JP3655242B2 - 半導体パッケージ及び半導体実装装置 - Google Patents
半導体パッケージ及び半導体実装装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3655242B2 JP3655242B2 JP2002000069A JP2002000069A JP3655242B2 JP 3655242 B2 JP3655242 B2 JP 3655242B2 JP 2002000069 A JP2002000069 A JP 2002000069A JP 2002000069 A JP2002000069 A JP 2002000069A JP 3655242 B2 JP3655242 B2 JP 3655242B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- semiconductor package
- semiconductor element
- insulating substrate
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L25/0657—Stacked arrangements of devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/0652—Bump or bump-like direct electrical connections from substrate to substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06541—Conductive via connections through the device, e.g. vertical interconnects, through silicon via [TSV]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06572—Auxiliary carrier between devices, the carrier having an electrical connection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06582—Housing for the assembly, e.g. chip scale package [CSP]
- H01L2225/06586—Housing with external bump or bump-like connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06593—Mounting aids permanently on device; arrangements for alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01019—Potassium [K]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/10251—Elemental semiconductors, i.e. Group IV
- H01L2924/10253—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/162—Disposition
- H01L2924/1627—Disposition stacked type assemblies, e.g. stacked multi-cavities
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の半導体素子を積層する積層型パッケージを使用した半導体装置の放熱構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置は、高密度実装化を目的として半導体素子を積層して用いることが多くなっている。とくに従来用いられている積層パッケージは、例えば、特開平9−219490号公報、特開平10−135267号公報、特開平10−163414号公報に記載されている。これらの従来のパッケージではTSOP(Thin Small Outline Package)、TCP(Tape Carrier Package)、BAG(Ball Grid Array) などのパッケージを組み立て完成させた後、各パッケージに予め設けた外部端子を個別に積み重ねることにより、各々を積層し、さらに電気的接続を行っている。
また、例えば、特開平11−239033号にも記載されているような薄く密閉性、弾力性にすぐれ、製造工程が複雑でなく容易に形成することが可能な積層型パッケージを用いた半導体装置も提案されている。この半導体装置は、System Block Moduleといわれ(SBMと略称する)、シリコン基板を薄く形成したPTP(Paper Thin Package)パッケージを複数個積層してなるものである。
【0003】
図7を参照して従来のSBMタイプの積層型パッケージを用いた半導体装置を説明する。図7(a)は、積層型パッケージを用いた半導体装置の斜視図、図7(b)は、積層型パッケージの下層の絶縁基板に取り付けられた外部接続端子を示す斜視図である。この従来例は4つの半導体素子(チップ)を積層しているが、積層する半導体素子の数は幾つでも良い。2個以上の必要とする個数を積層させることができる。パッケージは、半導体素子105を搭載する配線基板104、半田ボールなどの外部接続端子110を有し最下部に配置する絶縁基板(第1の絶縁基板)101、パッケージを密封する上部に配置される絶縁基板(第2の絶縁基板)102及び半導体素子105を収容するチップキャビティ部を有する絶縁基板(第3の絶縁基板)103から構成されている。すなわち、パッケージは、第1及び第2の絶縁基板の間に第3の絶縁基板と配線基板30との積層体が複数層積層され、加熱加圧されて一体に構成されている。
【0004】
半導体素子を搭載する配線基板104は、厚さ40μm程度の銅箔付きガラスエポキシテープなどの絶縁板を用いる。配線基板104にはビア孔に接続電極(図示しない)が埋め込まれている。配線基板104上の銅箔は、接続電極上のランド111と、その他の領域に形成されて半導体素子105と電気的に接続された配線108とを有する形状にパターニングされている。半導体素子105の厚さ(シリコンチップの厚さ)は、約30〜200μmであり、好ましくは約50〜150μmである。
また、下層に配置された第1の絶縁基板101は、配線112とランド109とを有し、その裏面には複数の外部接続端子110が所定の領域にランド109′上に形成されている。外部接続端子110は、例えば、半田などの導電性ボールから構成されている。
