JP3210645B2 - ばねプローブ、ばねプローブ組立体及びそれらの組立方法 - Google Patents

ばねプローブ、ばねプローブ組立体及びそれらの組立方法

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JP3210645B2
JP3210645B2 JP15944299A JP15944299A JP3210645B2 JP 3210645 B2 JP3210645 B2 JP 3210645B2 JP 15944299 A JP15944299 A JP 15944299A JP 15944299 A JP15944299 A JP 15944299A JP 3210645 B2 JP3210645 B2 JP 3210645B2
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ジェイ.ジョンストン チャールズ
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    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
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    • G01R1/06716Elastic
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  • Cable Accessories (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気的接続部を構
成する電気接触プローブに関し、特に、前記プローブに
よって構成される電気的接続部の外側にばねを有するば
ね荷重式の接触プローブに関する。該プローブは、例え
ば診断機器又は試験機器と試験される集積回路のような
電気装置との間に電気的接触を提供する等の用途で電気
的試験に使用される。
【0002】
【従来の技術】一般に従来のばね荷重式接触プローブ
は、可動プランジャー2と、プランジャーの直径の拡大
された部分又は支持部6を受入れるための開口端4を有
するバレル3と、バレル内でプランジャーを付勢するた
めのばね5とを有している(図1(a)、図1
(b))。前記プランジャー支持部6は、バレルの内面
と滑動可能に係合している。前記拡大された支持部は、
バレルの開口端近くのクリンプ7、即ち、バレルの円筒
部の半径方向内方に曲げられている部分によってバレル
内に保持される。
【0003】一般にプランジャーは、所定の距離だけば
ねによって外方へ付勢されている。そしてばねに対向す
る力により、所定の距離だけバレルの内方へ付勢又は押
されることが可能である。バレルに対してプランジャー
が軸方向及び側方に付勢されることにより、プランジャ
ーとバレル間が離れたり(false opens) 、断続的に非接
触になることを防止する。一般にプランジャーは、中実
(solid) であり、試験される電気装置に接触するための
頭部又は先端部9を有している。バレルは又、バレルの
開口端の反対側に先端部を有していても良い。
【0004】バレル、プランジャー及び先端部は、試験
される電気装置と試験機器等との間の電気的接続部を構
成し、導電性の材料で製造されている。一般的にプロー
ブは、試験プレート又はソケットを貫通して形成された
穴に配置される。一般に、例えば集積回路等の試験され
る電気装置の接触側は、試験プレート又は試験ソケット
の一方の側面を通って突出しているプランジャーの先端
部と該電気装置に対するばねの圧力を維持するように圧
接される。試験機器に接続された接触プレートは、試験
プレート又は試験ソケットの他方の側面を通って突出し
ているプランジャーの先端部と接触している。試験信号
は、試験機器から接触プレートへ伝達され、そこから更
に試験プローブ接続部を介して試験される装置へ伝達さ
れる。電気装置の試験後、ばねプローブによる圧力は取
り除かれ、前記装置は各プローブの先端部と接触しなく
なる。従来のシステムでは、前記圧力は電気装置とプロ
ーブを互いに離すことによって取り除かれ、プランジャ
ーは、プランジャーの拡大された直径の支持部がバレル
のクリンプ7に係合するまで、ばね力によりバレルから
離反して外方に変位することが可能になる。
【0005】従来のばねプローブを製作する方法では、
圧縮ばね、バレル及びプランジャーを別々に製造する。
圧縮ばねは、正確なサイズであると共にばね力が調整さ
れたばねを製造するように巻かれ、熱処理される。一般
にプランジャーは、旋盤で加工され、熱処理される。バ
レルも又、熱処理される場合がある。バレルは、旋盤又
は深絞り成形法によって成形可能である。全ての構成要
素は、導電率を高めるためにメッキをかけられても良
い。ばねプローブの構成要素は、手作業又は自動で組立
てられる。
【0006】図1(a)に示した内部ばね配置ばねプロ
ーブを組立てるには、初めに圧縮ばねがバレルの中に配
設され、次いでプランジャー支持部6が、ばねを圧縮す
るようにバレルの中へ挿入され、それからプランジャー
を保持するように、バレルに開口端の近くでクリンプ7
を形成する。図1(b)に示した外部ばね配置ばねプロ
ーブの組立てにおいては、ばねはプランジャーを覆って
配設され、プランジャー先端部9の底面に形成されたフ
ランジ面8に当接する。次いでプランジャー支持部がバ
レルの中へ挿入され、それから支持部を保持するために
バレルにクリンプ7を形成する。ばねはフランジ面8と
バレルの開口端のリム11の間に挟まれる。内部ばね配
