JP3725430B2 - 電極およびプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電極および載置台、プラズマ処理装置、並びに電極および載置台の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体ウエハに対して、エッチング、CVD(Chemical Vapor Deposition)或いはスパッタリング等の所定の処理を施す枚葉式の処理装置としてプラズマ処理装置が知られている。
【0003】
この種のプラズマ処理装置においては、半導体ウエハを真空引き可能になされた処理容器内の載置台上に載置して比較的高温下にて、各種の処理を施すが、処理を行なっている間、ウエハを位置ずれしないように保持することが必要であり、このために一般的に静電チャックが用いられている。
【0004】
ここで従来の一般的なプラズマ処理装置について説明する。図11は従来の一般的なプラズマ処理装置を示す概略構成図であり、真空引き可能になされた処理容器2内には、下部電極を兼ねる載置台4が設置されている。この載置台4は、例えばシースヒータのような加熱ヒータ6が絶縁状態で埋設されている。具体的には、上記加熱ヒータ6を例えばアルミニウム等により鋳込むことによりこれを埋設している。そして、このアルミニウム製の載置台4の上面に、静電チャッキング用のチャック電極をセラミックス材に埋設してなるセラミック製の静電チャック8を接着剤により接合して設けており、この上面に半導体ウエハWを静電力により吸着保持するようになっている。
【0005】
また、処理容器2の天井部には、上記載置台4と対向させて上部電極10が設けられている。この上部電極10内にも、例えばシースヒータのような加熱ヒータ12が、アルミニウム等により鋳込むことにより埋設されている。そして、この上部電極10に、プラズマ発生用の高周波電圧を印加するための高周波電源14が接続されており、この上部電極10と下部電極である載置台4との間にプラズマを発生させてウエハWに対して所定の処理を施すようになっている。
【0006】
ところで、半導体ウエハの処理温度が比較的低い場合、例えば処理温度が略200℃以下の場合にはそれ程問題は生じなかったが、成膜速度等の処理速度を上げるためや膜質の改善のために、処理温度を、例えば300〜400℃程度まで上昇させることが要請されてきている。
【0007】
このような高温域になると、例えば上記上部電極10に関しては、処理時の昇降温による熱伸縮量、熱応力がかなり大きなものとなり、これに起因して電極自体に反りや撓みが発生してプラズマ発生用の高周波伝播が不均一になるなどの問題が発生する場合があった。また、この上部電極10の下面にガス供給用のシャワーヘッド部を密接して取り付ける場合もあるが、上記した理由によりこのシャワーヘッド部に割れが発生する場合もあった。
【0008】
また、載置台4に関しては、接着剤の耐熱限度を超えて静電チャック8が剥がれたり、或いは上記したような熱伸縮、熱応力の発生に伴って反りや撓みが発生する外に、載置台4を構成するアルミニウムと静電チャック8を構成するセラミックスとの線膨張係数の差に起因して、静電チャック8自体が割れてしまうなどの問題も発生する場合があった。
【0009】
特に、ウエハサイズが6インチ、8インチから12インチへと大型化するに従って、熱伸縮量もその分大きくなり、上記した問題点の早期解決が望まれている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものであり、本発明の目的は、電極の反りや撓みの発生を抑制することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明による電極は、面状に配置された加熱ヒータと、この加熱ヒータの配置面と略平行に加熱ヒータと並んで設けられた芯金板とを母材金属で鋳込んで形成される。このため、芯金板により電極が補強され、反りや撓みの発生を抑制することが可能となる。芯金板には、複数の母材金属連通孔を形成することが好適である。こうすれば母材金属連通孔を介して母材金属が結合されるので、電極全体の強度を一層向上させることが可能となる。
【0012】
電極には、母材金属の下面に、ガスを供給するためのシャワーヘッド部が設けられていてもよい。この場合も、上述のように電極自体に反りや撓みが発生しにくいため、シャワーヘッド部の割れや剥がれを防止することができる。
【0013】
電極には高周波電圧を印加することができ、この場合には、電極の歪みが抑制されているため高周波を均一に伝播させることが可能となる。
【0014】
上述した特徴を有する電極を用いてプラズマ処理装置を構成することができる。この場合、電極の熱伸縮に伴う変形を抑制できるので、高温処理時にも安定して面内均一性の高い処理を行なうことができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に、参考例および本発明の実施例に係る電極、参考例に係る載置台、参考例および本発明の実施例に係るプラズマ処理装置及びこれらの製造方法を添付図面に基づいて詳述する。
【0016】
図1は一参考例に係る電極および載置台が組み込まれたプラズマ処理装置を示す構成図、図2は図1中の上部電極の製造方法を説明するための説明図、図3はアルミニウム中のSiCの含有量と線膨張係数との関係を示すグラフである。
【0017】
図1に示すように、このプラズマ処理装置20は、例えばアルミニウムよりなる円筒体状の処理容器22を有しており、この側部には被処理体である半導体ウエハWを処理容器22内へ搬入搬出する際に開閉されるゲートバルブ34が設けられると共に、底部には、図示しない真空ポンプ等を介設した真空排気系に接続された排気口36が設けられており、処理容器22内を真空引き可能としている。この処理容器22の内部には、被処理体である半導体ウエハWを載置して保持するための載置台24が設けられている。この載置台24は、下部電極としても機能するものである。この載置台24は、載置台本体26とこの上面に接合される静電チャック28とよりなり、この載置台本体26の下部より下方に延びる支持部30は、処理容器22の底部に対して絶縁部材32を介して貫通して設けられており、これにより、載置台24の全体を支持している。
