JP3039458B2 - 不揮発性半導体メモリ - Google Patents
不揮発性半導体メモリInfo
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- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
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Landscapes
- Read Only Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Description
び消去が可能なフラッシュEEPROM(Electrically
Erasable Programmable Read Only Memory)等の不揮
発性半導体メモリに関するものである。
をメモリセルとする不揮発性半導体メモリでは、浮遊ゲ
ートに電子を注入することによりデータを書き込み、浮
遊ゲートから電子を引き抜くことによりデータの消去を
行う。浮遊ゲートに電子が注入されたメモリセルは制御
ゲートから見たメモリセルのしきい値電圧Vthが上が
り、浮遊ゲートから電子を引き抜かれたメモリセルはそ
のしきい値電圧Vthが下がる。データ読み出し時に
は、選択されたメモリセルの制御ゲートに対して所定の
ゲート電圧Vcgを印加し、そのときにメモリセルから
出力される読み出し電圧Vsと、基準電圧Vrefとを
比較することにより、メモリセルの記録内容を再生す
る。
圧が低い状態を「オン状態」と称し、メモリセルのしき
い値電圧が高い状態を「オフ状態」と称する。
ブロック図である。
格子状に配置された複数のメモリセルMCからなるメモ
リセルアレイ10と、データの書き込みあるいは読み出
しを行うメモリセルMCに対応したワード線WLを選択
するX−メインデコーダ20及びX−プリデコーダ30
と、データの書き込みあるいは読み出しを行うメモリセ
ルMCに対応したビット線BLを選択するカラムセレク
タ40と、ワード線WLに接続される各メモリセルを駆
動するためのワード線ドライバ50と、入力されたアド
レス信号を一時的に記憶するアドレスバッファ60と、
メモリセルMCに記録する入力データ及びメモリセルM
Cから読み出された出力データを一時的に保持し、外部
装置との送受信を行うI/Oバッファ70と、データが
記録されたメモリセルMCのオン/オフ状態を判別する
センスアンプ80と、データ読み出し時に、センスアン
プ80でメモリセルMCのオン/オフ状態を判定するた
めの基準電圧Vrefを出力するリファレンス電圧発生
回路90と、データ読み出し時に、メモリセルMCに印
加するゲート電圧Vcgを出力する読出電圧発生回路1
00と、I/Oバッファ70、センスアンプ80、リフ
ァレンス電圧発生回路90、及び読出電圧発生回路10
0の動作をそれぞれ制御するための制御信号を出力する
制御回路110とによって構成されている。なお、図9
に示したセンスアンプ80は、データ書き込み時に各メ
モリセルMCに対してデータを書き込むための書き込み
回路として動作する。
の、データ読み出し時の各構成要素の動作について図1
0〜図12を用いて説明する。
ータ読み出し時の各構成要素の関係を示すブロック図で
あり、図11は図10に示した不揮発性半導体メモリの
メモリセルの構造を示す断面図である。また、図12は
図10に示したリファレンスセルのID−Vcg特性を
示すグラフである。なお、図11に示した断面構造のう
ち、点線で囲まれた領域が1つのメモリセルMCの構造
を示している。
まず、X−メインデコーダ20及びX−プリデコーダ3
0によってデータを読み出すメモリセルMCに対応した
ワード線WLが選択され、選択されたワード線WLに対
して読出電圧発生回路100からゲート電圧Vcgが印
加される。
択されたビット線BLには、選択されたメモリセルMC
のオン/オフ状態に応じたビット線電位Vbが発生し、
ビット線電位Vbは、負荷トランジスタQ4によって増
幅され、読み出し電圧Vsとしてセンスアンプ80の一
方の入力端子に入力される。
から出力されるプリチャージ制御信号PRECにより制
御され、ビット線BLに対してプリチャージを行うとき
にオンにされる。また、トランジスタQ6は、データの
読み出し終了後、制御回路110から出力されるディス
チャージ制御信号DISによりオンにされ、ビット線電
位Vb及び読み出し電圧Vsをそれぞれ接地電位GND