置プローブには、バレルの両側の開口端に配置される支
持部をそれぞれが有する2つのプランジャーから成って
いるものもある。2つのプランジャーは、バレル内の各
々のプランジャーの支持部間に配置されたばねによって
付勢されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】理解されるように、プ
ローブの組立には複数の工程がある。プローブが大量に
に製造されることを考慮すると、プローブを製造するた
めに必要な機器や工程を減らすことにより、本質的な節
約が図れる。
【0008】集積回路板を試験することに関して重要な
点は、集積回路板が高周波数で試験されるということで
ある。高周波信号の減衰を防ぐために、試験機器と集積
回路の間でインピーダンスを適合させることが要求され
る。前述したように、プローブは試験ソケットの穴に入
っている。多数のプローブがソケットの比較的小さな領
域で使用されるので、プローブ間の間隔は極めて小さ
く、インピーダンスを適合させることが不可能である。
この様な状況において、高周波信号の減衰を避けるため
には、プローブにより構成される電気的接続部の長さ
は、最小とする必要がある。従来のプローブに関して
は、接続長さ最小の場合にばね長さも最小となり、ばね
ボリュームも最小になる。
【0009】ばねにより作用する力と同様に、ばね動作
寿命は、ばねボリューム、即ち、ばねのワイヤー長さ、
ばねを形成しているワイヤーの直径及びばね自身の直径
に比例する。従って、所定のばね動作寿命と要求される
ばね力を満たすばねボリュームとすることは、高周波信
号の減衰を防ぐためにばね長さを短くしようとすること
と相反することである。例えば、内部ばね配置プローブ
では、ばねの圧縮長さ(本明細書では又、「ソリッド長
さ」とも称する)は、バレル長さから、プランジャーの
拡大された支持部の長さと、クリンプとバレル開口端間
のバレルの長さと、プランジャーの行程を差引いた長さ
で限定される。ばねの直径はバレルの直径により限定さ
れ、バレルの直径は試験ソケットの穴の直径によって限
定されるので、ばね力と同様に、ばね動作寿命を増加さ
せるためにばねボリュームを増加させるための唯一の方
法は、バレルの全長を延長することである。しかし、上
述のようにすると、プローブの電気的接続部が延長され
ることとなり、高周波信号の減衰を招き好ましくない。
【0010】一般に所定の用途には、所定のコンプライ
アンスが要求される。プローブばねのコンプライアンス
は、プローブ内で完全に圧縮された状態から完全に延伸
した状態までのばねの伸張量によって定義される。従っ
て、従来のプローブに関しては、ばねボリュームは要求
されたコンプライアンスによって限定される。従来の内
部又は外部ばねプローブに、より長いばねを組み込むこ
とは、プランジャーの行程を短縮し、ばねが完全に圧縮
された状態から延伸できる長さを短縮することになる。
従って、同一のプローブに関しては、ばねコンプライア
ンスが増加するにつれて、ばねボリュームは減少し、ば
ね動作寿命も短縮される。
【0011】従来のプローブの一つの代替例は、ばねに
より隔てられた2つの接触先端部を有している。各々の
接触先端部はばねの端部へ取付けられている。この種の
プローブは、横方向からの支持部材として、プローブが
挿入される試験プレートの壁又はソケットの穴を利用し
ている。この種のプローブでは、電気的経路は2つの接
触先端部の間を接続するばねのワイヤーを通って螺旋状
に延びることになる。従って、該プローブは電気的接続
部が比較的長くなり、集積回路を試験する際に高周波信
号の減衰を招く可能性がある。
【0012】従って、ばねボリュームを減少すること無
くプローブの電気的接続部長さを短縮することが望まし
い。更に、ばねコンプライアンスを減少又は電気的接続
部長さを増大すること無くばねボリュームを増加させる
ことが望ましい。その上、容易に製造及び組立てが可能
なプローブが望ましい。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、プロー
ブのばね動作寿命とコンプライアンスを犠牲にすること
無く従来のプローブより短い外部ばねプローブが提供さ
れる。更に、本発明によれば、容易に製造及び組立てが
可能なプローブが提供される。本発明の一つの実施形態
では、プローブはそれぞれが先端部とフランジとを有す
る分割された2つの部分から成る。接触要素、好ましく
は半円筒状(semi-cylindrical)の接触要素は、先端部の
反対側の各々のプローブ部分から延設されている。前記
2つの接触要素は互いに接触している。ばねは前記2つ
のフランジ間に挟まれ、前記2つの接触要素を包囲して
いる。各々のフランジは、ばねを支持することが可能
な、プローブの一部分の任意の面であっても良い。他の
実施形態では、第1の接触要素はバレルであり、第2の
接触要素は支持部表面である。前記支持部表面はバレル
の内面に対し滑動可能に係合されている。前述の両方の
実施形態のプローブは、電気装置の試験の際に使用され
る試験ソケット又は試験プレートに形成された穴に配置
される。一般に試験される回路板は、前記ソケット又は
試験プレートの一つの側面と係合するようにされ、前記
板の接触点が前記プローブの先端部に接触するようにな
っている。前記回路板を試験するために使用される試験
機器へ接続されている接触プレートは、前記ソケット又
は試験プレートの他の側面と係合するようにされ、前記
プローブの他の先端部に接触する。
【0014】他の実施形態では、プローブはバレル、プ
ランジャー及びばねを具備している。前記バレルは、前
