そし
て、このドラム２の外周面と筐体７の内周面との間に、
複数のベアリング７１が取り付けられている。これによ
り、ドラム２は、中心線Ｌの周りで回転できるようにな
っている。また、このドラム２の外周面奥側には、歯部
２１が形成されている。そして、このようなドラム２に
３つのパッド回転体３が回転可能に取り付けられてい
る。
２０を有した円筒状体であり、筐体７によって回転可能
に支持されている。具体的には、台座７０の上に固定さ
れた筐体７の内側に、ドラム２が配置されている。そし
て、このドラム２の外周面と筐体７の内周面との間に、
複数のベアリング７１が取り付けられている。これによ
り、ドラム２は、中心線Ｌの周りで回転できるようにな
っている。また、このドラム２の外周面奥側には、歯部
２１が形成されている。そして、このようなドラム２に
３つのパッド回転体３が回転可能に取り付けられてい
る。
【００１３】各パッド回転体３は、軸体３０と歯車３１
とパッド取付部３２とで構成されている。具体的には、
軸体３０は、ドラム２の取付面２０に穿設された孔２２
からドラム２内に挿入された状態にされ、複数のベアリ
ング２３によって、回転可能に支持されている。そし
て、この軸体３０の後端部（図１の左側部）に、歯車３
１が固着され、取付面２０から突出した先端部（図１の
右側部）に、パッド取付部３２が固着されている。パッ
ド取付部３２は、円盤状体であり、その先端面には、リ
ング状の研磨パッド４が固着されている。
とパッド取付部３２とで構成されている。具体的には、
軸体３０は、ドラム２の取付面２０に穿設された孔２２
からドラム２内に挿入された状態にされ、複数のベアリ
ング２３によって、回転可能に支持されている。そし
て、この軸体３０の後端部（図１の左側部）に、歯車３
１が固着され、取付面２０から突出した先端部（図１の
右側部）に、パッド取付部３２が固着されている。パッ
ド取付部３２は、円盤状体であり、その先端面には、リ
ング状の研磨パッド４が固着されている。
【００１４】このような３つのパッド回転体３は、図２
に示すように、ドラム２の中心線Ｌを中心として、１２
０°回転の対称位置に配置されている。これにより、パ
ッド取付部３２の先端面に固着された３つの研磨パッド
４も１２０°回転対称に位置することとなる。また、こ
の研磨パッド４の内径は、図３に示すように、磁気ディ
スク２００との関係で設定されている。すなわち、研磨
パッド４の内径Ｒの大きさは、磁気ディスク２００の情
報収納面２０１の幅Ｍ以上に設定されている。
に示すように、ドラム２の中心線Ｌを中心として、１２
０°回転の対称位置に配置されている。これにより、パ
ッド取付部３２の先端面に固着された３つの研磨パッド
４も１２０°回転対称に位置することとなる。また、こ
の研磨パッド４の内径は、図３に示すように、磁気ディ
スク２００との関係で設定されている。すなわち、研磨
パッド４の内径Ｒの大きさは、磁気ディスク２００の情
報収納面２０１の幅Ｍ以上に設定されている。
【００１５】上記のような構造のドラム２とパッド回転
体３とは、図１に示すように、公転用モータ５と自転用
モータ６とによって回転することができるようになって
いる。公転用モータ５は、その回転軸５０が筐体７内に
挿入された状態で、筐体７の背面下部に取り付けられて
いる。そして、回転軸５０の先端部に歯車５１が固着さ
れ、この歯車５１がドラム２の歯部２１に噛み合わされ
ている。一方、自転用モータ６は、その回転軸６０が筐
体７内に挿入された状態で、筐体７の背面上部に取り付
けられている。そして、回転軸６０の先端部に歯車６１
が固着され、この歯車６１が３つのパッド回転体３の歯
車３１に噛み合わされている。これにより、公転用モー
タ５を駆動させると、ドラム２が回転し、３つのパッド
回転体３がドラム２と一体に中心線Ｌの周りで公転す
る。そして、自転用モータ６の駆動によって、３つのパ
ッド回転体３が自転し、各研磨パッド４が軸体３０の中
心軸の周りで回転する。
体３とは、図１に示すように、公転用モータ５と自転用
モータ６とによって回転することができるようになって
いる。公転用モータ５は、その回転軸５０が筐体７内に
挿入された状態で、筐体７の背面下部に取り付けられて