にディスチャージする。
するリファレンスセルRC3には、リファレンスセル制
御電圧発生回路93からリファレンスセル制御電圧Vr
efgが印加される。このとき、リファレンスセルRC
3に流れる電流IDが負荷トランジスタQ1によって電
圧に変換され、リファレンス電圧Vrefとしてセンス
アンプ8の他方の入力端子に入力される。
れ、読み出し電圧Vs及びリファレンス電圧Vrefの
差を増幅し、メモリセルMCに記録されたデータを再生
する。なお、トランジスタQ2はトランジスタQ5と同
様にプリチャージ時に用いられ、トランジスタQ3はト
ランジスタQ6と同様にリファレンスセルRC3の出力
電圧及びリファレンス電圧Vrefをそれぞれ接地電位
GNDにディスチャージする。また、リファレンスセル
RC3は、その電気的特性がメモリセルMCと同一にな
るようにメモリセルMCと同一の構造で形成される。
ス3、ドレイン4、浮遊ゲート2、及び制御ゲート1を
備えたMOSトランジスタによって構成され、上述した
ように浮遊ゲート2に電子を注入することでデータの書
き込みが行われ、浮遊ゲート2から電子が引き抜かれる
ことでデータの消去が行われる。
ゲート2と制御ゲート1の間、及び浮遊ゲート2とソー
ス3及びドレイン4の間はそれぞれ酸化膜によって絶縁
されている。
圧Vsとリファレンス電圧Vrefとを確実に比較する
ためには(読み出しマージンを確保するため)、リファ
レンスセルRC3のID−Vcg特性を、メモリセルM
Cがオン状態のときのID−Vcg特性IMC”1”と
メモリセルMCがオフ状態のときのID−Vcg特性I
MC”0”のほぼ中間の特性IRC3にすればよい(図
12参照)。
Vcg特性を図12に示したIRC3にするためには、
リファレンスセルRC3のしきい値電圧を、メモリセル
MCがオン状態のときのしきい値電圧とメモリセルMC
がオフ状態のときのしきい値電圧とのほぼ中間の値に設
定し、データ読み出し時は、リファレンスセル制御電圧
発生回路93の出力電圧Vrefgを、メモリセルMC
に印加されるゲート電圧Vcgと同じ値に設定すればよ
い。
トから、メモリセルMCのオン状態と同じように電子を
引き抜き、データ読み出し時は、リファレンスセル制御
電圧発生回路93の出力電圧Vrefgを変化させるこ
とにより、リファレンスセルRC3のID−Vcg特性
を制御してもよい。
生回路の構成について図13及び図14を用いて説明す
る。
制御電圧発生回路の第1従来例の構成を示す回路図であ
り、図14は図10に示したリファレンスセル制御電圧
発生回路の第2従来例の構成を示す回路図である。
スセル制御電圧発生回路93は、リファレンス制御電圧
発生信号VUPで制御されるトランジスタQ10と、抵
抗器R1及び抵抗器R2とによって構成され、リファレ
ンスセル制御電圧Vrefgは、トランジスタQ10を
介して与えられた外部電源電圧Vccを抵抗器R1及び
抵抗器R2によって分割することで生成される。
スセル制御電圧発生回路94は、リファレンス制御電圧
発生信号VUPで制御されるトランジスタQ11と、抵
抗器R3及び抵抗器R4とによって構成され、リファレ
ンスセル制御電圧Vrefgは、トランジスタQ11を
介して与えられたゲート電圧Vcgを抵抗器R3及び抵
抗器R4によって分割することで生成される。
は、外部電源電圧Vcc及びメモリセルMCに印加する
ゲート電圧Vcgが変動したときに、メモリセルMC及
びリファレンスセルRC3の電流がそれぞれ別々に変動
し、センスアンプ80の読み出しマージンが狭くなる問
題がある。
御電圧発生回路94では、図13に示したリファレンス
セル制御電圧発生回路93の問題点を回避するため、ゲ
ート電圧Vcgを抵抗器R3及び抵抗器R4によって分
割してリファレンスセル制御電圧Vrefgを生成して
いる。このようにすることで、メモリセルMC及びリフ
ァレンスセルRC3の電流は同じ電圧(ゲート電圧Vc
g)の変動にのみ影響され、別々に変動することが抑制
される。
制御ゲート1と浮遊ゲート2のカップリング容量をCC
Fとし、ソース3、ドレイン4が形成される基板と浮遊
ゲート2のカップリング容量をCALLとしたとき、そ
のレシオは0.6=CALL//CCFであるとする。
すなわち制御ゲートに5Vが印加されたとき、浮遊ゲー
トには約3.0Vの電圧が印加される。
る電流IDを、メモリセルMCがオン状態のときの電流
とメモリセルMCがオフ状態のときの電流のほぼ中間の
電流にするためには、リファレンス制御電圧Vrefg