【0018】
この載置台本体26には、内部に直径が10mm程度の例えばシースヒータ等を渦巻状に巻回してなる平面状の下側加熱ヒータ38が埋め込まれて設置されている。この下側加熱ヒータ38は、例えばニッケル・クロム合金よりなる中心部の発熱体38Aとこの周囲を被う例えばマグネシア(Mg2O3)よりなる絶縁体38Bにより構成されている。
【0019】
そして、この加熱ヒータ38を上下より挟み込むように載置台用の上側セラミックス金属複合体40Aと下側セラミックス金属複合体40Bが配置して設けられており、全体は純粋なアルミニウム金属により被われている。これらのセラミックス金属複合体40A、40Bは、例えばアルミニウム等の金属と、セラミックス、例えばSiC(炭化珪素)、AlN(窒化アルミ)、Al2O3(アルミナ)等との複合体である。この場合、アルミニウムとセラミックスとの混合比を適宜選択することにより、一定の範囲内で所望の線膨張係数のセラミックス金属複合体40A、40Bに設定されている。
【0020】
そして、この上側セラミックス金属複合体40Aの上面はアルミニウムに被われることなく露出されており、この表面に、半導体ウエハWを吸着保持するためのセラミック製の上記静電チャック28が耐熱性に優れる例えばアルミニウムろう剤44により接合されている。この場合、板、箔状、ペースト状或いは粉末状のろう剤を用いればよい。この静電チャック28は、チャック電極46をセラミック材により埋設することにより形成されており、このセラミック材としてはSiC、AlN、Al2O3等を用いることができる。
【0021】
ここで重要な点は、熱伸縮量の差を吸収するために上記静電チャック28の線膨張係数と上記載置台用の上側セラミックス金属複合体40Aの線膨張係数とが略同一になるように設定されていることである。
【0022】
例えば静電チャック28のセラミック材としてAlNを用い、セラミックス金属複合体40AとしてAl−SiC複合体を用いた場合には、AlNの線膨張係数は略4.5×10−6K−1程度であるので、上側セラミックス金属複合体40Aの線膨張係数を上記と同じ略4.5×10−6K−1程度に設定する。
【0023】
具体的には、Alの線膨張係数は略23.5×10−6K−1程度であり、SiCの線膨張係数は略3.5×10−6K−1程度であるので、両者の混合比に応じてAl−SiC複合体の線膨張係数は図3に示すように変化する。従って、複合体の線膨張係数が略4.5×10−6K−1にするにはSiCの含有率(体積百分率)を略83%程度に設定する。このような複合体を用いることにより、AlN製の静電チャック28とAl−SiC上側セラミックス金属複合体40Aとの線膨張係数が略同一となるように設定する。尚、下側セラミックス金属複合体40Bの線膨張係数も上記した数値と略同一になるように設定すればよい。
【0024】
また、他の一例として静電チャック28のセラミックス材として線膨張係数が略7.8×10−6K−1程度のAl2O3を用いた場合には、図3に示すグラフより、SiCの含有率(体積百分率)が略75%のAl−SiC複合体を用いることにより、線膨張係数が同じ7.8×10−6K−1の上側セラミックス金属複合体40Aとすることができる。
【0025】
上述したような線膨張係数4.5×10−6K−1のセラミックス金属複合体40A、40Bは、以下のようにして作ることができる。例えば図2に示すように所定の内部形状を有する鋳型48内に、巻回された下側加熱ヒータ38と所定の気孔率、ここでは略17%の気孔率の2つの多孔質SiCブロック(多孔質セラミックス)50、52を図示しない支持部材で固定し、この中に母材金属として溶融アルミニウムを流し込んで多孔質SiCブロック50、52中に溶融アルミニウムを含浸させる。尚、54はガス抜き孔である。これにより、セラミックス複合体40A、40Bを形成すると同時に、これらと下部加熱ヒータ38とをアルミニウム中に鋳込んで一体化することができる。
【0026】
また、線膨張係数7.8×10−6K−1のセラミックス金属複合体を得るためには、気孔率が略25%の2つの多孔質ブロックを用いればよい。更に、セラミックス材としてアルミナを用いる場合には、繊維状アルミナを用いて、これを上記した多孔質ブロック体50、52に代えて鋳型48内に設置すればよい。
【0027】
更には、上記したアルミニウムの含浸法として成形時に鋳型48内を加圧してプリフォームたるセラミックスの中にAlを含浸しやすくし、一方、鋳型48の中に残留している気泡を外部へ放出しやすくすることが可能な高圧鋳造法、溶湯鍛造法や鋳型48内を減圧にしてAlをプリフォームたるセラミックスの中に含浸しやすくする減圧鋳造法も適用することができる。
【0028】
図1に戻って、以上のように構成された載置台24の下側加熱ヒータ38にはリード線56を介して電力が供給され、また、静電チャック28のチャック電極46には、リード線58を介して直流電圧源60が接続されており、ウエハ吸着のための吸着力を発生するようになっている。
【0029】
更には、この載置台24には、マッチング回路62を介してバイアス用高周波電源64が接続されており、プラズマ処理時に載置台24の表面にイオンシースが発生することを抑制するようになっている。尚、このバイアス用高周波電源64は必要に応じて設ければよい。
【0030】
一方、上記載置台24に対向する処理容器天井部には、上部電極70が設けられている。具体的には、この上部電極70は上述した下部電極である載置台24と略同様な内部構造をしており、上部電極70には、内部に直径が10mm程度の例えばシースヒータ等の渦巻状に巻回してなる平面上の上側加熱ヒータ72が埋め込まれている。この上側加熱ヒータ72も例えばニッケル・クロム合金よりなる中心部の発熱体72Aとこの周囲を被うように例えばマグネシア(Mg2O3)よりなる絶縁体72Bにより構成されている。
【0031】
そして、この加熱ヒータ72を上下より挟み込むように厚さが共に5〜10mm程度の上部電極用の上側セラミックス金属複合体74Aと下側セラミックス金属複合体74Bが配置して設けられており、全体は純粋なアルミニウム金属により被われている。
