JP3247647B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JP3247647B2 JP33587697A JP33587697A JP3247647B2 JP 3247647 B2 JP3247647 B2 JP 3247647B2 JP 33587697 A JP33587697 A JP 33587697A JP 33587697 A JP33587697 A JP 33587697A JP 3247647 B2 JP3247647 B2 JP 3247647B2
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  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Dram (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体記憶装置
に係り、特にDRAMの内部電源を生成する内部電源回
路に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、DRAMに代表される半導体メモ
リの分野においては、その記憶容量の大規模化が進み、
チップ内に集積されるトランジスタは極めて微細なもの
となっている。
【0003】微細なトランジスタは電気的な耐圧が弱い
ため、チップ内部に設けた内部電源降圧回路によって外
部電源VCCを降圧して内部電源Vintを生成し、こ
れによりチップ内部に形成された集積回路を駆動するよ
うにしている。
【0004】従来の内部電源降圧回路は、サイズが大き
いNチャネル型MOSFET(NMOS)により構成さ
れている。即ちこのNMOSのドレインに外部電源VC
Cを供給し、そのソースより内部電源Vintを得る。
【0005】このタイプの降圧回路の利点は負荷電流を
大きくできることである。これにより、DRAMチップ
が活性状態となり、その内部に形成された集積回路が内
部電源Vintを大量に消費した場合でも、その消費に
合わせて充分な内部電源Vintを供給することができ
る。
【0006】しかし、NMOSを用いた降圧回路は、負
荷電流を大きくできる利点がある反面、負荷電流を小さ
くし難い、という事情がある。即ちDRAMチップが待
機状態となり、その内部に形成された集積回路が内部電
源Vintをほとんど消費しない場合でも、降圧回路の
NMOSは、外部電源VCCから内部電源Vintに向
けて電流を流し続けてしまう。
【0007】このような降圧回路を搭載したDRAMで
は、その外部電源VCCの消費量を削減し難く、さらな
る低消費電力化の追求が困難化している。
【0008】なお、外部電源VCCの消費量を削減する
ためには、例えばチップが待機状態になった時、降圧回
路のNMOSを“オフ”させれば良い。
【0009】しかし、降圧回路のNMOSはそのサイズ
が大きく、そのゲートの充放電に時間を要し、高速に
“オン/オフ”できない。よって、半導体記憶装置の中
でも高速な動作が要求されているDRAM、特にシンク
ロナスDRAMにおいては、チップが活性状態/待機状
態に関わらず、常に“オン”させているのが実状であ
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
NMOSを用いた降圧回路では、外部電源VCCの消費
量を削減するためには、チップが待機状態の時に“オ
フ”させれば良い。しかし、NMOSのサイズが大き
く、降圧回路の“オン/オフ”動作に時間を要する。こ
のため、高速な動作が要求されるDRAM、特にシンク
ロナスDRAMにおいては、降圧回路のNMOSを常時
“オン”させている。このため、チップが待機状態であ
っても外部電源VCCの消費量が大きくなっており、さ
らなる低消費電力化が難しくなっている。
【0011】この発明は上記事情に鑑み為されたもの
で、その目的は、外部電源VCCの消費量を削減でき、
かつ内部が複数のバンクに分割されるようなデバイスに
も対応可能な内部電源降圧回路を備えた半導体集積回路
装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明では、データを記憶する記憶部と、待機時
用の内部電源回路および活性時用の内部電源回路を含
み、前記記憶部に供給される内部電源を外部電源より生
成する内部電源生成部と、前記活性時用の内部電源回路
を制御する制御部とを具備する。そして、前記制御部
は、前記記憶部に複数のバンクが設定された時、少なく
とも一つのバンクが活性状態である間、前記活性時用の
内部電源回路を活性化させる制御回路を有することを特
徴としている。
【0013】また、前記制御回路は、前記複数のバンク
をそれぞれ活性化させる信号の論理和信号に同期して前
記活性時用の内部電源回路を活性化させることを特徴と
している。
【0014】また、前記制御回路は、前記複数のバンク
をそれぞれ活性化させる信号の論理和信号に同期して前
記活性時用の内部電源回路を活性化させ、前記論理和信
号が反転してからある一定の時間が経過した後に、前記
活性時用の内部電源回路を非活性化させることを特徴と
している。
【0015】また、前記制御回路は、パワーダウンモー
ドに入った時、前記論理和信号に関わらずに、前記活性
時用の内部電源回路を非活性化させることを特徴として
いる。
【0016】また、前記制御回路は、パワーダウンモー
ドに入った時、少なくとも前記記憶部内に設けられたメ
モリセルからのデータが増幅された後に、前記論理和信
号に関わらずに、前記活性時用の内部電源回路を非活性
化させることを特徴としている。
【0017】また、前記制御回路は、データ出力時に
は、前記論理和信号に関わらずに、前記活性時用の内部
電源回路を活性化させることを特徴としている。
【0018】上記のような半導体集積回路装置によれ
ば、内部電源生成部が、待機時用の内部電源回路と活性
時用の内部電源回路とを含むので、待機時用の内部電源
回路の、例えばバイアス電流を小さくすれば、待機時に
おける外部電源の消費量を軽減させることができる。
【0019】さらに、制御部が、記憶部に複数のバンク
が設定され、少なくとも一つのバンクが活性状態である
間は、活性時用の内部電源回路が活性化されるので、記
憶部が複数のバンクに分割されるようなデバイスにも対
応可能となる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態を説明する。
【0021】図1は、この発明の一実施形態に係るシン
クロナスDRAMの基本構成を示すブロック図である。
【0022】図1には、一実施形態として16Mbit
のメモリ容量を有するシンクロナスDRAMの例が示さ
れている。このシンクロナスDRAMは、メモリのコア
になる回路として、ダイナミック型のメモリセルがマト
リクス状に配置されたセルアレイ、セルアレイのローを
選択するローデコーダ、セルアレイのカラムを選択する
カラムデコーダ、セルアレイからの読み出しデータ、お
よびセルアレイへの書き込みデータを増幅/ラッチする
センスアンプを有する。
【0023】なお、図1には、16Mbitの記憶容量
を、アドレス的に16分割(2048×512×16)
し、1MbitDRAMを16個搭載したメモリシステ
ムと等価な構成を、1チップに実現する例を示す。16
分割してチップに得た1MbitDRAMに相当する部
分は、この明細書においては、1Mbitメモリ部と称
し、参照符号1を付す。
【0024】また、16個の1Mbitメモリ部1は、
複数のバンク、図1に示す例では、8個ずつの2つのバ
ンク(BANK0,BANK1)に分割されている。そ
して、2つのバンクからはそれぞれ、一度に×8ビット
のデータ(DQ0〜DQ7)が出力される。
【0025】このように1チップに設定された複数のバ
ンクは、BANK0が活性状態の時にBANK1は待機
状態、というように独立した動作(インターリーブ・バ
ンク・アクティブ動作)が可能である。
【0026】2つのバンクに分割された16個の1Mb
itメモリ部1はそれぞれ、制御部2によって制御され
る。
【0027】制御部2は、外部クロックCLKを取り込
むクロックバッファ11、チップセレクト信号 /CS、
ローアドレスストローブ信号 /RAS、カラムアドレス
ストローブ信号 /CASおよびライトイネーブル信号 /
WEなどの信号のロジックによって指定されるコマンド
をデコードするコマンドデコーダ12、コマンドデコー
ダ12によってデコードされたコマンドから、内部制御
信号を生成する制御信号ジェネレータ13、アドレス信
号A0〜A10およびバンクセレクト信号BSをチップ
に取り込むアドレスバッファ14、バースト長、CAS
レイテンシ等の設定モードを記憶させておくモードレジ
スタ15、リフレッシュカウンタ16、カラムカウンタ
17などから構成される。
【0028】2つのバンクに分割された16個の1Mb
itメモリ部1からのデータの読み出し/書き込みは、
データコントロール回路21、I/Oデータバッファ2
2を介して行われる。
【0029】これらの回路は、内部電源Vintにより
動作される。この内部電源Vintは、同じチップ内に
設けられた内部電源生成部3により生成される。なお、
I/Oデータバッファ22の内部に設けられている図示
せぬ出力段は、外部電源VCCにより駆動されても良
い。
【0030】内部電源生成部3は、2つの内部電源降圧
回路から構成される。1つは待機時用の降圧回路31、
もう1つは活性時用の降圧回路32である。
【0031】待機時用の降圧回路31は、チップに電源
が投入された時点から常に動作され、電源が投入されて
いる間は常に内部電源Vintを生成する。
【0032】図1に示す待機時用の降圧回路31は、基
準電圧Vrefが発生されていれば外部電源VCCを降
圧し、内部電源Vintを生成する。基準電圧Vref
はVref発生回路41で発生される。VCCレベル検
知回路42は、電源が投入されたか否かを検知する回路
で、外部電源VCCのレベルが所定の値よりも高くなる
と、電源が投入されたことを検知し、パワーオン検知信
号PWONを出力する。Vref発生回路41は、この
パワーオン検知信号PWONが、電源投入を示している
間、常に基準電圧Vrefを発生する。これにより、待
機時用の降圧回路31は、電源が投入されている間は常
に内部電源Vintを生成する。
【0033】待機時用の降圧回路31は、駆動電流が少
なくバイアス電流が数μAとごく僅かな回路である。こ
れにより、待機状態時において、外部電源VCCの消費
を抑制する。
【0034】図2は、待機時用の降圧回路31の一回路
例を示す回路図である。
【0035】図2に示すように、待機時用の降圧回路3
1は、ソースに外部電源VCCを受けるPMOS101
と、PMOS101のドレインと回路内接地点VSSと
の間に直列に接続された抵抗102、抵抗103と、オ
ペアンプ104とを有する。PMOS101のゲートに
はオペアンプ104の出力(O)が供給される。オペア
ンプ104のマイナス入力(−)には基準電圧Vref
が供給され、そのプラス入力(+)には、抵抗102と
抵抗103との接続ノード105の電圧が供給される。
抵抗102と抵抗103との抵抗比は、基準電圧Vre
fの電位と接続ノード105の電位とが互いに等しくな
った時、内部電源Vintが設定したい値となるように
調節されている。内部電源Vintは、PMOS101
のソースと抵抗102との接続ノード106から得られ
る。
【0036】オペアンプ104は、マイナス入力(−)
の電圧がプラス入力(+)の電圧よりも高い場合、その
電位差に応じ、その出力レベルを下げてPMOS101
を“オン”させ、接続ノード105の電圧を上げる。
【0037】また、マイナス入力(−)の電圧がプラス
入力(+)の電圧よりも低い場合には、その電位差に応
じ、その出力レベルを上げてPMOS101を“オフ”
させ、接続ノード105の電圧を下げる。
【0038】待機時用の降圧回路31は、内部電源Vi
ntの電圧を電源が投入されている間、このようなフィ
ードバック制御によって、接続ノード106の電圧を一
定の値に保ち、一定の内部電源Vintを生成する。
【0039】また、活性時用の降圧回路32は、駆動電
流が大きくその分バイアス電流も数百μA〜数mAと大
きい回路である。活性時用の降圧回路32は、チップが
活性状態となった時に動作され、チップが活性状態の間
だけ内部電源Vintを生成する。このため、図1に示
す活性時用の降圧回路32は、降圧回路用制御部4を有
している。
【0040】降圧回路用制御部4は、降圧回路を制御す
る制御回路51を有する。この制御回路51は、制御信
号ジェネレータ13からの制御信号を受けて、降圧回路
活性信号ACTVを出力する。
【0041】図3は、活性時用の降圧回路32の一回路
例を示す回路図である。
【0042】図3に示すように、ソースに外部電源VC
Cを受けるPMOS111、PMOS111のドレイン
にソースを接続したPMOS112、ソースに回路内接
地電位VSSを受けるNMOS113、PMOS112
のドレインとNMOS113のドレインとの間に直列に
接続された抵抗114および抵抗115、出力(O)を
PMOS111のゲートに接続し、プラス入力(+)を
抵抗114と抵抗115との接続ノード116に接続
し、マイナス入力(−)に基準電圧Vrefを受けるオ
ペアンプ117と、PMOS111のゲートと外部電源
VCCとの間に直列に接続されたPMOS118とを有
する。また、抵抗114と抵抗115との抵抗比は図2
に示した抵抗102と抵抗103との抵抗比と同じであ
り、基準電圧Vrefの電位と接続ノード116の電位
とが互いに等しくなった時、内部電源Vintが設定し
たい値となるように調節されている。
【0043】活性信号ACTVが“H”レベルの時、P
MOS112、NMOS113はそれぞれ“オン”し、
PMOS118は“オフ”する。これにより、PMOS
111は、オペアンプ117の出力により制御されるよ
うになり、活性時用の降圧回路32は活性化し、内部電
源Vintを生成する。
【0044】オペアンプ117は、プラス入力(+)の
電圧が基準電圧Vrefよりも低くなった場合、その電
位差に応じ、その出力レベルを下げてPMOS111を
“オン”させ、接続ノード116の電圧を上げる。
【0045】一方、プラス入力(+)の電圧が基準電圧
よりも高くなった場合、その電位差に応じ、その出力レ
ベルを上げてPMOS111を“オフ”させ、接続ノー
ド116の電圧を下げる。
【0046】このようなフィードバック制御により、P
MOS111のドレインとPMOS112のソースとの
接続ノード119の電圧、即ち内部電源Vintの値は
一定に保たれる。
【0047】なお、参照符号120に示す回路は、活性
信号ACTVの“H”レベルを、内部電源Vintのレ
ベルから、外部電源VCCのレベルにシフトさせるレベ
ルシフト回路である。
【0048】また、活性信号ACTVが“L”レベルの
時、PMOS112、NMOS113はそれぞれ“オ
フ”し、PMOS118は“オン”する。これにより、
PMOS111が“オフ”し、活性時用の降圧回路32
は非活性となる。
【0049】このように、待機時用の降圧回路31と活
性時用の降圧回路32とを1チップにそれぞれ搭載する
ことで、チップは、待機状態における消費電力の増大を
抑制でき、待機状態における消費電力のスペックが厳し
くなってきても、NMOSを用いた従来の降圧回路に比
べて、そのスペックを充分に満足させやすい構成とな
る。そして、活性状態においては、NMOSを用いた従
来の降圧回路と同様に、内部電源Vintを充分に確保
することができる。
【0050】汎用DRAMにおいては、活性時用の降圧
回路32の作動・停止を制御する信号ACTVは、例え
ば信号RINTに同期させれば良い。信号RINTは、
ローアドレスストローブ信号 /RASに同期した信号で
あり、一般にはRASバッファの出力である。例えば信
号RINTは、信号 /RASの立ち下がりから、ワード
線の活性化、ダイナミック型メモリセルへのデータ再書
き込み(リフレッシュ)、場合によってはデータの読み
出しまたは書き換えを行い、その後、信号 /RASの立
ち上がりによりプリチャージを開始するまでの間、
“H”レベルとなる信号である。
【0051】即ち、汎用DRAMにおいては、信号AC
TVは、アレイの活性状態を示す信号、例えば信号 /R
ASに同期させればよい。
【0052】これに対して、シンクロナスDRAMにお
いては、単純に信号 /RASに,信号ACTVを同期さ
せると、その動作上、不都合が生じる。シンクロナスD
RAMでは、信号 /RASがアレイの活性状態を示す信
号になっていないからである。
【0053】シンクロナスDRAMでは、図1に示した
ように、多バンク方式が採用される。特にインターリー
ブ・バンク・アクティブ動作では、あるバンクが活性化
され、一連のデータ再書き込み動作が行われている途中
で、他のバンクが活性化される。このため、信号ACT
Vを、信号 /RASに同期させてしまうと、他のバンク
が活性状態である際中に、活性時用の降圧回路32の動
作が停止されてしまう、という矛盾した動作を行うよう
になってしまう。
【0054】そこで、この一実施形態では、シンクロナ
スDRAMにも対応できるように、活性時用の降圧回路
32の作動・停止を制御する制御回路51を含む内部電
源制御部4を有する。
【0055】以下、制御回路51の回路例のいくつか
を、順次説明する。
【0056】[第1の回路例]図4は制御回路51の第
1の回路例を示す回路図である。
【0057】図4に示すように、制御回路51は、チッ
プが活性状態となった時に、活性時用の降圧回路32を
動作させるために、バンク活性信号BANK0〜BAN
KnのOR論理をとり信号BANKORを生成する。
【0058】バンク活性信号BANK0はバンク0を活
性とする間“H”レベルとなる信号、バンク活性信号B
ANK1はバンク1を活性とする間“H”レベルとなる
信号、…、バンク活性信号BANKnはバンクnを活性
とする間に“H”レベルとなる信号である。
【0059】なお、図1に示すシンクロナスDRAMで
は、バンクが2つであるので、バンク活性信号は、BA
NK0とBANK1との2つのみとなる。
【0060】このような信号のOR論理をとることで、
バンク活性信号BANK0〜BANKnのいずれか一つ
でも“H”レベルであれば信号BANKORは“H”レ
ベルとなる。図4中、参照符号151に示す回路が、信
号BANKORを生成する回路である。
【0061】このような信号BANKORを、信号AC
TVとして使用することで、チップ内のバンクのうちい
ずれか一つでも活性状態であれば、活性時用の降圧回路
32は作動され、内部電源Vintを生成する。
【0062】上記の通り、信号BANKORは、そのま
ま信号ACTVとして使用することが可能であるが、こ
の一実施形態では、信号ACTVを“H”レベルから
“L”レベルに下げるタイミングを、バンク活性信号B
ANK0〜BANKnがオール“L”レベルとなった
後、チップが完全に待機状態となるまでの時間分、遅延
させた時点に設定するようにしている。
【0063】即ち図1に示すシンクロナスDRAMを例
にとれば、信号ACTVは、1Mbitメモリ部1を活
性状態からプリチャージ状態に移行させるコマンドが入
力され、バンク活性信号BANKnが“H”レベルから
“L”レベルに下がり、信号BANKORが“H”レベ
ルから“L”レベルに下がった後、1Mbitメモリ部
1が完全にプリチャージ状態となるまでの時間、遅延さ
せて“H”レベルから“L”レベルに下げられる。図4
中、参照符号152に示す回路が、その遅延時間を決定
する遅延回路である。
【0064】遅延回路152は、信号BANKORが
“L”レベルから“H”レベルとなるときには、信号A
CTVを、実質的に遅延させずに“L”レベルから
“H”レベルとする。
【0065】これに対して、信号BANKORが“H”
レベルから“L”レベルとなるときには、信号ACTV
を、遅延回路152に設けられた遅延段、即ちタイマー
153が有する遅延時間τRC、遅延させた後、“H”
レベルから“L”レベルとする。
【0066】タイマー153は、例えばCMOS型イン
バータINV内に設けた抵抗R、および容量Cとから構
成され、遅延時間τRCは、これらの抵抗Rと容量Cと
で実質的に決定される。この遅延時間τRCは、1Mb
itメモリ部1のプリチャージ開始からプリチャージ完
了までに要する時間と実質的に同等か、それ以上であ
る。
【0067】このような構成により、1Mbitメモリ
部1が活性状態からプリチャージ動作に完全に移行する
までの間に、活性時用の降圧回路32が停止することが
なく、例えば内部電源Vintが不足してしまうような
事情を解消できる。よって、内部電源Vintの不足に
起因した予期せぬ誤動作を抑制できる。
【0068】[第2の回路例]次に制御回路51の第2
の回路例を説明する。
【0069】シンクロナスDRAMでは、バンクを活性
化した状態からパワーダウンモードに入ることが許され
ており、このパワーダウンモード中の消費電流の上限は
数mAと定められている。
【0070】ところで、バイアス電流が大きい活性時用
の降圧回路32が、パワーダウンモード中に動作したま
まであると、活性時用の降圧回路32のサイズが増すこ
とで、それ自身の消費電流が増えた場合や、スペックが
より厳しく変更された場合等、この降圧回路32の消費
電流だけで、上限が数mAというスペックを超えてしま
う場合も充分に考えられる。
【0071】第2の回路例は、そのような事情に対応で
きるようにしたものである。
【0072】図5は制御回路51の第2の回路例を示す
回路図である。
【0073】図5に示すように、遅延回路152の出力
にスイッチ回路161が設けられている。この例におけ
るスイッチ回路161はNOR回路から構成されてい
る。NOR回路の第1の入力には遅延回路152の出力
信号をインバータ162により反転させた信号が入力さ
れる。また、その第2の入力にはパワーダウンモードを
示す信号PWRDNが入力される。信号PWRDNは、
パワーダウンモード中“H”レベルであり、パワーダウ
ンモード以外の時は“L”レベルである。
【0074】スイッチ回路161を構成するNOR回路
は“L”レベル活性である。このため、信号PWRDN
が“L”レベルの時には、スイッチ回路161を構成す
るNOR回路は、インバータとして機能する。
【0075】したがって、パワーダウンモード以外の
時、スイッチ回路161は、信号ACTVの論理を遅延
回路152の出力レベルに応じて変更させる。
【0076】一方、パワーダウンモードの時、スイッチ
回路161は、信号ACTVの論理を遅延回路152の
出力レベルに関わらずに“L”レベルに固定し、活性時
用の降圧回路32の動作を停止させる。
【0077】このように第2の回路例では、パワーダウ
ンモードの時、信号ACTVの論理を、遅延回路152
の出力レベルに関わらずに“L”レベルに固定できるの
で、パワーダウンモードの時に活性時用の降圧回路32
の動作を停止できる。よって、パワーダウンモード中に
おける消費電流を抑制することができる。
【0078】[第3の回路例]第3の回路例は、第2の
回路例と同様、パワーダウンモードに対応できる他の回
路例である。
【0079】図6は制御回路51の第3の回路例を示す
回路図である。
【0080】図6に示すように、第3の回路例は、パワ
ーダウンモードの時に信号ACTVの論理を、信号BA
NKORの論理に関わらずに“L”レベルに固定するス
イッチ回路161’を、遅延回路152の入力の前に設
けたところが、第2の回路例と異なっている。
【0081】この例におけるスイッチ回路161’はN
AND回路から構成されている。NAND回路の第1の
入力には信号BANKORが入力され、その第2の入力
にはパワーダウンモードを示す信号PWRDNをインバ
ータ163で反転させた信号が入力される。
【0082】スイッチ回路161’を構成するNAND
回路は“H”レベル活性である。このため、信号PWR
DNが“L”レベルの時には、スイッチ回路161’を
構成するNAND回路は、インバータとして機能する。
【0083】したがって、パワーダウンモード以外の
時、スイッチ回路161’は、信号BANKORの論理
の変化に応じて、その出力の論理を変化させて、遅延回
路152に入力する。これにより、遅延回路152が出
力する信号ACTVの論理は、信号BANKORの論理
に応じて変更される。
【0084】一方、パワーダウンモードの時、スイッチ
回路161’は、信号BANKORの論理に関わらず
に、その論理を“H”レベルに固定して、遅延回路15
2に入力する。これにより、遅延回路152が出力する
信号ACTVの論理は、信号BANKORの論理に関わ
らずに、“L”レベルに固定される。
【0085】よって、第2の回路例と同様に、パワーダ
ウンモードの時に活性時用の降圧回路32の動作を停止
でき、パワーダウンモード中における消費電流を抑制す
ることができる。
【0086】また、第3の回路例の利点は、パワーダウ
ンモードに入り、信号ACTVを“H”レベルから
“L”レベルに下げる時、遅延時間τRC分遅延させる
ことができることである。
【0087】[第4の回路例]次に制御回路51の第4
の回路例を説明する。
【0088】シンクロナスDRAMでは、プリチャージ
動作が始まってから、クロックレイテンシが“2”の場
合(CL=2)ではクロック1サイクル分、クロックレ
イテンシが“3”の場合(CL=3)ではクロック2サ
イクル分、クロックレイテンシが“4”の場合(CL=
4)ではクロック3サイクル分後まで、バースト・デー
タ出力を行うことが許されている。
【0089】また、クロックの1サイクルが、1μse
cと最大値である場合で“CL=4”である場合には、
プリチャージを開始してから、2μsec以上後に新た
なデータを出力することも許されている。
【0090】ところが、上記のように抵抗Rと容量Cと
を用いたタイマー153により、プリチャージ完了を見
計らって、活性用の降圧回路32の動作を停止させると
いう制御のみでは、プリチャージ完了後にも引き続き行
われるバースト・データ出力時に、活性時用の降圧回路
32の動作が停止してしまい、データ出力系を動作させ
るのに充分な内部電源Vintを供給できなくなる事情
も想定される。
【0091】第4の回路例は、そのような事情に対応で
きるようにしたものである。
【0092】図7は制御回路51の第4の回路例を示す
回路図である。
【0093】図7に示すように、第4の回路例では、遅
延回路152の出力段170を構成するNAND回路の
第3の入力に、データ出力をイネーブルする信号DOE
NBをインバータ172で反転させた信号を、さらに入
力するようにしている。信号DOENBは、データを出
力している時に“H”レベル、出力していない時に
“L”レベルとなる信号である。
【0094】出力段170を構成するNAND回路は
“H”レベル活性である。このため、信号DOENBが
“L”レベルの時には、出力段170を構成するNAN
D回路は、2入力のNAND回路として機能する。
【0095】したがって、データを出力していない時、
出力段170は、信号ACTVの論理を、信号BANK
ORの論理に応じて変更させる。
【0096】一方、データを出力している時、出力段1
70は、信号ACTVの論理を、信号BANKORの論
理に関わらずに“H”レベルに固定し、活性時用の降圧
回路32を作動させ続ける。
【0097】このように第4の回路例では、データを出
力している時、信号ACTVの論理を、信号BANKO
Rの論理に関わらずに“H”レベルに固定できるので、
データを出力している時には、活性時用の降圧回路32
を作動させ続けることができる。よって、データ出力中
に、内部電源Vintが不足するような事情を解消する
ことができる。
【0098】[第5の回路例]第5の回路例は、第4の
回路例と同様、データ出力中に、活性時用の降圧回路3
2を作動させ続けることができる他の回路例である。
【0099】図8は制御回路51の第5の回路例を示す
回路図である。
【0100】図8に示すように、第5の回路例は、デー
タ出力中に、信号ACTVの論理を、信号BANKOR
の論理に関わらずに“H”レベルに固定するスイッチ回
路171を、遅延回路152の入力の前に設けたところ
が、第4の回路例と異なっている。
【0101】この例におけるスイッチ回路171はNO
R回路から構成されている。NOR回路の第1の入力に
は信号BANKORが入力され、その第2の入力にはデ
ータ出力中を示す信号DOENBが入力される。
【0102】スイッチ回路171を構成するNOR回路
は“L”レベル活性である。このため、信号DOENB
が“L”レベルの時には、スイッチ回路171を構成す
るNOR回路は、インバータとして機能する。
【0103】したがって、データを出力していない時、
スイッチ回路171は、信号BANKORの論理の変化
に応じてその出力の論理を変化させて、遅延回路152
に入力する。これにより、遅延回路152が出力する信
号ACTVの論理は、信号BANKORの論理に応じて
変更される。
【0104】一方、データを出力している時、スイッチ
回路171は、信号BANKORの論理に関わらずに、
その論理を“L”レベルに固定して、遅延回路152に
入力する。これにより、遅延回路152が出力する信号
ACTVの論理は、信号BANKORの論理に関わらず
に、“H”レベルに固定される。
【0105】よって、第4の回路例と同様に、データ出
力中に、信号BANKORの論理に関わらずに、活性時
用の降圧回路32を作動させ続けることができ、データ
出力中に、内部電源Vintが不足するような事情を解
消できる。
【0106】また、第5の回路例の利点は、データ出力
が終了し、信号ACTVを“H”レベルから“L”レベ
ルに下げる時、遅延時間τRC分遅延させることができ
ることである。
【0107】[第6の回路例]第6の回路例は、パワー
ダウンモードに対応でき、かつデータ出力中に、活性時
用の降圧回路32を作動させ続けることができる回路例
である。
【0108】図9は制御回路51の第6の回路例を示す
回路図である。
【0109】図9に示すように、NAND回路により構
成された遅延回路152の出力段170の第3の入力
に、信号DOENBをインバータ172により反転させ
た信号を入力し、かつ遅延回路152の出力に、NOR
回路により構成されたスイッチ回路161が設けられて
いる。スイッチ回路161を構成するNOR回路の第1
の入力には遅延回路152の出力信号をインバータ16
2により反転させた信号が入力される。また、その第2
の入力には信号PWRDNが入力される。
【0110】出力段170を構成するNAND回路は
“H”レベル活性であり、また、スイッチ回路161を
構成するNOR回路は“L”レベル活性である。
【0111】したがって、第6の回路例では、次のよう
な動作を行う。
【0112】(1)データを出力していない時、出力段
170は、信号ACTVの論理を、信号BANKORの
論理に応じて変更させる。
【0113】(2)データを出力している時、出力段1
70は、信号ACTVの論理を、信号BANKORの論
理に関わらずに“H”レベルに固定し、活性時用の降圧
回路32を作動させ続ける。
【0114】(3)パワーダウンモード以外の時、スイ
ッチ回路161は、信号ACTVの論理を遅延回路15
2の出力レベルに応じて変更させる。
【0115】(4)パワーダウンモードの時、スイッチ
回路161は、信号ACTVの論理を遅延回路152の
出力レベルに関わらずに“L”レベルに固定し、活性時
用の降圧回路32の動作を停止させる。
【0116】このように第6の回路例では、データ出力
中に、信号BANKORの論理に関わらずに、活性時用
の降圧回路32を作動させ続けることができる。よっ
て、データ出力中に、内部電源Vintが不足するよう
な事情を解消できる。
【0117】かつパワーダウンモードの時、信号ACT
Vの論理を、遅延回路152の出力レベルに関わらずに
“L”レベルに固定できるので、パワーダウンモードの
時に活性時用の降圧回路32の動作を停止できる。よっ
て、パワーダウンモード中における消費電流を抑制する
ことができる。
【0118】なお、第6の回路例は、パワーダウンモー
ドを示す信号PWRDNが、データ出力中を示す信号D
OENBよりも優先される回路である。
【0119】[第7の回路例]第7の回路例は、第6の
回路例と同様に、パワーダウンモードに対応でき、かつ
データ出力中に、活性時用の降圧回路32を作動させ続
けることができる回路例である。
【0120】図10は制御回路51の第7の回路例を示
す回路図である。
【0121】図10に示すように、パワーダウンモード
の時に信号ACTVの論理を、信号BANKORの論理
に関わらずに“L”レベルに固定するスイッチ回路16
1’を、遅延回路152の入力の前に設けたところが第
6の回路例と異なっている。スイッチ回路161’はN
AND回路により構成される。
【0122】出力段170を構成するNAND回路、お
よびスイッチ回路161’を構成するNAND回路はと
もに“H”レベル活性である。
【0123】したがって、第7の回路例では、次のよう
な動作を行う。
【0124】(1)パワーダウンモード以外の時、スイ
ッチ回路161’は、信号ACTVの論理を、信号BA
NKORの論理に応じて変更させる。
【0125】(2)パワーダウンモードの時、スイッチ
回路161’は、信号ACTVの論理を、信号BANK
ORの論理に関わらずに“L”レベルに固定し、活性時
用の降圧回路32の動作を停止させる。
【0126】(3)データを出力していない時、出力段
170は、信号ACTVの論理を、信号BANKORの
論理に応じて変更させる。
【0127】(4)データを出力している時、出力段1
70は、信号ACTVの論理を、信号BANKORの論
理に関わらずに“H”レベルに固定し、活性時用の降圧
回路32を作動させ続ける。
【0128】このように第7の回路例では、パワーダウ
ンモードの時、信号ACTVの論理を、信号BANKO
Rの論理に関わらずに“L”レベルに固定できるので、
活性時用の降圧回路32の動作を停止できる。よって、
