JP3319960B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
回路に関し、詳しくは半導体集積回路の電圧降下回路に
関する。
は、トランジスタの信頼性確保や消費電流の削減のため
に、降下した駆動電圧で内部回路を動作させる必要があ
る。しかしながら外部インターフェース等の関係から、
半導体集積回路に供給する駆動電圧を自由に設定するこ
とは困難である。そこで一般には、半導体集積回路内部
に内部降圧回路を設け、外部から供給される駆動電圧を
変換して所望の駆動電圧を得ている。
ドとアクティブモードとの2つのモードで動作する。ス
タンバイモードは半導体集積回路の内部回路が非活性の
場合の動作モードであり、アクティブモードは内部回路
が活性化された場合の動作モードである。例えばDRA
M等の半導体記憶装置に於ては、スタンバイモードはコ
マンド入力を待機する状態であり、アクティブモードは
メモリセルに対するデータ読み書きを行う動作状態であ
る。
ティブモードとでは、内部回路に供給する電流量や内部
回路動作に伴う電圧のAC変動に対する応答速度等の面
に於て、内部降圧回路に要求される性能が異なる。スタ
ンバイモード中は、トランジスタのリーク電流を補償す
る程度の供給電流量があれば充分であり、また内部回路
が非活性であるので電圧のAC変動に対する応答速度は
遅くてよい。それに対してアクティブモード中は、大量
の内部回路が動作するのでmAオーダーの電流供給が必
要であり、また内部回路の動作に伴う電圧のAC変動に
対しては早い反応速度が必要である。
ンバイモードとアクティブモードとの2つの異なった動
作モードに対応して、異なった制御を行う必要がある。
図5は、半導体集積回路で従来用いられる内部降圧回路
の一例を示す。図5の降圧回路は、スタンバイモード及
びアクティブモードに於て用いられる内部降圧回路20
0と、アクティブモードに於てのみ用いられる内部降圧
回路210とを含む。内部降圧回路200は、PMOS
トランジスタ201、202、及び206と、NMOS
トランジスタ203乃至205を含み、内部降圧回路2
10は、PMOSトランジスタ211及び212、NM
OSトランジスタ213乃至215、PMOSトランジ
スタ216乃至218、更にインバータ219を含む。
ンジスタ201及び202とNMOSトランジスタ20
3乃至205とは、差動型の増幅器を構成する。即ち、
基準電圧Vbと内部回路に供給する内部電圧Viとを比
較して、基準電圧Vbが内部電圧Viより高い場合に
は、NMOSトランジスタ203がオンになりノードN
1の電位が下がる。従ってPMOSトランジスタ206
がオンとなり内部電圧Viを上昇させる。逆に基準電圧
Vbが内部電圧Viより低い場合には、NMOSトラン
ジスタ203がオフとなりノードN1の電位が上がる。
従ってPMOSトランジスタ206がオフとなり内部電
圧Viを下降させる。このようにPMOSトランジスタ
206のドレイン電位を差動型増幅器にフィードバック
することにより、基準電圧Vbに等しい内部電圧Viを
生成することができる。
ンジスタ211及び212とNMOSトランジスタ21
3乃至215とは、差動型の増幅器を構成する。即ち、
基準電圧Vbと内部回路に供給する内部電圧Viとを比
較して、基準電圧Vbが内部電圧Viより高い場合に
は、NMOSトランジスタ213がオンになりノードN
2の電位が下がる。従ってPMOSトランジスタ216
がオンとなり内部電圧Viを上昇させる。逆に基準電圧
Vbが内部電圧Viより低い場合には、NMOSトラン
ジスタ213がオフとなりノードN2の電位が上がる。
従ってPMOSトランジスタ216がオフとなり内部電
圧Viを下降させる。このようにPMOSトランジスタ
216のドレイン電位を差動型増幅器にフィードバック
することにより、基準電圧Vbに等しい内部電圧Viを
生成することができる。また内部降圧回路210には、