【0032】
これらのセラミックス金属複合体74A、74Bも、先の複合体40A、40Bと同様に、アルミニウム等の金属とセラミックス、例えばSiC、AlN、Al2O3等との複合体である。このセラミックス金属複合体74A、74Bの製造方法も、先に図2で説明したような含浸法を用いることができる。そして、上記上側加熱ヒータ72にはリード線82を介して加熱用電力を投入できるようになっている。
【0033】
この上部電極70は、絶縁部材76を介して容器天井部に取り付け支持されており、この上部電極70には、マッチング回路78を介して、例えば13.56MHzの高周波を発生するプラズマ発生用高周波電源80が接続されている。
【0034】
また、この上部電極70の下部には、例えばアルミニウム製のシャワーヘッド部84が図示しないネジ等により接合されており、このシャワーヘッド部84の下面は、多数のガス孔86を有するシリコン製のガス噴射面88として形成されて、このガス孔86より処理空間に向けて所定のガスを供給し得るようになっている。
【0035】
次に、以上のように構成された本参考例の動作について説明する。
まず、図示しない搬送アームに支持された未処理の半導体ウエハWを、開放されているゲートバルブ34を介して処理容器22内へ搬入し、これを載置台24上に載置し、直流電圧源60をONとすることにより発生する静電チャック28の吸着力によりウエハWを吸着保持させる。
【0036】
次に、上部電極70の上側加熱ヒータ72及び載置台24の下側加熱ヒータ38によりウエハWを所定のプロセス温度まで昇温し、そして、上部電極70の下面に設けたシャワーヘッド部84のガス孔86から例えばSiH4、SiF4、酸素等の成膜ガスを流量制御しつつ処理空間へ導入する。そして、処理容器22内を所定のプロセス圧力に維持すると共に、13.56MHzのプラズマ発生用高周波電圧を上部電極70に印加すると共に、載置台24にはバイアス用高周波電圧を印加する。
【0037】
上記プラズマ発生用の高周波電圧を上部電極70に印加することにより、プラズマ化されて活性化された成膜ガスが反応し、ウエハ表面に例えばSiOF等の成膜を施すことになる。
【0038】
ここで、プロセス温度は、従来のプロセス温度よりも高い300〜400℃程度の高温域で行なわれるので、プロセスの繰り返しにより上部電極70及び載置台24には、大きな繰り返し熱応力が付加されることになる。
【0039】
この場合、上部電極70に関しては、上側加熱ヒータ72を挟むようにして上部電極用の上下側セラミックス金属複合体74A、74Bにより鋳込まれているので、この上部電極70の全体の強度が増しており、この上部電極70に反りや撓みが発生することを防止することができる。特に、加熱ヒータ72を挟んで2枚の複合体74A、74Bを埋め込んでいることから、それぞれが同等の寸法で熱伸縮するので上部電極70の厚み方向に大きな熱応力がかかることもなく、この点より反りや撓みの発生を大幅に抑制することが可能となる。
【0040】
従って、上部電極70の歪みに起因して発生していた高周波伝播の不均一性もなくすことができ、均一なプラズマを生成することが可能となるばかりか、シャワーヘッド部84の割れも防止することが可能となる。
【0041】
一方、載置台24に関しては、この場合にも、下側加熱ヒータ38の上下側を載置台用の上下側セラミックス金属複合体40A、40Bにより挟み込むようにしたので、載置台24自体の強度を向上させることができ、その結果、熱伸縮に伴って熱応力が発生してもこの反りや変形等を防止することが可能となる。特に、セラミック製の静電チャック28とこれが接合される上側セラミックス金属複合体40Aとの線膨張係数が略同じになるように設定されているので、昇降温に伴って両者が熱伸縮してもその熱伸縮量は略同じになるので、両者間に大きな熱応力が加わることを防止でき、従って、静電チャック28が割れたり、剥がれたりすることを防止することができる。
【0042】
また、この静電チャック28は、耐熱性の高いろう剤により上側セラミックス金属複合体40Aの表面に接合されているので、300〜400℃程度の高温処理にも耐えることができ、この点よりも、静電チャック28が剥がれることを防止することができる。
【0043】
また、セラミックス金属複合体を内部に埋め込んだ載置台24や上部電極70は、図2を用いて説明したように、含浸法により加熱ヒータも含めて一気に作ることができるので、簡単に且つ容易に工程数も少なく製造することが可能である。
【0044】
尚、上記参考例では、上部電極70においては、上下側セラミックス金属複合体74A、74B間を、上側加熱ヒータ72の直径よりも僅かに大きな距離だけ離間させた状態で埋め込んだが、これに限定されず、図4に示すように両複合体74A、74Bを接合したような状態とし、上側加熱ヒータ72を複合体内に完全に埋め込むようにしてもよい。この場合には、両複合体74A、74Bの間にAlが略単独では存在しない状態となるためこの部位での熱応力の発生はより抑制可能となるので、この部位の反りや撓みを一層抑制することができる。
【0045】
本発明の実施例が図5及び図6に示されている。この実施例では、上部電極70内に上記した複合体74A、74Bを一切設けず、図5及び図6に示すように、厚さが1〜2mm程度の非常に薄い剛性の高い円板状の芯金板90を上側加熱ヒータ72と平行に並べて埋め込まれている。図6は芯金板90の平面図であり、この芯金板90は、母材金属であるアルミニウムより軟化点が高くて剛性も高い例えばステンレス等の金属板を用いる。そして、この芯金板90には、直径が0.1〜10mm程度の多数の母材金属連通孔92が形成されており、従って、溶融アルミニウムで鋳込むと、この連通孔92を介して上下のアルミニウムが結合することになる。
【0046】
この実施例の場合にも、芯金板90により上部電極70が補強されるので、この反りや撓みの発生を抑制することが可能となる。
【0047】