いる。そして、回転軸５０の先端部に歯車５１が固着さ
れ、この歯車５１がドラム２の歯部２１に噛み合わされ
ている。一方、自転用モータ６は、その回転軸６０が筐
体７内に挿入された状態で、筐体７の背面上部に取り付
けられている。そして、回転軸６０の先端部に歯車６１
が固着され、この歯車６１が３つのパッド回転体３の歯
車３１に噛み合わされている。これにより、公転用モー
タ５を駆動させると、ドラム２が回転し、３つのパッド
回転体３がドラム２と一体に中心線Ｌの周りで公転す
る。そして、自転用モータ６の駆動によって、３つのパ
ッド回転体３が自転し、各研磨パッド４が軸体３０の中
心軸の周りで回転する。
【００１６】図４は、本発明の一実施形態に係るディス
クの条痕パターン形成装置が適用された条痕パターン形
成システムを一部破断して示す側面図である。本システ
ムは、磁気ディスク２００の両面に条痕パターンを形成
することができるシステムであり、図４に示すように、
対向させた２台の条痕パターン形成装置１を作業台８上
に取り付け、その間に、磁気ディスク２００を保持する
ホルダー９を配置した構造になっている。
クの条痕パターン形成装置が適用された条痕パターン形
成システムを一部破断して示す側面図である。本システ
ムは、磁気ディスク２００の両面に条痕パターンを形成
することができるシステムであり、図４に示すように、
対向させた２台の条痕パターン形成装置１を作業台８上
に取り付け、その間に、磁気ディスク２００を保持する
ホルダー９を配置した構造になっている。
【００１７】図４の左側に位置する条痕パターン形成装
置１（１−１）は、図４の左右に移動することができる
ようになっている。具体的には、内部にレール８１を有
した移動台８０が、作業台８上に取り付けられており、
この移動台８０上に、条痕パターン形成装置１−１が載
置されている。そして、条痕パターン形成装置１−１の
台座７０の下に設けられたスライダ８２が、内部のレー
ル８１にスライド自在に嵌められている。また、作業台
８の下には、ピストン８４が取り付けられ、そのピスト
ンロッド８５の先端部が、台座７０に固着された連結板
８６に固着されている。これにより、条痕パターン形成
装置１−１の台座７０とピストン８４とが連結板８６を
介して連結され、ピストン８４のピストンロッド８５を
出し入れすることで、条痕パターン形成装置１−１がレ
ール８１に沿って移動するようになっている。
置１（１−１）は、図４の左右に移動することができる
ようになっている。具体的には、内部にレール８１を有
した移動台８０が、作業台８上に取り付けられており、
この移動台８０上に、条痕パターン形成装置１−１が載
置されている。そして、条痕パターン形成装置１−１の
台座７０の下に設けられたスライダ８２が、内部のレー
ル８１にスライド自在に嵌められている。また、作業台
８の下には、ピストン８４が取り付けられ、そのピスト
ンロッド８５の先端部が、台座７０に固着された連結板
８６に固着されている。これにより、条痕パターン形成
装置１−１の台座７０とピストン８４とが連結板８６を
介して連結され、ピストン８４のピストンロッド８５を
出し入れすることで、条痕パターン形成装置１−１がレ
ール８１に沿って移動するようになっている。
【００１８】一方、図４の右側に位置する条痕パターン
形成装置１（１−２）は、作業台８上に固定されてお
り、その筐体７の上面には、レール８７の一方端を支持
した支持体８８が立設されている。そして、このレール
８７の他方端が、条痕パターン形成装置１−１の筐体７
の上面に立設された支持体８８の孔８８ａに挿通されて
いる。
形成装置１（１−２）は、作業台８上に固定されてお
り、その筐体７の上面には、レール８７の一方端を支持
した支持体８８が立設されている。そして、このレール
８７の他方端が、条痕パターン形成装置１−１の筐体７
の上面に立設された支持体８８の孔８８ａに挿通されて
いる。
【００１９】ホルダー９は、上記レール８７にスライド
自在に嵌められたスライダ９０によって支持されてお
り、レール８７に沿って移動することができるようにな
っている。ホルダー９は、円形の枠９１と、枠９１の中
心に向かって進退する狭持具９２とで形成されている。
また、枠９１の上部には、研磨液を吐出させるホース９