記プランジャーを受入れるための開口端を有している。
先端部が前記開口端の反対側のバレル上に形成される。
フランジがバレル先端部の近傍でバレルから半径方向外
側に拡がっている。前記プランジャーは、接触先端部
と、前記接触先端部の反対側に延設されるステムとから
成る。円筒状の面又は支持部は、先端部の反対側の前記
ステムの端部に形成されている。前記支持部は前記ステ
ムの直径よりも大きな直径を有している。フランジが
又、前記プランジャーの先端部の近傍で前記プランジャ
ーから半径方向外側へ拡がっている。前記フランジと前
記支持部の間にクリンプ面、即ち、バレル開口端に係合
して内方に曲げる面が設けられている。
【0015】前記プローブを組立てるために、まず、ば
ねが前記バレルを覆って配設され、前記バレルフランジ
上に配置される。あるいは、前記ばねが前記支持部とス
テムを覆って配設され、前記プランジャーフランジ上に
配置される。次いで前記支持部が、前記クリンプ面が前
記バレルの開口端に接触するまでバレルの中へ滑り入れ
られる。前記プランジャーとバレルが、更に移動させら
れる又は互いの方向に圧縮されると、前記クリンプ面が
前記バレルの開口端に力を作用させ、前記開口端を内方
へ曲げ、即ちクリンプし、前記バレルの開口端の直径を
減少させる。従って、曲げられた、即ちクリンプされた
バレルの開口端は、バレル内に支持部を保持しておくた
めの障壁を提供する。前記バレルの開口端を曲げるこ
、即ち該開口端をクリンプすることを促進するため
に、スリットをバレル上長手方向にバレル開口端に向か
って延設しても良い。
【0016】他の実施形態では、バレル及び/又はプラ
ンジャーはそれぞれ2つの部分から成っている。好まし
くは、前記バレルのフランジと先端部がバレルの第1部
分を構成し、バレルの中空部分がバレルの第2部分を構
成する。同様に、前記プランジャーのフランジと先端部
がプランジャーの第1部分を構成し、ステムと支持部が
プランジャーの第2部分を構成する。この実施形態で
は、まず、前記支持部はバレルの開口端を通って前記バ
レルの中空部分の中に入れられる。次いで前記バレルの
開口端にクリンプ、即ち内方へ曲げられた部分が設けら
れる。ばねはバレルを覆って配設される。2つの部分か
ら成るバレルが使用されるならば、次いで前記フランジ
と先端部から成るバレルの第1部分が前記バレルの第2
部分へ取付けられる。2つの部分から成るプランジャー
が使用されるならば、次いで前記フランジと先端部から
成るプランジャーの第1部分が前記プランジャーの第2
部分へ取付けられる。
【0017】又、他の実施形態では、スリットがバレル
に沿って、バレルの開口端へ向かって延設され、バレル
の開口端を複数の部分に分割する。そして、少なくとも
一つの部分は内方へ曲げられる。この実施形態のプロー
ブを構成するためには、まず、ばねがバレル又はプラン
ジャー支持部を覆って配設される。次いで前記プランジ
ャー支持部がバレルの開口端を通って前記バレル内へ押
入れられ、予め曲げられた部分を外方へ撓ませる。前記
支持部は前記予め曲げられた部分を越えて更に深く前記
バレルの中に滑り入れられるので、前記部分はその元の
予め曲げられた位置まで内方へ戻って撓み、前記バレル
内に前記支持部を保持する。
【0018】
【発明の実施の形態】図2を参照すると、本発明の一つ
の実施形態においてプローブ10は、プランジャー1
2、バレル18、及びばね16を有している。前記バレ
ルは開口端20を有している。接触先端部22が、前記
バレルの開口端の反対側のバレルの端部から延設されて
いる。フランジ24が一般に、前記先端部22の近傍の
位置でバレルから半径方向外側へ拡がっている。前記バ
レルは真鍮製で金メッキされることが好ましいが、他の
導電性の材料を使用しても良い。
【0019】前記プランジャーは又、接触先端部26を
有している。フランジ28が又、一般に、前記接触先端
部の底部から半径方向外側へ拡がっている。前記プラン
ジャー上に形成されたフランジの外面直径30は、前記
バレル上に形成されたフランジの外面直径32と同じ又
は同程度の大きさである。前記フランジは好ましくは環
状である。
【0020】前記プランジャーには、前記プランジャー
接触先端部と反対向きの軸方向にステム34が延設され
ている。拡大された円筒状の表面36が前記ステムの端
部に形成され、支持部を形成している。前記支持部36
は、前記バレルの内面直径より僅かに小さい直径を有し
ている。前記支持部は中実であることが好ましいが、中
空であっても良い。前記プランジャーは好ましくは、ベ
リリウム銅(BeCu)製であり、金メッキされる。
【0021】クリンプ面38が、前記プランジャーフラ
ンジと支持部の間に形成される。前記クリンプ面は前記
バレルの開口端20をクリンプし、即ち前記開口端20
を内方に曲げ、それにより前記開口端の直径を縮小する
ために使用される。前記クリンプ面は、前記プランジャ
ーフランジの周囲(perimeter) へは延設されていない。
前記クリンプ面の外側の縁部40と前記プランジャーの
中心軸42の間の距離は、少なくとも前記バレルの内半
径43に等しく、好ましくは前記バレルの内半径43よ
り大きくすべきである。好ましくは、前記距離は少なく
とも前記バレルの外半径44と同じ長さとすべきであ
る。
【0022】前記クリンプ面は環状であっても良い。つ
まり、前記プランジャーの全周に渡って設けられても良
い。あるいは、前記クリンプ面が前記プランジャーの周
囲の一部にだけ設けられても良い。このような場合に
は、複数のクリンプ面がプランジャーの周りに形成され
ても良い。図2に示されている一つの実施形態では、ク