半導体集積回路のアクティブモードを指定する信号に応
じて、その動作をオン・オフする機能が設けられてい
る。即ち例えば、DRAMに於ける/RAS(row addr
ess strobe)信号をインバータ219を介してNMOS
トランジスタ215のゲート入力とし、/RASがロー
の場合のみ差動型増幅器が動作するように構成される。
なおPMOSトランジスタ217及び218は、差動型
増幅器が動作してない場合にノードN2等の電位が中間
電位とならないように、NMOSトランジスタ213及
び214を電源電圧Vccにクランプするために設けら
れている。
0のみが電流を供給するので、供給電流量は少なく、電
圧AC変動に対する反応速度は遅くてよい。具体的には
μAオーダーの電流供給量と、μsecオーダーの反応
速度があれば充分である。従って、内部降圧回路200
から内部回路に電流を供給するPMOSトランジスタ2
06のゲート幅は、比較的狭くてよい。また差動増幅器
の消費電流はμAオーダーでよい。
時に内部回路に電流を供給するので、供給電流量は多
く、電圧AC変動に対する反応速度は早い必要がある。
具体的には、mAオーダーの電流供給量と、nsecオ
ーダーの反応速度を必要とする。従って、内部降圧回路
210から内部回路に電流を供給するPMOSトランジ
スタ216は、ゲート幅の比較的広いものが用いられ
る。また差動増幅器の消費電流はmAオーダー必要であ
る。
スタンバイモード及びアクティブモードに対応すること
は可能である。しかしながら、供給電流量が少なくてよ
いスタンバイモード時に於ても内部降圧回路210を用
いるとすると、内部降圧回路210に於ける電力消費量
が内部降圧回路200に於ける電力消費量よりも大きい
ため、無駄な電力消費の原因となる。実際、半導体集積
回路のチップ内に3mAを消費する内部降圧回路210
を5個配置するとすると、内部降圧回路210全体での
電流消費は最大15mAになる。
い内部降圧回路200と電力消費量の多い内部降圧回路
210とを、スタンバイモード及びアクティブモードに
応じて制御する必要がある。
上記スタンバイモードが更に2つのモードに分れている
ものが存在する。例えば、SDRAM(Synchronous Dy
namic RAM )に於ては、データ読み書きのためにメモリ
セルへのアクセスを実行するアクティブモードと、入力
回路を動作させた状態でコマンド入力を待つアイドリン
グモードと、入力回路さえも動作させないパワーダウン
モードとが存在する。
ードとの違いについて、以下に説明する。SDRAM
は、クロックに同期して動作しかつ小振幅信号でバス上
のデータ伝送を行うことによって、高速な動作及び高速
なデータ伝送を可能にしている。このように外部バスの
データ伝送は小振幅信号で行うが、SDRAMの内部で
はフル振幅の信号が用いられる。従って、入力信号を受
け取るインターフェースであるSDRAMの入力回路に
於て、入力信号を増幅する必要があり、一般には差動増
幅回路が用いられる。
差動増幅回路は、PMOSトランジスタ221及び22
2と、NMOSトランジスタ223乃至225を含む。
入力信号の電圧が参照基準電圧Vrefより低いときに
ハイレベルの内部信号を内部回路に供給し、入力信号の
電圧が参照基準電圧Vrefより高いときにローレベル
の内部信号を内部回路に供給する。このような差動増幅
回路に於ては、増幅時にはイネーブル信号Enable
をハイレベルとして、NMOSトランジスタ225を導
通させておく必要がある。
於ては、この差動増幅回路が増幅可能な状態、即ちNM
OSトランジスタ225が導通した状態にしておく必要
がある。従ってアイドリングモードでは、差動増幅回路
に於て電流が消費される。一方パワーダウンモードに於
ては、入力回路は非動作状態にあるので、差動増幅回路
のNMOSトランジスタ225はオフである。従ってパ
ワーダウンモードでは、差動増幅回路に於て電流は消費
されない。
差動増幅回路の消費電流を0.3 mAとすると、アイドリ
