JP3776637B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の半導体素子を積層する積層型パッケージを使用した半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置は、高密度実装化を目的として半導体素子を積層して用いることが多くなっている。従来用いられている積層パッケージは、例えば、特開平9−219490号公報、特開平10−135267号公報、特開平10−163414号公報に記載されている。これらの従来のパッケージではTSOP(Thin Small Outline Package)、TCP(Tape Carrier Package)、BAG(Ball Grid Array) などのパッケージを組み立て完成させた後、各パッケージに予め設けた外部接続端子を個別に積み重ねることにより、各々を積層し、さらに電気的接続を行っている。すなわち従来の積層型パッケージは、各パッケージの組み立て工程に加え、各パッケージ毎の積層加工工程が加わる。したがって、工程数が積層個数分増加するシーケンシャル工法になり、この工法による加工コストの増加、また個別に積層するスペーサなどの部材を用いることによるコストが増加している。
また、従来半導体モジュールは、パッケージとして個別に組み立てたものを積層し、これを組み立てたものを1つのモジュールとしている。
【0003】
図11は、従来のモールドタイプのパッケージを積層した半導体装置の断面図、図12は、図11に記載のパッケージ搭載したモジュール基板の平面図である。図11は、樹脂モールドされたパッケージを積層した半導体装置である。この半導体パッケージは、インナーリード206、素子搭載部207及びアウターリード208とを備えたリードフレーム205を有し、素子搭載部207にはシリコン半導体素子(チップ)201が搭載されている。シリコンチップ201に形成された電極は、インナーリード206にAuなどのボンディングワイヤ202を用いて電気的に接続されている。そして、チップ201、インナーリード206、素子搭載領域207及びボンディングワイヤ202は、モールド樹脂封止体204により被覆されている。モルード樹脂封止体204からはアウターリード208が突出している。この構造のパッケージBがパッケージAの上に積層されている。この積層されたパッケージA及びパッケージBがモジュール基板に複数搭載されている。このモジュール基板が複数個実装基板に取り付けられてシステムを構成している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように従来の積層パッケージは、パッケージ厚が厚く、基板に搭載する必要がある場合は総モジュール厚が厚くなるという問題があった。また、パッケージを横一列に実装していく場合にはモジュールサイズが大きくなるという欠点が問題であった。また、上段と下段のパッケージがアウターリードによって基板に接続されているのでパッケージ積層ズレによりアウタリード間のショートが発生する可能性があった。
今後高密度化と共に薄型化が進んでICカードや携帯電話などの用途拡大が進む半導体装置の開発に向けて厚さが30乃至200μm程度の薄型の半導体チップに適した薄い積層型パッケージを形成するには前述した従来の方法で形成することは困難であり、また、ICカードのように弾力性のある媒体に用いるには弾力性に乏しく適用性に問題があった。
また、従来のパッケージ方法ではパッケージを積層したときに積層体内部の放熱性が十分ではなく、モジュール内部から発生する熱を均一に放熱させる必要性があった。
本発明は、このような事情によりなされたものであり、薄く密閉性、弾力性にすぐれ、放熱性の優れた積層型パッケージを用いた半導体装置を提供する。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ビアに埋め込まれた複数の接続電極及びこの接続電極に電気的に接続された配線を備えた複数の配線基板と、前記配線基板に搭載された半導体素子と、半導体素子が収容される開口部を有し、ビアに埋め込み形成された接続電極を備えた複数の導電ビア絶縁基板とを交互に積層し一体化して薄型半導体素子をが収容可能な薄型半導体装置を得ることを特徴としている。また、積層された前記配線基板導電ビア絶縁基板との間に放熱路を有する絶縁スペーサを挿入して内部からの熱を有効に放熱させることを特徴としている。
薄型の半導体素子をダメージを与えること無く縦方向に積層させることができるとともに、小形化、薄型化が可能になる。また、半導体装置全体からの均一な放熱が可能になるので、半導体素子の破壊防止、半導体素子の高速対応が可能になる。
【0007】
