JP2007150012A - プラズマ処理装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器1のイオンを引き寄せる電極7に基板6を搬送できるようにし、複数の基板6をエッチングすることによって、真空容器1内部のエッチングできる表面積が増加し、パーティクル低減とスループット向上の両立ができる。
【選択図】図1
Description
真空容器1の上部に誘電板5を介して誘電結合コイル4が設置されており、真空容器1内の電極7上に基板6を載置し、ガス導入配管14から真空容器1内にフッ素系ガスを導入しつつ、ターボ分子ポンプ11で排気しながら、圧力コントローラ10で所定の圧力に制御し、真空容器1内にプラズマを発生させ、電極7上に載置された基板6、または基板6上の膜がエッチングされる。
図6に実施の形態2を示す。基本的な構成は実施形態1の図1と同じであるため、詳細説明は省略する。
2 誘導結合コイル印加用高周波電源
3 誘導結合コイル用マッチング回路
4 誘導結合コイル
5 誘電板
6 基板
7 電極
8 電極用マッチング回路
9 電極印加用高周波電源
10 圧力コントローラ
11 ターボ分子ポンプ
14 ガス導入配管
15 ファラデーシールド
16 反応生成物
17 電極用電圧モニタ
18 電極用電流モニタ
19 プラズマ発生用高周波電源出力フィードバック回路
20 電極印加用高周波電源出力フィードバック回路
Claims (9)
- 真空容器内にガスを導入しつつ排気しながら任意の圧力に制御し、真空容器内に配置された複数の基板をそれぞれ載置する電極に高周波電力を印加することによって、真空容器内にプラズマを発生させ基板を処理するプラズマ処理方法において、複数の基板は対向して配置され、かつ、複数の基板間にプラズマを発生させることで複数の基板を同時に処理することを特徴とするプラズマ処理方法。
- 複数の電極の電位と夫々の電極からマッチング回路に流れる電流をモニタリングし、電流値から高周波電力の出力を変化すると共に、電圧値から電極に印加する高周波電力の出力を変化させることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理方法。
- 基板に含まれる材料或いは基板上に形成された材料は、白金,インジウム,鉄,銅,銀,ストロンチウム,ビスマス,レニウム,カルシウム,マンガン,ルテニウムの少なくとも1つの材料を含むことを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ処理方法。
- 基板を静電吸着力によってそれぞれの電極に固定したことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のプラズマ処理方法。
- 電極間の距離が10mm以上150mm以下であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のプラズマ処理方法。
- ガスは塩素原子,フッ素原子の少なくとも一方を含むものであることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のプラズマ処理方法。
- 真空維持することが可能な真空容器と、真空容器内に設けられかつ基板を載置する複数の電極と、複数の電極に高周波電力を印加する電源と、真空容器内にガスを供給しつつ排気するガス供排気手段とを有するプラズマ処理装置において、複数の電極は対向して設けられ、かつ、複数の電極はそれぞれ異なる電源に接続されたことを特徴とするプラズマ処理装置。
- 複数の電極の電位と夫々の電極からマッチング回路に流れる電流をモニタリングし、電流値から高周波電力の出力を変化すると共に、電圧値から電極に印加する高周波電力の出力を変化させることを特徴とする請求項7記載のプラズマ処理装置。
- 電極間の距離が10mm以上150mm以下であることを特徴とする請求項7または8に記載のプラズマ処理装置。
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