また、この場合、芯金板90と母材金属のアルミニウムとの線膨張率係数が異なることから、両者の界面が剥離することも考えられるが、母材金属連通孔92を介して上下のアルミニウムが結合しており、しかも芯金板90は非常に薄くて与える熱伸縮の影響は非常に少ないので、芯金板90と母材金属のアルミニウムの界面が剥離することもない。また、この芯金板90は、熱伝導性も良好なので、上部電極70を迅速に加熱することもできる。
【0048】
また、この芯金板90は、上側加熱ヒータ72を挟み込むようにこの上下に2枚設けるようにしてもよい。これによれば、上部電極70の上部側と下部側との熱伸縮差を小さくできるので、発生する熱応力をより抑制することができる。
【0049】
また、上記参考例の載置台24においては、上下側セラミックス金属複合体40A、40B間を、下側加熱ヒータ38の直径よりも僅かに大きな距離だけ離間させた状態で埋め込んだが、これに限定されず、図7に示すように両複合体40A、40Bを接合したような状態として、下側加熱ヒータ38を複合体内に完全に埋め込むようにしてもよい。
【0050】
この場合には、両複合体40A、40Bの間にAlが略単独では存在しない状態となるため、この部位での熱応力の発生はより抑制可能となるので、この部位の反りや変形を一層抑制することができる。また、上側セラミックス金属複合体74Aとセラミックス製の静電チャック28とを接合するろう剤としては、Al系の他に、AlSi系、AlSiGe系、AlSiMg系及びAlSiGeMg系等を用いることができ、特に、GeやMgを含むものは、表面の濡れ性を改善できるので、両者の接合力を一層向上させることができる。
【0051】
更には、ろう付けする際に、図8に示すように厚さ1〜2mm程度のクラッド層94を用いてろう付けを行なうようにしてもよい。この場合には、厚さが10〜100μm程度の非常に薄いクラッド膜を多層に設けたクラッド層94を用い、例えばアルミニウム金属を主体とするAlSiGeMg系ろう剤を使用する場合には、クラッド層94の中心にアルミニウム膜を介在させ、その両側に行くに従って、AlとSiの混合比を同じような傾向で徐々に変えたクラッド膜を形成して線膨張率に傾斜を持たせ、上下の最外側を被うクラッド膜の線膨張率をセラミック製の静電チャック28(上側セラミックス金属複合体40A)の線膨張率と略一致させるようにすればよい。これによれば、クラッド層94の熱伸縮も吸収することができるので、この場合にも静電チャック28と複合体40Aの接合強度を劣化させることがなく、両者を強固に結合することができる。
【0052】
また、上記した両者の接合は、前述したようなろう付けに限定されず、鍛圧接合(接合を必要とする部材の外周部上から、部分加圧して局部的に圧縮を加えると共に、外周部にメタル流動を生じさせて接合させる技術)するようにしてもよい。この鍛圧接合では図9に示すように、例えば真空容器中で静電チャック28の下面と載置台本体26の上側セラミックス金属複合体40Aの上面に、スパッタにより活性アルミニウム層96、98を付着させ、この状態で両者を圧接して接合させる。
【0053】
また、他の方法として大気中で溶射等により上記活性アルミニウム層96、98を付着させ、この場合は直ちにアルミニウム表面が酸化して活性が劣化するので、その後は、活性アルミニウム層96、98の表面に自然に形成された薄い酸化膜を真空容器中で除去して活性面を出し、この状態で両者を圧接すればよい。
【0054】
このように、鍛圧接合を行なう場合には、種々の金属を含むろう剤とは異なり、アルミニウムのみを用いているので、ウエハに対して重金属汚染が発生することを防止することができる。
【0055】
なお、プラズマ処理装置のプロセス温度に適合した耐熱温度を有するのであれば、静電チャック28と上側セラミックス金属複合体40Aの接合を接着剤によって行ってもよい。接着剤としては、シリコン系接着剤およびエポキシ系接着剤等の樹脂系接着剤や、セラミック系接着剤を用いることができる。なお、接着剤は熱伝導性の高いものを用いることが好ましい。
【0056】
なお、上記の参考例および実施例においては、加熱ヒータとして抵抗加熱を利用する電気ヒータが用いられているが、これには限定されない。例えば、熱媒を通すことが可能な管により加熱ヒータを構成してもよい。この場合も、管は鋳込みにより載置台または電極の内部に容易に埋め込むことができる。
【0057】
更に、図10に示すように、静電チャックとウエハとの間に伝熱ガスを供給できるように載置台を構成してもよい。この場合、まず、図1に示す載置台24を製造する場合と同様にして、上側セラミックス金属複合体40A、下側セラミックス金属複合体40Bおよび加熱ヒータ38をアルミニウムで鋳込む。
【0058】
次いで、上側セラミックス金属複合体40Aの上面に拡散室100を機械加工により形成する。拡散室100は、図10の(b)に示すように、同心円状に配置された複数の円周溝と、各円周溝間を連通する径方向溝とを組み合わせて形成する(なお、図10の(b)は図10の(a)の矢印B方向から見た載置台の平面図である)。
【0059】
次いで、拡散室100の溝底を起点とし載置台本体26を貫通して載置台本体26の下面に開口する伝熱ガス通路102を、載置台本体26を穿孔することにより形成する。なお、このとき、伝熱ガス通路102は、加熱ヒータ38のある位置を避けて設けられる。
【0060】
次に、静電チャック28を載置台本体26にろう付けする。その後、静電チャック28の複数箇所に伝熱ガス供給孔104を穿孔する。なお、伝熱ガス供給孔104が予め形成された静電チャック28を載置台本体26にろう付けしてもよい。
【0061】
図10に示す載置台24が適用されたプラズマ処理装置で成膜処理等の処理を行う場合には、伝熱ガス通路102の下端側に、ArガスまたはHeガス等の伝熱ガスが、ガス供給源(図示せず)から供給される。伝熱ガス通路102を通過した伝熱ガスは、拡散室100を経て、伝熱ガス供給孔104からウエハ裏面に向けて供給される。
【0062】
図10に示す参考例によれば、伝熱ガスがウエハの裏面に均一に供給されるため、載置台24からウエハに均一かつ高効率で熱を伝達することができる。このため、プロセスの面内均一性を向上させることができる。