リンプ面は前記ステムを包囲する円錐形の面である。他
の実施形態では、クリンプ面は円錐形の面の一部分であ
る(図示なし)。又、他の実施形態では、クリンプ面3
8は、図3に示すように、前記面上でバレルの開口端が
自然に丸くなるようにバレルの開口端をクリンプするU
型の断面であっても良い。
【0023】前記バレルの外直径45より大きく、前記
フランジの外直径30、32より大きくない内直径46
を有するばね16は、前記フランジ間のバレル及びプラ
ンジャーを覆って装着される。前記ばねの外直径50は
又、前記フランジの外直径30、32より大きくないこ
とが好ましい。前記ばねは好ましくは、302ステンレ
ス鋼製であるが、他の材料で製造することも可能であ
る。
【0024】ばねの内半径は、前記プランジャーの中心
軸42と前記クリンプ面の前記縁部40の間の距離52
より大きくするべきである。プローブを組立てるため
に、前記ばねは前記バレルを覆って装着され、前記バレ
ルフランジ24上に配置される。あるいは、前記ばねが
前記プランジャー支持部とステムを覆って装着され、前
記プランジャーフランジ28上に配置されても良い。
【0025】次いで、前記プランジャー支持部はバレル
の中へ滑り入れられ、前記ばね16が前記バレルフラン
ジ24と前記プランジャーフランジ28の間に挟まれる
ようにする。前記バレルとプランジャーは互いの方向へ
移動され、前記バレルの開口端20にクリンプ面38が
係合するようにする(図4)。前記バレルとプランジャ
ーが更に互いの方向へ押されると、前記バレルの開口端
の縁部56は、前記クリンプ面38によって半径方向内
側へ曲げられる、即ちクリンプされる(図5)。一旦、
バレルの開口端がクリンプされると、該開口端は、前記
プランジャーが前記ばねによって前記バレルから離れる
方向に付勢された時、前記バレル18内に前記支持部3
6を保持するための障壁を提供する。
【0026】クリンプ面が円錐形表面である実施形態で
は(図2、4、5参照)、円錐形クリンプ面は、前記バ
レルとプランジャーが互いの方向へ圧縮される時、前記
バレルの開口端に半径方向内側への力を作用させる。前
記バレルの方への前記プランジャーの動きは、前記支持
部が前記バレルの底面51に接触した時に止まる。従っ
て、前記ステムとクリンプ面の交差部分において始まる
ステムのベース部から測定したステムと支持部とを結合
した長さ58は、前記バレルの開口端において形成する
クリンプの大きさを制御するのに使用出来る。例えば、
前記結合長さが短ければ短いほど、クリンプは大きくな
る。即ち、バレルの開口端のより長い部分が内側に曲げ
られる。適当なステムと支持部の結合長さを選択するこ
とによって、バレルの開口端の曲げられる部分の長さが
制御され、ステムに突き当たらないようにされる。本発
明の自己クリンピングプローブ(self-crimping probe)
に関しては、新たな工具がばねの圧縮やバレルの開口端
をクリンプするために必要無いので、プローブの組立て
は単純化され、組立て時間が短縮される。
【0027】クリンプ面がプランジャーの全周に渡って
は設けられていない実施形態では、クリンプ面はバレル
の開口端の一部分だけをクリンプする。支持部を保持す
るために、好ましくはバレルの開口端周上の反対側の部
分がそれぞれクリンプされるべきである。この事は、プ
ランジャーに互いに向合うように延設されたクリンプ面
を設けることによって達成される。
【0028】クリンプの形成を補助するために、図7に
示すように長手方向のスリット60をバレルに沿ってバ
レルの開口端20へ向かって延設しても良い。2つ以上
のスリットが等間隔で設けられるのが好ましい。前記ス
リットは、図8(a)に示すように、バレルの開口端を
部分62に分割し、筒状のバレルの開口端の面を半径方
向内側へクリンプすることを促進する。更に、バレルに
スリットが入れられている場合、スリット間の前記バレ
ルの開口端の部分62は、互いの方向に曲げることが可
能で、前記バレルの開口端20の直径を前記支持部の直
径より小さくすることができ、前記バレル内に前記支持
部を保持するための障壁となる。これらの部分は又、図
8(a)、8(b)に示したようにクリンプされても良
い。
【0029】他の実施形態では、前記支持部と係合する
前に、前記バレルの部分62は内方へ予め曲げられる、
更に/又は、前記部分の端部は内方へ予め曲げられる
(即ち、予めクリンプされる)。図8(a)、8(b)
に示したように、スリット間に形成される前記バレルの
開口端の部分62の少なくとも一つ、そして好ましくは
全てが内方へ予め曲げられる、更に/又はその端部が
めクリンプされる。スリット間のバレルの開口端の部分
は撓むことが可能である。プローブを組立てるために、
前記支持部は、予め曲げられた、更に/又はその端部が
予めクリンプされた部分を外方へ撓ませながら開口端を
通して押し入れられる。前記支持部が予め曲げられた、
更に/又はその端部が予めクリンプされた部分を越えて
バレルの内部に移動する時、予め曲げられた、更に/又
その端部が予めクリンプされた部分は、前記部分の元
の予め曲げられた、更に/又はその端部が予めクリンプ
された位置へ内側に撓んで戻り、予め曲げられた、更に
/又はその端部が予めクリンプされた部分が、バレル内
に支持部を保持するための障壁となる。この実施形態に
関しては、前記プランジャー支持部は、バレルの内部に
スナップ的に入れられる。全ての部分が予め曲げられ、
その端部が予めクリンプされていることが望ましいが、
本発明は一つの部分だけが、内側へ予め曲げられてい
る、更に/又はその端部が予めクリンプされている場合