上層に配置された第2の絶縁基板102は、配線とランド106とを有し、ビア孔に接続電極(図示しない)が埋め込まれている。接続電極上にはランド106が形成されている。
【0005】
第3の絶縁基板103は、厚さ75μm程度の銅箔付きポリイミド基板もしくはプリント積層板などの絶縁板を用いる。絶縁基板103にはビア孔に接続電極(図示しない)が埋め込まれている。絶縁基板103上の銅箔は、接続電極上のランド113とその他の領域に形成された配線(図示しない)とを有する形状にパターニングされている。絶縁基板103の中央部分には半導体素子105を収容する開口部(チップキャビティ部)107が形成されている。
第3の絶縁基板103の厚さは、チップキャビティ部107に半導体素子105が収容される大きさなら配線基板104と同じ厚さであっても薄くても良い。このとき第3の絶縁基板103には接着材が塗布されているので一体化処理を行うと接着剤がチップキャビティ部107に充填されるようになる。
【0006】
この従来の半導体装置は、以上のような構成により、薄い積層型パッケージを有している。また、積層の上下を絶縁基板により挟まれているので、半導体素子に対する密閉性が高くなっている。また、第3の絶縁基板に形成されているチップキャビティ部には半導体素子が収容されているが、チップキャビティ部の厚さ及び面積は、半導体素子より大きいのでこの中に半導体素子が収容されても半導体素子とチップキャビティ部の内壁との間には空間が形成される。例えば、この半導体装置を曲げることにより半導体素子が少し伸びてもチップキャビティ部との間には空間があり、この空間が半導体素子の伸びを吸収することができる。したがって、半導体装置に外力が加わっても発生する応力を吸収することが可能になる。さらに、この空間に積層された絶縁基板と配線基板とを接合するエラストマーなどの軟性の接着材が充填されることになるが、とくにシリコン樹脂などの軟性の接着材を用いると、応力の吸収が可能になるとともに密封性が向上して半導体装置の耐湿性が向上する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
このように半導体装置の小型化に伴って生じる半導体素子の積層技術には、その半導体素子が高密度に集積した結果、熱の発生が問題になっている。とくに、図7に示すSBMタイプの半導体装置は、シリコンを薄くしたチップを積層する上に、高速動作するために半導体装置の温度が高くなる。半導体装置の高温動作が継続する場合その動作/ 信頼性に影響を及ぼすために熱対策が必須となる。とくにDRAM(Dynamic Random Access read write Memory) などの半導体メモリは、高温になると記憶の保持特性が劣化するので、これに対する対策が不可欠であるという問題がある。
本発明は、このような事情によりなされたものであり、積層された半導体素子から発生する熱を配線基板及び絶縁基板に埋め込まれた接続電極などを介して効率的に外部に放出する放熱構造を有する半導体パッケージを提供する。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、半導体素子が搭載された配線基板を複数個外部接続端子用ボールを取り付けた絶縁基板上に積層してなる半導体パッケージにおいて、この絶縁基板の裏面に外部接続端子用ボールが形成されている領域以外のマージン部に放熱用導電性ボールが取り付けられていることを特徴としている。半導体素子から発生した熱を効率良く外部接続端子を取り付けた絶縁基板に逃がすことができるので半導体パッケージ自体の温度上昇を防ぎ、例えば、半導体素子がDRAMを含む場合のように、温度上昇が記憶保持特性の劣化を招いていた半導体素子の特性の劣化を防ぐことが可能になる。
【0009】
すなわち、本発明の半導体パッケージは、第1の面に配置された配線、第2の面に配置され、外部接続端子用の複数の第1導電性ボール及び第2の面に配置され、放熱用の複数の第2導電性ボールを有する第1の絶縁基板と、前記第1の絶縁基板の第1の面に対向するように配置された第2の絶縁基板と、前記第1及び第2の絶縁基板の間に配置された複数の半導体素子ユニットとを具備し、前記半導体素子ユニットは、半導体素子、前記半導体素子がマウントされ、前記半導体素子の端子に電気的に接続された配線を有する配線基板、この配線基板上に配置され前記半導体素子を収納するチップキャビティ部を有する第3の絶縁基板からなり、前記放熱用の第2導電性ボールは、前記外部接続端子用の第1導電性ボールより熱伝導性の高い材料からなることを特徴としている。前記第1の絶縁基板は、複数の第1のビア孔及び前記第1のビア孔の各々に埋め込まれた複数の第1の接続電極を有し、前記第2の絶縁基板は、複数の第2のビア孔及び前記第2のビア孔の各々に埋め込まれた複数の第2の接続電極を有し、前記第3の絶縁基板の各々は、複数の第3のビア孔及び前記第3のビア孔の各々に埋め込まれた複数の第3の接続電極を有し、前記配線基板の各々は、複数の第4のビア孔及び前記第4のビア孔の各々に埋め込まれた複数の第3の接続電極を有し、前記第1の接続電極、第2の接続電極、第3の接続電極及び第4の接続電極は、前記各第2導電性ボールの直ぐ上に配置され、且つこれら接続電極は互いに電気的に接続されていても良い。
【0010】
第4の接続電極は、前記半導体素子の端子に電気的に接続されていてもよい。前記第2導電性ボールは、半田ボールからなるようにしても良い。前記第2導電性ボールは、前記第1の絶縁基板の第2の面において、第1導電性ボールが配置された領域より端の領域に配置されているようにしても良い。前記第2導電性ボールは、前記第1の絶縁基板の第2の面において、第1導電性ボールが配置された領域の周辺の領域に列状に配置されているようにしても良い。前記半導体素子ユニットの少なくとも1つは、前記半導体素子を被覆する絶縁性の熱伝導性樹脂層を有しているようにしても良い。前記熱伝導性樹脂層は、ポリイミド樹脂層であるようにしても良い。前記熱伝導性樹脂層は、熱伝導度がポリイミド層より高い熱伝導材料を含んだポリイミド樹脂層であるようにしても良い。前記半導体素子の少なくとも1つはSDRAMであってもよい。前記半導体素子の1つはフラッシュメモリであり、前記フラッシュメモリは、前記SDRAMとは離れた位置に配置されているようにしても良い。前記SDRAMは、前記絶縁性の熱伝導性樹脂層に被覆されているようにしても良い。前記半導体素子ユニットの少なくとも1つはその半導体素子が前記絶縁性の熱伝導性樹脂層に被覆されているようにしても良い。前記熱伝導性樹脂層は、第5のビア孔及びこの第5のビア孔に埋め込まれた第5の接続電極を有し、各第5の接続電極は、前記各第4の接続電極の直ぐ上に配置され且つ電気的に接続されているようにしても良い。前記チップキャビティ部の高さは、前記半導体素子の厚さとほぼ同じであるようにしても良い。