ングモードに於て入力回路全体では17mAの電流が消
費されることになる。従来技術のスタンバイモード用の
内部降圧回路200は、μAオーダーの電流供給能力し
かないので、このアイドリングモードで必要とされる電
流を供給することは出来ない。また従来技術のアクティ
ブモード用の内部降圧回路210は、mAオーダーの電
流供給能力があるので、アイドリングモードで必要とさ
れる電流を供給することは可能である。しかしながら当
然のこととして、内部降圧回路210は、アイドリング
モード以上に電流消費量が大きいアクティブモードで必
要な電流を供給可能な設計となっているため、実際には
アイドリングモードで使用するのには過剰な電流供給能
力を有することになる。即ち、従来の内部降圧回路21
0をアイドリングモードに用いたのでは、内部降圧回路
210に於ける電力消費は無駄な電力消費となる。
する半導体集積回路に於て、各モードに於て必要とされ
る電流供給量に応じて、内部降圧回路から適切な量の電
流を供給することを目的とする。
は、3つ以上の複数の動作モードのうちの選択されたモ
ードで動作する半導体装置は、該半導体装置の内部回路
に内部電圧を供給する複数の電圧供給回路と、該選択さ
れたモードを示す信号に基づいて、該複数の電圧供給回
路のうちの所定数を駆動させる制御回路を含み、該制御
回路は該複数の動作モードの各々に対して該所定数を異
ならせることを特徴とする半導体装置。
流量を、電圧供給回路の駆動数を調整することによって
変化させるので、各動作モードに応じて適切な電流量を
供給することが出来る。従って、電圧供給回路に於ける
電力消費を最小限に抑さえることが可能となる。
半導体装置に於て、前記半導体装置は同期型DRAMで
あることを特徴とする。上記発明に於ては、同期型DR
AMに於て、電圧供給回路に於ける電力消費を最小限に
抑さえることが可能となる。
半導体装置に於て、前記複数の動作モードは、前記内部
回路が非活性である第1のモードと、該内部回路のうち
の入力回路のみが活性である第2のモードと、データア
クセスを行う第3のモードを含み、前記制御回路は、該
第1のモード、該第2のモード、及び該第3のモードの
順に前記所定数を増加させることを特徴とする。
ーダウンモード、アイドリングモード、及びアクティブ
モードに対して、適切な電流量を供給することが出来
る。従って、同期型DRAMに於て、電圧供給回路に於
ける電力消費を最小限に抑さえることが可能となる。
半導体装置に於て、前記制御回路は、前記複数の動作モ
ードの各々を示す信号の論理演算によって前記所定数を
決定することを特徴とする。上記発明に於ては、複数の
動作モードの各々を示す信号の論理演算を行うことによ
って、容易に電圧供給回路の駆動数を決定することが出
来る。
半導体装置に於て、前記制御回路は、前記複数の電圧供
給回路に分散されて配置されていることを特徴とする。
上記発明に於ては、動作モード信号の信号線を直接に電
圧供給回路に接続することによって、チップ内の配線を
簡略化することが出来る。
の動作モードのうちの選択されたモードで動作する半導
体装置に於て、a)該選択されたモードを示す信号に基
づいて、内部回路に電流を供給する電圧供給回路の駆動
数を決定し、b)該電圧供給回路を該駆動数だけ駆動す
ることにより、該選択されたモードで内部回路が必要と
する電流を供給する各段階を含み、該駆動数は該複数の
動作モードの各々に対して異なることを特徴とする。
流量を、電圧供給回路の駆動数を調整することによって
変化させるので、各動作モードに応じて適切な電流量を
供給することが出来る。従って、電圧供給回路に於ける
電力消費を最小限に抑さえることが可能となる。
方法に於て、前記半導体装置は同期型DRAMであるこ
とを特徴とする。上記発明に於ては、同期型DRAMに
於て、電圧供給回路に於ける電力消費を最小限に抑さえ
ることが可能となる。
方法に於て、前記複数の動作モードは、前記内部回路が