にも実行可能である。
【0030】他の実施形態では、プローブのバレル又は
プランジャーはそれぞれ、複数の部分を含んでいても良
い。例えばバレルの先端部及びフランジが第1部分20
0を構成しても良く、同時にバレルの中空部分が第2部
分202を構成しても良い(図12)。前記バレルの中
空部分は、その開口端210の反対側の端部208から
延設されているスタッド204を有していても良い。前
記先端部及びフランジ部分は、フランジで始まり先端部
へ続いている、前記フランジ及び先端部の中央軸に沿っ
て形成される軸状の開口部206を有していても良い。
前記バレルを構成するために、前記スタッド204は前
記開口部206へはめ込まれる。前記スタッドは前記開
口部へねじ込まれても、圧入されても良い。又、前記ス
タッドが前記開口部へ装入された後で、前記先端部及び
フランジ部分をかしめ、前記開口部206の内表面をス
タッドに固定する(lock)ようにしても良い。バレルの中
空部分を通して突出しているスタッド又はフランジ及び
先端部の開口部を使用しない複数の部分を接続するため
の他の方法が使用されても良い。
【0031】複数の部分から成るバレル又はプランジャ
ーの使用は、バレルの開口端がクリンプされた後で、ば
ねをバレルとプランジャーを覆って装着することを可能
にする。例えば、この場合には、まずプランジャーの支
持部が、バレルの中空部分に中空部分の開口端を通して
装着される。次いで、前記中空部分の開口端がクリンプ
される。そして、ばねが前記バレルの中空部分を覆って
配置され、前記プランジャーのフランジに押圧される。
次いで、バレルの先端部とフランジ部分がバレルの中空
部分に取り付けられる。あるいは、2つの部分からなる
プランジャーが使用されても良く、プランジャー先端部
とフランジが第1部分を形成し、ステムと支持部が第2
部分を形成するようにしても良い。このような場合で
は、プランジャー支持部を保持するようにバレルの開口
端がクリンプされた後で、ばねがプランジャーとバレル
を覆って装着され、バレルフランジに押圧される。次い
で、前記プランジャー先端部とフランジ部分が、前記支
持部とステム部分に取り付けられる。従って、このよう
な実施形態に関しては、クリンプするために、ばねを圧
縮してバレル開口端を露出する必要はない。
【0032】本発明に関しては、圧縮された時のばね長
さ67(即ち、ばねソリッド高さthe spring solid he
ight)は、前記ばねをバレル開口端の方へ支持するバレ
ルフランジの表面64から測定した場合のバレルの長さ
より長くてもよい。更に、バレルのクリンプの形成され
ていない部分の長さ66は、圧縮された時のばね長さ6
7より短くても良い(図5)。又、バレルの開口端がク
リンプされると、該開口端は、前記プランジャーが前記
ばねによって前記バレルから離れる方向に付勢された
時、前記バレル内に前記支持部を保持するので、前記支
持部の行程は前記バレルの長さによって制限される。上
述のように圧縮された時のばね長さ67は、バレルの長
さより長くても良いので、前記圧縮された時のばね長さ
67は、前記支持部の行程より長くても良い。一方、従
来の内部ばねプローブに関しては、完全に圧縮されたば
ねの長さは、プランジャー支持部を収容するようにバレ
ルの長さより短くなければならない。従って本発明よれ
ば、所定のばね長さに対してより短いバレルを使用する
ことが出来る。このように、ばね長さを短縮することな
く、より短い電気的接続部を有するより短いプローブを
使用することができる。その上、ばねが接続部に対し外
部にあるため、内部ばねの場合より、大きなばね直径、
長いワイヤー長さを有しているので、所定のばね高さに
関し、内部ばねの場合に比べ、ばねボリュームが大き
い。更に、フランジをその各々の先端部へ接近するよう
に移動することによって、つまり、例えば図5に点線で
示したように、フランジ24をバレルの先端部22に接
近するように移動することによって、より長いばねを使
用しても良く、ばねボリュームが更に増加し、ばねのコ
ンプライアンスを減ずることなくばね動作寿命(spring
operating life) が増加する。同様に、フランジを各々
のプローブ先端部へ近付けて配置することにより、ばね
長さとコンプライアンスを減ずることなくプローブの長
さを短縮することを可能にする。
【0033】支持部をバレルの内壁に確実に接触させ、
前記接続部(即ち、プランジャー及びバレル)を介して
電気的接続(electrical conduit)が行われるように、プ
ローブが横方向に付勢されていることが望ましい。即
ち、プローブをその長さに沿って曲げようとする曲げ力
がプローブに作用していることが望ましい。本発明で
は、この事はばね端面を斜め形状にすることによって達
成される。つまり、バレルの片側に沿ったばねの長さ6
7をバレルの反対側に沿ったばねの長さ69より長くす
る(図5)。これはバレルの同じ側に始点と終点がある
ばねを使用することによってなされる。ばねによってプ
ランジャーに作用する力は、バレルの片側(即ち、ばね
がより長い側)でより大きく、プランジャーをバレルの
中心から曲がった軸に沿って伸ばし、支持部のバレルの
内面への接触を維持する。
【0034】本発明のプローブの一例では、ばねによっ
て完全に伸ばされた状態で、プランジャー先端部からバ
レル先端部へ測定すると約3.3mm(約0.13イン
チ)を有する(図6、長さ68)。この例のプローブの
長さは、完全に圧縮された場合には2.5mm(0.1
インチ)である。このプローブの例では、ばね力は約
0.51mm(約0.020インチ)の変位で約28.