【0011】
本発明の半導体実装装置は、請求項1に記載の半導体パッケージと、前記半導体パッケージが実装される実装基板とを備え、前記実装基板上には前記半導体パッケージが実装され、前記実装基板は、複数の配線層と熱伝導路とを有し、複数の配線層の任意の1つは、前記半導体パッケージの前記第2導電性ボールに接続され、前記実装基板に形成された前記熱伝導路に接続されることを特徴としている。前記第2導電性ボールに接続された前記複数の配線層は、電源配線又は接地配線であってもよい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して発明の実施の形態を説明する。
まず、図1乃至図3、図6を参照して第1の実施例を説明する。
図1は、SBMタイプの積層型パッケージを用いた半導体装置及びこの半導体装置を構成し、外部接続端子を取り付けた絶縁基板の裏面の斜視図、図2は、半導体装置の各部材が積層された状態の断面図(図1のA−A′線に沿う部分の断面図)、図3は、外部接続端子を取り付けた絶縁基板の他の例を示す平面図)、図6は、パッケージの使用時温度の外部接続端子用ボール依存性を示した特性図である。この実施例では、4個のシリコンなどの半導体素子(チップ)を積層しているが、本発明では積層する半導体素子の数は幾つでも良く、2個以上の必要とする個数を積層させることができる。
【0013】
パッケージ10は、半導体素子5を搭載する配線基板4、半田ボールなどの外部接続端子14を有し最下部に配置される絶縁基板(第1の絶縁基板)1、パッケージを密封し、上部に配置される絶縁基板(第2の絶縁基板)2及び半導体素子5を収容するチップキャビティ部7を有する絶縁基板(第3の絶縁基板)3から構成されている。すなわち、パッケージは、第1及び第2の絶縁基板の間に第3の絶縁基板と配線基板4との積層体が複数層積層され、加熱加圧されて一体化されている(図2(c))。
半導体素子を搭載する配線基板4には、厚さ40μm程度の銅箔付きガラスエポキシテープなどの絶縁板を用いる。配線基板4にはビア孔に接続電極17が埋め込まれている。配線基板4上の銅箔は、接続電極上のランド11と、その他の領域に形成されて半導体素子5と電気的に接続された配線8とを有する形状にパターニングされている。半導体素子5の厚さ(シリコンチップ厚さ)は、約30〜200μmであり、好ましくは約50〜150μmである。
【0014】
半導体素子5は、配線基板4の主面に載置され、半導体素子5の表面に露出し、内部回路と電気的に接続されたバンプ電極18が配線8に接合される。配線8は、配線基板4に埋め込まれた接続電極17上に形成されたランド11につながっている。そして、この主面と半導体素子5との間にはエポキシ樹脂などのアンダーフィル樹脂からなる樹脂封止体16により封止されている(図2(a))。この半導体素子5を搭載した配線基板4に第3の絶縁基板3が接着剤層19により接合されている(図2(b))。
【0015】
また、下層に配置された第1の絶縁基板1は、ガラスエポキシテープなどからなり、配線12とランド9とを有し、裏面には複数の外部接続端子14が所定の領域に形成されている。外部接続端子用ボール14は、例えば、半田などの導電性ボールからなる。そして、裏面のそれ以外の領域、従来の半導体装置では外部接続端子用ボールが形成されていない領域に放熱用導電性ボール15が取り付けられている。放熱用導電性ボールは、外部接続端子用ボールと同じ材料及び同じサイズであることができる。勿論サイズを変えることも可能である。また、放熱特性を高くするために放熱用導電性ボールのみ放熱性の高い材料を選択することが可能である。第1の絶縁基板1にはビア孔が形成され、その中に接続電極17aが埋め込まれている。第1の絶縁基板1上に配線基板4を積層するに際し、ビア孔に埋め込まれた第1の絶縁基板の接続電極17aは、ランド9を介してその直上に形成され、配線基板4に配置されたビア孔内の接続電極17と電気的に接続されている。
【0016】
最上層に配置された第2の絶縁基板2は、ランド6を有し、ビア孔に接続電極17bが埋め込まれている。この接続電極17b上にはランド6が形成されている。第3の絶縁基板3上に配線基板4を積層するに際し、ビア孔に埋め込まれた第3の絶縁基板3の接続電極17cは、ランド13を介してその直上に形成され、配線基板4に配置されたビア孔内の接続電極17と電気的に接続されている。配線基板4上に第3の絶縁基板3を積層する場合も同様である。
【0017】
第3の絶縁基板3は、厚さ75μm程度の銅箔付きポリイミド基板又はプリント積層板等の絶縁板を用いる。第3の絶縁基板3にはビア孔に接続電極17cが埋め込まれている。第3の絶縁基板3上の銅箔は、接続電極17c上のランド13と配線を有する形状にパターニングされている。図1に示すように第3の絶縁基板3の裏面には接着剤層19が形成されている。第3の絶縁基板3の中央部分には半導体素子5を収容する開口部(チップキャビティ部)7が形成されている。第3の絶縁基板3の厚さは、チップキャビティ部7に半導体素子5が収容される大きさなら配線基板4と同じ厚さであっても薄くても良い。第3の絶縁基板3には接着材が塗布されているので一体化処理を行うと接着剤がチップキャビティ部7に充填されるようになる。第3の絶縁基板3上に第2の絶縁基板2を積層するに際し、ビア孔に埋め込まれた第2の絶縁基板2の接続電極17bは、ランド13を介してその直上に形成された第3の絶縁基板3のビア孔内に埋め込まれた接続電極17cと電気的に接続されている。
【0018】
このように積層体を構成する各配線基板及び絶縁基板に埋め込まれた接続電極は、直上もしくは直下に接続されている。したがって、この積層体においては、配線基板や絶縁基板などに埋め込まれた接続電極は、縦方向(積層方向)に電気的に接続されているので信号線や電源線としてのバスとして用いられる。このバスは、積層体の周辺部分の所定位置に複数個配置されている。
この実施例の半導体装置は、以上のようにボール状の外部接続端子が取り付けられている絶縁基板の裏面に外部接続端子とともに放熱用導電性ボールが取り付けられているので、積層された半導体素子から発生する熱が速やかに絶縁基板や配線基板に形成された接続電極を構成するバスを介して放熱用導電性ボールに伝えられて放熱が効率良く行われる。
この実施例の半導体装置は、薄い積層型パッケージを有している。また、積層の上下を絶縁基板により挟まれているので、半導体素子に対する密閉性が高くなっている。また、第3の絶縁基板に形成されているチップキャビティ部には半導体素子が収容されているが、チップキャビティ部の厚さ及び面積は、半導体素子より大きいのでこの中に半導体素子が収容されても半導体素子とチップキャビティ部の内壁との間には空間が形成される。したがって、半導体装置に外力が加わっても発生する応力を吸収することが可能になる。