【0063】
なお、上側セラミックス金属複合体40Aの上面に溝を形成することに代えて、静電チャック28の下面に溝を形成することにより、拡散室100を形成してもよい。
【0064】
なお、これまで説明してきた参考例および実施例においては、プラズマ処理として成膜を行なうプラズマCVD処理を例にとって説明したが、これに限定されず、スパッタ処理、エッチング処理、アッシング処理等にも本発明装置を適用できるのは勿論である。
【0065】
更には、プラズマ発生用の周波数も先に説明したものに限定されない。また、被処理体としては、半導体ウエハに限定されず、LCD基板、ガラス基板等も用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】参考例に係る電極および載置台が組み込まれたプラズマ処理装置を示す構成図である。
【図2】図1中の上部電極の製造方法を説明するための説明図である。
【図3】Al−SiC複合体中のSiC、Alの含有率(体積百分率)と線膨張係数との関係を示すグラフである。
【図4】図1に示す電極の変形例(参考例)を示す概略断面図である。
【図5】本発明による電極の実施例を示す概略断面図である。
【図6】芯金板を示す平面図である。
【図7】載置台の変形例(参考例)を示す概略断面図である。
【図8】載置台の静電チャックの接合の変形例(参考例)を示す図である。
【図9】載置台の静電チャックの接合の他の変形例(参考例)を示す図である。
【図10】載置台の他の変形例(参考例)を示す図である。
【図11】従来の一般的なプラズマ処理装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
70 電極(上部電極)
72 加熱ヒータ
80 高周波電源
84 シャワーヘッド部
90 芯金板
92 母材金属連通孔
Claims (6)
- 面状に配置された加熱ヒータと、
前記加熱ヒータの配置面と略平行に前記加熱ヒータと並んで設けられた芯金板と、
前記加熱ヒータおよび前記芯金板が鋳込まれるとともに電圧が印加される母材金属と、
を備えたことを特徴とする電極。 - 前記芯金板には、複数の母材金属連通孔が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の電極。
- 前記母材金属の下面には、ガスを供給するためのシャワーヘッド部が設けられていることを特徴とする、請求項1または2に記載の電極。
- 処理容器と、
前記処理用器内に配置された電極であって、面状に配置された加熱ヒータと、前記加熱ヒータの配置面に略平行に前記加熱ヒータと並んで設けられた芯金板と、前記加熱ヒータおよび前記芯金板が鋳込まれた母材金属と、を有する電極と、
前記電極の母材金属に高周波電圧を印加する高周波電源と、
を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記芯金板には、複数の母材金属連通孔が形成されていることを特徴とする、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記母材金属の下面には、ガスを供給するためのシャワーヘッド部が設けられていることを特徴とする、請求項4または5に記載のプラズマ処理装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014207374A (ja) * | 2013-04-15 | 2014-10-30 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体製造装置用部品及びその製造方法 |
Families Citing this family (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE60139868D1 (de) * | 2000-06-16 | 2009-10-22 | Ati Properties Inc | Verfahren zum spritzformen, zerstäuben und wärmeaustausch |
US8891583B2 (en) * | 2000-11-15 | 2014-11-18 | Ati Properties, Inc. | Refining and casting apparatus and method |
US6496529B1 (en) * | 2000-11-15 | 2002-12-17 | Ati Properties, Inc. | Refining and casting apparatus and method |
JP2002289677A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Taiheiyo Cement Corp | 静電チャック |
TWI234417B (en) * | 2001-07-10 | 2005-06-11 | Tokyo Electron Ltd | Plasma procesor and plasma processing method |
FR2850790B1 (fr) * | 2003-02-05 | 2005-04-08 | Semco Engineering Sa | Semelle de collage electrostatique avec electrode radiofrequence et moyens thermostatiques integres |
US20040221959A1 (en) | 2003-05-09 | 2004-11-11 | Applied Materials, Inc. | Anodized substrate support |
US8372205B2 (en) | 2003-05-09 | 2013-02-12 | Applied Materials, Inc. | Reducing electrostatic charge by roughening the susceptor |