35g(約1オンス)であり、バレルとプランジャー間
に約0.8mm(約0.03インチ)の移動距離又はコ
ンプライアンスを有する。
【0035】プローブは、一般的にはソケット(又は試
験プレート)102に設けられた穴100に配置される
(図9)。これらの穴は外部ばねを有するプローブを収
容するように直径104を有している。ソケットの端面
106において、各々の穴は狭められて開口部108を
形成しており、プローブ先端部が貫通するようになって
いる。穴の狭められた部分は穴の内部で肩部110を形
成する。一旦、プローブが穴の中に挿入されると、該プ
ローブのプランジャーフランジ28は、穴の肩部110
に係合し、同時に該プローブのプランジャー先端部26
が、前記開口部108を通して前記ソケットから突出す
る。試験ソケットの開口部108と同じパターンの開口
部114を有するカバープレート112が、試験ソケッ
トと係合し、前記プローブのバレル先端部22が前記カ
バープレートの開口部114を通して突出する。前記カ
バープレートに構成された開口部は、前記先端部の直径
より大きいがフランジの外径より小さい直径を有してい
る。従って、プローブが伸ばされた時、前記カバープレ
ートはバレルフランジ24に係合する。このため、カバ
ープレートを有するソケットはプローブの伸展を制限す
るのに使用されても良い。プローブは又、前記ソケット
開口部108を前記プローブのバレル先端部22が貫通
し、カバープレート開口部114を前記プローブのプラ
ンジャー先端部26が貫通して取り付けられても良い。
【0036】図10を参照すると、本発明の他の実施形
態のプローブでは、バレルの開口端20がクリンプされ
ていない。この実施形態に関しては、まず各々のプラン
ジャーが、ソケット穴100に配設される。次いでばね
16が、プランジャーを覆って挿入され、続いてバレル
が前記穴へ入れられてプランジャーの外側に係合する。
次いで、カバープレート112が、ソケットに係合され
る。前記穴内に構成された肩110及びカバープレート
112により、プローブ全体が一体に保持される。この
実施形態のプローブは、別途の支持部表面は必要とせ
ず、ステム34がバレルの内壁に対する支持部表面とし
て作用する(図10)。この実施形態では、前記ステム
の直径はバレルの内径より僅かに小さい。
【0037】又、他の実施形態では、プローブは、ばね
と、各々が先端部124とフランジ126を有する2つ
の別々の部分120、122とを含んでいる(図1
1)。好ましくは半円筒状の部分129を有する接触要
素128は、前記先端部124の反対側に各々のプロー
ブ部分から延設されている。各々の半円筒状の接触部分
は、半円筒表面130と平面132を有する。各々のプ
ローブを構成するために、まず、第1部分120をソケ
ット穴に配設し、前記第1部分の先端部124が前記穴
の開口部108を通って突出するようにする。次いで、
ばね16を、接触要素を覆って挿入し、フランジ126
上に配置する。それから、第2部分122が、その接触
要素を先にして前記穴へ挿入されて、第2部分の接触要
素の半円筒状の部分の平面132が、第1部分の接触要
素の半円筒状の部分の平面132と合わさるようにさ
れ、前記ばねが2つのフランジ間に挟まれる。一旦、全
てのプローブが穴の中で組立てられると、カバープレー
ト112が、試験ソケットに係合され、前記第2部分の
先端部が、前記プレートの開口部を通して突出するよう
にする。前記穴内に構成された肩部110及び前記カバ
ープレートにより、各々のプローブ全体が一体に保持さ
れる。プローブが伸縮する時、第1部分の接触要素の平
面は、第2部分の接触要素の平面との接触を保ってお
り、2つの接触要素間の電気的経路が確保される。別の
形状の接触要素が使用されても良い。例えば、各々の部
分の接触要素が筒状であっても良いし、又、第1部分の
接触要素が筒状で、第2部分の接触要素が平坦であって
も良い。プローブを構成する2つの部分の接触要素は、
互いの接触を維持して、前記2つの部分の間の電気的経
路を提供し、前記2つの部分の間の電気的接続部を構成
する。同一形状のプローブの部分を使用して各々のプロ
ーブを構成し、単純化して、プローブの製造コストを低
減することが有利である。接触要素を合わせることを容
易にするために、2つの接触要素の接触面は、平坦であ
る必要はないが、相補的形状とされるべきである。
【0038】カバープレート112の代わりに、試験機
器117へ連結される接触プレート(即ち、回路板)1
13が、穴100を覆うために用いられても良い。前記
接触プレートは、例えば図13に示す先端部224のよ
うなプローブ部分、つまりプランジャー先端部又はバレ
ル先端部と接触するようなパターンに配置された接触点
115を有する。前記接触プレート又はカバープレート
の代わりに、試験される回路板が、前記穴100を閉じ
るようにして使用されても良く、試験される回路板上の
接触点がプローブの先端部と接触するようにする。
【0039】更に、ソケットは、図14に示すように筒
状の穴300だけを有していても良い。このようなケー
スでは、試験される回路板302の接触点304が前記
プローブの先端部324に接触するように、前記試験さ
れる回路板302を前記ソケットの片側へ係合する。そ
して試験機器117へ接続される接触プレート113
が、前記ソケットの反対側へ係合され、前記回路板と前
記接触プレートが前記穴内にプローブを保持する。
【0040】理解されるように、前述のプローブの実施
形態の全ては、ばねコンプライアンスを減少すること無
くばねボリュームの増加を可能にし、又、プローブばね
ボリュームを減少すること無く、電気的接続部長さを短
縮することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術のプローブの側面図(図1(a)及び
図1(b))である。
【図2】本発明のプローブの断面図である。
【図3】本発明の一つの実施形態のプローブのプランジ
ャーの断面図である。
【図4】クリンプされる前にクリンプ面に接触している
バレルの開口端を示した本発明のプローブの断面図であ
る。
【図5】バレルの開口端をクリンプするためにバレルに
対して押圧されたプランジャーを示した本発明のプロー
ブの断面図である。
【図6】ばねによってバレルから最も離れて付勢されて
いるプランジャーを示した本発明のプローブの断面図で
ある。
【図7】クリンプされる前のバレル開口端に形成された
長手方向のスリットを有する本発明のバレルの断面図で
ある。
【図8】クリンプされたスリットを有する本発明のバレ
ルの断面図(図8(a))と底面図(図8(b))であ
る。
【図9】本発明の実施形態のプローブを収容している試