【0019】
次に、図3を参照して外部接続端子が搭載され、積層体の最下部に配置される絶縁基板の他の例を説明する。図3は、この絶縁基板の裏面を説明する平面図である。絶縁基板1′は、図1及び図2の積層体と同様に、半導体素子が搭載された配線基板、絶縁基板等を積層している。絶縁基板1′は、配線とランドとを有し、裏面には複数の外部接続端子14が所定の領域に形成されている。外部接続端子用ボール14は、例えば、半田などの導電性ボールからなる。そして、裏面のそれ以外の領域、従来の半導体装置では外部接続端子用ボールが形成されていないマージン領域に、放熱用導電性ボール15が取り付けられている。すなわち、絶縁基板1′の裏面は、外部接続端子用ボール領域14′及び放熱用ボール領域15′から構成されている。通常は外部接続端子用ボールが形成されないところに放熱用導電性ボールを配置するので、外部接続端子の位置を改めて設計し直す必要はない。絶縁基板1′は、例えば、縦が12.5mm、横が11.00mmである。外部接続端子用ボール14は、例えば、0.5mm径であり、格子状に縦横ともにピッチ1.00mmで配列されている。放熱用導電性ボール15は、外部接続端子用ボール14の列の両端に配置されている。
【0020】
半導体素子が内包されたパッケージは、半導体素子から発生する熱により使用時に温度が高くなる。そのパッケージ温度は、パッケージに取り付けた外部端子用ボールの数によって異なってくる。
図6は、パッケージの使用時温度の外部接続端子用ボール(以下、単にボールという)依存性を示した特性図であり、縦軸がパッケージの相対温度Tj (60ボールを有するパッケージの温度を1とする)、横軸がパッケージに搭載されるボールの数を表している。図に示されるように、パッケージのボール数が60個より減少すると温度は、1より高くなり、60個より多くなると低くなる。このように、パッケージに搭載するボール数により温度の増減が認められるので、本発明は、前述した放熱用導電性ボールを適宜搭載してパッケージ温度を効率的に調整することが可能になる。
【0021】
次に、図4を参照して第2の実施例を説明する。
図4は、SBMタイプの積層型パッケージを用いた半導体装置の各部材が積層された状態の断面図である。この実施例では、4個のシリコンなどの半導体素子(チップ)を積層しているが、本発明では積層する半導体素子の数は幾つでも良い。2個以上の所要の個数を積層させることができる。
パッケージは、半導体素子25を搭載する配線基板24、半田ボールなどの外部接続端子34を有し最下部に配置される絶縁基板(第1の絶縁基板)21、パッケージを密封し、上部に配置される絶縁基板(第2の絶縁基板)22及び半導体素子25を収容するチップキャビティ部27を有する絶縁基板(第3の絶縁基板)23を積層し、さらにこの積層状態の半導体素子25を被覆するように挿入された、例えば、ポリイミドフィルムなどの高熱伝導性絶縁シート30を有する積層体から構成されている。すなわち、このパッケージは、第1及び第2の絶縁基板の間に高熱伝導性絶縁シート、第3の絶縁基板及び配線基板の積層体が複数積層され、加熱加圧されて一体化されている。
【0022】
半導体素子を搭載する配線基板24には、厚さ40μm程度の銅箔付きガラスエポキシテープなどの絶縁板を用いる。配線基板24にはビア孔に接続電極37が埋め込まれている。配線基板24上の銅箔は、接続電極上のランド31と、その他の領域に形成されて半導体素子25と電気的に接続された配線32とを有する形状にパターニングされている。半導体素子25の厚さ(シリコンチップ厚さ)は、約30〜200μmであり、好ましくは約50〜150μmである。
配線基板24の上には半導体素子25を被覆するように高熱伝導性絶縁シート30が積層に際し配置される。高熱伝導性絶縁シート30にはビア孔に接続電極37dが埋め込まれており、この接続電極37d上にはランド28が形成されている。高熱伝導性絶縁シート30上に配線基板24もしくは第2の絶縁基板22を積層するに際し、ビア孔に埋め込まれた高熱伝導性絶縁シート30の接続電極37dは、ランド28を介してその直上に形成され、配線基板24もしくは第2の絶縁基板22に配置されたビア孔内の接続電極37もしくは37bと電気的に接続されている。
【0023】
下層に配置された第1の絶縁基板21は、ガラスエポキシテープなどからなり、配線32とランド29とを有し、裏面には複数の外部接続端子34が所定の領域にランド29′を介して形成されている。外部接続端子用ボール34は、例えば、半田などの導電性ボールからなる。そして、裏面のそれ以外の領域、従来の半導体装置では外部接続端子用ボールが形成されていない領域に放熱用導電性ボール35がランド29′を介して取り付けられている。放熱用導電性ボールは、外部接続端子用ボールと同じ材料及び同じサイズにできる。勿論サイズを変えることも可能である。また、放熱特性を高くするために放熱用導電性ボールのみ放熱性の高い材料を選択することが可能である。第1の絶縁基板21にはビア孔が形成され、その中に接続電極37aが埋め込まれている。第1の絶縁基板21上に配線基板24を積層するに際し、ビア孔に埋め込まれた第1の絶縁基板21の接続電極37aは、ランド29を介してその直上に形成され、配線基板24に配置されたビア孔内の接続電極37と電気的に接続されている。
最上層に配置された第2の絶縁基板22は、ランド26を有し、ビア孔に接続電極37bが埋め込まれ、この上にランド26が形成されている。
【0024】
第3の絶縁基板23は、厚さ75μm程度の銅箔付きポリイミド基板又はプリント積層板等の絶縁板を用いる。第3の絶縁基板23にはビア孔に接続電極37cが埋め込まれている。第3の絶縁基板23上の銅箔は、接続電極37c上のランド33と配線を有する形状にパターニングされている。第3の絶縁基板23の中央部分には半導体素子25を収容する開口部(チップキャビティ部)27が形成されている。第3の絶縁基板23の厚さは、チップキャビティ部27に半導体素子25が収容される大きさなら配線基板24と同じ厚さであっても薄くても良い。第3の絶縁基板23には接着材が塗布されているので一体化処理を行うと接着剤がチップキャビティ部27に充填されるようになる。第3の絶縁基板23上に高熱伝導性絶縁シート24を積層するに際し、ビア孔に埋め込まれた第3の絶縁基板23の接続電極37cは、ランド33を介してその直上に形成された高熱伝導性絶縁シート24のビア孔内に埋め込まれた接続電極17dと電気的に接続されている。
【0025】