５の先端部が嵌め込まれている。これにより、磁気ディ
スク２００を枠９１内に配置し、磁気ディスク２００の
周面部を狭持具９２によって狭持することで、磁気ディ
スク２００を枠９１内に固定させることができる。
自在に嵌められたスライダ９０によって支持されてお
り、レール８７に沿って移動することができるようにな
っている。ホルダー９は、円形の枠９１と、枠９１の中
心に向かって進退する狭持具９２とで形成されている。
また、枠９１の上部には、研磨液を吐出させるホース９
５の先端部が嵌め込まれている。これにより、磁気ディ
スク２００を枠９１内に配置し、磁気ディスク２００の
周面部を狭持具９２によって狭持することで、磁気ディ
スク２００を枠９１内に固定させることができる。
【００２０】次に、本実施形態の条痕パターン形成装置
が示す動作について説明する。なお、条痕パターン形成
装置は、その動作時に、以下のように、本発明のディス
クの条痕パターン形成方法を具体的に実行する。まず、
図４のシステムにおいて、磁気ディスク２００を枠９１
内に配置し、磁気ディスク２００の周面部を狭持具９２
で狭持する。これにより、磁気ディスク２００が枠９１
内で固定されると共に、図５に示すように、条痕パター
ン形成装置１−１，１−２のドラム２の中心線Ｌと磁気
ディスク２００の中心がほぼ一致した状態になる。この
状態で、ホルダー９を図４の右方向、即ち条痕パターン
形成装置１−２の方向に移動させ、磁気ディスク２００
の右側面を条痕パターン形成装置１−２の研磨パッド４
に接触させる。しかる後、ピストン８４を操作して、ピ
ストンロッド８５を縮め、条痕パターン形成装置１−１
をホルダー９側に移動させて、その研磨パッド４を磁気
ディスク２００の左側面に接触させる。つまり、図６に
示すように、磁気ディスク２００の両面に条痕パターン
形成装置１−１，１−２の研磨パッド４を接触させた状
態にして、条痕パターン形成装置１−１を移動台８０上
に固定する。これにより、図３に示すように、磁気ディ
スク２００の情報収納面２０１が、条痕パターン形成装
置１−１，１−２の研磨パッド４に接触した状態で、研
磨パッド４の中心孔４０内に位置する（接触過程）。
が示す動作について説明する。なお、条痕パターン形成
装置は、その動作時に、以下のように、本発明のディス
クの条痕パターン形成方法を具体的に実行する。まず、
図４のシステムにおいて、磁気ディスク２００を枠９１
内に配置し、磁気ディスク２００の周面部を狭持具９２
で狭持する。これにより、磁気ディスク２００が枠９１
内で固定されると共に、図５に示すように、条痕パター
ン形成装置１−１，１−２のドラム２の中心線Ｌと磁気
ディスク２００の中心がほぼ一致した状態になる。この
状態で、ホルダー９を図４の右方向、即ち条痕パターン
形成装置１−２の方向に移動させ、磁気ディスク２００
の右側面を条痕パターン形成装置１−２の研磨パッド４
に接触させる。しかる後、ピストン８４を操作して、ピ
ストンロッド８５を縮め、条痕パターン形成装置１−１
をホルダー９側に移動させて、その研磨パッド４を磁気
ディスク２００の左側面に接触させる。つまり、図６に
示すように、磁気ディスク２００の両面に条痕パターン
形成装置１−１，１−２の研磨パッド４を接触させた状
態にして、条痕パターン形成装置１−１を移動台８０上
に固定する。これにより、図３に示すように、磁気ディ
スク２００の情報収納面２０１が、条痕パターン形成装
置１−１，１−２の研磨パッド４に接触した状態で、研
磨パッド４の中心孔４０内に位置する（接触過程）。
【００２１】この状態で、図６に示す条痕パターン形成
装置１−１，１−２の公転用モータ５を駆動させると、
各ドラム２が回転し、磁気ディスク２００の両面に接触
した研磨パッド４が中心線Ｌの周りで公転する（公転過
程）。そして、図示しない研磨液を磁気ディスク２００
の両面に供給しながら、条痕パターン形成装置１−１，
１−２の自転用モータ６を駆動させると、６つの研磨パ
ッド４が自転する（自転過程）。これにより、きめ細か
な研磨パッド４の面によって、磁気ディスク２００の情
報収納面２０１が研磨され、図１０に示したような交差
角度を持った条痕パターンが情報収納面２０１に形成さ
れる。
