JP5315942B2 - 載置台機構、これを用いたプラズマ処理装置及び静電チャックへの電圧印加方法 - Google Patents
載置台機構、これを用いたプラズマ処理装置及び静電チャックへの電圧印加方法 Download PDFInfo
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Description
請求項3の発明は、請求項2の発明において、前記フィルタ部は、抵抗素子又は抵抗素子と容量素子からなることを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の発明において、前記直流成分検出回路は、前記載置台に検出ラインを介して接続されていることを特徴とする。
請求項7の発明は、請求項6の発明において、前記スイッチ制御部は、前記チャック用スイッチ部を開状態から閉状態に切り替えた後に所定時間経過した時に前記バイパス用スイッチ部を開状態に切り替えるように制御することを特徴とする。
請求項13の発明は、請求項10乃至12のいずれか一項の発明において、前記第1の直流電圧は前記チャック電極の定格電圧よりも高く設定されており、前記第2の直流電圧は前記定格電圧に設定されていることを特徴とする。
請求項15の発明は、請求項1乃至13のいずれか一項の発明において、前記直流高圧電源は、前記第1の直流電圧を出力する第1電源部と、前記第2の直流電圧を出力する第2電源部とを有していることを特徴とする。
請求項19の発明は、請求項18記載の発明において、前記載置台には、高周波電源が接続されていることを特徴とする。
請求項21の発明は、請求項17乃至20のいずれか一項に記載の発明において、前記被処理体は、半導体基板又は絶縁物基板であることを特徴とする。
請求項24の発明は、請求項22の発明において、前記第1の直流電圧の印加の開始からの前記所定の時間は、前記チャック電極に前記第1の直流電圧の印加を開始した後に前記チャック電極の電位が定格電圧に到達するまでの期間以下の長さであることを特徴とする。
請求項25の発明は、請求項22乃至24のいずれか一項に記載の発明において、前記第2の直流電圧への切り替えからの前記所定の時間は、前記載置台の電位が安定するまでの時間であることを特徴とする。
発明によれば、載置台機構において、チャック用スイッチ部を閉じてチャック電極に直流電圧を印加する際に直流成分検出回路をバイパスさせて載置台を接地させるバイパス用スイッチ部を閉じ、更に、チャック用スイッチ部を開いてチャック電極に印加していた直流電圧を遮断する際にも直流成分検出回路をバイパスさせて載置台を接地させるバイパス用スイッチ部を閉じるようにしたので、チャック電極に直流電圧を印加する際及びチャック電極に印加していた直流電圧を遮断する際のチャック等価回路の時定数を小さくすることができ、その結果、チャック電極に対する電荷の貯留及び電荷の放出をそれぞれ迅速に行うようにして、製品の生産性を上げ、スループットを向上させることができる。
<第1実施形態>
図1は本発明に係る載置台機構を用いたプラズマ処理装置の第1実施形態を示す構成図である。ここではプラズマ処理としてプラズマエッチング処理をガラス基板に対して施す場合を例にとって説明する。
e(t)=E[1−e(−t/RC) ]
ここでeは自然対数(exp)を示し、RCは時定数を示し、tは時間を示す。
上述したように、従来のプラズマ処理装置と比較して抵抗成分Rは非常に小さくなっているので、時定数”RC”は非常に小さくなっている。従って、図4(A)及び図4(B)に示すように、本発明の場合には安定までの過渡時間が非常に短くなっている。
次に、本発明の載置台機構の第2実施形態について説明する。図5は本発明の載置台機構の第2実施形態の要部を示す構成図である。尚、図1及び図16に示す構成部分と同一構成部分については同一参照符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の載置台機構の第3実施形態について説明する。図6は本発明の載置台機構の第3実施形態の要部を示す構成図である。尚、図1、図5及び図16に示す構成部分と同一構成部分については同一参照符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の載置台機構の第4実施形態について説明する。図7は本発明の載置台機構の第4実施形態の要部を示す構成図である。尚、図1、図5、図6及び図16に示す構成部分と同一構成部分については同一参照符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の載置台機構の第5実施形態について説明する。図8は本発明の載置台機構の第5実施形態の要部を示す構成図である。尚、図1に示す構成部分と同一構成部分については同一参照符号を付してその説明を省略する。
ここでチャック電極114へ電圧印加を開始した後にチャック電極114が設定電圧に到達するまでの時間についてチャック電極の面積(載置台の面積)を変化させてシミュレーションを行ったので、そのシミュレーションの評価結果について説明する。