このように積層体を構成する各配線基板及び絶縁基板に埋め込まれた接続電極は、直上もしくは直下に接続されている。したがって、この積層体においては、配線基板や絶縁基板などに埋め込まれた接続電極は、縦方向(積層方向)に電気的に接続されているので信号線や電源線としてのバスとして用いられる。このバスは、積層体の周辺部分の所定位置に複数個配置されている。
積層される半導体素子は、例えば、SDRAMがある。SDRAMを積層する場合は、この実施例のように各半導体素子毎に高熱伝導性絶縁シートを挿入することにより放熱性を高めるようにする。しかし、積層する半導体素子としてSDRAM以外にロジック素子やフラッシュメモリなども積層体に加える場合には、発熱性の低いロジック素子などを高熱伝導性絶縁シートで被覆しないで、SDRAMのみ被覆するようにすることができる。半導体装置の薄型化を進めるなら、このような高熱伝導性絶縁シートも薄型化を阻害する要因になる。また、SDRAMとフラッシュメモリを混載する場合は、発熱性の高いSDRAMからできるだけ離してフラッシュメモリを積層する必要がある。
【0026】
この実施例の半導体装置は、以上のように、ボール状の外部接続端子が取り付けられている絶縁基板の裏面に外部接続端子とともに放熱用導電性ボールが取り付けられており、さらに半導体素子を被覆するように、積層体に高熱伝導性絶縁シートが挿入されているので、積層された半導体素子から発生する熱が速やかに絶縁基板や配線基板に形成された接続電極を構成するバスを介して放熱用導電性ボールに伝えられて放熱がさらに効率良く行われる。
【0027】
次に、図5を参照して第3の実施例を説明する。
図5は、SBMタイプの積層型パッケージを用いた半導体装置を搭載した実装基板の断面図である。例えば、第2の実施例で説明したパッケージ20が実装基板31に搭載される。実装基板31には、例えば、エポキシ樹脂を含浸した6層の配線基板を用いる。配線基板に埋め込まれた多層配線は、最上層に信号配線39が配置され、以下、電源配線39a、信号配線39、39、接地配線39b及び信号配線39の順に多層配置されている。電源配線39a、接地配線39bには一端が実装基板表面に露出しているアルミニウムなどからなる熱伝導路38、38aに接続されている。実装基板31の表面には熱伝導路38、38aが露出しており、さらに、配線及び埋め込まれた配線(図示しない)と電気的に接続され、内部に延在している接続配線(図示しない)等が形成されている。
パッケージ20には下表面に複数の外部接続用ボール34及び複数の放熱用導電性ボール35が取り付けられている。
【0028】
このパッケージ20を実装基板31に搭載する。パッケージ20を実装基板31の表面に載置するに際し、外部接続用ボール34は、信号配線39、電源配線39a、接地配線39bなどの埋め込み配線に実装基板31の埋め込まれた接続配線を介して適宜電気的に接続されている。そして、放熱用導電性ボール35は、実装基板31の表面に露出している熱伝導路38、38aに当接され加熱接合されている。このように、複数の放熱用導電性ボール35は、熱伝導路38、38aを介して電源配線39a又は接地配線39bに適宜接続されているのでパッケージ20の中に収納された半導体素子から発生する熱を実装基板から外部に放出している。放熱がさらに効率良く行われる。
【0029】
【発明の効果】
以上の構成により、半導体素子から発生した熱を効率良く外部接続端子を取り付けた絶縁基板に逃がすことができるので半導体装置自体の温度上昇を防ぎ、例えば、半導体素子がDRAMを含む場合のように、温度上昇が記憶保持特性の劣化を招いていた半導体素子の特性の劣化を防ぐことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係るSBMタイプの積層型パッケージを用いた半導体装置及びこの半導体装置を構成し、外部接続端子を取り付けた絶縁基板の裏面の斜視図。
【図2】図1の半導体装置の各部材が積層された状態の断面図(図1のA−A′線に沿う部分の断面図)。
【図3】本発明の第1の実施例の外部接続端子を取り付けた絶縁基板の他の例を示す平面図。
【図4】本発明の第2の実施例に係るSBMタイプの積層型パッケージを用いた半導体装置の各部材が積層された状態の断面図。
【図5】本発明の第3の実施例に係るSBMタイプの積層型パッケージを用いた半導体装置を搭載した実装基板の断面図。
【図6】パッケージの使用時温度の外部接続端子用ボール依存性を示した特性図。
【図7】従来の積層型パッケージを用いた半導体装置の斜視図及び積層型パッケージの下層の絶縁基板に取り付けた外部接続端子を示す斜視図。
【符号の説明】
1、1′、21、101・・・第1の絶縁基板、
2、22、102・・・第2の絶縁基板、
3、23、103・・・第3の絶縁基板、
4、24、104・・・配線基板、 5、25、105・・・半導体素子(チップ)、
6、9、9′、11、13、26、28、29、29′、33、109、109′、111、113・・・ランド、
7、27、107・・・開口部(チップキャビティ部)、
8、12、32、108、112・・・配線、
10、20・・・パッケージ、
14、34、110・・・外部接続端子用ボール、
14′・・・外部接続端子用ボール領域、
15、35・・・放熱用導電性ボール、
15′・・・放熱用導電性ボール領域、
16・・・アンダーフィル樹脂(樹脂封止体)、
17、17a、17b、17c、17d、37、37a、37b、37c、37d・・・接続電極、
18・・・バンプ電極、 19・・・接着剤層、
30・・・高熱伝導性絶縁シート、 31・・・多層型実装基板、
38、38a、38b・・・熱伝導路、
39・・・信号用基板配線、 39a・・・電源用基板配線、
39b・・・接地用基板配線。
Claims (17)
- 第1の面に配置された配線、第2の面に配置され、外部接続端子用の複数の第1導電性ボール及び第2の面に配置され、放熱用の複数の第2導電性ボールを有する第1の絶縁基板と、
前記第1の絶縁基板の第1の面に対向するように配置された第2の絶縁基板と、
前記第1及び第2の絶縁基板の間に配置された複数の半導体素子ユニットとを具備し、