JP4556389B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2010-10-06 | 住友電気工業株式会社 | セラミックス−金属複合体の接合体及び接合方法ならびに該接合体を用いた半導体あるいは液晶製造装置 |
US6949460B2 (en) * | 2003-11-12 | 2005-09-27 | Lam Research Corporation | Line edge roughness reduction for trench etch |
JP2005317749A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体製造装置用保持体及びそれを搭載した半導体製造装置 |
US8038796B2 (en) * | 2004-12-30 | 2011-10-18 | Lam Research Corporation | Apparatus for spatial and temporal control of temperature on a substrate |
US7803212B2 (en) * | 2005-09-22 | 2010-09-28 | Ati Properties, Inc. | Apparatus and method for clean, rapidly solidified alloys |
US7578960B2 (en) * | 2005-09-22 | 2009-08-25 | Ati Properties, Inc. | Apparatus and method for clean, rapidly solidified alloys |
US7803211B2 (en) * | 2005-09-22 | 2010-09-28 | Ati Properties, Inc. | Method and apparatus for producing large diameter superalloy ingots |
US8381047B2 (en) * | 2005-11-30 | 2013-02-19 | Microsoft Corporation | Predicting degradation of a communication channel below a threshold based on data transmission errors |
JP5082246B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2012-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ発生用の電極、プラズマ処理装置及びプラズマ発生用の電極の製造方法 |
US8173228B2 (en) | 2006-01-27 | 2012-05-08 | Applied Materials, Inc. | Particle reduction on surfaces of chemical vapor deposition processing apparatus |
JP5045000B2 (ja) * | 2006-06-20 | 2012-10-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、ガス供給装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP4994121B2 (ja) * | 2006-08-10 | 2012-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電吸着電極、基板処理装置および静電吸着電極の製造方法 |
TWI345285B (en) * | 2006-10-06 | 2011-07-11 | Ngk Insulators Ltd | Substrate supporting member |
KR100867191B1 (ko) * | 2006-11-02 | 2008-11-06 | 주식회사 유진테크 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
US8748773B2 (en) * | 2007-03-30 | 2014-06-10 | Ati Properties, Inc. | Ion plasma electron emitters for a melting furnace |
KR101433415B1 (ko) | 2007-03-30 | 2014-08-26 | 에이티아이 프로퍼티즈, 인코퍼레이티드 | 와이어방전 이온 플라즈마 전자 방출기를 포함하는 용융 퍼니스 |
TW200911036A (en) * | 2007-04-13 | 2009-03-01 | Saint Gobain Ceramics | Electrostatic dissipative stage and effectors for use in forming LCD products |
US8216418B2 (en) * | 2007-06-13 | 2012-07-10 | Lam Research Corporation | Electrode assembly and plasma processing chamber utilizing thermally conductive gasket and o-rings |
JP5057904B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2012-10-24 | 株式会社日本セラテック | 温調プレートおよびその製造方法 |
US7798199B2 (en) | 2007-12-04 | 2010-09-21 | Ati Properties, Inc. | Casting apparatus and method |
MY166000A (en) * | 2007-12-19 | 2018-05-21 | Lam Res Corp | A composite showerhead electrode assembly for a plasma processing apparatus |