非活性である第1のモードと、該内部回路のうちの入力
回路のみが活性である第2のモードと、データアクセス
を行う第3のモードを含み、前記段階a)は、該第1の
モード、該第2のモード、及び該第3のモードの順に前
記駆動数を増加させることを特徴とする。
ーダウンモード、アイドリングモード、及びアクティブ
モードに対して、適切な電流量を供給することが出来
る。従って、同期型DRAMに於て、電圧供給回路に於
ける電力消費を最小限に抑さえることが可能となる。
方法に於て、前記段階a)は、前記複数の動作モードの
各々を示す信号の論理演算によって前記駆動数を決定す
ることを特徴とする。上記発明に於ては、複数の動作モ
ードの各々を示す信号の論理演算を行うことによって、
容易に電圧供給回路の駆動数を決定することが出来る。
部電圧を供給する電圧供給回路を有し、内部回路が非活
性である第1のモードと、内部回路のうち入力回路のみ
が活性である第2のモードと、データのアクセスを行う
第3のモードのうち選択されたモードで動作する半導体
装置に於て、前記電圧供給回路は前記第2のモード及び
前記第3のモードの時に活性化されるが、前記第1のモ
ードの時は非活性となるように構成されていることを特
徴とする。
或いは入力回路のみが活性であるモードに於ては動作
し、全ての内部回路が非活性であるモードに於ては非動
作となる電圧供給回路を設けることによって、各モード
に応じた適切な電流供給を実現することが出来るので、
電圧供給回路に於ける電力消費を最小限に抑さえること
が可能となる。
付の図面を用いて説明する。図1に本発明の原理を示
す。図1に示されるように、本発明の原理によれば、複
数(n個)の内部降圧回路10−1乃至10−nは、論
理回路11からの信号によって駆動される。論理回路1
1は、半導体集積回路の動作モードを指定するモード信
号を受け取り、モード信号の論理演算に基づいて、内部
降圧回路10−1乃至10−nのうちの幾つかを駆動す
る。駆動する内部降圧回路10−1乃至10−nの数及
びどの回路を駆動するかは、論理回路11の論理演算に
よって決定される。内部降圧回路10−1乃至10−n
からの降圧電圧は、半導体集積回路の内部回路に供給さ
れる。
信号が指定する各モードに於て半導体集積回路の内部回
路が必要とする電流供給量に応じて、適切な数の内部降
圧回路を適切な部位に於て駆動することが可能になる。
従って、内部降圧回路が消費する電力を必要最小限に抑
さえることが可能となる。
する場合の構成を示す。図2に於てモード信号として
は、アクティブモードを指定するアクティブモード信号
と、アイドリングモードを指定するアイドリングモード
信号とが供給される。論理回路11は、アクティブモー
ド信号とアイドリングモード信号とを入力とするオア回
路21−1乃至21−mを含む。
ィブモード信号とアイドリングモード信号との論理和を
取り、その出力を内部降圧回路10−1乃至10−m
(m<n)に供給する。従って内部降圧回路10−1乃
至10−mは、アクティブモード時及びアイドリングモ
ード時の両方において作動し、降圧電圧をSDRAMの
内部回路に供給する。内部降圧回路10−1乃至10−
mは主に、アイドリングモードに於ても動作する入力回
路に対して、降圧電圧を供給することを目的とする。
内部降圧回路10−m+1乃至10−nに供給する。従
って内部降圧回路10−m+1乃至10−nは、アクテ
ィブモード時のみ作動し、降圧電圧をSDRAMの内部
回路に供給する。内部降圧回路10−m+1乃至10−
nは主に、アイドリングモードで動作しないがアクティ
ブモードでは動作する内部回路に降圧電圧を供給するこ
とを目的とする。
AMに於てアイドリングモードの場合、活性状態の入力
回路が必要とする電流供給量を内部降圧回路10−1乃
至10−mが供給し、アクティブモードの場合には、入
力回路を含む活性化された内部回路が必要とする電流供
給量を内部降圧回路10−m+1乃至10−nが供給す