次に本発明の載置台機構の第6実施形態について説明する。図10は本発明の載置台機構の第6実施形態の要部を示す構成図である。尚、先の実施形態と同一構成部分について同一参照符号を付してその説明を省略する。
次に本発明の載置台構造の第7実施形態について説明する。図14は本発明の載置台構造の第7実施形態の要部を示す構成図である。尚、先の第6実施形態と同一構成部分について同一参照符号を付してその説明を省略する。
また、ここでは被処理体として、絶縁物である液晶表示装置用のガラス基板を例にとって説明したが、これに限定されず、セラミック基板等の他の絶縁物の基板、或いは半導体ウエハ(半導体基板)にも本発明を適用することができる。
50 プラズマ処理装置
52 処理容器
60 排気手段
68 シャワーヘッド部(ガス導入手段)
80 載置台機構
84 載置台
86 静電チャック
92 高周波電源
94 検出ライン
96 直流成分検出回路
98 高周波カット用のコイル
100 第1の抵抗
102 第2の抵抗
108 バイパスライン
110 バイパス用スイッチ部
112 スイッチ制御部
114 チャック電極
116 給電ライン
118 フィルタ部
120 直流高圧電源
122 高周波カット用のコイル(誘導素子)
124 チャック用スイッチ部
126 装置制御部
130 高周波カット用のコイル(誘導素子)
150 電位モニタ部
152 電源制御部
154A 第1電源部
154B 第2電源部
156 スイッチ部
W ガラス基板(被処理体)
Claims (25)
- 真空排気が可能になされた処理容器内に設けられて、高周波電力によって生成したプラズマを用いて所定のプラズマ処理が施される被処理体を載置する載置台機構において、
前記被処理体を載置するための導電部材よりなる載置台と、
前記載置台の上面に配置されて前記被処理体を吸着するために内部にチャック電極が設けられた静電チャックと、
前記チャック電極に静電気力を発生させる直流電圧を印加するために給電ラインを介して接続された直流高圧電源と、
前記給電ラインの途中に介設されて前記被処理体を吸着するときに閉じられるチャック用スイッチ部と、
前記載置台に、前記プラズマ処理時に前記載置台に加わる直流成分を検出するために接続された直流成分検出回路と、
前記直流成分検出回路をバイパスするバイパスラインと、
前記バイパスラインの途中に介設されて前記チャック用スイッチ部を閉状態に切り替える時及び開状態に切り替える時にチャック等価回路の時定数を小さくするために前記直流成分検出回路をバイパスさせて前記載置台を接地させるバイパス用スイッチ部と、
2つの前記スイッチ部を制御するスイッチ制御部と、
を備えたことを特徴とする載置台機構。 - 前記給電ラインの途中に介設されて前記高周波電力が前記直流高圧電源に侵入することを阻止するフィルタ部を有することを特徴とする請求項1記載の載置台機構。
- 前記フィルタ部は、抵抗素子又は抵抗素子と容量素子からなることを特徴とする請求項2記載の載置台機構。
- 前記フィルタ部は、誘導素子又は誘導素子と容量素子からなることを特徴とする請求項2記載の載置台機構。
- 前記直流成分検出回路は、前記載置台に検出ラインを介して接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の載置台機構。
- 前記スイッチ制御部は、前記チャック用スイッチ部を閉状態に切り替える時には、この切り替えと同時に又は切り替えに先立って前記バイパス用スイッチ部を閉状態に切り替えるように制御することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の載置台機構。
- 前記スイッチ制御部は、前記チャック用スイッチ部を開状態から閉状態に切り替えた後に所定時間経過した時に前記バイパス用スイッチ部を開状態に切り替えるように制御することを特徴とする請求項6記載の載置台機構。
- 前記スイッチ制御部は、前記チャック用スイッチ部を開状態に切り替える時には、この切り替えと同時に又は切り替えに先立って前記バイパス用スイッチ部を閉状態に切り替えるように制御することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の載置台機構。
- 前記スイッチ制御部は、前記チャック用スイッチ部を閉状態から開状態に切り替えた後に所定時間経過した時に前記バイパス用スイッチ部を開状態に切り替えるように制御することを特徴とする請求項8記載の載置台機構。
- 前記直流高圧電源は、切り替えが可能になされた複数種類の直流電圧を印加できるようになされており、
更に、前記給電ラインの途中に設けられて前記チャック電極側の電位をモニタする電位モニタ部と、
前記チャック用スイッチ部が閉じられた時に前記複数種類の直流電圧の内の高い電圧の第1の直流電圧を印加すると共に、前記電位モニタ部の検出値が所定の値になった時に低い電圧の第2の直流電圧に切り替えて印加するように前記直流電源を制御する電源制御部と、