前記半導体素子ユニットは、半導体素子、前記半導体素子がマウントされ、前記半導体素子の端子に電気的に接続された配線を有する配線基板、この配線基板上に配置され前記半導体素子を収納するチップキャビティ部を有する第3の絶縁基板からなり、前記放熱用の第2導電性ボールは、前記外部接続端子用の第1導電性ボールより熱伝導性の高い材料からなることを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記第1の絶縁基板は、複数の第1のビア孔及び前記第1のビア孔の各々に埋め込まれた複数の第1の接続電極を有し、前記第2の絶縁基板は、複数の第2のビア孔及び前記第2のビア孔の各々に埋め込まれた複数の第2の接続電極を有し、前記第3の絶縁基板の各々は、複数の第3のビア孔及び前記第3のビア孔の各々に埋め込まれた複数の第3の接続電極を有し、前記配線基板の各々は、複数の第4のビア孔及び前記第4のビア孔の各々に埋め込まれた複数の第3の接続電極を有し、前記第1の接続電極、第2の接続電極、第3の接続電極及び第4の接続電極は、前記各第2導電性ボールの直ぐ上に配置され、且つこれら接続電極は互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 第4の接続電極は、前記半導体素子の端子に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記第2導電性ボールは、半田ボールからなることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記第2導電性ボールは、前記第1の絶縁基板の第2の面において、第1導電性ボールが配置された領域より端の領域に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記第2導電性ボールは、前記第1の絶縁基板の第2の面において、第1導電性ボールが配置された領域の周辺の領域に列状に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体素子ユニットの少なくとも1つは、前記半導体素子を被覆する絶縁性の熱伝導性樹脂層を有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記熱伝導性樹脂層は、ポリイミド樹脂層であることを特徴とする請求項7に記載の半導体パッケージ。
- 前記熱伝導性樹脂層は、熱伝導度がポリイミド層より高い熱伝導材料を含んだポリイミド樹脂層であることを特徴とする請求項7に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体素子の少なくとも1つはSDRAMであることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体素子の1つはフラッシュメモリであり、前記フラッシュメモリは、前記SDRAMとは離れた位置に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体パッケージ。
- 前記SDRAMは、前記絶縁性の熱伝導性樹脂層に被覆されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体素子ユニットの少なくとも1つはその半導体素子が前記絶縁性の熱伝導性樹脂層に被覆されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体パッケージ。
- 前記熱伝導性樹脂層は、第5のビア孔及びこの第5のビア孔に埋め込まれた第5の接続電極を有し、各第5の接続電極は、前記各第4の接続電極の直ぐ上に配置され且つ電気的に接続されていることを特徴とする請求項13に記載の半導体パッケージ。
- 前記チップキャビティ部の高さは、前記半導体素子の厚さとほぼ同じであることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 請求項1に記載の半導体パッケージと、
前記半導体パッケージが実装される実装基板とを備え、
前記実装基板上には前記半導体パッケージが実装され、前記実装基板は、複数の配線層と熱伝導路とを有し、複数の配線層の任意の1つは、前記半導体パッケージの前記第2導電性ボールに接続され、前記実装基板に形成された前記熱伝導路に接続されることを特徴とする半導体実装装置。 - 前記第2導電性ボールに接続された前記複数の配線層は、電源配線又は接地配線であることを特徴とする請求項16に記載の半導体実装装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002000069A JP3655242B2 (ja) | 2002-01-04 | 2002-01-04 | 半導体パッケージ及び半導体実装装置 |
US10/331,865 US6774478B2 (en) | 2002-01-04 | 2002-12-30 | Stacked semiconductor package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002000069A JP3655242B2 (ja) | 2002-01-04 | 2002-01-04 | 半導体パッケージ及び半導体実装装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003204038A JP2003204038A (ja) | 2003-07-18 |
JP3655242B2 true JP3655242B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=19190441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002000069A Expired - Fee Related JP3655242B2 (ja) | 2002-01-04 | 2002-01-04 | 半導体パッケージ及び半導体実装装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6774478B2 (ja) |
JP (1) | JP3655242B2 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003110091A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Toshiba Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4005813B2 (ja) * | 2002-01-28 | 2007-11-14 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
SE526006C2 (sv) * | 2003-04-29 | 2005-06-14 | Senseair Ab | Behandlat tunnfilmssubstrat |
JP3685185B2 (ja) * | 2003-06-27 | 2005-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4340517B2 (ja) | 2003-10-30 | 2009-10-07 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