ることが出来る。従って、適切な数の内部降圧回路を適
切な部位に於て駆動することが可能になり、内部降圧回
路が消費する電力を必要最小限に抑さえることが出来
る。
施例を示す図である。図3のSDRAMは、アドレス入
力回路30、コマンド入力回路31、パワーダウンユニ
ット32、バンクデコーダ33、コマンドデコーダ3
4、バンク35、バンク36、データ入出力回路37、
及び内部降圧回路50乃至55を含む。バンク35及び
36の各々は、周辺回路40及びコア回路41を含む。
e)、/CE(Cas Enable)、/W(Write )、/CS
(Chip Select)、及びCKE(Clock Enable)等のコマ
ンド信号は、コマンド入力回路31に於てバッファさ
れ、コマンドデコーダ34に供給される。コマンドデコ
ーダ34は、供給されたコマンド信号をデコードして解
釈し、ライト信号、リード信号、アイドリング(リセッ
ト或いはプリチャージ)信号、アクティブ信号等を生成
する。これらのライト信号、リード信号、アイドリング
信号、アクティブ信号、及びパワーダウンユニット32
が供給するパワーダウン信号等によって、SDRAMの
内部回路が制御される。ライト信号はSDRAMが書き
込み動作にあることを示し、リード信号はSDRAMが
読み出し動作にあることを示す。パワーダウン信号、ア
イドリング信号、及びアクティブ信号は各々、SDRA
Mのパワーダウンモード、アイドリングモード、及びア
クティブモードを示す信号である。
ジ)信号はDRAM内のアクティブモード、リードモー
ド、ライトモードをリセットする信号で、パワーダウン
信号が出ない場合はSDRAMはアイドリングモードに
される。外部から入力されるアドレス信号A00乃至A
14は、アドレス入力回路30によってバッファされ、
一部(例えばアドレス信号A13及びA14)がバンク
デコーダ33に供給される。バンクデコーダ33は、供
給されたアドレス信号A13及びA14をデコードして
複数のバンクのうちの一つを選択する。なお図3には、
2つのバンク35及び36のみが示される。残りのアド
レス信号A00乃至A12は、各バンク35及び36に
供給される。選択されたバンク35或いは36に於て
は、供給されたアドレス信号A00乃至A12を周辺回
路40がデコードして、コア回路41の指定されたアド
レスにアクセスする。
ク35或いは36のコア回路41の指定されたアドレス
からデータが読み出され、データ入出力回路37を介し
てデータDQ0乃至DQ31として外部に供給される。
データ書き込みの場合は、データ入出力回路37を介し
て外部から供給されたデータDQ0乃至DQ31が、選
択されたバンク35或いは36のコア回路41の指定さ
れたアドレスに書き込まれる。
をモニターして、パワーダウンモードが指定された時に
は、パワーダウン信号をイネーブルにする。パワーダウ
ン信号は、アドレス入力回路30、コマンド入力回路3
1、及びデータ入出力回路37に供給されて、パワーダ
ウンモード時にこれらの回路の動作を停止させる。具体
的には、これらの回路を構成する例えば図6の差動増幅
回路のNMOSトランジスタ225のゲート入力に、パ
ワーダウン信号の反転信号が供給される。/CKE信号
をモニターし続けるパワーダウンユニット32は、パワ
ーダウンモードが解除されたときには、パワーダウン信
号をディスエーブルにして、アドレス入力回路30、コ
マンド入力回路31、及びデータ入出力回路37を駆動
状態とする。
に関わらず常時動作して降圧電圧をSDRAMの内部回
路に供給する。この内部降圧回路50は、パワーダウン
モード時に、パワーダウンユニット32を駆動するため
に設けられる。内部降圧回路51乃至55は、図2の本
発明を適用したものであり、図2の構成とは異なり、論
理回路11を各内部降圧回路に内蔵したものとなってい
る。図4は、論理回路11を内蔵した内部降圧回路51
の回路構成の一例を示す。
路51は、図5の内部降圧回路210と同様の構成の内