KR101553423B1 (ko) | 2007-12-19 | 2015-09-15 | 램 리써치 코포레이션 | 반도체 진공 프로세싱 장치용 필름 점착제 |
JP5315942B2 (ja) * | 2008-05-21 | 2013-10-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台機構、これを用いたプラズマ処理装置及び静電チャックへの電圧印加方法 |
JP2011225949A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Ibiden Co Ltd | 炭素部品および炭素部品の製造方法 |
US8747956B2 (en) | 2011-08-11 | 2014-06-10 | Ati Properties, Inc. | Processes, systems, and apparatus for forming products from atomized metals and alloys |
CN103140913B (zh) * | 2010-10-29 | 2016-09-28 | 应用材料公司 | 用于物理气相沉积腔室的沉积环及静电夹盘 |
JP2013008949A (ja) * | 2011-05-26 | 2013-01-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板載置台、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
KR101295794B1 (ko) * | 2011-05-31 | 2013-08-09 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
US10224182B2 (en) | 2011-10-17 | 2019-03-05 | Novellus Systems, Inc. | Mechanical suppression of parasitic plasma in substrate processing chamber |
US9224626B2 (en) | 2012-07-03 | 2015-12-29 | Watlow Electric Manufacturing Company | Composite substrate for layered heaters |
US9673077B2 (en) | 2012-07-03 | 2017-06-06 | Watlow Electric Manufacturing Company | Pedestal construction with low coefficient of thermal expansion top |
US9449795B2 (en) * | 2013-02-28 | 2016-09-20 | Novellus Systems, Inc. | Ceramic showerhead with embedded RF electrode for capacitively coupled plasma reactor |
US20150097328A1 (en) * | 2013-10-08 | 2015-04-09 | Win Semiconductors Corp. | Wafer holding structure |
JP2015095409A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及びプラズマ処理装置 |
JP6030589B2 (ja) * | 2014-02-13 | 2016-11-24 | 株式会社アルバック | ハードマスク形成方法及びハードマスク形成装置 |
DE102014116991A1 (de) * | 2014-11-20 | 2016-05-25 | Aixtron Se | CVD- oder PVD-Reaktor zum Beschichten großflächiger Substrate |
US9909197B2 (en) * | 2014-12-22 | 2018-03-06 | Semes Co., Ltd. | Supporting unit and substrate treating apparatus including the same |
KR20170128585A (ko) * | 2015-03-20 | 2017-11-22 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 고온 폴리머 본드를 이용하여 금속 베이스에 본딩 결합된 세라믹 정전 척 |
DE102017202762B4 (de) * | 2017-02-21 | 2018-12-20 | Schott Ag | Verfahren zur Herstellung eines Glasrohres mit einem von einer Kreisform abweichenden Querschnitt durch Umformen sowie Verwendung des Verfahrens |
US11598003B2 (en) | 2017-09-12 | 2023-03-07 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing chamber having heated showerhead assembly |
KR102176972B1 (ko) * | 2017-11-10 | 2020-11-10 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 성막 장치 및 부품 박리 장치 |
CN111383885B (zh) * | 2018-12-27 | 2023-03-31 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种能提高控温精度的基片安装台及等离子体处理设备 |