KR100585227B1 (ko) | 2004-03-12 | 2006-06-01 | 삼성전자주식회사 | 열 방출 특성이 개선된 반도체 적층 패키지 및 이를이용한 메모리 모듈 |
US20050269680A1 (en) * | 2004-06-08 | 2005-12-08 | Min-Chih Hsuan | System-in-package (SIP) structure and fabrication thereof |
KR100688500B1 (ko) * | 2004-09-06 | 2007-03-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 칩 보호용 더미 패키지 기판을 구비하는 멀티스택패키지와 그 제조 방법 |
TWI237409B (en) * | 2004-10-08 | 2005-08-01 | Kingbright Electronics Co Ltd | Method of fabricating light emitting diode (LED) |
US7361986B2 (en) * | 2004-12-01 | 2008-04-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Heat stud for stacked chip package |
JP2006165320A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体積層モジュールとその製造方法 |
JP4433298B2 (ja) * | 2004-12-16 | 2010-03-17 | パナソニック株式会社 | 多段構成半導体モジュール |
JP2007123524A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 電子部品内蔵基板 |
KR100712549B1 (ko) * | 2006-01-31 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 패키지 리드를 포함하는 멀티 스택 패키지 |
US7990727B1 (en) * | 2006-04-03 | 2011-08-02 | Aprolase Development Co., Llc | Ball grid array stack |
US7608921B2 (en) * | 2006-12-07 | 2009-10-27 | Stats Chippac, Inc. | Multi-layer semiconductor package |
JP5068990B2 (ja) * | 2006-12-26 | 2012-11-07 | 新光電気工業株式会社 | 電子部品内蔵基板 |
US7550828B2 (en) * | 2007-01-03 | 2009-06-23 | Stats Chippac, Inc. | Leadframe package for MEMS microphone assembly |
US8304923B2 (en) * | 2007-03-29 | 2012-11-06 | ADL Engineering Inc. | Chip packaging structure |
US7763493B2 (en) * | 2007-06-26 | 2010-07-27 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with top and bottom terminals |
KR100881400B1 (ko) * | 2007-09-10 | 2009-02-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 패키지 및 이의 제조 방법 |
KR101013555B1 (ko) * | 2008-10-09 | 2011-02-14 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 패키지 및 이의 제조 방법 |
JP2013065835A (ja) * | 2011-08-24 | 2013-04-11 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置の製造方法、ブロック積層体及び逐次積層体 |
US8698293B2 (en) * | 2012-05-25 | 2014-04-15 | Infineon Technologies Ag | Multi-chip package and method of manufacturing thereof |
US9113573B2 (en) * | 2012-11-21 | 2015-08-18 | Intel Corporation | Molded insulator in package assembly |
US10090235B2 (en) * | 2013-11-14 | 2018-10-02 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and semiconductor package |
US20150179557A1 (en) * | 2013-12-21 | 2015-06-25 | International Business Machines Corporation | Semiconductor chips having heat conductive layer with vias |
TWI644334B (zh) * | 2018-03-06 | 2018-12-11 | 台灣染敏光電股份有限公司 | 染料敏化太陽能電池封裝設備及方法 |
JP2022154937A (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-13 | 株式会社デンソー | 回路基板内に電気部品を内蔵する半導体装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5579207A (en) * | 1994-10-20 | 1996-11-26 | Hughes Electronics | Three-dimensional integrated circuit stacking |
KR0184076B1 (ko) | 1995-11-28 | 1999-03-20 | 김광호 | 상하 접속 수단이 패키지 내부에 형성되어 있는 3차원 적층형 패키지 |
JP3634048B2 (ja) | 1996-02-28 | 2005-03-30 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