を備えたことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の載置台機構。 - 前記直流高圧電源は、切り替えが可能になされた複数種類の直流電圧を印加できるようになされており、
更に前記直流高圧電源を制御する電源制御部を有しており、前記電源制御部は、前記チャック用スイッチ部が閉じられると最初は前記複数種類の直流電圧の内の高い電圧の第1の直流電圧を印加して、所定の時間が経過した時に低い電圧の第2の直流電圧に切り替えて印加するように制御することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の載置台機構。 - 前記所定の時間とは、前記チャック電極に前記第1の直流電圧の印加を開始した後に前記チャック電極の電位が定格電圧に到達するまでの期間以下の長さであることを特徴とする請求項11記載の載置台機構。
- 前記第1の直流電圧は前記チャック電極の定格電圧よりも高く設定されており、前記第2の直流電圧は前記定格電圧に設定されていることを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載の載置台機構。
- 前記直流高圧電源は、前記第1の直流電圧と前記第2の直流電圧とを出力し得るように出力電圧が可変になされていることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか一項に記載の載置台機構。
- 前記直流高圧電源は、前記第1の直流電圧を出力する第1電源部と、前記第2の直流電圧を出力する第2電源部とを有していることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか一項に記載の載置台機構。
- 前記被処理体は絶縁物であることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか一項に記載の載置台機構。
- 被処理体に対して所定のプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
真空排気が可能になされた処理容器と、
前記処理容器内へ必要なガスを導入するガス導入手段と、
前記処理容器内を真空排気する排気手段と、
前記処理容器内で前記被処理体を載置するための請求項1乃至16のいずれか一項に記載の載置台機構と、
を備えるように構成したことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記ガス導入手段は、シャワーヘッド部よりなり、該シャワーヘッド部と前記載置台機構の載置台とにより平行平板型の上部電極と下部電極とを形成するように構成したことを特徴とする請求項17記載のプラズマ処理装置。
- 前記載置台には、高周波電源が接続されていることを特徴とする請求項18記載のプラズマ処理装置。
- 前記シャワーヘッド部には、第2の高周波電源が接続されていることを特徴とする請求項17乃至19のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記被処理体は、半導体基板又は絶縁物基板であることを特徴とする請求項17乃至20のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 真空排気が可能になされた処理容器内にてプラズマ処理が施される被処理体を載置すると共に高周波電圧の印加が可能になされた載置台に設けた静電チャックへの電圧印加方法において、
前記静電チャックのチャック電極に、複数種類の直流電圧の内の高い電圧の第1の直流電圧を印加すると共に、前記第1の直流電圧の印加と同時に、或いは印加に先立ってチャック等価回路の時定数を小さくするために前記載置台の直流成分を検出する直流成分検出回路をバイパスさせて前記載置台を接地するようにし、
前記第1の直流電圧の印加の開始から所定の時間が経過時に前記第1の直流電圧よりも低い電圧の第2の直流電圧に切り替えて印加し、
前記第2の直流電圧への切り替えから所定の時間が経過した時に前記載置台の接地を断ち、前記載置台の接地を断った後に、前記載置台に高周波電圧を印加するようにしたことを特徴とする静電チャックへの電圧印加方法。 - 前記第1の直流電圧の印加の開始からの前記所定の時間は、予め定められていることを特徴とする請求項22記載の静電チャックへの電圧印加方法。
- 前記第1の直流電圧の印加の開始からの前記所定の時間は、前記チャック電極に前記第1の直流電圧の印加を開始した後に前記チャック電極の電位が定格電圧に到達するまでの期間以下の長さであることを特徴とする請求項22記載の静電チャックへの電圧印加方法。
- 前記第2の直流電圧への切り替えからの前記所定の時間は、前記載置台の電位が安定するまでの時間であることを特徴とする請求項22乃至24のいずれか一項に記載の静電チャックへの電圧印加方法。
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