また、本発明の半導体装置は、熱伝導層が埋め込み形成された複数の第1のビア、接続電極が埋め込み形成された複数の第2のビア及びこの接続電極に電気的に接続された配線を備えた複数の配線基板と、前記配線基板に搭載され、前記配線と電気的に接続された半導体素子と、前記半導体素子が収容される開口部を有し、熱伝導層が埋め込み形成された複数の第1のビア及び接続電極が埋め込み形成された複数の第2のビアを備えた複数の導電ビア絶縁基板と、熱伝導層が埋め込み形成された複数の第1のビア、接続電極が埋め込み形成された複数の第2のビア及び放熱路を備えた複数の絶縁スペーサとを備え、前記半導体素子が搭載された配線基板と、この配線基板上に前記開口部に前記半導体素子が完全に収容されるように積層された前記導電ビア絶縁基板と、前記絶縁スペーサとで積層体が構成され、この積層体を複数重ねて一体化されており、前記配線基板の前記接続電極と前記導電ビア絶縁基板の前記接続電極と前記絶縁スペーサの前記接続電極とは積層方向において電気的に接続されており、且つ前記配線基板の前記熱伝導層と前記導電ビア絶縁基板の前記熱伝導層と前記絶縁スペーサの前記熱伝導層とは積層方向において電気的に接続され前記放熱路に接続されており、前記絶縁スペーサに形成された放熱路は前記半導体素子に接触していることを特徴としている。複数のビアに埋め込み形成された接続電極を備え、半導体素子を収容する開口部もしくは凹部が形成されていない導電ビア絶縁基板を前記積層体の上面もしくは上面及び下面に積層するようにしても良い。前記開口部もしくは凹部が形成されていない導電ビア絶縁基板には外部接続端子として用いられる複数のバンプ電極が形成されているようにしても良い。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して発明の実施の形態を説明する。
まず、図1乃至図3を参照して第1の実施例である積層型パッケージを用いた半導体装置を説明する。
図1は、積層型パッケージを用いた半導体装置の斜視図、図2は、半導体装置に用いる配線基板と導電ビア絶縁基板の断面図、図3は、半導体装置の断面図及び平面図である。この実施例は4つの半導体素子を積層した例であるが、本発明では積層する半導体素子の数は4個に限定されない。2個以上の必要とする個数を積層させることができる。パッケージは、半導体素子5を収容する導電ビア絶縁基板20、半導体素子5を搭載させる配線基板30、パッケージを密封する下層の導電ビア絶縁基板22及び外部接続端子10を有する上層の導電ビア絶縁基板21から構成されている。すなわち、パッケージは、上層及び下層の導電ビア絶縁基板21、22の間に導電ビア絶縁基板20と配線基板30との積層体が複数層積層され、加熱加圧されて一体に構成されている。図3は、加熱加圧により一体化されたパッケージの断面図である。図1で説明したように、配線基板30及び導電ビア絶縁基板20を交互に積層し、上下を開口部のない導電ビア絶縁基板21、22で挟まれている。積層体のビア部分は、積層方向に一列に並び、互いに電気的に接続されている。
【0009】
図2に示すように、半導体素子を搭載する配線基板30は、厚さ40μm程度の銅箔付きポリイミドフィルムもしくはプリント積層板などの絶縁板1を用いる。絶縁板1にはビアに接続電極7が埋め込まれている。絶縁板1上の銅箔は、接続電極7上のランド17とその他の領域に形成され、半導体素子5と電気的に接続された配線8とを有する形状にパターニングされている。半導体素子5(シリコンチップ)の厚さは、約30〜200μmであり、好ましくは約50〜150μmである。半導体素子5にははんだボールのようなバンプ電極が形成されており、配線8に電気的に接続される。また、絶縁板1と半導体素子5との間にはアンダーフィル樹脂封止体9が充填されている。
導線ビア絶縁基板20は、厚さ75μm程度の銅箔付きポリイミド基板もしくはプリント積層板などの絶縁板6を用いる。絶縁板6にはビアに接続電極2が埋め込まれている。絶縁板6上の銅箔は、接続電極2上のランド3とその他の領域に形成された配線16とを有する形状にパターニングされている。絶縁基板6の中央部分には半導体素子を収容する開口部12が形成されている。
【0010】
本発明においては、導電ビア絶縁基板20の厚さは、開口部12に半導体素子5が収容される大きさなら配線基板30と同じ厚さであっても薄くても良い。
開口部12の厚さ(導電ビア絶縁基板20の厚さ)は、半導体素子5の厚さとバンプ電極の高さの和とほぼ同じかそれより高いようになっている。開口部12は、面積的には、ほぼ半導体素子5と同じ形状か幾分大きく形成されている。このとき導電ビア絶縁基板には接着材4が塗布されている。接着材4は、配線基板30の裏面にも形成されている。積層する前の導電ビア絶縁基板もしくは配線基板の両面に接着材が設けてあれば他方の配線基板もしくは導電ビア絶縁基板には接着材を形成する必要はない。
下層の導電ビア絶縁基板22は、配線とランドとを有し、ビアにAgペーストなどからなる接続電極が埋め込まれている。接続電極上にはランド3が形成されている。また、上層の導電ビア絶縁基板21は、配線とランドとを有し、裏面には外部接続端子10が形成されている。
【0011】
次に、この実施例で形成される半導体装置の製造方法を説明する。