験ソケットの断面図である。
【図10】本発明の他の実施形態のプローブを収容して
いる試験ソケットの断面図である。
【図11】本発明の他の実施形態のプローブを収容して
いる試験ソケットの断面図である。
【図12】中空部分と先端部とフランジ部分から成るバ
レルの分解断面図である。
【図13】本発明の他の実施形態のプローブを収容して
いる試験ソケットの断面図である。
【図14】本発明の他の実施形態のプローブを収容して
いる試験ソケットの断面図である。
【符号の説明】
10…プローブ 12…プランジャー 16…ばね 18…バレル 20…バレル開口端 22…バレルの接触先端部 24…バレルのフランジ 26…プランジャーの接触先端部 28…プランジャーのフランジ 34…ステム 36…支持部 38…クリンプ面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 チャールズ ジェイ.ジョンストン アメリカ合衆国,カリフォルニア 91789,ウォールナット,ロス ガトス 411 (72)発明者 スコット ディー.シャビノー アメリカ合衆国,カリフォルニア 91767,ポモナ,ガーフィールド アベ ニュ 270 (56)参考文献 特開 平4−270967(JP,A) 実開 昭62−12875(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/26 H01L 21/66 H01R 13/24

Claims (14)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 開口端と閉止端を有するバレルであっ
    て、 前記閉止端から延設される先端部と、 前記バレルから半径方向外側に拡がり、ばねを支持する
    面と、 を有するバレルと、 プランジャーであって、 一端にある先端部と、 前記プランジャーから半径方向外側に拡がり、ばねを支
    持する面と、 前記先端部の反対方向に延設されるステムと、 前記先端部の反対方向に前記ステムから延設されると共
    に前記バレルの内部に滑動可能に係合される支持部であ
    って、前記ステムより太くなっている支持部と、 前記支持部と前記先端部との間において、前記プランジ
    ャーから半径方向外側に向い且つ前記支持部の方に向っ
    て延設される面であって、前記バレルと前記プランジャ
    ーの圧縮の間に前記バレルの開口端と係合して、前記支
    持部を前記バレル内に保持するように前記開口端を半径
    方向内側に曲げる面と、 を有するプランジャーと、 2つのばねを支持する面の間に挟まれると共に前記バレ
    ルとプランジャーを付勢する前記バレルを包囲するばね
    と、 を有するばねプローブ。
  2. 【請求項2】 前記バレルに更に、前記開口端の内側へ
    の曲げを促進するために前記バレルの開口端に向けて長
    手方向に延設された少なくとも一つのスリットを備えた
    請求項1に記載のばねプローブ。
  3. 【請求項3】 前記ばねの完全に圧縮された長さが、前
    記バレルから拡がるばねを支持する面と前記バレルの開
    口端との間のバレルの長さよりも長い請求項1に記載の
    ばねプローブ。
  4. 【請求項4】 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設されると共に平らな面を有する
    第1の接触要素と、 前記先端部と前記第1の接触要素の間で半径方向外側に
    拡がるフランジと、 を有する第1部分と、 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設されると共に平らな面を有して
    いて、前記第1の接触要素の前記平らな面と接触する第
    2の接触要素と、 該先端部と前記第2の接触要素の間で半径方向外側に拡
    がるフランジと、 を有する第2部分と、 前記2つのフランジの間に挟まれると共に前記2つの接
    触要素を包囲するばねとを備え、前記2つの部分が互い
    に対して伸縮し、前記第1と第2の接触要素の平らな面
    が前記伸縮の間に互いとの接触を維持するようにしたば
    ねプローブ。
  5. 【請求項5】 前記第1と第2の接触要素が、半円筒状
    部分を有し、各々の半円筒状部分が、前記平らな面の一
    方を有する請求項4に記載のばねプローブ。
  6. 【請求項6】 前記2つの部分が同一形状とされた請求
    項4に記載のばねプローブ。
  7. 【請求項7】 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設されると共に、内面と開口端と
    を有するバレルと、 前記先端部と前記バレルの間で半径方向外側に拡がるフ
    ランジと、 を有する第1部分と、 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設されると共に、前記バレルの内
    面に滑動可能に係合する第1の面と、 該先端部と前記第1の面の間で半径方向外側に拡がるフ
    ランジと、 半径方向外側に延設される該フランジとは別の第2の面
    と、 を有する第2部分と、 前記2つのフランジの間に挟まれると共に前記バレルを
    包囲するばねとを備え、前記2つの部分が互いに対して
    伸縮し、前記第2部分の第1の面と前記バレルの内面が
    前記伸縮の間に互いとの接触を維持し、前記第2部分の
    第2の面が、組立て時に前記2つの部分が圧縮された時
    に前記バレルの開口端に係合して半径方向内側に曲げ
    る、ばねプローブ。
  8. 【請求項8】 回路板を試験するばねプローブ組立体で
    あって、 第1側面、第2側面、及びこれらの間の厚み部分と、前
    記厚み部分を貫通し、前記各々の側面に開口部を形成し
    ている複数の穴とを有するソケットと、 各々の穴に配置されるプローブであって、 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設されると共に平らな面を有する
    第1の接触要素と、 前記先端部と前記第1の接触要素の間で半径方向外側に
    拡がるフランジと、 を有する第1部分と、 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設されると共に平らな面を有して
    いて、前記第1の接触要素の前記平らな面と接触する第
    2の接触要素と、 該先端部と前記第2の接触要素の間で半径方向外側に拡
    がるフランジと、 を有する第2部分と、 前記2つのフランジの間に挟まれると共に前記2つの接