部降圧回路51’に、内蔵の論理回路11としてオア回
路60が付加された構成となっている。内部降圧回路5
1は、アイドリング信号及びアクティブ信号を受け取
り、オア回路60によってこれらの信号の論理和をと
る。この論理和に応じて、内部降圧回路51’の動作/
非動作が切り替わることになる。なおアクティブ信号し
か入力されない内部降圧回路53乃至55に於ては、オ
ア回路60は設けられずに、アクティブ信号が直接に内
部降圧回路の動作/非動作を切り替える。
に含めることによって、パワーダウン信号、アイドリン
グ信号、及びアクティブ信号を伝送するモード信号線を
直接に内部降圧回路50乃至55に供給することが出来
る。従って、SDRAM内の配線を簡略化することがで
きる。
降圧回路50は常時動作状態にあるので信号線を供給す
る必要はない。また内部降圧回路51及び52は、アイ
ドリング信号及びアクティブ信号を受け取り、アイドリ
ングモード及びアクティブモードに於て降圧電圧をSD
RAMの内部回路に供給する。内部降圧回路53乃至5
5は、アクティブ信号のみを受け取り、アクティブモー
ドに於てのみ、降圧電圧をSDRAMの内部回路に供給
する。
SDRAMチップ内の内部電圧のバラツキを少なくする
ように複数箇所に配置されている。内部降圧回路51及
び52は主に、アドレス入力回路30、コマンド入力回
路31、パワーダウンユニット32、バンクデコーダ3
3、コマンドデコーダ34に降圧電圧を供給するために
設けられる。内部降圧回路53及び54は主に、バンク
35及び36とデータ入出力回路37に降圧電圧を供給
するために設けられる。また内部降圧回路55は、バン
ク35及び36とデータ入出力回路37に降圧電圧を供
給するために専用に設けられる。
に、内部降圧回路50のみが動作して、パワーダウンユ
ニット32に必要な駆動電流を供給する。アイドリング
モードに於ては、内部降圧回路50に加えて内部降圧回
路51及び52が動作することによって、アドレス入力
回路30及びコマンド入力回路31等の入力回路を駆動
するために必要な電流を供給する。
50乃至52に加えて内部降圧回路53乃至55が駆動
することで、バンク35及び36の周辺回路40及びコ
ア回路41とデータ入出力回路37が動作するために必
要な電流を供給する。このようにアクティブモードでは
動作する内部回路がSDRAMチップ全域に存在する
が、アイドリングモードでは入力回路のみを活性化すれ
ばよい。またパワーダウンモードではパワーダウンユニ
ットのみを駆動すればよい。従って、モードを指定する
モード信号(アイドリング信号、アクティブ信号)に基
づいて、適切な部位に配置された内部降圧回路を適切な
数だけ動作させることによって、各モードに於ける内部
降圧回路の電流消費を必要最小限に抑さえることが出来
る。
特定の実施例に限られることなく、様々な修正や変形
を、特許請求の範囲内で行うことが出来る。例えば、図
2及び図3の例に於ては、アクティブモード信号(アク
ティブ信号)及びアイドリングモード信号(アイドリン
グ信号)のみを用いて駆動する内部降圧回路の数を決定
しているが、アクティブモード信号、アイドリングモー
ド信号、パワーダウン信号の全てを用いて内部降圧回路
の駆動数を決定してもよい。また図3の例では、図2の
論理回路11が各内部降圧回路に内蔵されているが、論
理演算機能を一箇所に纏めて独立した論理回路を設けて
もよい。
内部回路に供給する電流量を、電圧供給回路の駆動数を
調整することによって変化させるので、各動作モードに
応じて適切な電流量を供給することが出来る。従って、
電圧供給回路に於ける電力消費を最小限に抑さえること
が可能となる。
期型DRAMに於て、電圧供給回路に於ける電力消費を
最小限に抑さえることが可能となる。請求項3及び請求
項8の発明に於ては、同期型DRAMのパワーダウンモ
ード、アイドリングモード、及びアクティブモードに対
して、適切な電流量を供給することが出来る。従って、