装置１−１，１−２の公転用モータ５を駆動させると、
各ドラム２が回転し、磁気ディスク２００の両面に接触
した研磨パッド４が中心線Ｌの周りで公転する（公転過
程）。そして、図示しない研磨液を磁気ディスク２００
の両面に供給しながら、条痕パターン形成装置１−１，
１−２の自転用モータ６を駆動させると、６つの研磨パ
ッド４が自転する（自転過程）。これにより、きめ細か
な研磨パッド４の面によって、磁気ディスク２００の情
報収納面２０１が研磨され、図１０に示したような交差
角度を持った条痕パターンが情報収納面２０１に形成さ
れる。
【００２２】ここで、図７に基づいて、条痕パターンの
形成動作を具体的に述べる。図７において、実線で示す
研磨パッド４の一点をｐとすると、点ｐの速度ベクトル
Ｖは、研磨パッド４の公転速度ベクトルＶｓと、研磨パ
ッド４の自転速度ベクトルＶｐとの合成となる。このた
め、磁気ディスク２００の外周縁部近傍にあった点ｐは
実線で示すような螺旋を描きながら、磁気ディスク２０
０の中心孔２０２に至る。そして、点ｐは、再度、中心
孔２０２の縁から情報収納面２０１側に出てきて、二点
鎖線で示すような螺旋を描きながら磁気ディスク２００
の外周縁部に向かう。したがって、点ｐが情報収納面２
０１への接触部分であるとすると、この接触部分によっ
て、複数の交点を有した曲線状の線状痕が情報収納面２
０１に形成される。情報収納面２０１への全ての接触部
分によって、このような線状痕が形成され、網目状の条
痕パターンが情報収納面２０１上に形成されることとな
る。そして、研磨パッド４が布のような材質であるか
ら、中心線平均粗さ１０Å程度のきめ細かい条痕パター
ンが情報収納面２０１上に形成されることとなる。とこ
ろで、公転速度ベクトルＶｓの大きさは、点ｐが磁気デ
ィスク２００の中心孔２０２に近づくに応じて小さくな
る。このため、中心孔２０２に近い交点における交差角
度θ２の方が、磁気ディスク２００の外周縁部に近い交
差角度θ１よりも大きくなるが、条痕パターンの交差角
度は交差角度θ１で決定される。したがって、この交差
角度θ１が２０°〜３０°になるように、自転用モータ
６の回転速度を予め設定しておく。そして、この交差角
度θ１が２０°〜３０°以外の場合には、自転用モータ
６の回転速度を調整して、研磨パッド４の自転速度ベク
トルＶｐの大きさを変化させる。これにより、交差角度
θ１の大きさがこの自転速度ベクトルＶｐの大きさに応
じて変化するので、自転用モータ６の回転速度を調整す
ることで、交差角度θ１の大きさを２０°〜３０°以内
に調整することができる。
形成動作を具体的に述べる。図７において、実線で示す
研磨パッド４の一点をｐとすると、点ｐの速度ベクトル
Ｖは、研磨パッド４の公転速度ベクトルＶｓと、研磨パ
ッド４の自転速度ベクトルＶｐとの合成となる。このた
め、磁気ディスク２００の外周縁部近傍にあった点ｐは
実線で示すような螺旋を描きながら、磁気ディスク２０
０の中心孔２０２に至る。そして、点ｐは、再度、中心
孔２０２の縁から情報収納面２０１側に出てきて、二点
鎖線で示すような螺旋を描きながら磁気ディスク２００
の外周縁部に向かう。したがって、点ｐが情報収納面２
０１への接触部分であるとすると、この接触部分によっ
て、複数の交点を有した曲線状の線状痕が情報収納面２
０１に形成される。情報収納面２０１への全ての接触部
分によって、このような線状痕が形成され、網目状の条
痕パターンが情報収納面２０１上に形成されることとな
る。そして、研磨パッド４が布のような材質であるか
ら、中心線平均粗さ１０Å程度のきめ細かい条痕パター
ンが情報収納面２０１上に形成されることとなる。とこ
ろで、公転速度ベクトルＶｓの大きさは、点ｐが磁気デ
ィスク２００の中心孔２０２に近づくに応じて小さくな
る。このため、中心孔２０２に近い交点における交差角
度θ２の方が、磁気ディスク２００の外周縁部に近い交
差角度θ１よりも大きくなるが、条痕パターンの交差角
度は交差角度θ１で決定される。したがって、この交差
角度θ１が２０°〜３０°になるように、自転用モータ
６の回転速度を予め設定しておく。そして、この交差角
度θ１が２０°〜３０°以外の場合には、自転用モータ
６の回転速度を調整して、研磨パッド４の自転速度ベク