    触要素を包囲するばねとを備え、前記2つの部分が互い
    に対して伸縮し、前記第1と第2の接触要素の平らな面
    が前記伸縮の間に互いとの接触を維持するようにした各
    々のプローブと、 前記第1側面において前記開口部を塞ぐようにするため
    のソケットの第1側面の第1カバーと、 前記ソケットの前記第2側面において前記開口部を塞ぐ
    ようにするためのソケットの第2側面の第2カバーと、 を有するばねプローブ組立体。
  9. 【請求項9】 ばね支持部と、開口端を有する中空部分
    とを有するバレルと、 前記開口端を通して前記中空部分に滑動可能に係合する
    第1部分と、前記バレルの外部にあって、ばね支持部を
    有する第2部分とを有するプランジャーと、 前記二つのばね支持部に挟まれて前記プランジャーとバ
    レルを付勢するばねと、 前記プランジャーの前記ばね支持部とは別の、前記プラ
    ンジャーの第2部分から延設される面であって、前記プ
    ランジャーの前記第1部分を前記バレルの内部に保持す
    るために、前記プランジャーが前記バレルの方へ移動し
    て前記面が前記バレルの開口端と接触する時に、前記バ
    レルの開口端の少なくとも一部を曲げるようにする面と
    を有するばねプローブ。
  10. 【請求項10】 バレルと、少なくとも部分的に前記バ
    レル内に延設されているプランジャーと、前記バレルの
    少なくとも一部を包囲し前記バレルと前記プランジャー
    とを付勢するばねとを有し、前記プランジャーが、半径
    方向外側へ向かい且つ前記バレルの方に向かって延設さ
    れる面であって、組立て時に前記プランジャーを前記バ
    レル内に押し入れた時に前記バレルの開口端に係合して
    該開口端を半径方向内側に曲げる面を有しているばねプ
    ローブ。
  11. 【請求項11】 開口端と、前記開口端から離れた位置
    にある半径方向外側に延設されている面とを有するバレ
    ルと、 支持部と、前記支持部の反対側の先端部と、前記先端部
    と支持部の間で半径方向外側に延設される第1の面と第
    2の面とを有するプランジャーとを有し、 前記プランジャーの第2の面が前記プランジャーの第1
    の面から間隔があけられており、前記プランジャーの第
    2の面が前記プランジャーの第1の面よりも前記プラン
    ジャーの先端部へより接近して配置されるばねプローブ
    の組立方法であって、 前記バレルの面と前記プランジャーの第2の面との間に
    ばねを配置し、 前記バレルに前記支持部を係合させ、 次いで、前記バレル内へ前記プランジャーを押入れるこ
    とにより、前記第1の面が前記バレルの開口端に接触す
    るようにして前記バレルの開口端の少なくとも一部を内
    方に曲げるようにするばねプローブの組立方法。
  12. 【請求項12】 開口端と、 バレル上に前記開口端に向けて延設され、少なくとも2
    つのバレルの開口端部分を形成する少なくとも2つのス
    リットと、 前記開口端の反対側の先端部と、 ばねを支持するための、前記開口端から離れた位置にあ
    る半径方向外側に延設されている第1の面と、 を有するバレルを形成し、 次いで、少なくとも一つのバレルの開口端部分を内方に
    曲げ、前記バレルの開口端の直径を縮小し、 一端にある先端部と、 該先端部の反対方向に延設されるステムと、 前記ステムから延設されている支持部であって、前記ス
    テムより太い支持部と、 ばねを支持するための、前記先端部と前記ステムの間で
    半径方向外側に延設される第2の面と、 を有するプランジャーを形成し、 前記バレルの面と前記プランジャーの面の間にばねを配
    置し、 次いで、前記曲げられた部分が、前記開口端を通して前
    記バレル内に前記支持部を押入れることにより外方に撓
    み、次いで前記支持部が更に押されて前記曲げられた部
    分を通過した時に内方へ撓んで、前記曲げられた部分が
    前記バレル内に前記支持部を保持するようにするばねプ
    ローブの組立方法。
  13. 【請求項13】 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設される第1の接触要素と、 前記先端部と前記第1の接触要素の間で半径方向外側に
    拡がるフランジと、 を有する第1部分と、 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設され、前記第1の接触要素と同
    一形状であって、前記第1の接触要素と接触する第2の
    接触要素と、 該先端部と前記第2の接触要素の間で半径方向外側に拡
    がるフランジと、 を有する第2部分と、 前記2つのフランジの間に挟まれると共に前記2つの接
    触要素を包囲するばねとを備え、前記2つの部分が互い
    に対して伸縮し、前記第1と第2の接触要素が前記伸縮
    の間に互いとの接触を維持するようにしたばねプロー
    ブ。
  14. 【請求項14】 回路板を試験するばねプローブ組立体
    であって、 第1側面、第2側面、及びこれらの間の厚み部分と、前
    記厚み部分を貫通し、前記各々の側面に開口部を形成し
    ている複数の穴とを有するソケットと、 各々の穴に配置されるプローブであって、 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設される第1の接触要素と、 前記先端部と前記第1の接触要素の間で半径方向外側に
    拡がるフランジと、 を有する第1部分と、 一端にある先端部と、 該先端部の反対側に延設され、前記第1の接触要素と同
    一形状であって、前記第1の接触要素と接触する第2の
    接触要素と、 該先端部と前記第2の接触要素の間で半径方向外側に拡
    がるフランジと、 を有する第2部分と、 前記2つのフランジの間に挟まれると共に前記2つの接
    触要素を包囲するばねとを備え、前記2つの部分が互い
    に対して伸縮し、前記第1と第2の接触要素が前記伸縮
    の間に互いとの接触を維持するようにした各々のプロー
    ブと、 前記第1側面において前記開口部を塞ぐようにするため
    のソケットの第1側面の第1カバーと、 前記ソケットの前記第2側面において前記開口部を塞ぐ
    ようにするためのソケットの第2側面の第2カバーと、 を有するばねプローブ組立体。
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