まず、導電ビア絶縁基板を形成する。始めに絶縁基板を用意し、この絶縁基板に銅箔を張り合わせる。その後、露光、現像、エッチングを行って、絶縁基板上の銅箔をパターニングし配線パターンなどを形成する。次に、配線パターン表面を粗面化して処理を容易にしてからパターン表面にめっきを施す。その後、エポキシ樹脂などの熱硬化型接着材をコートし、これをプレキュアする。次に、レーザ加工によりビアを形成する。このビアに銀又は銅フィラー入りの導電性樹脂ペーストを充填して接続電極を形成する。その後、レーザ加工により半導体素子が収容される開口部を形成する。
【0012】
次に、半導体素子を搭載する配線基板を形成する。銅箔を張り合わせたプリント積層板からなる絶縁基板に所定のマスクを施して、これをエッチングし配線パターン及びランドを形成する。その後絶縁基板にYAGレーザ、炭酸ガスレーザなどを用いて複数のビアを形成する。そして、ビアには銀又は銅フィラー入りの導電性樹脂ペーストをスクリーン印刷することにより接続電極を埋め込む。接続電極の形成方法には、ビア内壁に銅メッキもしくは金メッキを施してからビア内に導電性材料を埋め込む方法も可能である。この配線基板にフリップチップ工法などにより半導体素子(チップ)をダイボンドして搭載させる。半導体素子を配線基板に搭載するには、はんだボールなどの接続端子を配線パターンに接続してなる。接続端子は、アンダーフィル樹脂により被覆保護される。そして、この配線基板に導電ビア絶縁基板を位置合せを行って半導体素子が開口部に配置されるように積層させる。続いて、位置合せを行ってから積層体を真空プレスなど加熱圧縮機により接着材の硬化温度でプレスする。最後に各パッケージ外形に沿ってブレード、ルータなどで切断して積層パッケージを形成する。
【0013】
この実施例では導電ビア絶縁基板に複数の開口部を形成し、配線基板に複数の半導体素子を搭載させ、これらを交互に積層させて複数の半導体素子積層体を形成し、最終的に各半導体素子積層体毎にブレードして積層パッケージ形成の効率化を計っている。
この実施例の半導体装置は、以上のような構成により、薄い積層型パッケージを有する半導体装置を得ることができる。また、積層の上下を導電ビア絶縁基板により挟まれているので、半導体素子に対する密閉性が高くなっている。
【0014】
次に、図4を参照して第2の実施例を説明する。
図4は、積層型パッケージを用いた半導体装置の断面図及び半導体装置の上面を示す平面図である。この実施例は4つの半導体素子を積層した例であるが、本発明では積層する半導体素子の数は4個に限定されない。2個以上の必要とする個数を積層させることができる。パッケージは、半導体素子25を収容する凹部43を有する配線基板40、パッケージを密封する下層の配線基板42及び外部接続端子(図示せず)を有する上層の配線基板41から構成されている。すなわち、パッケージは、上層及び下層の配線基板41、42の間に配線基板40が複数層積層され、加熱加圧されて一体に構成されている。図4は、加熱加圧により一体化されたパッケージの断面図である。配線基板40、41、42の積層体のビア部分は、積層方向に一列に並び、互いに電気的に接続されている。
【0015】
半導体素子を搭載する配線基板40は、厚さ40μm程度の銅箔付きポリイミドフィルムもしくはプリント積層板などの絶縁板を用いる。絶縁板にはビアに接続電極37が埋め込まれている。絶縁板上の銅箔は、接続電極37上のランド47とその他の領域に形成され、半導体素子25と電気的に接続された配線38とを有する形状にパターニングされている。半導体素子25のチップ厚さは、約30〜200μmであり、好ましくは約50〜150μmである。半導体素子25にははんだなどのバンプ電極が形成されており配線38に電気的に接続される。また、配線基板40と半導体素子25との間にはアンダーフィル樹脂封止体39が充填されている。
配線基板40の中央部分には半導体素子を収容する凹部43が形成されている。配線基板40の厚さは、凹部43に半導体素子25が収容される大きさなら配線基板40と同じ厚さであっても薄くても良い。凹部43の深さは、半導体素子25の厚さとバンプ電極の高さの和とほぼ同じかそれより高いようになっている。凹部43は、面積的にはほぼ半導体素子25と同じ形状か幾分大きく形成されている。このとき配線基板40には接着材(図示せず)が塗布されている。積層する前の導電ビア絶縁基板もしくは配線基板の両面に接着材が設けてあれば他方の配線基板もしくは導電ビア絶縁基板には接着材を形成する必要はない。
【0016】
下層の配線基板42は、凹部がなく配線とランド47とを有し、ビアにAgペーストなどからなる接続電極37が埋め込まれている。接続電極37上にはランド47が形成されている。また、上層の配線基板41は、凹部がなく配線とランド47とを有し、裏面には外部接続端子(図示しない)が形成されている。
この実施例の半導体装置は、以上のような構成により、薄い積層型パッケージを有する半導体装置を得ることができる。また、積層の上下を配線基板により挟まれているので、半導体素子に対する密閉性が高くなっている。
薄型の半導体素子をダメージを与えること無く縦方向に積層させることができるとともに、小形化、薄型化が可能になる。また、半導体装置全体からの均一な放熱が可能になるので、半導体素子の破壊防止、半導体素子の高速対応が可能になる。
この実施例では、第1の実施例の配線基板と導電ビア絶縁基板とを一体化した構造になっているので構造が簡略化され、高速化対応モジュールの形成が可能である。また、積層総数が少なくなるので、低コストで接続部の信頼性を向上させることができる。
【0017】
次に、図5乃至図9を参照して第3の実施例を説明する。
図5は、半導体装置に用いる放熱路を有する絶縁スペーサの断面図及び平面図、図6は、半導体装置に用いる導電ビア絶縁基板の断面図、図7は、半導体装置に用いる半導体素子を搭載した配線基板の断面図、図8は、配線基板、導電ビア絶縁基板及び絶縁スペーサを各1積層した積層体の断面図、図9は、半導体装置の断面図である。この実施例は、積層型パッケージを有する半導体装置の放熱構造に特徴がある。この半導体装置は、熱伝導層72が埋め込み形成された複数の第1のビア(サーマルビア)、接続電極73が埋め込み形成された複数の第2のビア及びこの接続電極73に電気的に接続された配線78を備えた複数の配線基板70(図7)と、前記配線基板70に搭載され、前記配線78と電気的に接続された半導体素子75と、前記半導体素子75が収容される開口部65を有し、熱伝導層62が埋め込み形成された複数の第1のビア(サーマルビア)及び接続電極63が埋め込み形成された複数の第2のビアを備えた複数の導電ビア絶縁基板60(図6)と、熱伝導層52が埋め込み形成された複数の第1のビア(サーマルビア)、接続電極53が埋め込み形成された複数の第2のビア及び銅箔などから形成された放熱路51を備えた複数の絶縁スペーサ50(図5)とを備えている。導電ビア絶縁基板60の熱伝導層62及び配線基板70の熱伝導層72は、いずれも銅箔などからなるランド61、71に被覆されている。
【0018】
半導体素子75が搭載された配線基板70と、この配線基板70上に開口部65に半導体素子が完全に収容されるように積層された導電ビア絶縁基板60と、絶縁スペーサ50とは、積層されて積層体を構成している(図8)。この積層体を複数重ねて一体化して半導体装置の積層パッケージを形成する(図9)。配線基板70の接続電極73と導電ビア絶縁基板60の接続電極63と絶縁スペーサ50の接続電極53とは積層方向において電気的に接続されており、且つ配線基板70の熱伝導層72と導電ビア絶縁基板60の熱伝導層62と絶縁スペーサ50の熱伝導層52とは積層方向において電気的に接続され放熱路に接続されている。
図9に示すように各半導体素子から発生した熱は放熱路、熱伝導層を介して外部に放熱される。この実施例では積層方向に熱伝導層52、62、72から形成される2列の放熱経路が形成される。図の左側が信号ライン、右側が放熱経路である。
この実施例では薄型の半導体素子をダメージを与えること無く縦方向に積層させることができるとともに、小形化、薄型化が可能になる。また、半導体装置全体からの均一な放熱が可能になるので、半導体素子の破壊防止、半導体素子の高速対応が可能になる。
【0019】
次に、図10を参照して第4の実施例を説明する。
図10は、半導体装置の断面図である。この実施例は、積層型パッケージを有する半導体装置の放熱構造に特徴がある。この半導体装置は、熱伝導層102が埋め込み形成された複数の第1のビア(サーマルビア)、接続電極103が埋め込み形成された複数の第2のビア及びこの接続電極103に電気的に接続された配線108を備えた複数の配線基板100と、配線基板100に搭載され、配線108と電気的に接続された半導体素子105と、半導体素子105が収容される開口部95を有し、熱伝導層92が埋め込み形成された複数の第1のビア(サーマルビア)及び接続電極93が埋め込み形成された複数の第2のビアを備えた複数の導電ビア絶縁基板90と、熱伝導層82が埋め込み形成された複数の第1のビア(サーマルビア)、接続電極83が埋め込み形成された複数の第2のビア及び銅箔などから形成された放熱路81を備えた複数の絶縁スペーサ80とを備えている。導電ビア絶縁基板90の熱伝導層92及び配線基板100の熱伝導層102は、いずれも銅箔などからなるランド91、101に被覆されている。
【0020】
半導体素子105が搭載された配線基板100と、この配線基板100上に開口部95に半導体素子が完全に収容されるように積層された導電ビア絶縁基板90と、絶縁スペーサ80は積層されて積層体を構成している。この積層体を複数重ねて一体化して半導体装置の積層パッケージを形成する。配線基板100の接続電極103と導電ビア絶縁基板90の接続電極93と絶縁スペーサ80の接続電極83とは積層方向において電気的に接続されており、且つ配線基板100の熱伝導層102と導電ビア絶縁基板90の熱伝導層92と絶縁スペーサ80の熱伝導層82とは積層方向において電気的に接続され放熱路に接続されている。
この実施例では上層の絶縁スペーサ80上にヒートスプレッダ110が形成されている。また、下層の配線基板100の裏面にははんだボールなどの外部接続端子112と放熱経路を支持する支持部111が形成されている。
【0021】
図10に示すように各半導体素子から発生した熱は放熱路、熱伝導層を介して外部に放熱される。この実施例では積層方向に熱伝導層82、92、102から形成される2列の放熱経路が形成される。図の左側が信号ライン、右側が放熱経路である。
この実施例では薄型の半導体素子をダメージを与えること無く縦方向に積層させることができるとともに、小形化、薄型化が可能になる。また、半導体装置全体からの均一な放熱が可能になるので、半導体素子の破壊防止、半導体素子の高速対応が可能になる。放熱特性は、ヒートスプレッダによりさらに向上する。
【0022】
【発明の効果】
本発明は、以上の構成により、薄型の半導体素子をダメージを与えること無く縦方向に積層させることができるとともに、小形化、薄型化が可能になる。
また、半導体装置内部の放熱特性を改善させることにより、表面層半導体素子と内部の半導体素子との動作スピード差がなくなる。また、全体発熱温度の低下により高速モジュールの性能が向上する。さらに、内部半導体素子の素子表面最大許容温度オーバーがなくなり、半導体素子破壊の発生が低下する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例の半導体装置の斜視図。
【図2】第1の実施例の半導体装置に用いる配線基板と導電ビア絶縁基板の積層体の断面図。
【図3】第1の実施例の半導体装置の断面図及び平面図。
【図4】第2の実施例の半導体装置の断面図及び平面図。
【図5】第3の実施例の半導体装置に用いる絶縁スペーサの断面図及び平面図。
【図6】第3の実施例の半導体装置に用いる導電ビア絶縁基板の断面図。
【図7】第3の実施例の半導体装置に用いる配線基板の断面図。
【図8】第4の実施例の半導体装置に用いる配線基板と導電ビア絶縁基板の積層体の断面図。
【図9】第4の実施例の半導体装置の断面図。
【図10】第5の実施例の半導体装置の断面図。
【図11】従来の積層パッケージの断面図。
【図12】従来の積層パッケージを搭載した実装基板の断面図及び平面図。
【符号の説明】
1、6・・・絶縁板、
2、7、37、53、63、73、83、93、103・・・接続電極、
3、17、47、61、71、91、101・・・ランド、
4・・・接着材、 5、25、75、105、201・・・半導体素子、
8、16、38、78、108・・・配線、
9、39、204・・・樹脂封止体、
10、112・・・外部接続端子、 12、65、95・・・開口部、
20、21、22、60、90・・・導電ビア絶縁基板、
30、40、41、42、70、100・・・配線基板、
50、80・・・絶縁スペーサ、 51、81・・・放熱路、
52、62、72、82、92、102・・・熱伝導層、
110・・・ヒートスプレッダ、 111・・・支持部、
202・・・ボンディングワイヤ、 205・・・リードフレーム、
206・・・インナーリード、 207・・・素子搭載部、
208・・・アウターリード。
Claims (3)
- 熱伝導層が埋め込み形成された複数の第1のビア、接続電極が埋め込み形成された複数の第2のビア及びこの接続電極に電気的に接続された配線を備えた複数の配線基板と、前記配線基板に搭載され、前記配線と電気的に接続された半導体素子と、前記半導体素子が収容される開口部を有し、熱伝導層が埋め込み形成された複数の第1のビア及び接続電極が埋め込み形成された複数の第2のビアを備えた複数の導電ビア絶縁基板と、熱伝導層が埋め込み形成された複数の第1のビア、接続電極が埋め込み形成された複数の第2のビア及び放熱路を備えた複数の絶縁スペーサとを備え、前記半導体素子が搭載された配線基板と、この配線基板上に前記開口部に前記半導体素子が完全に収容されるように積層された前記導電ビア絶縁基板と、前記絶縁スペーサとで積層体が構成され、この積層体を複数重ねて一体化されており、前記配線基板の前記接続電極と前記導電ビア絶縁基板の前記接続電極と前記絶縁スペーサの前記接続電極とは積層方向において電気的に接続されており、且つ前記配線基板の前記熱伝導層と前記導電ビア絶縁基板の前記熱伝導層と前記絶縁スペーサの前記熱伝導層とは積層方向において電気的に接続され前記放熱路に接続されており、前記絶縁スペーサに形成された放熱路は前記半導体素子に接触していることを特徴とする半導体装置。
- 複数のビアに埋め込み形成された接続電極を備え、半導体素子を収容する開口部もしくは凹部が形成されていない導電ビア絶縁基板を前記積層体の上面もしくは上面及び下面に積層したことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記開口部もしくは凹部が形成されていない導電ビア絶縁基板には外部接続端子として用いられる複数のバンプ電極が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25836099A JP3776637B2 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25836099A JP3776637B2 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001085603A JP2001085603A (ja) | 2001-03-30 |