JPH09326450A (ja) | 1996-06-03 | 1997-12-16 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH10163414A (ja) | 1996-09-17 | 1998-06-19 | Hitachi Ltd | マルチチップ半導体装置 |
JPH10135267A (ja) | 1996-10-30 | 1998-05-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 実装基板の構造及びその製造方法 |
GB2330750B (en) | 1997-10-24 | 2002-09-04 | Sony Uk Ltd | Audio processing |
JPH11163229A (ja) | 1997-11-26 | 1999-06-18 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
US6122171A (en) * | 1999-07-30 | 2000-09-19 | Micron Technology, Inc. | Heat sink chip package and method of making |
TW462121B (en) * | 2000-09-19 | 2001-11-01 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Heat sink type ball grid array package |
-
2002
- 2002-01-04 JP JP2002000069A patent/JP3655242B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-30 US US10/331,865 patent/US6774478B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003204038A (ja) | 2003-07-18 |
US6774478B2 (en) | 2004-08-10 |
US20030127736A1 (en) | 2003-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3655242B2 (ja) | 半導体パッケージ及び半導体実装装置 | |
US7928590B2 (en) | Integrated circuit package with a heat dissipation device | |
JP4938273B2 (ja) | ミラー構造を有するスタックボードオンチップパッケージ及びそれを装着した両面実装型メモリモジュール | |
JP5042668B2 (ja) | 積層パッケージ | |
US6121676A (en) | Stacked microelectronic assembly and method therefor | |
US20150221625A1 (en) | Semiconductor package having a dissipating plate | |
US7473993B2 (en) | Semiconductor stack package and memory module with improved heat dissipation | |
JP5413971B2 (ja) | 電子部品実装装置及びその製造方法 | |
JPH07169872A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20090008771A1 (en) | Semiconductor module device, method of manufacturing the same, flat panel display, and plasma display panel | |
JPH09129817A (ja) | 半導体装置 | |
WO2011065544A1 (ja) | 半導体装置、3次元実装型半導体装置、半導体モジュール、電子機器、及びその製造方法 | |
JP3776637B2 (ja) | 半導体装置 | |
US20030015803A1 (en) | High-density multichip module and method for manufacturing the same | |
JP3944898B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2007281201A (ja) | 半導体装置 | |
JP4919689B2 (ja) | モジュール基板 | |
JP3611957B2 (ja) | 積層型実装体 | |
JP2000156460A (ja) | 半導体装置 | |
JP2003273321A (ja) | 半導体モジュール | |
KR101027984B1 (ko) | 히트싱크를 갖는 기판보드 어셈블리 | |
JP2006229163A (ja) | 積層型半導体装置 | |
US20230411237A1 (en) | Memory device and memory device module | |
JP4514530B2 (ja) | 精密機器に内蔵される回路モジュールおよび精密機器 | |
CN209949522U (zh) | 电路板、电路板组件以及电子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050131 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050223 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050302 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080311 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090311 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100311 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100311 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110311 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |