JP3297784B2 - 拡散層抵抗の形成方法 - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイスに用い
られる拡散層抵抗の形成方法に関するものである。
られる拡散層抵抗の形成方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の拡散層抵抗の形成方法を、図5に
示すCMOSプロセスにおける拡散層抵抗の形成工程図
によって説明する。図では形成方法の要点のみを示し
た。
示すCMOSプロセスにおける拡散層抵抗の形成工程図
によって説明する。図では形成方法の要点のみを示し
た。
【0003】図5の(1)に示すように、半導体基板1
11にMOSトランジスタのLDD拡散層になる低濃度
拡散層112,113を形成する際に、拡散層抵抗の低
濃度拡散層114を形成する。
11にMOSトランジスタのLDD拡散層になる低濃度
拡散層112,113を形成する際に、拡散層抵抗の低
濃度拡散層114を形成する。
【0004】その後、ゲートの形成およびその側壁にサ
イドウォールの形成を行う。次いで図5の(2)に示す
ように、半導体基板111の表面側にCVD酸化膜11
5を形成する。そしてイオン注入法によって、選択的に
第1導電型MOSトランジスタのソース・ドレイン領域
になる高濃度拡散層116,117を形成するとともに
拡散層抵抗の高濃度拡散層118を形成する。ここでは
図示はしないが、その後イオン注入法によって選択的に
第2導電型MOSトランジスタのソース・ドレイン領域
を形成する。
イドウォールの形成を行う。次いで図5の(2)に示す
ように、半導体基板111の表面側にCVD酸化膜11
5を形成する。そしてイオン注入法によって、選択的に
第1導電型MOSトランジスタのソース・ドレイン領域
になる高濃度拡散層116,117を形成するとともに
拡散層抵抗の高濃度拡散層118を形成する。ここでは
図示はしないが、その後イオン注入法によって選択的に
第2導電型MOSトランジスタのソース・ドレイン領域
を形成する。
【0005】そして、図5の(3)に示すように、ゲー
ト配線(ゲート電極を含む)119およびソース・ドレ
イン領域の高濃度拡散層116,117の低抵抗化を行
うために、上記CVD酸化膜(115)を除去する。そ
の後シリサイド化プロセスによって、ゲート配線119
の上層およびソース・ドレイン領域の高濃度拡散層11
6,117の上層にシリサイド層120およびシリサイ
ド層121,122を形成する。このとき、拡散層抵抗
の高濃度拡散層118の上層にもシリサイド層123が
形成される。
ト配線(ゲート電極を含む)119およびソース・ドレ
イン領域の高濃度拡散層116,117の低抵抗化を行
うために、上記CVD酸化膜(115)を除去する。そ
の後シリサイド化プロセスによって、ゲート配線119
の上層およびソース・ドレイン領域の高濃度拡散層11
6,117の上層にシリサイド層120およびシリサイ
ド層121,122を形成する。このとき、拡散層抵抗
の高濃度拡散層118の上層にもシリサイド層123が
形成される。
【0006】このように、シリサイド層120〜123
が形成されることによって、各高濃度拡散層116,1
17,118やゲート配線119の各抵抗値は、およそ
数Ω/□まで低抵抗化される。
が形成されることによって、各高濃度拡散層116,1
17,118やゲート配線119の各抵抗値は、およそ
数Ω/□まで低抵抗化される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記拡散層抵抗の形成
方法では、高濃度拡散層からなる拡散層抵抗が数十Ω/
□またはそれ以上の抵抗値を必要とする場合に、長い拡
散層を形成しなければならない。そのため、拡散層の形
成面積が増大するので、素子の高集積化が困難になる。
特に、拡散層抵抗と容量とを用いて遅延回路を構成する
場合、または保護回路を構成する場合には、高抵抗な拡
散層抵抗が必要になるので、上記課題は深刻になる。
方法では、高濃度拡散層からなる拡散層抵抗が数十Ω/
□またはそれ以上の抵抗値を必要とする場合に、長い拡
散層を形成しなければならない。そのため、拡散層の形
成面積が増大するので、素子の高集積化が困難になる。
特に、拡散層抵抗と容量とを用いて遅延回路を構成する
場合、または保護回路を構成する場合には、高抵抗な拡
散層抵抗が必要になるので、上記課題は深刻になる。
【0008】本発明は、拡散層抵抗を形成する際にシリ
サイドプロセスを行ってもプロセス負荷が少なく、小面
積で高抵抗なものが得られる拡散層抵抗の形成方法を提
供することを目的とする。
サイドプロセスを行ってもプロセス負荷が少なく、小面
積で高抵抗なものが得られる拡散層抵抗の形成方法を提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされた拡散層抵抗の形成方法である。
成するためになされた拡散層抵抗の形成方法である。
【0010】本発明の拡散層抵抗の形成方法は、第1工
程で、第1,第2導電型MOSトランジスタの各ゲート
電極をゲート絶縁膜を介して形成するとともにLDD拡
散層になる低濃度拡散層と拡散層抵抗の低濃度拡散層と
を形成する。次いで各ゲート電極の側壁にサイドウォー
ルを形成する。その後第2工程で、半導体基板上にマス
ク形成膜を成膜する。さらに第1導電型MOSトランジ
スタの形成予定領域と拡散層抵抗の形成予定領域とを覆
う第1ドーピング用マスクを形成する。続いて不純物ド
ーピングによって第2導電型MOSトランジスタのソー
ス・ドレイン領域になる高濃度拡散層を形成する。そし
て第1ドーピング用マスクをエッチングマスクとして用
いたエッチングによって第2導電型MOSトランジスタ
の形成予定領域上のマスク形成膜を除去する。その後第
1ドーピング用マスクを除去する。そして拡散層抵抗の
形成予定領域の一部分と第2導電型MOSトランジスタ
の形成予定領域とを覆う第2ドーピング用マスクを形成
する。その後第3工程で、不純物ドーピングによって第
2ドーピング用マスクに覆われている部分を除く拡散層
抵抗の形成予定領域に高濃度拡散層を形成する。それと
ともに第1導電型MOSトランジスタの形成予定領域に
ソース・ドレイン領域になる高濃度拡散層を形成する。
そして第4工程で、第2ドーピング用マスクをエッチン
グマスクとして用いたエッチングによってマスク形成膜
でシリサイド化用マスクを形成する。その後シリサイド
化用マスクを用いて選択的に各高濃度拡散層の上層と各
ゲート電極の上層とにシリサイド層を形成する。
程で、第1,第2導電型MOSトランジスタの各ゲート
電極をゲート絶縁膜を介して形成するとともにLDD拡
散層になる低濃度拡散層と拡散層抵抗の低濃度拡散層と
を形成する。次いで各ゲート電極の側壁にサイドウォー
ルを形成する。その後第2工程で、半導体基板上にマス
ク形成膜を成膜する。さらに第1導電型MOSトランジ
スタの形成予定領域と拡散層抵抗の形成予定領域とを覆
う第1ドーピング用マスクを形成する。続いて不純物ド
ーピングによって第2導電型MOSトランジスタのソー
ス・ドレイン領域になる高濃度拡散層を形成する。そし
て第1ドーピング用マスクをエッチングマスクとして用
いたエッチングによって第2導電型MOSトランジスタ
の形成予定領域上のマスク形成膜を除去する。その後第
1ドーピング用マスクを除去する。そして拡散層抵抗の
形成予定領域の一部分と第2導電型MOSトランジスタ
の形成予定領域とを覆う第2ドーピング用マスクを形成
する。その後第3工程で、不純物ドーピングによって第
2ドーピング用マスクに覆われている部分を除く拡散層
抵抗の形成予定領域に高濃度拡散層を形成する。それと
ともに第1導電型MOSトランジスタの形成予定領域に
ソース・ドレイン領域になる高濃度拡散層を形成する。
そして第4工程で、第2ドーピング用マスクをエッチン
グマスクとして用いたエッチングによってマスク形成膜
でシリサイド化用マスクを形成する。その後シリサイド
化用マスクを用いて選択的に各高濃度拡散層の上層と各
ゲート電極の上層とにシリサイド層を形成する。
【0011】本発明の拡散層抵抗の形成方法は、第1工
程で、半導体基板に形成される拡散層抵抗の形成予定領
域と基板取り出し拡散層の形成予定領域とに低濃度拡散
層を形成する。続いて第2工程で、上記説明したと同様
にして、マスク形成膜の成膜とドーピング用マスクの形
成を行う。次いで第3工程で、不純物ドーピングによっ
てドーピング用マスクに覆われている部分を除く拡散層
抵抗の形成予定領域と基板取り出し拡散層の形成予定領
域とに高濃度拡散層を形成する。その後第4工程で、上
記説明したと同様にしてシリサイド化を行う。
程で、半導体基板に形成される拡散層抵抗の形成予定領
域と基板取り出し拡散層の形成予定領域とに低濃度拡散
層を形成する。続いて第2工程で、上記説明したと同様
にして、マスク形成膜の成膜とドーピング用マスクの形
成を行う。次いで第3工程で、不純物ドーピングによっ
てドーピング用マスクに覆われている部分を除く拡散層
抵抗の形成予定領域と基板取り出し拡散層の形成予定領
域とに高濃度拡散層を形成する。その後第4工程で、上
記説明したと同様にしてシリサイド化を行う。
【0012】
【作用】上記本発明の各拡散層抵抗の形成方法では、拡
散層抵抗の形成予定領域の一部分を覆うドーピング用マ
スクを形成したことから、拡散層抵抗の形成予定領域に
は高濃度拡散層が部分的にしか形成されない。したがっ
て、拡散層抵抗は低濃度拡散層と高濃度拡散層とで形成
されることになるため、拡散層抵抗の抵抗値は従来のも
のに比較して高いものになる。また、高濃度拡散層を形
成するためのドーピング用マスクをエッチングマスクに
してシリサイド化用マスクを形成することから、マスク
工程を増やすことなくシリサイド化用マスクが形成され
る。さらに、シリサイド化を行う際に、上記のようにし
て形成したシリサイド化用マスクを用いることから、こ
のシリサイド化用マスクに覆われている低濃度拡散層の
上層にはシリサイド層が形成されない。そして、選択的
に高濃度拡散層上がシリサイド化される。したがって、
この拡散層抵抗では高濃度拡散層上のみにシリサイド層
が形成される。この結果、拡散層抵抗の全面にシリサイ
ド層が形成されないので、拡散層抵抗はシリサイド層に
よって低抵抗化されない。
散層抵抗の形成予定領域の一部分を覆うドーピング用マ
スクを形成したことから、拡散層抵抗の形成予定領域に
は高濃度拡散層が部分的にしか形成されない。したがっ
て、拡散層抵抗は低濃度拡散層と高濃度拡散層とで形成
されることになるため、拡散層抵抗の抵抗値は従来のも
のに比較して高いものになる。また、高濃度拡散層を形
成するためのドーピング用マスクをエッチングマスクに
してシリサイド化用マスクを形成することから、マスク
工程を増やすことなくシリサイド化用マスクが形成され
る。さらに、シリサイド化を行う際に、上記のようにし
て形成したシリサイド化用マスクを用いることから、こ
のシリサイド化用マスクに覆われている低濃度拡散層の
上層にはシリサイド層が形成されない。そして、選択的
に高濃度拡散層上がシリサイド化される。したがって、
この拡散層抵抗では高濃度拡散層上のみにシリサイド層
が形成される。この結果、拡散層抵抗の全面にシリサイ
ド層が形成されないので、拡散層抵抗はシリサイド層に
よって低抵抗化されない。
【0013】また請求項1記載の拡散層抵抗の形成方法
では、上記した本発明の拡散層抵抗の形成方法の作用と
ともに、第2ドーピング用マスクが拡散層抵抗の形成予
定領域の一部分とともに第1導電型MOSトランジスタ
の形成予定領域の高濃度拡散層を形成するためのマスク
になる。しかも第2ドーピング用マスクをエッチングマ
スクにしてシリサイド化用マスクを形成することから、
リソグラフィー工程を増やすことなくシリサイド化用マ
スクが形成される。
では、上記した本発明の拡散層抵抗の形成方法の作用と
ともに、第2ドーピング用マスクが拡散層抵抗の形成予
定領域の一部分とともに第1導電型MOSトランジスタ
の形成予定領域の高濃度拡散層を形成するためのマスク
になる。しかも第2ドーピング用マスクをエッチングマ
スクにしてシリサイド化用マスクを形成することから、
リソグラフィー工程を増やすことなくシリサイド化用マ
スクが形成される。
【0014】また請求項2記載の拡散層抵抗の形成方法
では、上記した本発明の拡散層抵抗の形成方法の作用と
ともに、ドーピング用マスクが拡散層抵抗の形成予定領
域の一部分とともに基板取り出し拡散層に高濃度拡散層
を形成するためのマスクになる。しかもドーピング用マ
スクをエッチングマスクにしてシリサイド化用マスクを
形成することから、リソグラフィー工程を増やすことな
くシリサイド化用マスクが形成される。
では、上記した本発明の拡散層抵抗の形成方法の作用と
ともに、ドーピング用マスクが拡散層抵抗の形成予定領
域の一部分とともに基板取り出し拡散層に高濃度拡散層
を形成するためのマスクになる。しかもドーピング用マ
スクをエッチングマスクにしてシリサイド化用マスクを
形成することから、リソグラフィー工程を増やすことな
くシリサイド化用マスクが形成される。
【0015】
【実施例】本発明の拡散層抵抗の形成方法に係る要部
を、図1の拡散層抵抗の形成工程図によって説明する。
を、図1の拡散層抵抗の形成工程図によって説明する。
【0016】まず図1の(1)に示すように、例えばL
OCOS酸化法によって、半導体基板11の上層に拡散
層抵抗の形成予定領域12を分離する素子分離領域13
を形成する。上記半導体基板11には例えばシリコン基
板を用い、上記素子分離領域13は膜厚が例えばおよそ
400nmの酸化シリコン膜で形成される。
OCOS酸化法によって、半導体基板11の上層に拡散
層抵抗の形成予定領域12を分離する素子分離領域13
を形成する。上記半導体基板11には例えばシリコン基
板を用い、上記素子分離領域13は膜厚が例えばおよそ
400nmの酸化シリコン膜で形成される。
【0017】その後第1工程を行う。この工程では、例
えばイオン注入法によって、半導体基板11における拡
散層抵抗の形成予定領域12に低濃度拡散層14を形成
する。上記イオン注入条件としては、例えば、不純物に
リンイオン(P+ )を用い、打ち込みエネルギーを30
keV、ドーズ量を30T(tera)個/cm2 に設定す
る。
えばイオン注入法によって、半導体基板11における拡
散層抵抗の形成予定領域12に低濃度拡散層14を形成
する。上記イオン注入条件としては、例えば、不純物に
リンイオン(P+ )を用い、打ち込みエネルギーを30
keV、ドーズ量を30T(tera)個/cm2 に設定す
る。
【0018】次いで図1の(2)に示す第2工程を行
う。この工程では、例えばCVD法によって、上記半導
体基板11の表面に酸化シリコンからなるマスク形成膜
15を例えば20nmの厚さに成膜する。その後、塗布
技術によって半導体基板11上にレジスト膜(図示省
略)を成膜する。そしてリソグラフィー技術によって、
上記拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分を覆うドー
ピング用マスク16を上記レジスト膜で形成する。
う。この工程では、例えばCVD法によって、上記半導
体基板11の表面に酸化シリコンからなるマスク形成膜
15を例えば20nmの厚さに成膜する。その後、塗布
技術によって半導体基板11上にレジスト膜(図示省
略)を成膜する。そしてリソグラフィー技術によって、
上記拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分を覆うドー
ピング用マスク16を上記レジスト膜で形成する。
【0019】続いて第3工程を行う。この工程では、不
純物ドーピングを、例えばイオン注入法によって行う。
このイオン注入条件としては、例えば、不純物にヒ素イ
オン(As+ )を用い、打ち込みエネルギーを50ke
V、ドーズ量を3P(peta)個/cm2 に設定する。そ
して上記マスク形成膜15を通してドーピング用マスク
16に覆われている部分を除く拡散層抵抗の形成予定領
域12の半導体基板11に不純物を打ち込んで高濃度拡
散層17を形成する。
純物ドーピングを、例えばイオン注入法によって行う。
このイオン注入条件としては、例えば、不純物にヒ素イ
オン(As+ )を用い、打ち込みエネルギーを50ke
V、ドーズ量を3P(peta)個/cm2 に設定する。そ
して上記マスク形成膜15を通してドーピング用マスク
16に覆われている部分を除く拡散層抵抗の形成予定領
域12の半導体基板11に不純物を打ち込んで高濃度拡
散層17を形成する。
【0020】次いで図1の(3)に示す第4工程を行
う。この工程では、上記ドーピング用マスク16をエッ
チングマスクとして用いて上記マスク形成膜15のエッ
チングを行う。そして上記マスク形成膜(15)でシリ
サイド化用マスク18を形成する。その後アッシングま
たはウェット処理によって、ドーピング用マスク16を
除去する。
う。この工程では、上記ドーピング用マスク16をエッ
チングマスクとして用いて上記マスク形成膜15のエッ
チングを行う。そして上記マスク形成膜(15)でシリ
サイド化用マスク18を形成する。その後アッシングま
たはウェット処理によって、ドーピング用マスク16を
除去する。
【0021】続いて図1の(4)に示すように、例えば
スパッタリング、CVD法、蒸着法等の成膜技術によっ
て、上記半導体基板11の上面側に高融点金属層(図示
省略)を形成した後、シリサイド化のための熱処理を行
って、上記高濃度拡散層17の上層にシリサイド層19
を形成する。上記高融点金属は例えばチタン(Ti)で
形成する。また上記シリサイド化は、650℃に30秒
間のアニーリングによって行う。その後未反応な高融点
金属層をエッチングによって除去した後、例えば800
℃で30秒間のアニーリングを行う。そして低濃度拡散
層14と高濃度拡散層17とからなる拡散層抵抗1が活
性化される。その結果、上記低濃度拡散層14は、例え
ば数百Ω/□程度の抵抗になる。
スパッタリング、CVD法、蒸着法等の成膜技術によっ
て、上記半導体基板11の上面側に高融点金属層(図示
省略)を形成した後、シリサイド化のための熱処理を行
って、上記高濃度拡散層17の上層にシリサイド層19
を形成する。上記高融点金属は例えばチタン(Ti)で
形成する。また上記シリサイド化は、650℃に30秒
間のアニーリングによって行う。その後未反応な高融点
金属層をエッチングによって除去した後、例えば800
℃で30秒間のアニーリングを行う。そして低濃度拡散
層14と高濃度拡散層17とからなる拡散層抵抗1が活
性化される。その結果、上記低濃度拡散層14は、例え
ば数百Ω/□程度の抵抗になる。
【0022】上記拡散層抵抗の形成方法では、拡散層抵
抗の形成予定領域12の一部分を覆うドーピング用マス
ク16を形成したことから、拡散層抵抗の形成予定領域
12には高濃度拡散層17が部分的にしか形成されな
い。このため、拡散層抵抗1は低濃度拡散層14と高濃
度拡散層17とで構成されるので、拡散層抵抗1の抵抗
値は従来のものに比較して高いものとなる。
抗の形成予定領域12の一部分を覆うドーピング用マス
ク16を形成したことから、拡散層抵抗の形成予定領域
12には高濃度拡散層17が部分的にしか形成されな
い。このため、拡散層抵抗1は低濃度拡散層14と高濃
度拡散層17とで構成されるので、拡散層抵抗1の抵抗
値は従来のものに比較して高いものとなる。
【0023】また、高濃度拡散層17を形成するための
ドーピング用マスク16をエッチングマスクにしてシリ
サイド化用マスク18を形成することから、マスク工程
を増やすことなくシリサイド化用マスク18が形成され
る。
ドーピング用マスク16をエッチングマスクにしてシリ
サイド化用マスク18を形成することから、マスク工程
を増やすことなくシリサイド化用マスク18が形成され
る。
【0024】さらに、シリサイド化を行う際に、上記の
ようにして形成したシリサイド化用マスク18を用いる
ことから、このシリサイド化用マスク18に覆われてい
る低濃度拡散層14の上層にはシリサイド層が形成され
ない。そして、選択的に高濃度拡散層17上がシリサイ
ド化される。したがって、拡散層抵抗1では高濃度拡散
層17上のみにシリサイド層19が形成される。この結
果、拡散層抵抗1の全面にシリサイド層が形成されない
ので、拡散層抵抗1はシリサイド層19によって低抵抗
化されない。
ようにして形成したシリサイド化用マスク18を用いる
ことから、このシリサイド化用マスク18に覆われてい
る低濃度拡散層14の上層にはシリサイド層が形成され
ない。そして、選択的に高濃度拡散層17上がシリサイ
ド化される。したがって、拡散層抵抗1では高濃度拡散
層17上のみにシリサイド層19が形成される。この結
果、拡散層抵抗1の全面にシリサイド層が形成されない
ので、拡散層抵抗1はシリサイド層19によって低抵抗
化されない。
【0025】次に、本発明の拡散層抵抗の形成方法に係
る第1実施例を、図2,図3の形成工程図(その1),
(その2)によって説明する。第1実施例は、上記図1
によって説明した拡散層抵抗の形成方法をCMOSトラ
ンジスタプロセスに適用した一例である。図では、上記
図1で説明した構成部品と同様の構成部品には同一符号
を付す。
る第1実施例を、図2,図3の形成工程図(その1),
(その2)によって説明する。第1実施例は、上記図1
によって説明した拡散層抵抗の形成方法をCMOSトラ
ンジスタプロセスに適用した一例である。図では、上記
図1で説明した構成部品と同様の構成部品には同一符号
を付す。
【0026】まず図2の(1)に示すように、例えばL
OCOS酸化法によって、半導体基板11の上層に、拡
散層抵抗の形成予定領域12およびCMOSトランジス
タの第1導電型MOSトランジスタの形成予定領域(以
下第1領域と略記する)31と第2導電型MOSトラン
ジスタの形成予定領域(以下第2領域と略記する)51
とを分離する素子分離領域13を形成する。上記半導体
基板11には例えばシリコン基板を用い、上記素子分離
領域13は膜厚が例えばおよそ400nmの酸化シリコ
ン膜で形成される。次いで第1,第2領域31,51お
よび拡散層抵抗の形成予定領域上のLOCOS酸化で用
いた、例えば酸化膜(図示省略)および窒化膜(図示省
略)等の膜を、エッチングによって除去する。
OCOS酸化法によって、半導体基板11の上層に、拡
散層抵抗の形成予定領域12およびCMOSトランジス
タの第1導電型MOSトランジスタの形成予定領域(以
下第1領域と略記する)31と第2導電型MOSトラン
ジスタの形成予定領域(以下第2領域と略記する)51
とを分離する素子分離領域13を形成する。上記半導体
基板11には例えばシリコン基板を用い、上記素子分離
領域13は膜厚が例えばおよそ400nmの酸化シリコ
ン膜で形成される。次いで第1,第2領域31,51お
よび拡散層抵抗の形成予定領域上のLOCOS酸化で用
いた、例えば酸化膜(図示省略)および窒化膜(図示省
略)等の膜を、エッチングによって除去する。
【0027】その後熱酸化法によって、第1,第2領域
31,51の半導体基板11の表層にゲート絶縁膜3
2,52を形成する。このゲート絶縁膜32,52は例
えば16nm程度の膜厚を有する酸化シリコン膜からな
る。さらに上記熱酸化では、拡散層抵抗の形成予定領域
12の半導体基板11の表層にも酸化膜21が形成され
る。続いて一般に適用されているゲート電極の形成方法
によって、上記第1,第2領域31,51に多結晶シリ
コンからなる第1ゲート電極33,第2ゲート電極53
を形成する。その後、900℃で乾燥酸素(O2 )雰囲
気で酸化を行う。このとき形成される酸化膜の図示は省
略した。
31,51の半導体基板11の表層にゲート絶縁膜3
2,52を形成する。このゲート絶縁膜32,52は例
えば16nm程度の膜厚を有する酸化シリコン膜からな
る。さらに上記熱酸化では、拡散層抵抗の形成予定領域
12の半導体基板11の表層にも酸化膜21が形成され
る。続いて一般に適用されているゲート電極の形成方法
によって、上記第1,第2領域31,51に多結晶シリ
コンからなる第1ゲート電極33,第2ゲート電極53
を形成する。その後、900℃で乾燥酸素(O2 )雰囲
気で酸化を行う。このとき形成される酸化膜の図示は省
略した。
【0028】次いで図2の(2)に示す第1工程を行
う。この工程では、例えばイオン注入法によって、拡散
層抵抗の形成予定領域12の半導体基板11の上層に低
濃度拡散層14を形成する。同時に上記第1領域31お
よび第2領域51におけるそれぞれの半導体基板11の
上層に低濃度拡散層34,35および低濃度拡散層5
4,55を形成する。上記イオン注入条件としては、例
えば、不純物にリンイオン(P+ )を用い、打ち込みエ
ネルギーを30keV、ドーズ量を30T(tera)個/
cm2 に設定する。上記第1,第2領域31,51に形
成される低濃度拡散層(34,35,54,55)は、
LDD拡散層になる。
う。この工程では、例えばイオン注入法によって、拡散
層抵抗の形成予定領域12の半導体基板11の上層に低
濃度拡散層14を形成する。同時に上記第1領域31お
よび第2領域51におけるそれぞれの半導体基板11の
上層に低濃度拡散層34,35および低濃度拡散層5
4,55を形成する。上記イオン注入条件としては、例
えば、不純物にリンイオン(P+ )を用い、打ち込みエ
ネルギーを30keV、ドーズ量を30T(tera)個/
cm2 に設定する。上記第1,第2領域31,51に形
成される低濃度拡散層(34,35,54,55)は、
LDD拡散層になる。
【0029】その後、成膜した膜をエッチバックしてサ
イドウォールを形成する技術によって、各第1,第2ゲ
ート電極33,53の側壁にサイドウォール36,56
を、例えば窒化シリコン膜(例えば膜厚150nm)で
形成する。
イドウォールを形成する技術によって、各第1,第2ゲ
ート電極33,53の側壁にサイドウォール36,56
を、例えば窒化シリコン膜(例えば膜厚150nm)で
形成する。
【0030】次いで図2の(3)に示す第2工程を行
う。この工程では、例えばCVD法によって、上記半導
体基板11の表面側に酸化シリコンからなるマスク形成
膜15を例えば20nmの膜厚に成膜する。その後、塗
布技術によって半導体基板11上にレジスト膜(図示省
略)を成膜する。そしてリソグラフィー技術によって、
拡散層抵抗の形成予定領域12と第1領域31とを覆う
第1ドーピング用マスク22を上記レジスト膜で形成す
る。続いて、不純物ドーピングとして、例えばイオン注
入法によって、上記第2領域51にソース・ドレイン領
域になる高濃度拡散層57,58を形成する。このイオ
ン注入では、例えば、不純物にホウ素イオン(B+ )ま
たは二フッ化ホウ素イオン(BF2 + )を用いる。
う。この工程では、例えばCVD法によって、上記半導
体基板11の表面側に酸化シリコンからなるマスク形成
膜15を例えば20nmの膜厚に成膜する。その後、塗
布技術によって半導体基板11上にレジスト膜(図示省
略)を成膜する。そしてリソグラフィー技術によって、
拡散層抵抗の形成予定領域12と第1領域31とを覆う
第1ドーピング用マスク22を上記レジスト膜で形成す
る。続いて、不純物ドーピングとして、例えばイオン注
入法によって、上記第2領域51にソース・ドレイン領
域になる高濃度拡散層57,58を形成する。このイオ
ン注入では、例えば、不純物にホウ素イオン(B+ )ま
たは二フッ化ホウ素イオン(BF2 + )を用いる。
【0031】その後、上記第1ドーピング用マスク22
をエッチングマスクとして用いたエッチングによって上
記第2領域51上の上記マスク形成膜15を除去する。
さらにアッシングまたはウェット処理によって、上記第
1ドーピング用マスク22を除去する。
をエッチングマスクとして用いたエッチングによって上
記第2領域51上の上記マスク形成膜15を除去する。
さらにアッシングまたはウェット処理によって、上記第
1ドーピング用マスク22を除去する。
【0032】さらに図3の(4)に示すように、塗布技
術によって半導体基板11上にレジスト膜(図示省略)
を成膜する。そしてリソグラフィー技術によって、上記
拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分と第2領域51
とを覆う第2ドーピング用マスク23を形成する。
術によって半導体基板11上にレジスト膜(図示省略)
を成膜する。そしてリソグラフィー技術によって、上記
拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分と第2領域51
とを覆う第2ドーピング用マスク23を形成する。
【0033】続いて第3工程を行う。この工程では、不
純物ドーピングとして、例えばイオン注入法によって、
上記マスク形成膜15を通して配線基板11に不純物を
打ち込む。そして第2ドーピング用マスク23に覆われ
ている部分を除く上記拡散層抵抗の形成予定領域12に
高濃度拡散層17を形成するとともに、第1領域31に
おける第1ゲート電極33の両側の半導体基板11に高
濃度拡散層(ソース・ドレイン領域)37,38を形成
する。このイオン注入条件としては、例えば、不純物に
ヒ素イオン(As+ )を用い、打ち込みエネルギーを5
0keV、ドーズ量を3P(peta)個/cm2 に設定す
る。
純物ドーピングとして、例えばイオン注入法によって、
上記マスク形成膜15を通して配線基板11に不純物を
打ち込む。そして第2ドーピング用マスク23に覆われ
ている部分を除く上記拡散層抵抗の形成予定領域12に
高濃度拡散層17を形成するとともに、第1領域31に
おける第1ゲート電極33の両側の半導体基板11に高
濃度拡散層(ソース・ドレイン領域)37,38を形成
する。このイオン注入条件としては、例えば、不純物に
ヒ素イオン(As+ )を用い、打ち込みエネルギーを5
0keV、ドーズ量を3P(peta)個/cm2 に設定す
る。
【0034】次いで図3の(5)に示す第4工程を行
う。この工程では、上記第2ドーピング用マスク23を
エッチングマスクとして用いて上記マスク形成膜15の
エッチングを行う。そして2点鎖線で示す部分のマスク
形成膜15を除去する。そして残した上記マスク形成膜
(15)がシリサイド化用マスク18になる。
う。この工程では、上記第2ドーピング用マスク23を
エッチングマスクとして用いて上記マスク形成膜15の
エッチングを行う。そして2点鎖線で示す部分のマスク
形成膜15を除去する。そして残した上記マスク形成膜
(15)がシリサイド化用マスク18になる。
【0035】その後アッシングまたはウェット処理によ
って、第2ドーピング用マスク23を除去する。次いで
例えば900℃の窒素(N2 )雰囲気で20分間のアニ
ーリングを行うことで、各ソース・ドレイン領域の低濃
度拡散層34,35,54,55および高濃度拡散層3
7,38,57,58の活性化を行う。
って、第2ドーピング用マスク23を除去する。次いで
例えば900℃の窒素(N2 )雰囲気で20分間のアニ
ーリングを行うことで、各ソース・ドレイン領域の低濃
度拡散層34,35,54,55および高濃度拡散層3
7,38,57,58の活性化を行う。
【0036】続いて図3の(6)に示すように、例えば
スパッタリング、CVD法、蒸着法等の成膜技術によっ
て、上記半導体基板11の上面側に高融点金属層(図示
省略)を形成した後、シリサイド化のための熱処理を行
って、上記高濃度拡散層17の上層にシリサイド層19
を形成する。それとともに、第1,第2ゲート電極3
3,53の各上層および各ソース・ドレイン領域の高濃
度拡散層37,38,57,58の上層にもシリサイド
層39,59および40,41,60,61を形成す
る。上記高融点金属層は、スパッタリングで形成される
例えばチタン(Ti)膜からなる。また上記シリサイド
化は、650℃に30秒間のアニーリングによって行
う。その後未反応な高融点金属層をエッチングによって
除去した後、例えば800℃で30秒間のアニーリング
を行う。そして各シリサイド層19,39〜41,59
〜61が活性化される。
スパッタリング、CVD法、蒸着法等の成膜技術によっ
て、上記半導体基板11の上面側に高融点金属層(図示
省略)を形成した後、シリサイド化のための熱処理を行
って、上記高濃度拡散層17の上層にシリサイド層19
を形成する。それとともに、第1,第2ゲート電極3
3,53の各上層および各ソース・ドレイン領域の高濃
度拡散層37,38,57,58の上層にもシリサイド
層39,59および40,41,60,61を形成す
る。上記高融点金属層は、スパッタリングで形成される
例えばチタン(Ti)膜からなる。また上記シリサイド
化は、650℃に30秒間のアニーリングによって行
う。その後未反応な高融点金属層をエッチングによって
除去した後、例えば800℃で30秒間のアニーリング
を行う。そして各シリサイド層19,39〜41,59
〜61が活性化される。
【0037】以上のプロセスによれば、上記低濃度拡散
層14上にはシリサイド層が形成されないので、例えば
数百Ω/□程度の抵抗領域が確保される。したがって、
高濃度拡散層17と低濃度拡散層14とで構成される拡
散層抵抗1は、従来のものよりも高抵抗になる。また第
1領域31にはサリサイド構造の第1導電型MOSトラ
ンジスタ2が形成され、第2領域51にはサリサイド構
造の第2導電型MOSトランジスタ3が形成される。こ
のため、ソース・ドレイン領域やゲート配線は数Ω/□
程度の抵抗値になる。
層14上にはシリサイド層が形成されないので、例えば
数百Ω/□程度の抵抗領域が確保される。したがって、
高濃度拡散層17と低濃度拡散層14とで構成される拡
散層抵抗1は、従来のものよりも高抵抗になる。また第
1領域31にはサリサイド構造の第1導電型MOSトラ
ンジスタ2が形成され、第2領域51にはサリサイド構
造の第2導電型MOSトランジスタ3が形成される。こ
のため、ソース・ドレイン領域やゲート配線は数Ω/□
程度の抵抗値になる。
【0038】上記第1実施例の拡散層抵抗の形成方法で
は、図1によって説明した拡散層抵抗の形成方法と同様
の作用がある。それとともに、第2ドーピング用マスク
23が拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分とともに
第1導電型MOSトランジスタ2のソース・ドレイン領
域37,38に高濃度拡散層を形成するためのマスクに
なる。しかも第2ドーピング用マスク23をエッチング
マスクにしてシリサイド化用マスク18を形成すること
から、リソグラフィー工程を増やすことなくシリサイド
化用マスク18が形成される。
は、図1によって説明した拡散層抵抗の形成方法と同様
の作用がある。それとともに、第2ドーピング用マスク
23が拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分とともに
第1導電型MOSトランジスタ2のソース・ドレイン領
域37,38に高濃度拡散層を形成するためのマスクに
なる。しかも第2ドーピング用マスク23をエッチング
マスクにしてシリサイド化用マスク18を形成すること
から、リソグラフィー工程を増やすことなくシリサイド
化用マスク18が形成される。
【0039】次に、本発明の拡散層抵抗の形成方法に係
る第2実施例を、図4の形成工程図によって説明する。
第2実施例は、上記図1によって説明した拡散層抵抗の
形成 方法を基板取り出し拡散層の形成方法に適用した一
例である。図では、上記図1で説明した構成部品と同様
の構成部品には同一符号を付す。
る第2実施例を、図4の形成工程図によって説明する。
第2実施例は、上記図1によって説明した拡散層抵抗の
形成 方法を基板取り出し拡散層の形成方法に適用した一
例である。図では、上記図1で説明した構成部品と同様
の構成部品には同一符号を付す。
【0040】まず図4の(1)に示すように、例えばL
OCOS酸化法によって、半導体基板11の上層に、拡
散層抵抗の形成予定領域12および基板取り出し拡散層
の形成予定領域(以下取り出し領域と略記する)71と
を分離する素子分離領域13を形成する。上記半導体基
板11には例えばシリコン基板を用い、上記素子分離領
域13は膜厚が例えばおよそ400nmの酸化シリコン
膜で形成される。次いで拡散層抵抗の形成予定領域12
上および取り出し領域71上のLOCOS酸化で用い
た、例えば酸化膜(図示省略)および窒化膜(図示省
略)等の膜を、エッチングによって除去する。
OCOS酸化法によって、半導体基板11の上層に、拡
散層抵抗の形成予定領域12および基板取り出し拡散層
の形成予定領域(以下取り出し領域と略記する)71と
を分離する素子分離領域13を形成する。上記半導体基
板11には例えばシリコン基板を用い、上記素子分離領
域13は膜厚が例えばおよそ400nmの酸化シリコン
膜で形成される。次いで拡散層抵抗の形成予定領域12
上および取り出し領域71上のLOCOS酸化で用い
た、例えば酸化膜(図示省略)および窒化膜(図示省
略)等の膜を、エッチングによって除去する。
【0041】次いで第1工程を行う。この工程では、例
えばイオン注入法によって、拡散層抵抗の形成予定領域
12および上記取り出し領域71におけるそれぞれの半
導体基板11の上層に、低濃度拡散層14および低濃度
拡散層72を形成する。上記イオン注入条件としては、
例えば、不純物にリンイオン(P+ )を用い、打ち込み
エネルギーを30keV、ドーズ量を30T(tera)個
/cm2 に設定する。
えばイオン注入法によって、拡散層抵抗の形成予定領域
12および上記取り出し領域71におけるそれぞれの半
導体基板11の上層に、低濃度拡散層14および低濃度
拡散層72を形成する。上記イオン注入条件としては、
例えば、不純物にリンイオン(P+ )を用い、打ち込み
エネルギーを30keV、ドーズ量を30T(tera)個
/cm2 に設定する。
【0042】続いて図4の(2)に示す第2工程を行
う。この工程では、例えばCVD法によって、上記半導
体基板11の表面に酸化シリコンからなるマスク形成膜
15を例えば20nmの厚さに成膜する。その後、塗布
技術によって半導体基板11上にレジスト膜(図示省
略)を成膜する。そしてリソグラフィー技術によって、
上記拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分を覆うドー
ピング用マスク16を上記レジスト膜で形成する。
う。この工程では、例えばCVD法によって、上記半導
体基板11の表面に酸化シリコンからなるマスク形成膜
15を例えば20nmの厚さに成膜する。その後、塗布
技術によって半導体基板11上にレジスト膜(図示省
略)を成膜する。そしてリソグラフィー技術によって、
上記拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分を覆うドー
ピング用マスク16を上記レジスト膜で形成する。
【0043】続いて第3工程を行う。この工程では、不
純物ドーピングとして例えばイオン注入法によって、上
記ドーピング用マスク16に覆われている部分を除く拡
散層抵抗の形成予定領域12の半導体基板11に上記マ
スク形成膜15を通して不純物を打ち込み、高濃度拡散
層17を形成する。同時に、取り出し領域71の半導体
基板11にも上記マスク形成膜15を通して不純物を打
ち込み、高濃度拡散層73を形成する。このイオン注入
条件としては、例えば、不純物にヒ素イオン(As+ )
を用い、打ち込みエネルギーを50keV、ドーズ量を
3P(peta)個/cm2 に設定する。
純物ドーピングとして例えばイオン注入法によって、上
記ドーピング用マスク16に覆われている部分を除く拡
散層抵抗の形成予定領域12の半導体基板11に上記マ
スク形成膜15を通して不純物を打ち込み、高濃度拡散
層17を形成する。同時に、取り出し領域71の半導体
基板11にも上記マスク形成膜15を通して不純物を打
ち込み、高濃度拡散層73を形成する。このイオン注入
条件としては、例えば、不純物にヒ素イオン(As+ )
を用い、打ち込みエネルギーを50keV、ドーズ量を
3P(peta)個/cm2 に設定する。
【0044】次いで図4の(3)に示す第4工程を行
う。この工程では、上記ドーピング用マスク16をエッ
チングマスクとして用いて上記マスク形成膜(15)の
エッチングを行う。そして上記マスク形成膜(15)で
シリサイド化用マスク18を形成する。
う。この工程では、上記ドーピング用マスク16をエッ
チングマスクとして用いて上記マスク形成膜(15)の
エッチングを行う。そして上記マスク形成膜(15)で
シリサイド化用マスク18を形成する。
【0045】その後アッシングまたはウェット処理によ
って、ドーピング用マスク16を除去する。
って、ドーピング用マスク16を除去する。
【0046】続いて図4の(4)に示すように、例えば
スパッタリング、CVD法、蒸着法等の成膜技術によっ
て、上記半導体基板11の上面側に高融点金属層(図示
省略)を形成した後、シリサイド化のための熱処理を行
って、上記高濃度拡散層17,73の上層にシリサイド
層19,74を形成する。上記高融点金属は例えばチタ
ン(Ti)で形成する。また上記シリサイド化は、65
0℃に30秒間のアニーリングによって行う。その後未
反応な高融点金属層をエッチングによって除去した後、
例えば800℃で30秒間のアニーリングを行う。そし
て低濃度拡散層14と高濃度拡散層17とからなる拡散
層抵抗1が活性化される。その結果、上記拡散層抵抗1
は、低濃度拡散層14の抵抗値が例えば数百Ω/□程度
になるので、高抵抗になる。また取り出し領域71には
高濃度拡散層73からなる基板取り出し拡散層4が形成
される。
スパッタリング、CVD法、蒸着法等の成膜技術によっ
て、上記半導体基板11の上面側に高融点金属層(図示
省略)を形成した後、シリサイド化のための熱処理を行
って、上記高濃度拡散層17,73の上層にシリサイド
層19,74を形成する。上記高融点金属は例えばチタ
ン(Ti)で形成する。また上記シリサイド化は、65
0℃に30秒間のアニーリングによって行う。その後未
反応な高融点金属層をエッチングによって除去した後、
例えば800℃で30秒間のアニーリングを行う。そし
て低濃度拡散層14と高濃度拡散層17とからなる拡散
層抵抗1が活性化される。その結果、上記拡散層抵抗1
は、低濃度拡散層14の抵抗値が例えば数百Ω/□程度
になるので、高抵抗になる。また取り出し領域71には
高濃度拡散層73からなる基板取り出し拡散層4が形成
される。
【0047】上記第2実施例の拡散層抵抗の形成方法で
は、上記図1によって説明した拡散層抵抗の形成方法の
作用と同様の作用があり、それとともに、ドーピング用
マスク16が拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分と
ともに取り出し領域71に高濃度拡散層73を形成する
ためのマスクになる。しかもドーピング用マスク16を
エッチングマスクにしてシリサイド化用マスク18を形
成することから、リソグラフィー工程を増やすことなく
シリサイド化用マスク18が形成される。
は、上記図1によって説明した拡散層抵抗の形成方法の
作用と同様の作用があり、それとともに、ドーピング用
マスク16が拡散層抵抗の形成予定領域12の一部分と
ともに取り出し領域71に高濃度拡散層73を形成する
ためのマスクになる。しかもドーピング用マスク16を
エッチングマスクにしてシリサイド化用マスク18を形
成することから、リソグラフィー工程を増やすことなく
シリサイド化用マスク18が形成される。
【0048】
【発明の効果】以上、説明したように本発明の各拡散層
抵抗の形成方法によれば、拡散層抵抗の形成予定領域の
一部分を覆うドーピング用マスクを形成したので、その
形成予定領域には高濃度拡散層が部分的にしか形成され
ない。このため、従来の抵抗と比較して同一専有面積で
拡散層抵抗を高抵抗化することが可能になる。また、ド
ーピング用マスクをエッチングマスクにしてシリサイド
化用マスクを形成するため、マスク工程を増やすことな
くシリサイド化用マスクを形成することができる。この
ため、プロセス負荷が小さい。さらに、シリサイド化用
マスクに覆われている低濃度拡散層の上層にはシリサイ
ド層が形成されないので、拡散層抵抗はシリサイド層に
よって低抵抗化されない。このため、拡散層抵抗は高抵
抗値が確保できる。
抵抗の形成方法によれば、拡散層抵抗の形成予定領域の
一部分を覆うドーピング用マスクを形成したので、その
形成予定領域には高濃度拡散層が部分的にしか形成され
ない。このため、従来の抵抗と比較して同一専有面積で
拡散層抵抗を高抵抗化することが可能になる。また、ド
ーピング用マスクをエッチングマスクにしてシリサイド
化用マスクを形成するため、マスク工程を増やすことな
くシリサイド化用マスクを形成することができる。この
ため、プロセス負荷が小さい。さらに、シリサイド化用
マスクに覆われている低濃度拡散層の上層にはシリサイ
ド層が形成されないので、拡散層抵抗はシリサイド層に
よって低抵抗化されない。このため、拡散層抵抗は高抵
抗値が確保できる。
【0049】さらに請求項1の発明によれば、第2ドー
ピング用マスクを拡散層抵抗の高濃度拡散層と第1導電
型MOSトランジスタの高濃度拡散層とを形成するため
のマスクになる。このため、マスクおよびリソグラフィ
ー工程を増やす必要がない。したがって、従来プロセス
とほぼ同等のプロセス負荷しかかからない。
ピング用マスクを拡散層抵抗の高濃度拡散層と第1導電
型MOSトランジスタの高濃度拡散層とを形成するため
のマスクになる。このため、マスクおよびリソグラフィ
ー工程を増やす必要がない。したがって、従来プロセス
とほぼ同等のプロセス負荷しかかからない。
【0050】さらに請求項2の発明によれば、ドーピン
グ用マスクが拡散層抵抗の高濃度拡散層と基板取り出し
拡散層の高濃度拡散層とを形成するためのマスクにな
る。このため、マスクおよびリソグラフィー工程を増や
す必要がない。したがって、従来プロセスとほぼ同等の
プロセス負荷しかかからない。
グ用マスクが拡散層抵抗の高濃度拡散層と基板取り出し
拡散層の高濃度拡散層とを形成するためのマスクにな
る。このため、マスクおよびリソグラフィー工程を増や
す必要がない。したがって、従来プロセスとほぼ同等の
プロセス負荷しかかからない。
【図1】本発明の各拡散層抵抗の形成方法に係わる要部
を示す形成工程図である。
を示す形成工程図である。
【図2】本発明に係わる第1実施例の形成工程図(その
1)である。
1)である。
【図3】本発明に係わる第1実施例の形成工程図(その
2)である。
2)である。
【図4】本発明に係わる第2実施例の形成工程図であ
る。
る。
【図5】従来例の形成工程図である。
1 拡散層抵抗 2 第1導電型
MOSトランジスタ 3 第2導電型MOSトランジスタ 4 基板取り出
し拡散層 11 半導体基板 12 拡散層抵
抗の形成予定領域 14 低濃度拡散層 15 マスク形
成膜 16 ドーピング用マスク 17 高濃度拡
散層 18 シリサイド化用マスク 19 シリサイ
ド層 22 第1ドーピング用マスク 23 第2ドー
ピング用マスク 31 第1領域 32 ゲート絶
縁膜 33 ゲート電極 34,35 低
濃度拡散層 36 サイドウォール 37,38 ソ
ース・ドレイン領域 39〜41 シリサイド層 51 第1領域 52 ゲート絶縁膜 53 ゲート電
極 54,55 低濃度拡散層 56 サイドウ
ォール 57,58 ソース・ドレイン領域 59〜61 シ
リサイド層 71 取り出し領域 72 低濃度拡
散層 73 高濃度拡散層 74 シリサイ
ド層
MOSトランジスタ 3 第2導電型MOSトランジスタ 4 基板取り出
し拡散層 11 半導体基板 12 拡散層抵
抗の形成予定領域 14 低濃度拡散層 15 マスク形
成膜 16 ドーピング用マスク 17 高濃度拡
散層 18 シリサイド化用マスク 19 シリサイ
ド層 22 第1ドーピング用マスク 23 第2ドー
ピング用マスク 31 第1領域 32 ゲート絶
縁膜 33 ゲート電極 34,35 低
濃度拡散層 36 サイドウォール 37,38 ソ
ース・ドレイン領域 39〜41 シリサイド層 51 第1領域 52 ゲート絶縁膜 53 ゲート電
極 54,55 低濃度拡散層 56 サイドウ
ォール 57,58 ソース・ドレイン領域 59〜61 シ
リサイド層 71 取り出し領域 72 低濃度拡
散層 73 高濃度拡散層 74 シリサイ
ド層
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/822 H01L 21/8238 H01L 27/04 H01L 27/092
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体基板に形成されるCMOSトラン
ジスタの第1導電型MOSトランジスタおよび第2導電
型MOSトランジスタの各ゲート電極をゲート絶縁膜を
介して形成するとともに各LDD拡散層になる低濃度拡
散層を形成し、同時に該半導体基板に形成される拡散層
抵抗の形成予定領域に低濃度拡散層を形成し、その後各
ゲート電極の側壁にサイドウォールを形成する第1工程
と、 前記半導体基板上にマスク形成膜を成膜し、次いで第1
導電型MOSトランジスタの形成予定領域と拡散層抵抗
の形成予定領域とを覆う第1ドーピング用マスクを形成
し、続いて不純物ドーピングによって前記第2導電型M
OSトランジスタの形成予定領域にソース・ドレイン領
域になる高濃度拡散層を形成した後、該第1ドーピング
用マスクをエッチングマスクとして用いたエッチングに
よって該第2導電型MOSトランジスタの形成予定領域
上の前記マスク形成膜を除去し、さらに該第1ドーピン
グ用マスクを除去して、その後前記拡散層抵抗の形成予
定領域の一部分と第2導電型MOSトランジスタの形成
予定領域とを覆う第2ドーピング用マスクを形成する第
2工程と、 不純物ドーピングによって前記第2ドーピング用マスク
に覆われている部分を除く前記拡散層抵抗の形成予定領
域に高濃度拡散層を形成するとともに第1導電型MOS
トランジスタの形成予定領域にソース・ドレイン領域に
なる高濃度拡散層を形成する第3工程と、 前記第2ドーピング用マスクをエッチングマスクとして
用いたエッチングによって前記マスク形成膜でシリサイ
ド化用マスクを形成した後、該シリサイド化用マスクを
用いて選択的に前記高濃度拡散層の上層と各ゲート電極
の上層とにシリサイド層を形成する第4工程とからなる
ことを特徴とする拡散層抵抗の形成方法。 - 【請求項2】 半導体基板に形成される拡散層抵抗の形
成予定領域と基板取り出し拡散層の形成予定領域とに低
濃度拡散層を形成する第1工程と、 前記半導体基板の表面にマスク形成膜を成膜した後、さ
らに前記拡散層抵抗の形成予定領域の一部分を覆うドー
ピング用マスクを形成する第2工程と、 不純物ドーピングによって前記ドーピング用マスクに覆
われている部分を除く前記拡散層抵抗の形成予定領域と
前記基板取り出し拡散層の形成予定領域とに高濃度拡散
層を形成する第3工程と、 前記ドーピング用マスクをエッチングマスクとして用い
たエッチングによって前記マスク形成膜でシリサイド化
用マスクを形成した後、該ドーピング用マスクを除去
し、その後選択的に前記高濃度拡散層の上層にシリサイ
ド層を形成する第4工程とからなることを特徴とする拡
散層抵抗の形成方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23481394A JP3297784B2 (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 拡散層抵抗の形成方法 |
KR1019950031294A KR100340974B1 (ko) | 1994-09-29 | 1995-09-22 | 확산층저항의형성방법 |
US08/534,246 US5773339A (en) | 1994-09-29 | 1995-09-26 | Method of making diffused layer resistors for semiconductor devices |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0897370A JPH0897370A (ja) | 1996-04-12 |
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Family
ID=16976797
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
---|---|
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US6027964A (en) * | 1997-08-04 | 2000-02-22 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of making an IGFET with a selectively doped gate in combination with a protected resistor |
DE69832162D1 (de) * | 1998-07-22 | 2005-12-08 | St Microelectronics Srl | Herstellungsverfahren für ein elektronisches Bauelement, das MOS Transistoren mit salizidierten Übergängen und nicht salizidierten Widerständen enthält |
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JP4845299B2 (ja) * | 2001-03-09 | 2011-12-28 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4898024B2 (ja) * | 2001-06-21 | 2012-03-14 | セイコーインスツル株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2005183827A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007273756A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2011091188A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4316319A (en) * | 1977-10-25 | 1982-02-23 | International Business Machines Corporation | Method for making a high sheet resistance structure for high density integrated circuits |
JPS59100520A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-09 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPS60130844A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-07-12 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
US4609568A (en) * | 1984-07-27 | 1986-09-02 | Fairchild Camera & Instrument Corporation | Self-aligned metal silicide process for integrated circuits having self-aligned polycrystalline silicon electrodes |
US5126279A (en) * | 1988-12-19 | 1992-06-30 | Micron Technology, Inc. | Single polysilicon cross-coupled resistor, six-transistor SRAM cell design technique |
US5134088A (en) * | 1990-04-27 | 1992-07-28 | Digital Equipment Corporation | Precision resistor in self-aligned silicided mos process |
JP2705476B2 (ja) * | 1992-08-07 | 1998-01-28 | ヤマハ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US5405806A (en) * | 1994-03-29 | 1995-04-11 | Motorola Inc. | Method for forming a metal silicide interconnect in an integrated circuit |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP23481394A patent/JP3297784B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-09-22 KR KR1019950031294A patent/KR100340974B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-09-26 US US08/534,246 patent/US5773339A/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR100340974B1 (ko) | 2002-11-14 |
US5773339A (en) | 1998-06-30 |
JPH0897370A (ja) | 1996-04-12 |
KR960012472A (ko) | 1996-04-20 |
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