同期型DRAMに於て、電圧供給回路に於ける電力消費
を最小限に抑さえることが可能となる。
数の動作モードの各々を示す信号の論理演算を行うこと
によって、容易に電圧供給回路の駆動数を決定すること
が出来る。請求項5の発明に於ては、動作モード信号の
信号線を直接に電圧供給回路に接続することによって、
チップ内の配線を簡略化することが出来る。
スモード或いは入力回路のみが活性であるモードに於て
は動作し、全ての内部回路が非活性であるモードに於て
は非動作となる電圧供給回路を設けることによって、各
モードに応じた適切な電流供給を実現することが出来る
ので、電圧供給回路に於ける電力消費を最小限に抑さえ
ることが可能となる。
成を示す図である。
成を示す図である。
である。
回路図である。
る。
成を示す図である。
Claims (10)
- 【請求項1】入力回路を含む内部回路が非活性である第
1の動作モードと、該内部回路のうち前記入力回路は活
性でありコマンド入力を待つ第2の動作モードと、デー
タアクセスを行なう第3の動作モードを有し、選択され
た動作モードで動作する半導体装置であって、 前記入力回路及び前記内部回路に内部電圧を供給する複
数の電圧供給回路と、 前記選択された動作モードを示す信号に基づいて、前記
第1乃至第3の動作モードの各々に対してそれぞれ異な
る数の電圧供給回路を駆動させる制御回路を有すること
を特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】前記半導体装置は同期型DRAMであるこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項3】前記第1の動作モードはパワーダウンモー
ド、前記第2の動作モードはアイドリングモード、前記
第3の動作モードはアクティブモードであることを特徴
とする請求項2記載の半導体装置。 - 【請求項4】前記制御回路は、前記第1乃至第3の動作
モードの各々を示す信号の論理演算によって、前記複数
の電圧供給回路のうちの所定数を選択することを特徴と
する請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項5】前記制御回路は、前記複数の電圧供給回路
に分散されて配置されていることを特徴とする請求項1
記載の半導体装置。 - 【請求項6】前記内部電圧は前記内部回路を動作させる
ための内部駆動電圧であり、前記複数の電圧供給回路
は、外部駆動電圧を降下させた前記内部駆動電圧を生成
することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項7】入力回路を含む内部回路が非活性である第
1の動作モードと、該内部回路のうち前記入力回路は活
性でありコマンド入力を待つ第2の動作モードと、デー
タアクセスを行なう第3の動作モードを有し、選択され
た動作モードで動作する半導体装置において、 a)該選択された動作モードを示す信号に基づいて、前
記入力回路及び前記内部回路に電流を供給する電圧供給
回路の駆動数を決定し、 b)該電圧供給回路を該駆動数だけ駆動することによ
り、該選択された動作モードで前記内部回路が必要とす
る電流を供給することを特徴とする各段階を含み、該駆
動数は該複数の動作モードの各々に対して異なることを
特徴とする方法。 - 【請求項8】前記半導体装置は同期型DRAMであるこ
とを特徴とする請求項7記載の方法。 - 【請求項9】前記段階a)は、前記複数の動作モードの
各々を示す信号の論理演算によって前記駆動数を決定す
ることを特徴とする請求項7記載の方法。 - 【請求項10】前記第1の動作モードはパワーダウンモ
ード、前記第2の動作モードはアイドリングモード、前
記第3の動作モードはアクティブモードであることを特
徴とする請求項8記載の方法。
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