CN111383882B (zh) * | 2018-12-27 | 2023-03-10 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 等离子体处理装置及用于该处理装置的基片支座 |
CN112133621B (zh) * | 2019-06-25 | 2023-09-29 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种导热片和等离子体处理装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4404262A (en) * | 1981-08-03 | 1983-09-13 | International Harvester Co. | Composite metallic and refractory article and method of manufacturing the article |
US5871811A (en) * | 1986-12-19 | 1999-02-16 | Applied Materials, Inc. | Method for protecting against deposition on a selected region of a substrate |
KR0164618B1 (ko) * | 1992-02-13 | 1999-02-01 | 이노우에 쥰이치 | 플라즈마 처리방법 |
US5600530A (en) * | 1992-08-04 | 1997-02-04 | The Morgan Crucible Company Plc | Electrostatic chuck |
US5800618A (en) * | 1992-11-12 | 1998-09-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Plasma-generating electrode device, an electrode-embedded article, and a method of manufacturing thereof |
US5684669A (en) * | 1995-06-07 | 1997-11-04 | Applied Materials, Inc. | Method for dechucking a workpiece from an electrostatic chuck |
JPH06244143A (ja) * | 1993-02-15 | 1994-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
KR100276736B1 (ko) * | 1993-10-20 | 2001-03-02 | 히가시 데쓰로 | 플라즈마 처리장치 |
JPH07307377A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-11-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 静電チャック付セラミックスヒーター |
JPH08199363A (ja) | 1995-01-30 | 1996-08-06 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマcvd方法及び装置 |
JP2814370B2 (ja) | 1995-06-18 | 1998-10-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JPH0997783A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-08 | Nec Corp | プラズマ処理装置 |
JPH09165681A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-24 | Ulvac Japan Ltd | 真空装置用ヒータプレート及びその製造方法 |
JPH09205134A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-08-05 | Souzou Kagaku:Kk | 静電チャック |
JPH09260474A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Sony Corp | 静電チャックおよびウエハステージ |
US5835334A (en) * | 1996-09-30 | 1998-11-10 | Lam Research | Variable high temperature chuck for high density plasma chemical vapor deposition |
JP3616232B2 (ja) | 1997-05-23 | 2005-02-02 | 株式会社エー・エム・テクノロジー | 加熱プレートとその製造方法 |
JP3345852B2 (ja) * | 1998-06-18 | 2002-11-18 | 古河電気工業株式会社 | 半導体製造装置の基盤ホルダー及びその製造方法 |
JPH11354504A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Sony Corp | ガラス基板処理装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014207374A (ja) * | 2013-04-15 | 2014-10-30 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体製造装置用部品及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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