パワーダウンモード中における消費電流を抑制すること
ができる。
【0129】かつデータ出力中に、信号BANKORの
論理に関わらずに、活性時用の降圧回路32を作動させ
続けることができる。よって、データ出力中に、内部電
源Vintが不足するような事情を解消できる。
【0130】なお、第7の回路例は、データ出力中を示
す信号DOENBが、パワーダウンモードを示す信号P
WRDNよりも優先される回路である。
【0131】また、パワーダウンモードに入った時、遅
延時間τRC経過後に信号ACTVを“H”レベルから
“L”レベルに下げられる。
【0132】[第8の回路例]第8の回路例は、第6、
第7の回路例と同様に、パワーダウンモードに対応で
き、かつデータ出力中に、活性時用の降圧回路32を作
動させ続けることができる回路例である。
【0133】図11は制御回路51の第8の回路例を示
す回路図である。
【0134】図11に示すように、第8の回路例は、デ
ータ出力中に、遅延回路152の出力レベルを、信号B
ANKORの論理に関わらずに“H”レベルに固定する
NOR回路により構成されるスイッチ回路171を、遅
延回路152の入力の前に設けたところが、第6の回路
例と異なっている。
【0135】スイッチ回路161、およびスイッチ回路
171を構成するNOR回路はともに“L”レベル活性
である。
【0136】したがって、第8の回路例では、次のよう
な動作を行う。
【0137】(1)データを出力していない時、スイッ
チ回路171は、遅延回路152の出力レベルを、信号
BANKORの論理に応じて変更させる。
【0138】(2)データを出力している時、スイッチ
回路170は、遅延回路152の出力レベルを、信号B
ANKORの論理に関わらずに“H”レベルに固定し、
活性時用の降圧回路32を作動させ続ける。
【0139】(3)パワーダウンモード以外の時、スイ
ッチ回路161は、信号ACTVの論理を、遅延回路1
52の出力レベル応じて変更させる。
【0140】(4)パワーダウンモードの時、スイッチ
回路161は、信号ACTVの論理を、遅延回路152
の出力レベルに関わらずに“L”レベルに固定し、活性
時用の降圧回路32の動作を停止させる。
【0141】このように第8の回路例では、データ出力
中に、信号BANKORの論理に関わらずに、活性時用
の降圧回路32を作動させ続けることができる。よっ
て、データ出力中に、内部電源Vintが不足するよう
な事情を解消できる。
【0142】かつパワーダウンモードの時、信号ACT
Vの論理を、遅延回路152の出力レベルに関わらず
に、活性時用の降圧回路32の動作を停止できる。よっ
て、パワーダウンモード中における消費電流を抑制する
ことができる。
【0143】なお、第8の回路例は、パワーダウンモー
ドを示す信号PWRDNが、データ出力中を示す信号D
OENBよりも優先される回路である。
【0144】また、データ出力が終了した後、遅延時間
τRC経過後に信号ACTVを“H”レベルから“L”
レベルに下げられる。
【0145】[第9の回路例]第9の回路例は、第6〜
第8の回路例と同様に、パワーダウンモードに対応で
き、かつデータ出力中に、活性時用の降圧回路32を作
動させ続けることができる回路例である。
【0146】図12は制御回路51の第9の回路例を示
す回路図である。
【0147】図12に示すように、第9の回路例は、デ
ータ出力中に、信号ACTVの論理を、信号BANKO
Rの論理に関わらずに“H”レベルに固定するNOR回
路により構成されるスイッチ回路171を、遅延回路1
52の入力の前に設けている。
【0148】さらに、パワーダウンモードの時に、信号
ACTVの論理を、スイッチ回路171の出力レベルに
関わらずに、“L”レベルに固定するNAND回路によ
り構成されるスイッチ回路161’を、スイッチ回路1
71と遅延回路152の入力との間に設けている。スイ
ッチ回路171の出力は、インバータ181により反転
された後、スイッチ回路161’の入力に供給される。
【0149】これらが、第6の回路例と異なっている。
【0150】スイッチ回路171を構成するNOR回路
は“L”レベル活性、また、スイッチ回路171を構成
するNAND回路は“H”レベル活性である。
【0151】したがって、第8の回路例では、次のよう
な動作を行う。
【0152】(1)データを出力していない時、スイッ
チ回路171は、スイッチ回路161’への入力レベル
を、信号BANKORの論理に応じて変更させる。
【0153】(2)データを出力している時、スイッチ
回路171は、スイッチ回路161’への入力レベル
を、信号BANKORの論理に関わらずに“L”レベル
に固定する(なお、スイッチ回路161’に入力される
時点では“H”レベル)。
【0154】(3)パワーダウンモード以外の時、スイ
ッチ回路161’は、信号ACTVの論理を、スイッチ
回路171の出力レベルに応じて変更させる。
【0155】(4)パワーダウンモードの時、スイッチ
回路161’は、信号ACTVの論理を、スイッチ回路
171の出力レベルに関わらずに“H”レベルに固定
し、活性時用の降圧回路32の動作を停止させる。
【0156】このように第9の回路例では、データ出力
中に、信号BANKORの論理に関わらずに、活性時用
の降圧回路32を作動させ続けることができる。よっ
て、データ出力中に、内部電源Vintが不足するよう
な事情を解消できる。
【0157】かつパワーダウンモードの時、信号ACT
Vの論理を、スイッチ回路171の出力レベルに関わら
ずに、活性時用の降圧回路32の動作を停止できる。よ
って、パワーダウンモード中における消費電流を抑制す
ることができる。
【0158】なお、第9の回路例は、パワーダウンモー
ドを示す信号PWRDNが、データ出力中を示す信号D
OENBよりも優先される回路である。
【0159】また、信号ACTVは、データ出力が終了
した後およびパワーダウンモードに入った後の双方にお
いて、遅延時間τRC経過した後に“H”レベルから
“L”レベルに下げられる。
【0160】[動作タイミング]次に、この発明に係る
シンクロナスDRAMの動作タイミングの一例を説明す
る。
【0161】図13、図14は、この発明に係るシンク
ロナスDRAMの動作タイミングを示すタイミング図で
ある。
【0162】図13および図14にはそれぞれ、入力コ
マンドに応じた、チップ内部の信号の変化の様子が示さ
れている。なお、デバイスのモードは、CASレイテン
シが3、バースト長4に設定されているものとする。
【0163】図13には、チップの内部の信号BANK
0、BANK1、BANKOR、PWRDN、DOEN
B、ACTVの波形が、バンク0アクティブコマンドが
入力された時、バンク1アクティブコマンドが入力され
た時、バンク0リードコマンドが入力された時、バンク
1リードコマンドが入力された時、バンク0プリチャー
ジコマンドが入力された時、バンク1プリチャージコマ
ンドが入力された時の6つの状態に応じてそれぞれ示さ
れている。
【0164】図13に示すように、サイクル0におい
て、バンク0アクティブコマンドが入力されたとする。
このコマンドを受けて、バンク0をアクティブにする信
号BANK0が“L”レベルから“H”レベルとなる。
この信号BANK0の立ち上がりを受けて、信号BAN
KORが“L”レベルから“H”レベルとなる。活性時
用の降圧回路32を作動させる信号ACTVは、信号B
ANKORが“H”レベルとなったことを受けて、
“L”レベルから“H”レベルとなる。信号ACTVが
“H”レベルとなることによって、活性時用の降圧回路
32が作動し、内部電源Vintが生成される。
【0165】サイクル2において、バンク1アクティブ
コマンドが入力されると、バンク1をアクティブにする
信号BANK1が“L”レベルから“H”レベルとな
る。この時、信号BANKORは“H”レベルのままで
ある。
【0166】サイクル5において、バンク0リードコマ
ンドが入力されると、データ出力を示す信号DOENB
が“L”レベルから“H”レベルとなる。また、CAS
レイテンシは“3”、バースト長は“4”にモード設定
されているので、バンク0リードコマンドが入力された
サイクル5から3番目のサイクル8から、バンク0から
のデータ(D01〜D04)が1サイクルずつ、合計4
つのデータが連続して出力される。
【0167】サイクル9において、バンク1リードコマ
ンドが入力されると、サイクル9から3番目のサイクル
12から、バンク1からのデータ(D11〜D14)が
1サイクルずつ、合計4つのデータが連続して出力され
る。
【0168】サイクル15において、バンク1からの最
終データ(D14)が出力され、データの出力が終了す
ると、データ出力を示す信号DOENBが“H”レベル
から“L”レベルとなる。この時、信号BANKORは
“H”レベルのままであるので、信号ACTVの論理は
変化しない。
【0169】サイクル17において、バンク0プリチャ
ージコマンドが入力されると、信号BANK0が“H”
レベルから“L”レベルとなる。この時、信号BANK
ORは、信号BANK1が“H”レベルであるために、
“H”レベルを維持する。よって、信号ACTVの論理
は変化しない。
【0170】サイクル19において、バンク1プリチャ
ージコマンドが入力されると、信号BANK1が“H”
レベルから“L”レベルとなる。これを受けて、信号B
ANKORは“H”レベルから“L”レベルとなる。信
号ACTVは、信号BANKORが“H”レベルから
“L”レベルとなったことを受けた後、遅延回路152
に設定された遅延時間τRC経過した後、“H”レベル
から“L”レベルとなる。信号ACTVが“L”レベル
となることによって、活性時用の降圧回路32の動作は
停止される。
【0171】図14には、さらにパワーダウンコマンド
が入力された時、およびデータの出力中に、バンク0、
バンク1双方にプリチャージコマンドが入力された時
の、チップの内部の信号BANK0、BANK1、BA
NKOR、PWRDN、DOENB、ACTVの波形が
示されている。
【0172】図14に示すように、サイクル2におい
て、パワーダウンコマンドが入力されると、パワーダウ
ンを示す信号PWRDNが“L”レベルから“H”レベ
ルとなる。信号ACTVは、信号PWRDNが“L”レ
ベルから“H”レベルとなったことを受けて、信号BA
NKORが“H”レベルであっても、遅延時間τRC経
過した後に、“H”レベルから“L”レベルとなる。信
号ACTVが“L”レベルとなることによって、活性時
用の降圧回路32の動作は停止される。なお、図5、図
9、図11に示した回路例においては、遅延時間τRC
は無い。
【0173】サイクル4において、パワーダウンコマン
ドが解除されると、信号PWRDNが“H”レベルから
“L”レベルとなる。信号ACTVは、信号PWRDN
が“H”レベルから“L”レベルとなったことを受け
て、信号BANKORが“H”レベルであれば、“L”
レベルから“H”レベルとなる。信号ACTVが“H”
レベルとなることによって、活性時用の降圧回路32は
作動される。
【0174】サイクル15において、バンク0プリチャ
ージコマンドが入力されると、信号BANK0が“H”
レベルから“L”レベルとなる。この時、信号BANK
ORは、信号BANK1が“H”レベルであるために、
“H”レベルを維持する。よって、信号ACTVの論理
は変化しない。
【0175】サイクル17において、バンク1プリチャ
ージコマンドが入力されると、信号BANK1が“H”
レベルから“L”レベルとなる。これを受けて、信号B
ANKORは“H”レベルから“L”レベルとなる。し
かし、バンク1からのデータがバースト出力されている
最中であるので、信号DOENBは“H”レベルであ
る。このため、信号BANKORが“H”レベルから
“L”レベルになっても、信号ACTVの論理は変化せ
ず、活性時用の降圧回路32は動作し続ける。
【0176】サイクル19において、バンク1からの最
終データ(D14)が出力され、データの読み出しが終
了すると、データ出力を示す信号DOENBが“H”レ
ベルから“L”レベルとなる。この時、信号BANKO
Rは“L”レベルであるので、信号ACTVは、遅延回
路152に設定された遅延時間τRC経過した後、
“H”レベルから“L”レベルとなる。信号ACTVが
“L”レベルとなることによって、活性時用の降圧回路
32の動作は停止される。なお、図7、図9、図10に
示した回路例においては、遅延時間τRCは無い。
【0177】以上のように、この発明に係るシンクロナ
スDRAMは、少なくとも信号BANKORが“H”レ
ベルである間は、活性時用の降圧回路32が作動する。
【0178】また、パワーダウンコマンドが入力される
と、信号BANKORが“H”レベルであっても、活性
時用の降圧回路32の動作は停止する(特に図5,図
6、図9〜図12に示す回路例)。
【0179】また、プリチャージコマンドが入力される
と、信号BANKORが“L”レベルであっても、デー
タ出力中であれば、活性時用の降圧回路32の作動し続
ける(特に図7〜図12に示す回路例)。
【0180】[第10の回路例]シンクロナスDRAM
では、パワーダウンコマンドは、バンクアクティブコマ
ンドと同時に入力されても良いことになっている。
【0181】しかし、パワーダウンコマンドがバンクア
クティブコマンドと同時に入力されると、最も内部電源
Vintを消費する、ワード線の立ち上げから読み出し
データに応じたビット線対間の電位差増幅の期間に、活
性時用の降圧回路32の動作が停止されてしまう事情が
想定され、内部電源Vintが不足することが懸念され
る。
【0182】第10の回路例は、パワーダウンコマンド
がバンクアクティブコマンドと同時に入力されても、少
なくともワード線の立ち上げから読み出しデータに応じ
たビット線対間の電位差増幅の期間は、活性時用の降圧
回路32の動作が停止しないように配慮したものであ
る。
【0183】図15は、制御回路51の第10の回路例
を示す回路図である。
【0184】図15に示すように、第10の回路例は、
図5に示した第2の回路例が有するスイッチ回路161
の前に、さらにスイッチ回路201を設けている。この
例におけるスイッチ回路201はNOR回路から構成さ
れている。NOR回路の第1の入力には信号PWRDN
をインバータ204により反転させた信号が入力され
る。また、その第2の入力には信号SATMRNAND
が入力される。図15中、参照符号202に示す回路
は、信号 /SATMR0〜 /SATMRnのNAND論
理をとり、信号SATMRNANDを生成する回路であ
る。信号 /SATMR0〜 /SATMRnは、次のよう
にして生成される。
【0185】図16は、信号 /SATMR( /SATM
Rn)を生成するセンスアンプタイマー回路の一例を示
す回路図である。また、図17は図16に示す回路の動
作を示す動作波形図である。
【0186】図16に示すように、センスアンプタイマ
ー回路は、バンクアクティブを示す信号BANKnと、
センスアンプの動作をイネーブルする信号SAEnの反
転とのNAND論理をとって、信号 /SATMRnを生
成する。信号SAEnは、センスアンプタイマー回路が
有する遅延段203により、遅延時間τだけ遅延されて
から、タイマー回路の出力段を構成するNAND回路2
05に供給される。
【0187】図17に示すように、信号SAEnは、信
号BANKnが“L”レベルから“H”レベルになった
ことを受けてから、所定の時間経過後に“L”レベルか
ら“H”レベルとなる信号である。
【0188】信号 /SATMRnは、信号BANKnが
“L”レベルから“H”レベルとなると、“H”レベル
から“L”レベルとなる。さらに信号SAEnが“H”
レベルとなり、かつ時間τが経過した後に、“L”レベ
ルから“H”レベルとなる。遅延時間τは、信号SAE
nが“L”レベルから“H”レベルとなってセンスアン
プが活性化されて、ビット線対BL、 /BLの電位差が
充分に増幅されるまでの時間と同等の時間、あるいはそ
れ以上の時間である。
【0189】信号 /SATMRnが“L”レベルである
間、図15に示す回路202が出力する信号SATMR
NANDは“H”レベルとなる。信号SATMRNAN
Dは、スイッチ回路201に供給される。
【0190】スイッチ回路201を構成するNOR回路
は“L”レベル活性である。このため、信号SATMR
NANDが“L”レベルの時には、スイッチ回路201
を構成するNOR回路は、インバータとして機能する。
【0191】したがって、第10の回路例では、次のよ
うな動作を行う。
【0192】(1)信号SATMRNANDが“L”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、スイッチ回路161
への入力レベルを、信号PWRDNの論理に応じて変更
させる。
【0193】(2)信号SATMRNANDが“H”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、信号PWRDNの論
理に関わらずに、その出力を“L”レベルに固定する。
よって、スイッチ回路161は、信号ACTVの論理
を、信号PWRDNの論理に関わらずに、遅延回路15
2の出力レベルに応じて変更させる。
【0194】このように第10の回路例では、パワーダ
ウンモードであっても、バンクがアクティブ状態のう
ち、特に図17に示すようにワード線WLが立ち上が
り、センスアンプが活性化されてビット線対BL、 /B
L間の電位差が充分に増幅されるまでは、活性時用の降
圧回路32を作動させ続けることができる。よって、例
えばパワーダウンコマンドがバンクアクティブコマンド
と同時に入力されても、データ読み出しからデータを増
幅している最中に、内部電源Vintが不足するような
事情を解消できる。
【0195】[第11の回路例]第11の回路例は、第
10の回路例と同様に、パワーダウンコマンドがバンク
アクティブコマンドと同時に入力されても、少なくとも
ワード線の立ち上げから読み出しデータに応じたビット
線対間の電位差増幅の期間は、活性時用の降圧回路32
の動作が停止しないように配慮したものである。
【0196】図18は、制御回路51の第11の回路例
を示す回路図である。
【0197】図18に示すように、第11の回路例は、
図6に示した第3の回路例が有するスイッチ回路16
1’の前に、スイッチ回路201をさらに設けている。
スイッチ回路201は、信号PWRDNの論理に関わら
ずに、その出力を“L”レベルに固定するNOR回路か
ら構成されている。固定された“L”レベルの出力は、
インバータ211により“H”レベルに反転されてから
スイッチ回路161’に入力される。
【0198】スイッチ回路201を構成するNOR回路
は“L”レベル活性、スイッチ回路161’を構成する
NAND回路“H”レベル活性である。
【0199】したがって、第11の回路例では、次のよ
うな動作を行う。
【0200】(1)信号SATMRNANDが“L”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、スイッチ回路16
1’への入力レベルを、信号PWRDNの論理に応じて
変更させる。
【0201】(2)信号SATMRNANDが“H”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、信号PWRDNの論
理に関わらずに、その出力を“L”レベルに固定する。
よって、スイッチ回路161’は、信号ACTVの論理
を、信号PWRDNの論理に関わらずに、信号BANK
ORの論理に応じて変更させる。
【0202】このように第11の回路例では、パワーダ
ウンモードであっても、バンクがアクティブ状態、特に
ワード線WLが立ち上がり、センスアンプが活性化され
てビット線対BL、 /BL間の電位差が充分に増幅され
るまでは、活性時用の降圧回路32を作動させ続けるこ
とができる。よって、例えばパワーダウンコマンドがバ
ンクアクティブコマンドと同時に入力されても、データ
読み出しからデータを増幅している最中に、内部電源V
intが不足するような事情を解消できる。
【0203】[第12の回路例]第12の回路例は、第
10、第11の回路例と同様に、パワーダウンコマンド
がバンクアクティブコマンドと同時に入力されても、少
なくともワード線の立ち上げから読み出しデータに応じ
たビット線対間の電位差増幅の期間は、活性時用の降圧
回路32の動作が停止しないように配慮したものであ
る。
【0204】図19は、制御回路51の第12の回路例
を示す回路図である。
【0205】図19に示すように、第12の回路例は、
図9に示した第6の回路例が有するスイッチ回路161
の前に、NOR回路から構成されるスイッチ回路201
をさらに設けたものである。
【0206】スイッチ回路201、スイッチ回路161
を構成するNOR回路はともに“L”レベル活性であ
る。
【0207】したがって、第12の回路例では、次のよ
うな動作を行う。
【0208】(1)信号SATMRNANDが“L”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、スイッチ回路161
への入力レベルを、信号PWRDNの論理に応じて変更
させる。
【0209】(2)信号SATMRNANDが“H”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、信号PWRDNの論
理に関わらずに、その出力を“L”レベルに固定する。
よって、スイッチ回路161は、信号ACTVの論理
を、信号PWRDNの論理に関わらずに、遅延回路15
2の出力レベルに応じて変更させる。
【0210】このように第12の回路例では、第10、
第11の回路例と同様に、パワーダウンモードであって
も、バンクがアクティブ状態、特にワード線WLが立ち
上がり、センスアンプが活性化されてビット線対BL、
/BL間の電位差が充分に増幅されるまでは、活性時用
の降圧回路32を作動させ続けることができる。よっ
て、例えばパワーダウンコマンドがバンクアクティブコ
マンドと同時に入力されても、データ読み出しからデー
タを増幅している最中に、内部電源Vintが不足する
ような事情を解消できる。
【0211】[第13の回路例]第13の回路例は、第
10〜第12の回路例と同様に、パワーダウンコマンド
がバンクアクティブコマンドと同時に入力されても、少
なくともワード線の立ち上げから読み出しデータに応じ
たビット線対間の電位差増幅の期間は、活性時用の降圧
回路32の動作が停止しないように配慮したものであ
る。
【0212】図20は、制御回路51の第13の回路例
を示す回路図である。
【0213】図20に示すように、第13の回路例は、
図10に示した第7の回路例が有するスイッチ回路16
1’の前に、NOR回路から構成されるスイッチ回路2
01をさらに設けたものである。
【0214】スイッチ回路201を構成するNOR回路
は“L”レベル活性、スイッチ回路161’を構成する
NAND回路は“H”レベル活性である。
【0215】したがって、第13の回路例では、次のよ
うな動作を行う。
【0216】(1)信号SATMRNANDが“L”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、スイッチ回路16
1’への入力レベルを、信号PWRDNの論理に応じて
変更させる。
【0217】(2)信号SATMRNANDが“H”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、信号PWRDNの論
理に関わらずに、その出力を“L”レベルに固定する。
よって、スイッチ回路161’は、信号ACTVの論理
を、信号PWRDNの論理に関わらずに、信号BANK
ORの論理に応じて変更させる。
【0218】このように第13の回路例では、第10〜
第12の回路例と同様に、パワーダウンモードであって
も、バンクがアクティブ状態、特にワード線WLが立ち
上がり、センスアンプが活性化されてビット線対BL、
/BL間の電位差が充分に増幅されるまでは、活性時用
の降圧回路32を作動させ続けることができる。よっ
て、例えばパワーダウンコマンドがバンクアクティブコ
マンドと同時に入力されても、データ読み出しからデー
タを増幅している最中に、内部電源Vintが不足する
ような事情を解消できる。
【0219】[第14の回路例]第14の回路例は、第
10〜第13の回路例と同様に、パワーダウンコマンド
がバンクアクティブコマンドと同時に入力されても、少
なくともワード線の立ち上げから読み出しデータに応じ
たビット線対間の電位差増幅の期間は、活性時用の降圧
回路32の動作が停止しないように配慮したものであ
る。
【0220】図21は、制御回路51の第14の回路例
を示す回路図である。
【0221】図21に示すように、第14の回路例は、
図11に示した第8の回路例が有するスイッチ回路16
1の前に、NOR回路から構成されるスイッチ回路20
1をさらに設けたものである。
【0222】スイッチ回路201、スイッチ回路161
を構成するNOR回路はともに“L”レベル活性であ
る。
【0223】したがって、第14の回路例では、次のよ
うな動作を行う。
【0224】(1)信号SATMRNANDが“L”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、スイッチ回路161
への入力レベルを、信号PWRDNの論理に応じて変更
させる。
【0225】(2)信号SATMRNANDが“H”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、信号PWRDNの論
理に関わらずに、その出力を“L”レベルに固定する。
よって、スイッチ回路161は、信号ACTVの論理
を、信号PWRDNの論理に関わらずに、遅延回路15
2の出力レベルに応じて変更させる。
【0226】このように第14の回路例では、第10〜
第13の回路例と同様に、パワーダウンモードであって
も、バンクがアクティブ状態、特にワード線WLが立ち
上がり、センスアンプが活性化されてビット線対BL、
/BL間の電位差が充分に増幅されるまでは、活性時用
の降圧回路32を作動させ続けることができる。よっ
て、例えばパワーダウンコマンドがバンクアクティブコ
マンドと同時に入力されても、データ読み出しからデー
タを増幅している最中に、内部電源Vintが不足する
ような事情を解消できる。
【0227】[第15の回路例]第15の回路例は、第
10〜第14の回路例と同様に、パワーダウンコマンド
がバンクアクティブコマンドと同時に入力されても、少
なくともワード線の立ち上げから読み出しデータに応じ
たビット線対間の電位差増幅の期間は、活性時用の降圧
回路32の動作が停止しないように配慮したものであ
る。
【0228】図22は、制御回路51の第15の回路例
を示す回路図である。
【0229】図22に示すように、第15の回路例は、
図12に示した第9の回路例が有するスイッチ回路16
1’の前に、NOR回路から構成されるスイッチ回路2
01をさらに設けたものである。
【0230】スイッチ回路201を構成するNOR回路
は“L”レベル活性、スイッチ回路161’を構成する
NAND回路は“H”レベル活性である。
【0231】したがって、第15の回路例では、次のよ
うな動作を行う。
【0232】(1)信号SATMRNANDが“L”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、スイッチ回路16
1’への入力レベルを、信号PWRDNの論理に応じて
変更させる。
【0233】(2)信号SATMRNANDが“H”レ
ベルの間、スイッチ回路201は、信号PWRDNの論
理に関わらずに、その出力を“L”レベルに固定する。
よって、スイッチ回路161’は、信号ACTVの論理
を、信号PWRDNの論理に関わらずに、信号BANK
ORの論理に応じて変更させる。
【0234】このように第15の回路例では、第10〜
第14の回路例と同様に、パワーダウンモードであって
も、バンクがアクティブ状態、特にワード線WLが立ち
上がり、センスアンプが活性化されてビット線対BL、
/BL間の電位差が充分に増幅されるまでは、活性時用
の降圧回路32を作動させ続けることができる。よっ
て、例えばパワーダウンコマンドがバンクアクティブコ
マンドと同時に入力されても、データ読み出しからデー
タを増幅している最中に、内部電源Vintが不足する
ような事情を解消できる。
【0235】以上、この発明の一実施形態に係るシンク
ロナスDRAMによれば、内部電源Vintを生成する
ための内部電源生成部3を、バイアス電流が小さい待機
時用の降圧回路31と、バイアス電流が大きい活性時用
の降圧回路32との2種類の降圧回路により構成するよ
うにした。これにより、従来のNMOSを用いた降圧回
路を搭載したDRAMに比べて、待機状態における外部
電源VCCの消費量を削減でき、さらなる低消費電力化
を推進しやすい構成となる。
【0236】また、チップ内部に複数のバンクが設定さ
れた時、バンクが一つでも活性状態であれば、活性時用
の降圧回路32が作動するように制御する制御回路51
を有している。このような制御回路51を有することに
より、例えば動作を高速化させるために、チップの内部
に複数のバンクを設定したDRAM、例えばシンクロナ
スDRAMに、上記内部電源生成部3を適用することが
可能となる。
【0237】特に第1〜第15の回路例に示されたよう
な制御回路51においては、インターリーブ・バンク・
アクティブ動作において、活性状態のバンクが存在して
いれば、活性時用の降圧回路32の動作が停止すること
は無く、活性状態のバンクに充分に内部電源Vintを
供給できる。
【0238】また、特に第2、第3、第6〜第15の回
路例(図5、図6、図9〜図22)に示された制御回路
51においては、バンクを活性化した状態からパワーダ
ウンモードに入った場合に、バンクが活性状態であって
も、活性時用の降圧回路32の動作を停止でき、消費電
流が、パワーダウンモード時のスペックを超えるような
事情を解消できる。
【0239】中でも特に第10〜第15の回路例(図1
5〜図22)に示された制御回路51においては、パワ
ーダウンコマンドとバンクアクティブコマンドとが同時
に入力された場合には、ワード線WLの立ち上がりから
ビット線対BL、 /BLの電位差が充分に増幅された後
に、活性時用の降圧回路32の動作を停止できる。これ
により、パワーダウンモードであっても、内部電源Vi
ntを必要としている時には、活性時用の降圧回路32
の動作が停止しない。
【0240】また、特に第4〜第9、第12〜第15
(図7〜図12、図19〜図22)に示された制御回路
51においては、プリチャージ完了後にバーストデータ
出力を行う場合には、活性時用の降圧回路32の動作が
停止することはなく、データ出力系回路に充分な内部電
源Vintを供給することができる。
【0241】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
外部電源VCCの消費量を削減でき、かつ内部が複数の
バンクに分割されるようなデバイスにも対応可能な内部
電源降圧回路を備えた半導体集積回路装置を提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施形態に係るシンクロナ
スDRAMのブロック図。
【図2】図2は待機時用の降圧回路の回路図。
【図3】図3活性時用の降圧回路の回路図。
【図4】図4は制御回路の第1の回路例の回路図。
【図5】図5は制御回路の第2の回路例の回路図。
【図6】図6は制御回路の第3の回路例の回路図。
【図7】図7は制御回路の第4の回路例の回路図。
【図8】図8は制御回路の第5の回路例の回路図。
【図9】図9は制御回路の第6の回路例の回路図。
【図10】図10は制御回路の第7の回路例の回路図。
【図11】図11は制御回路の第8の回路例の回路図。
【図12】図12は制御回路の第9の回路例の回路図。
【図13】図13はこの発明の一実施形態に係るシンク
ロナスDRAMの動作タイミング図。
【図14】図14はこの発明の一実施形態に係るシンク
ロナスDRAMの動作タイミング図。
【図15】図15は制御回路の第10の回路例の回路
図。
【図16】図16はセンスアンプタイマー回路の回路
図。
【図17】図17はセンスアンプタイマー回路の動作波
形図。
【図18】図18は制御回路の第11の回路例の回路
図。
【図19】図19は制御回路の第12の回路例の回路
図。
【図20】図20は制御回路の第13の回路例の回路
図。
【図21】図21は制御回路の第14の回路例の回路
図。
【図22】図22は制御回路の第15の回路例の回路
図。
【符号の説明】
1…1Mbitメモリ部、 2…制御部、 3…内部電源生成部、 11…クロックバッファ、 12…コマンドデコーダ、 13…制御信号ジェネレータ、 14…アドレスバッファ、 15…モードレジスタ、 16…リフレッシュカウンタ、 17…カラムカウンタ、 21…データコントロール回路、 22…I/Oデータバッファ、 31…待機時用の降圧回路、 32…活性時用の降圧回路、 41…Vref発生回路、 42…VCCレベル検知回路、 101、111、112、118…PMOS、 102、103、114、115…抵抗、 104、117…オペアンプ、 113…NMOS、 120…レベルシフト回路、 151…信号BANKORを生成する回路、 152…遅延回路、 153…タイマー(遅延段)、 161、161’、171、201…スイッチ回路、 162、163、172、181、204、211…イ
ンバータ、 170…遅延回路の出力段、 202…信号SATMRNANDを生成する回路、 203…遅延段、 205…出力段を構成する回路(NAND回路)。

Claims (17)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のバンクに分割された、データを記
    憶する記憶部と、 待機時用の内部電源回路及び活性時用の内部電源回路を
    含む、内部電源を生成する内部電源生成部と、少なくとも上記複数のバンクのうちの一つが活性状態の
    ときに前記活性時用の内部電源回路を活性化させる制御
    回路を含む 制御部とを具備し、前記制御回路は、 前記複数のバンクを活性化させる活性化信号の論理和信
    号に同期して前記活性時用の内部電源回路を活性化さ
    せ、 前記論理和信号が非活性状態を示し、前記複数のバンク
    の全てが完全にプリチャージ状態となった後、前記活性
    時用の内部電源回路を非活性化させ、 前記記憶部が活性状態でパワーダウンモードに入った場
    合、前記論理和信号に関わらずに、前記活性時用の内部
    電源回路を非活性化し、前記パワーダウンモードが解除
    された場合、直ちに前記活性時用の内部電源回路を活性
    化させ、 前記複数のバンクのうちのいくつかが活性状態でパワー
    ダウンモードに入った場合、直前に活性化されたバンク
    において、バンク活性化開始から活性化されるビット線
    対の電位差が充分に増幅されるまでと同等の時間、もし
    くはそれ以上の時間が経過した後、前記論理和信号に関
    わらずに、前記活性時用の内部電源回路を非活性化し、
    前記パワーダウンモードが解除された場合、直ちに前記
    活性時用の内部電源回路を活性化させる ことを特徴とす
    る半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 前記制御回路は、データを出力している
    間、前記論理和信号に関わらずに、前記活性時用の内部
    電源回路を活性化させることを特徴とする請求項1に記
    載の半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 少なくとも1つのセルアレイ、及び少な
    くとも1つのセンスアンプを含み、第1のバンク活性化
    信号に応じて活性化される第1のバンクと、少なくとも
    1つのセルアレイ、及び少なくとも1つのセンスアンプ
    を含み、第2のバンク活性化信号に応じて活性化される
    第2のバンクとの、少なくとも2つのバンクに分割され
    た、データを記憶する記憶部と、 待機時用の内部電源回路及び活性時用の内部電源回路を
    含み、前記記憶部に供 給される内部電源を外部電源より
    生成する内部電源生成部と、 前記第1、第2のバンク活性化信号に応じて前記活性時
    用の内部電源回路を活性化する制御回路を含む制御部と
    を具備し、 前記制御回路は、 前記第1、第2のバンク活性化信号が入力され、出力端
    から第1の制御信号を出力し、前記第1、第2のバンク
    活性化信号の少なくとも1つが活性状態の時、第1の制
    御信号を活性化し、前記第1、第2のバンク活性化信号
    の双方が非活性状態の時、前記第1の制御信号を非活性
    化する第1の論理回路と、 前記第1の制御信号が入力され、出力端から第1の遅延
    信号を出力し、前記第1の制御信号が活性状態から非活
    性状態となった時、少なくとも前記記憶部のプリチャー
    ジ開始からプリチャージ完了までに要する時間が経過し
    た後、第1の遅延信号を活性状態から非活性状態にする
    第1の遅延回路と、 前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号が入力さ
    れ、出力端から第2の制御信号を出力し、前記第1の制
    御信号が活性状態になった時、前記第2の制御信号を活
    性化し、前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号の
    双方が非活性状態になった時、前記第2の制御信号を非
    活性化させる第2の論理回路とを有し、 前記第2の論理回路は、パワーダウンモード信号をさら
    に受け、前記パワーダウンモード信号がパワーダウンモ
    ードを示している時、前記第1の制御信号及び前記第1
    の遅延信号の状態に関わらずに、前記第2の制御信号を
    非活性化し、前記パワーダウンモード信号がパワーダウ
    ンモードの解除を示した時、前記第2の制御信号を直ち
    に活性化し、 前記第2の制御信号が活性状態の時、前記活性時用の内
    部電源回路を活性化し、前記第2の制御信号が非活性状
    態の時、前記活性時用の内部電源回路を非活性化するこ
    とを特徴とする 半導体集積回路装置。
  4. 【請求項4】 前記第2の論理回路は、データ出力イネ
    ーブル信号をさらに受け、前記データ出力イネーブル信
    号がデータ出力を示している時、前記第1の制御信号及
    び前記第1の遅延信号の状態に関わらずに、前記第2の
    制御信号を活性化させることを特徴とする請求項3に記
    載の半導体集積回路装置。
  5. 【請求項5】 前記第1の論理回路は、データ出力イネ
    ーブル信号をさらに 受け、前記データ出力イネーブル信
    号がデータ出力を示している時、前記第1、第2のバン
    ク活性化信号の状態に関わらずに、前記第1の制御信号
    を活性化させることを特徴とする請求項3に記載の半導
    体集積回路装置。
  6. 【請求項6】 少なくとも1つのセルアレイ、及び少な
    くとも1つのセンスアンプを含み、第1のバンク活性化
    信号に応じて活性化される第1のバンクと、少なくとも
    1つのセルアレイ、及び少なくとも1つのセンスアンプ
    を含み、第2のバンク活性化信号に応じて活性化される
    第2のバンクとの、少なくとも2つのバンクに分割され
    た、データを記憶する記憶部と、 待機時用の内部電源回路及び活性時用の内部電源回路を
    含み、前記記憶部に供給される内部電源を外部電源より
    生成する内部電源生成部と、 前記第1、第2のバンク活性化信号に応じて前記活性時
    用の内部電源回路を活性化する制御回路を含む制御部と
    を具備し、 前記制御回路は、 前記第1、第2のバンク活性化信号が入力され、出力端
    から第1の制御信号を出力し、前記第1、第2のバンク
    活性化信号の少なくとも1つが活性状態の時、第1の制
    御信号を活性化し、前記第1、第2のバンク活性化信号
    の双方が非活性状態の時、前記第1の制御信号を非活性
    化する第1の論理回路と、 前記第1の制御信号が入力され、出力端から第1の遅延
    信号を出力し、前記第1の制御信号が活性状態から非活
    性状態となった時、少なくとも前記記憶部のプリチャー
    ジ開始からプリチャージ完了までに要する時間が経過し
    た後、第1の遅延信号を活性状態から非活性状態にする
    第1の遅延回路と、 前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号が入力さ
    れ、出力端から第2の制御信号を出力し、前記第1の制
    御信号が活性状態になった時、前記第2の制御信号を活
    性化し、前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号の
    双方が非活性状態になった時、前記第2の制御信号を非
    活性化させる第2の論理回路とを有し、 前記第1の論理回路は、パワーダウンモード信号をさら
    に受け、前記パワーダウンモード信号がパワーダウンモ
    ードを示している時、前記第1、第2のバンク活性化信
    号の状態に関わらずに、前記第1の制御信号を非活性化
    し、前記パワーダウンモード信号がパワーダウンモード
    の解除を示した時、前記第1の制御信号 を直ちに活性化
    し、 前記第2の制御信号が活性状態の時、前記活性時用の内
    部電源回路を活性化し、前記第2の制御信号が非活性状
    態の時、前記活性時用の内部電源回路を非活性化するこ
    とを特徴とする 半導体集積回路装置。
  7. 【請求項7】 前記第2の論理回路は、データ出力イネ
    ーブル信号をさらに受け、前記データ出力イネーブル信
    号がデータ出力を示している時、前記第1の制御信号及
    び前記第1の遅延信号の状態に関わらずに、前記第2の
    制御信号を活性化させることを特徴とする請求項6に記
    載の半導体集積回路装置。
  8. 【請求項8】 前記第1の論理回路は、データ出力イネ
    ーブル信号をさらに受け、前記データ出力イネーブル信
    号がデータ出力を示している時、前記第1、第2のバン
    ク活性化信号の状態に関わらずに、前記第1の制御信号
    を活性化させることを特徴とする請求項6に記載の半導
    体集積回路装置。
  9. 【請求項9】 少なくとも1つのセルアレイ、及び少な
    くとも1つのセンスアンプを含み、第1のバンク活性化
    信号に応じて活性化される第1のバンクと、少なくとも
    1つのセルアレイ、及び少なくとも1つのセンスアンプ
    を含み、第2のバンク活性化信号に応じて活性化される
    第2のバンクとの、少なくとも2つのバンクに分割され
    た、データを記憶する記憶部と、 待機時用の内部電源回路及び活性時用の内部電源回路を
    含み、前記記憶部に供給される内部電源を外部電源より
    生成する内部電源生成部と、 前記第1、第2のバンク活性化信号に応じて前記活性時
    用の内部電源回路を活性化する制御回路を含む制御部と
    を具備し、 前記制御回路は、 前記第1、第2のバンク活性化信号が入力され、出力端
    から第1の制御信号を出力し、前記第1、第2のバンク
    活性化信号の少なくとも1つが活性状態の時、第1の制
    御信号を活性化し、前記第1、第2のバンク活性化信号
    の双方が非活性状態の時、前記第1の制御信号を非活性
    化する第1の論理回路と、 前記第1の制御信号が入力され、出力端から第1の遅延
    信号を出力し、前記第1の制御信号が活性状態から非活
    性状態となった時、少なくとも前記記憶部のプリチャー
    ジ開始からプリチャージ完了までに要する時間が経過し
    た後、第1の遅 延信号を活性状態から非活性状態にする
    第1の遅延回路と、 前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号が入力さ
    れ、出力端から第2の制御信号を出力し、前記第1の制
    御信号が活性状態になった時、前記第2の制御信号を活
    性化し、前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号の
    双方が非活性状態になった時、前記第2の制御信号を非
    活性化させる第2の論理回路とを有し、 前記第2の論理回路は、データ出力イネーブル信号をさ
    らに受け、前記データ出力イネーブル信号がデータ出力
    を示している時、前記第1の制御信号及び前記第1の遅
    延信号の状態に関わらずに、前記第2の制御信号を活性
    化し、 前記第2の制御信号が活性状態の時、前記活性時用の内
    部電源回路を活性化し、前記第2の制御信号が非活性状
    態の時、前記活性時用の内部電源回路を非活性化するこ
    とを特徴とする半導体集積回路装置。
  10. 【請求項10】 少なくとも1つのセルアレイ、及び少
    なくとも1つのセンスアンプを含み、第1のバンク活性
    化信号に応じて活性化される第1のバンクと、少なくと
    も1つのセルアレイ、及び少なくとも1つのセンスアン
    プを含み、第2のバンク活性化信号に応じて活性化され
    る第2のバンクとの、少なくとも2つのバンクに分割さ
    れた、データを記憶する記憶部と、 待機時用の内部電源回路及び活性時用の内部電源回路を
    含み、前記記憶部に供給される内部電源を外部電源より
    生成する内部電源生成部と、 前記第1、第2のバンク活性化信号に応じて前記活性時
    用の内部電源回路を活性化する制御回路を含む制御部と
    を具備し、 前記制御回路は、 前記第1、第2のバンク活性化信号が入力され、出力端
    から第1の制御信号を出力し、前記第1、第2のバンク
    活性化信号の少なくとも1つが活性状態の時、第1の制
    御信号を活性化し、前記第1、第2のバンク活性化信号
    の双方が非活性状態の時、前記第1の制御信号を非活性
    化する第1の論理回路と、 前記第1の制御信号が入力され、出力端から第1の遅延
    信号を出力し、前記第1の制御信号が活性状態から非活
    性状態となった時、少なくとも前記記憶部のプリチャー
    ジ開始からプリチャージ完了までに要する時間が経過し
    た後、第1の遅延信号を活性状態から非活性状態にする
    第1の遅延回路と、 前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号が入力さ
    れ、出力端から第2の制御信号を出力し、前記第1の制
    御信号が活性状態になった時、前記第2の制御信号を活
    性化し、前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号の
    双方が非活性状態になった時、前記第2の制御信号を非
    活性化させる第2の論理回路とを有し、 前記第1の論理回路は、データ出力イネーブル信号をさ
    らに受け、前記データ出力イネーブル信号がデータ出力
    を示している時、前記第1、第2のバンク活性化信号の
    状態に関わらずに、前記第1の制御信号を活性化し、 前記第2の制御信号が活性状態の時、前記活性時用の内
    部電源回路を活性化し、前記第2の制御信号が非活性状
    態の時、前記活性時用の内部電源回路を非活性化するこ
    とを特徴とする半導体集積回路装置。
  11. 【請求項11】 少なくとも1つのセルアレイ、及び少
    なくとも1つのセンスアンプを含み、第1のバンク活性
    化信号に応じて活性化される第1のバンクと、少なくと
    も1つのセルアレイ、及び少なくとも1つのセンスアン
    プを含み、第2のバンク活性化信号に応じて活性化され
    る第2のバンクとの、少なくとも2つのバンクに分割さ
    れた、データを記憶する記憶部と、 待機時用の内部電源回路及び活性時用の内部電源回路を
    含み、前記記憶部に供給される内部電源を外部電源より
    生成する内部電源生成部と、 前記第1、第2のバンク活性化信号に応じて前記活性時
    用の内部電源回路を活性化する制御回路を含む制御部と
    を具備し、 前記制御回路は、 前記第1、第2のバンク活性化信号が入力され、出力端
    から第1の制御信号を出力し、前記第1、第2のバンク
    活性化信号の少なくとも1つが活性状態の時、第1の制
    御信号を活性化し、前記第1、第2のバンク活性化信号
    の双方が非活性状態の時、前記第1の制御信号を非活性
    化する第1の論理回路と、 前記第1の制御信号が入力され、出力端から第1の遅延
    信号を出力し、前記第1の制御信号が活性状態から非活
    性状態となった時、少なくとも前記記憶部のプリチャー
    ジ開始からプリチャージ完了までに要する時間が経過し
    た後、第1の遅延信号を活性状態から非活性状態にする
    第1の遅延回路と、 前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号が入力さ
    れ、出力端から第2の制 御信号を出力し、前記第1の制
    御信号が活性状態になった時、前記第2の制御信号を活
    性化し、前記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号の
    双方が非活性状態になった時、前記第2の制御信号を非
    活性化させる第2の論理回路とを有し、 前記第2の制御信号が活性状態の時、前記活性時用の内
    部電源回路を活性化し、前記第2の制御信号が非活性状
    態の時、前記活性時用の内部電源回路を非活性化し、 前記制御回路は、 前記第1のバンクに対応した第1のセンスアンプ活性化
    信号が入力され、出力端から第2の遅延信号を出力し、
    少なくとも前記第1のセンスアンプ活性化信号が前記第
    1のバンクのセンスアンプの活性を示してからメモリセ
    ルアレイのデータが増幅されるまでに要する時間が経過
    した後、前記第2の遅延信号を活性化する第2の遅延回
    路と、 前記第1のバンク活性化信号及び前記第2の遅延信号が
    入力され、出力端から第3の制御信号を出力し、前記第
    1のバンク活性化信号が活性状態であり、かつ前記第2
    の遅延信号が非活性状態を示している時、前記第3の制
    御信号を活性化し、前記第1のバンク活性化信号が非活
    性状態、または前記第2の遅延信号が活性状態を示して
    いる時、前記第3の制御信号を非活性化する第3の論理
    回路と、 前記第2のバンクに対応した第2のセンスアンプ活性化
    信号が入力され、出力端から第3の遅延信号を出力し、
    少なくとも前記第2のセンスアンプ活性化信号が前記第
    2のバンクのセンスアンプの活性を示してからメモリセ
    ルアレイのデータが増幅されるまでに要する時間が経過
    した後、前記第3の遅延信号を活性化する第3の遅延回
    路と、 前記第2のバンク活性化信号及び前記第3の遅延信号が
    入力され、出力端から第4の制御信号を出力し、前記第
    2のバンク活性化信号が活性状態であり、かつ前記第3
    の遅延信号が非活性状態を示している時、前記第4の制
    御信号を活性化し、前記第2のバンク活性化信号が非活
    性状態、または前記第3の遅延信号が活性状態を示して
    いる時、前記第4の制御信号を非活性化する第4の論理
    回路と、 前記第3、第4の制御信号が入力され、出力端から第5
    の制御信号を出力し、前記第3、第4の制御信号の少な
    くとも1つが活性状態の時、第5の制御信号を 活性化さ
    せ、前記第3、第4の制御信号の双方が非活性状態を示
    している時、前記第5の制御信号を非活性化する第5の
    論理回路と、 前記パワーダウンモード信号及び前記第5の制御信号が
    入力され、出力端から第6の制御信号を出力し、前記第
    5の制御信号が非活性状態の場合は、前記パワーダウン
    モード信号がパワーダウンモードを示している時、前記
    第6の制御信号を非活性化し、前記パワーダウンモード
    信号がパワーダウンモードの解除を示した時、前記第6
    の制御信号を直ちに活性化させるとともに、前記第5の
    制御信号が活性状態の場合は、パワーダウンモード信号
    の状態に関わらずに、第6の制御信号を活性化させる第
    6の論理回路とを更に有することを特徴とする半導体集
    積回路装置。
  12. 【請求項12】 前記第2の論理回路は、前記第6の制
    御信号をさらに受け、前記第6の制御信号が非活性状態
    を示している時、前記第1の制御信号及び前記第1の遅
    延信号の状態に関わらずに、前記第2の制御信号を非活
    性化し、前記第6の制御信号が活性状態に戻った時、前
    記第2の制御信号を直ちに活性化することを特徴とする
    請求項11に記載の半導体集積回路装置。
  13. 【請求項13】 前記第1の論理回路は、前記第6の制
    御信号をさらに受け、前記第6の制御信号が非活性状態
    を示している時、前記第1、第2のバンク活性化信号の
    状態に関わらずに、前記第1の制御信号を非活性化し、
    前記第6の制御信号が活性状態に戻った時、前記第1の
    制御信号を直ちに活性化させることを特徴とする請求項
    11に記載の半導体集積回路装置。
  14. 【請求項14】 前記第2の論理回路は、前記第6の制
    御信号およびデータ出力イネーブル信号をさらに受け、
    前記データ出力イネーブル信号がデータ出力を示し、か
    つ前記第6の制御信号が活性状態を示している時、前記
    第1の制御信号及び前記第1の遅延信号の状態に関わら
    ずに、前記第2の制御信号を活性化させ、前記第6の制
    御信号が非活性状態を示している時、前記第1の制御信
    号、前記第1の遅延信号、及び前記データ出力イネーブ
    ル信号の状態に関わらずに、前記第2の制御信号を非活
    性化させることを特徴とする請求項11に記載の半導体
    集積回路装置。
  15. 【請求項15】 前記第1の論理回路は、前記第6の制
    御信号をさらに受け 、前記第6の制御信号が非活性状態
    を示している時、前記第1、第2のバンク活性化信号の
    状態に関わらずに、前記第1の制御信号を非活性化し、
    前記第6の制御信号が活性状態を示した時、前記第1の
    制御信号を直ちに活性化し、かつ前記第2の論理回路
    は、データ出力イネーブル信号をさらに受け、前記デー
    タ出力イネーブル信号がデータ出力を示している時、前
    記第1の制御信号及び前記第1の遅延信号の状態に関わ
    らずに、前記第2の制御信号を活性化させることを特徴
    とする請求項11に記載の半導体集積回路装置。
  16. 【請求項16】 前記第1の論理回路は、データ出力イ
    ネーブル信号をさらに受け、前記データ出力イネーブル
    信号がデータ出力を示している時、前記第1、第2のバ
    ンク活性化信号の状態に関わらずに、前記第1の制御信
    号を活性化し、かつ前記第2の論理回路は、前記第6の
    制御信号をさらに受け、前記第6の制御信号が非活性状
    態を示している時、前記第1の制御信号及び前記第1の
    遅延信号の状態に関わらずに、前記第2の制御信号を非
    活性化し、前記第6の制御信号が活性状態に戻った時、
    前記第2の制御信号を直ちに活性化することを特徴とす
    る請求項11に記載の半導体集積回路装置。
  17. 【請求項17】 前記第1の論理回路は、前記第6の制
    御信号およびデータ出力イネーブル信号をさらに受け、
    前記データ出力イネーブル信号がデータ出力を示し、か
    つ前記第6の制御信号が活性状態を示している時、前記
    第1、第2のバンク活性化信号の状態に関わらずに、前
    記第1の制御信号を活性化させ、前記第6の制御信号が
    非活性状態を示している時、前記第1、第2のバンク活
    性化信号、及び前記データ出力イネーブル信号の状態に
    関わらずに、前記第1の制御信号を非活性化させること
    を特徴とする請求項11に記載の半導体集積回路装置。
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