トルＶｐの大きさを変化させる。これにより、交差角度
θ１の大きさがこの自転速度ベクトルＶｐの大きさに応
じて変化するので、自転用モータ６の回転速度を調整す
ることで、交差角度θ１の大きさを２０°〜３０°以内
に調整することができる。
【００２３】このように、本実施形態の条痕パターン形
成装置によれば、回転する研磨パッド４を磁気ディスク
２００に接触させて、条痕パターンを形成するので、中
心線平均粗さ１０Å程度のきめ細かい条痕パターンを得
ることができ、この結果、磁気ディスク２００の磁気特
性の向上を図ることができると共に、ポリッシング工程
とテクスチャー工程とを一工程で達成することができ、
設備コスト及び製造コストの低減化を図ることができ
る。また、自転用モータ６の回転速度を変化させること
で、条痕パターンの交差角度を所望の大きさに調整する
ことができるので、磁気ディスク２００の加工精度の向
上を図ることができる。
成装置によれば、回転する研磨パッド４を磁気ディスク
２００に接触させて、条痕パターンを形成するので、中
心線平均粗さ１０Å程度のきめ細かい条痕パターンを得
ることができ、この結果、磁気ディスク２００の磁気特
性の向上を図ることができると共に、ポリッシング工程
とテクスチャー工程とを一工程で達成することができ、
設備コスト及び製造コストの低減化を図ることができ
る。また、自転用モータ６の回転速度を変化させること
で、条痕パターンの交差角度を所望の大きさに調整する
ことができるので、磁気ディスク２００の加工精度の向
上を図ることができる。
【００２４】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変
形や変更が可能である。例えば、本実施形態では、３つ
のパッド回転体３をドラム２に取り付けた構成とした
が、２つ又は１つのパッド回転体３を取り付けた構成と
しても良い。但し、この場合においても、図８及び図９
に示すように、研磨パッド４の内径を情報収納面２０１
の幅以上に設定し、研磨実行時には、情報収納面２０１
が研磨パッド４の中心孔４０内に位置するように、研磨
パッド４を磁気ディスク２００に接触させる。また、本
実施形態では、磁気ディスク２００の条痕パターンの交
差角度を２０°〜３０°以内にするようにしたが、これ
に限定されるものではない。磁気特性等の面から最適な
交差角度を持った条痕パターンを形成することができる
ことは勿論である。さらに、本実施形態では、条痕パタ
ーンを形成するディスクとして、磁気ディスク２００を
用いたが、磁気ディスクだけでなく、各種のディスクに
適用することができることは勿論である。
るものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変
形や変更が可能である。例えば、本実施形態では、３つ
のパッド回転体３をドラム２に取り付けた構成とした
が、２つ又は１つのパッド回転体３を取り付けた構成と
しても良い。但し、この場合においても、図８及び図９
に示すように、研磨パッド４の内径を情報収納面２０１
の幅以上に設定し、研磨実行時には、情報収納面２０１
が研磨パッド４の中心孔４０内に位置するように、研磨
パッド４を磁気ディスク２００に接触させる。また、本
実施形態では、磁気ディスク２００の条痕パターンの交
差角度を２０°〜３０°以内にするようにしたが、これ
に限定されるものではない。磁気特性等の面から最適な
交差角度を持った条痕パターンを形成することができる
ことは勿論である。さらに、本実施形態では、条痕パタ
ーンを形成するディスクとして、磁気ディスク２００を
用いたが、磁気ディスクだけでなく、各種のディスクに
適用することができることは勿論である。
【００２５】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、リング状研磨パッドをディスクの中心点の周りで
公転させると共に自転させることで、所定交差角度の条
痕パターンをディスクの情報収納面に形成する構成であ
るので、きめの細かい条痕パターンを形成することがで
き、ポリッシングなどの研磨工程を省くことができる。
この結果、設備コストと製造コストの低減化を図ること
ができるという優れた効果がある。しかも、リング状研
磨パッドの自転速度を調整することで、条痕パターンの
交差角度を任意かつ正確に設定することができるので、
ディスクの加工精度を向上させることができる。
れば、リング状研磨パッドをディスクの中心点の周りで
公転させると共に自転させることで、所定交差角度の条
痕パターンをディスクの情報収納面に形成する構成であ
るので、きめの細かい条痕パターンを形成することがで
き、ポリッシングなどの研磨工程を省くことができる。
この結果、設備コストと製造コストの低減化を図ること
ができるという優れた効果がある。しかも、リング状研
磨パッドの自転速度を調整することで、条痕パターンの
交差角度を任意かつ正確に設定することができるので、
ディスクの加工精度を向上させることができる。
【００２６】また、点対称に位置された３つのリング状
研磨パッドを、公転及び自転させるようにすることで、
さらにきめ細かい条痕パターンをディスクの情報収納面
に形成することができるので、ディスクの磁気特性など
の特性向上を図ることができるという効果がある。
研磨パッドを、公転及び自転させるようにすることで、
さらにきめ細かい条痕パターンをディスクの情報収納面
に形成することができるので、ディスクの磁気特性など
の特性向上を図ることができるという効果がある。
【００２７】さらに、ディスクの条痕パターン形成装置
を、外周面部に歯部を有した公転部と、軸体，リング状
研磨パッドが取り付けられたパッド取付部，及び歯車と
でなる自転部と、これら公転部及び自転部を回転させる
公転用及び自転用モータという簡単な部材で構成したの
で、安価な条痕パターン形成装置を提供することができ
るという効果がある。
を、外周面部に歯部を有した公転部と、軸体，リング状
研磨パッドが取り付けられたパッド取付部，及び歯車と
でなる自転部と、これら公転部及び自転部を回転させる
公転用及び自転用モータという簡単な部材で構成したの
で、安価な条痕パターン形成装置を提供することができ
るという効果がある。
【図１】本発明の一実施形態に係るディスクの条痕パタ
ーン形成装置を一部破断して示す側面図である。
ーン形成装置を一部破断して示す側面図である。
【図２】３つのパッド回転体の配置状態を示す正面図で
ある。
ある。
【図３】研磨パッドの内径設定を示す概略図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るディスクの条痕パタ
ーン形成装置が適用された条痕パターン形成システムを
一部破断して示す側面図である。
ーン形成装置が適用された条痕パターン形成システムを
一部破断して示す側面図である。
【図５】ドラムの中心線と磁気ディスクの中心との一致
状態を示す概略斜視図である。
状態を示す概略斜視図である。
【図６】磁気ディスク両面に条痕パターン形成装置の研
磨パッドを接触させた状態を示す側面図である。
磨パッドを接触させた状態を示す側面図である。
【図７】条痕パターンの形成状態を示す概略平面図であ
る。
る。
【図８】第１変形例を示す概略平面図である。
【図９】第２変形例を示す概略平面図である。
【図１０】条痕パターンの交差角度を示す概略平面図で
ある。
ある。
【図１１】従来の磁気ディスクの条痕パターン形成技術
を示す概略平面図であり、図１１の（ａ）は、ポリッシ
ング工程を示し、図１１の（ｂ）は、テクスチャー工程
を示す。
を示す概略平面図であり、図１１の（ａ）は、ポリッシ
ング工程を示し、図１１の（ｂ）は、テクスチャー工程
を示す。
１・・・条痕パターン形成装置、 ２・・・ドラム、
３・・・パッド回転体、 ４・・・研磨パッド、 ５・
・・公転用モータ、 ６・・・自転用モータ、２０・・
・取付面、 ２１・・・歯部、 ２２・・・孔、 ２３
・・・ベアリング、 ３０・・・軸体、 ３１，５１，
６１・・・歯車、 ３２・・・パッド取付部、 ２００
・・・磁気ディスク。
３・・・パッド回転体、 ４・・・研磨パッド、 ５・
・・公転用モータ、 ６・・・自転用モータ、２０・・
・取付面、 ２１・・・歯部、 ２２・・・孔、 ２３
・・・ベアリング、 ３０・・・軸体、 ３１，５１，
６１・・・歯車、 ３２・・・パッド取付部、 ２００
・・・磁気ディスク。
Claims (5)
- 【請求項１】 リング状研磨パッドの中心孔内にディス
クの情報収納面が位置するように、一以上のリング状研
磨パッドをディスクの情報収納面に接触させる接触過程
と、 上記リング状研磨パッドを、上記ディスクの中心点の周
りで回転させる公転過程と、 上記リング状研磨パッドを、その中心点の周りで回転さ
せる自転過程と、 を具備することを特徴とするディスクの条痕パターン形
成方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載のディスクの条痕パター
ン形成方法において、 ３つの上記リング状研磨パッドを、上記ディスクの中心
点に関して点対称に配置し、 これら３つのリング状研磨パッドに対して、上記接触過
程，公転過程，自転過程を実行する、 ことを特徴とするディスクの条痕パターン形成方法。 - 【請求項３】 回転可能な公転部と、 上記公転部に回転可能に取り付けられ、その先端面にリ
ング状研磨パッドが取り付けられた一以上の自転部と、 上記公転部及び自転部を回転駆動するための駆動部と、 を具備することを特徴とするディスクの条痕パターン形
成装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載のディスクの条痕パター
ン形成装置において、 ３つの上記自転部を、上記公転部の中心点に関して点対
称に取り付けた、 ことを特徴とするディスクの条痕パターン形成装置。 - 【請求項５】 請求項３または請求項４に記載のディス
クの条痕パターン形成装置において、 上記公転部は、外周面部に歯部を有し、 上記自転部は、上記公転部に回転自在に保持された軸体
と、上記公転部から露出した状態で上記軸体の一方端に
取り付けられ、その先端面に上記リング状研磨パッドが
取り付けられたパッド取付部と、上記軸体の他方端に取
り付けられた歯車とを有し、 上記駆動部は、上記公転部の歯部に噛み合う歯車を介し
て、上記公転部を回転させる公転用モータと、上記自転
部の歯車と噛み合う歯車を介して、上記軸体を回転させ
る自転用モータとを有する、 ことを特徴とするディスクの条痕パターン形成装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11529496A JPH09277158A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置 |
| US08/703,104 US5690542A (en) | 1996-04-15 | 1996-08-26 | Disc streak pattern forming method and apparatus |
| MYPI96004070A MY133648A (en) | 1996-04-15 | 1996-10-02 | Disc streak pattern forming method and apparatus |
| SG1996010912A SG49347A1 (en) | 1996-04-15 | 1996-10-19 | Disc streak pattern forming method and apparatus |
| KR1019970014368A KR100249960B1 (ko) | 1996-04-15 | 1997-04-15 | 디스크 조흔패턴 형성방법 및 그 장치 |
| US08/866,750 US5800253A (en) | 1996-04-15 | 1997-05-30 | Disc streak pattern forming method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11529496A JPH09277158A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09277158A true JPH09277158A (ja) | 1997-10-28 |
Family
ID=14659094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11529496A Pending JPH09277158A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5690542A (ja) |
| JP (1) | JPH09277158A (ja) |
| KR (1) | KR100249960B1 (ja) |
| MY (1) | MY133648A (ja) |
| SG (1) | SG49347A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09277158A (ja) * | 1996-04-15 | 1997-10-28 | Speedfam Co Ltd | ディスクの条痕パターン形成方法及びその装置 |
| KR100264228B1 (ko) | 1996-05-10 | 2000-12-01 | 미다라이 후지오 | 화학 기계 연마 장치 및 방법 |
| US7088726B1 (en) * | 1996-07-04 | 2006-08-08 | Hitachi, Ltd. | Translator for IP networks, network system using the translator, and IP network coupling method therefor |
| TW358764B (en) * | 1997-07-07 | 1999-05-21 | Super Silicon Crystal Res Inst | A method of double-side lapping a wafer and an apparatus therefor |
| JPH11254314A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-21 | Speedfam Co Ltd | ワーク面加工装置 |
| US5954569A (en) * | 1998-05-15 | 1999-09-21 | Cd Rom, Inc. | Security device for removing the information bearing layer and data of a compact disc |
| US6039637A (en) * | 1998-05-15 | 2000-03-21 | Cd-Rom Usa, Inc. | Security device for destroying the information bearing layer and data of a compact disc |
| US6676496B2 (en) * | 1999-03-09 | 2004-01-13 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for processing semiconductor wafers |
| US6155913A (en) * | 1999-04-12 | 2000-12-05 | Chartered Semiconductor Manuf. Ltd. | Double polishing head |
| JP3829239B2 (ja) * | 1999-09-24 | 2006-10-04 | 信越半導体株式会社 | 薄板円板状ワークの両面研削方法および装置 |
| US6602121B1 (en) * | 1999-10-28 | 2003-08-05 | Strasbaugh | Pad support apparatus for chemical mechanical planarization |
| WO2001075868A1 (fr) * | 2000-03-31 | 2001-10-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Disque de verre et procede de production d'un disque magnetique mettant en oeuvre ledit disque de verre |
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