JP3776637B2 true JP3776637B2 (ja) | 2006-05-17 |
Family
ID=17319162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25836099A Expired - Lifetime JP3776637B2 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3776637B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3722209B2 (ja) | 2000-09-05 | 2005-11-30 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置 |
JP3874062B2 (ja) | 2000-09-05 | 2007-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置 |
JP4694007B2 (ja) * | 2001-02-14 | 2011-06-01 | イビデン株式会社 | 三次元実装パッケージの製造方法 |
US7049528B2 (en) | 2002-02-06 | 2006-05-23 | Ibiden Co., Ltd. | Semiconductor chip mounting wiring board, manufacturing method for same, and semiconductor module |
JP4509645B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2010-07-21 | パナソニック株式会社 | 回路部品内蔵モジュールおよびその製造方法 |
US7191516B2 (en) * | 2003-07-16 | 2007-03-20 | Maxwell Technologies, Inc. | Method for shielding integrated circuit devices |
JP4688526B2 (ja) * | 2005-03-03 | 2011-05-25 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
TW200737506A (en) | 2006-03-07 | 2007-10-01 | Sanyo Electric Co | Semiconductor device and manufacturing method of the same |
TWI367557B (en) * | 2006-08-11 | 2012-07-01 | Sanyo Electric Co | Semiconductor device and manufaturing method thereof |
KR100885911B1 (ko) | 2006-11-16 | 2009-02-26 | 삼성전자주식회사 | 열방출 특성을 개선한 반도체 패키지 |
JP5040345B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2012-10-03 | パナソニック株式会社 | 回路接合方法、回路基板積層体およびメモリカード |
US8618669B2 (en) | 2008-01-09 | 2013-12-31 | Ibiden Co., Ltd. | Combination substrate |
KR101552166B1 (ko) | 2013-08-30 | 2015-09-10 | 국방과학연구소 | 레이더용 송수신모듈을 위한 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
KR102341755B1 (ko) | 2014-11-10 | 2021-12-23 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
-
1999
- 1999-09-13 JP JP25836099A patent/JP3776637B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001085603A (ja) | 2001-03-30 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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