を1.50Vに設定すればよい。また、図14に示す回
路をリファレンスセル制御電圧発生回路に採用した場
合、抵抗器R3及び抵抗器R4の比はR3:R4=7:
3となる。
ような従来の不揮発性半導体メモリでは、リファレンス
セルのしきい値電圧を制御するためには、リファレンス
セルに対してメモリセルと同様に消去あるいは書き込み
動作を行う必要があり、その制御が繁雑になるという問
題があった。
つため、データの読み出し毎にリファレンスセルに電流
が流れ、浮遊ゲートに電子が注入されて、しきい値電圧
が上昇する読み出しディスターブが発生する。このと
き、リファレンスセルのID−Vcg特性は図12に示
したIRC3’になる。
ブが発生する前のリファレンス電圧Vrefは、メモリ
セルMCがオン状態のときの読み出し電位Vs(on)
とオフ状態のときの読み出し電位Vs(off)の、ほ
ぼ中間の電位Vref(0)になる。
生した後のリファレンス電圧Vrefは、リファレンス
セルRC3のしきい値電圧が上昇してリファレンスセル
RC3に流れる電流が減少するため、Vref(0)よ
りも高い電圧Vref(1)になる。したがって、従来
の不揮発性半導体メモリではセンスアンプの読み出しマ
ージンが劣化するという問題があった。
る問題点を解決するためになされたものであり、データ
読み出し時の、センスアンプの読み出しマージンの劣化
を防止し、信頼性を高めた不揮発性半導体メモリを提供
することを目的とする。
本発明の不揮発性半導体メモリは、浮遊ゲート及び制御
ゲートを有するMOSトランジスタからなるメモリセル
と、データ読み出し時に、前記メモリセルから出力され
る読み出し電圧と所定の基準電圧とを比較し、該メモリ
セルに記録されたデータを再生するセンスアンプと、前
記メモリセルと同一構造のリファレンスセル、及び前記
リファレンスセルに印加するリファレンスセル制御電圧
を発生するリファレンスセル制御電圧発生回路を備え、
前記リファレンスセルの出力から前記基準電圧を発生す
るリファレンス電圧発生回路と、を有する不揮発性半導
体メモリにおいて、前記リファレンスセルの浮遊ゲート
と制御ゲートが短絡され、 前記リファレンスセル制御電
圧発生回路が、前記メモリセルに印加されるゲート電圧
を所定の抵抗比で分割して前記リファレンスセル制御電
圧として出力する、直列に接続された複数の分割用抵抗
器を有する構成である。
MOSトランジスタからなるメモリセルと、 データ読み
出し時に、前記メモリセルから出力される読み出し電圧
と所定の基準電圧とを比較し、該メモリセルに記録され
たデータを再生するセンスアンプと、 前記メモリセルと
同一構造のリファレンスセル、及び前記リファレンスセ
ルに印加するリファレンスセル制御電圧を発生するリフ
ァレンスセル制御電圧発生回路を備え、前記リファレン
スセルの出力から前記基準電圧を発生するリファレンス
電圧発生回路と、を有する不揮発性半導体メモリにおい
て、 前記リファレンスセルの浮遊ゲートと制御ゲートが
短絡され、 前記リファレンスセル制御電圧発生回路が、
前記メモリセルに印加されるゲート電圧を所定の容量比
で分割して前記リファレンスセル制御電圧として出力す
る、直列に接続された複数の分割用コンデンサを有する
構成である。
メモリセルの制御ゲート及び浮遊ゲートと同一の構造か
ら成る2つの電極と該2つの電極に挟まれた絶縁膜とに
よって構成される第1のコンデンサと、前記メモリセル
の浮遊ゲート及びソース、ドレインを含む基板と同一の
構造から成る2つの電極と該2つの電極に挟まれた絶縁
膜とによって構成される第2のコンデンサと、を有して
いてもよく、前記メモリセルの制御ゲート及び浮遊ゲー
トと同一の構造から成る2つの電極と該2つの電極に挟
まれた絶縁膜とによって構成される第1のコンデンサ
と、前記リファレンスセルの浮遊ゲート及びソース、ド
レインを含む基板から成る2つの電極と該2つの電極に
挟まれたゲート酸化膜によって構成される第2のコンデ
ンサと、を有していてもよい。
モリは、リファレンスセルがメモリセルと同様に浮遊ゲ
ート及び制御ゲートをもち、その浮遊ゲートと制御ゲー
トを短絡することにより、読み出し時に浮遊ゲートに対
して電子が注入されないため(制御ゲートに吸収され
る)、読み出しディスターブが発生しなくなる。
が複数の分割用コンデンサを有し、分割用コンデンサに
よってメモリセルに印加されるゲート電圧を所定の容量
比で分割し、リファレンスセル制御電圧として出力する
ことで、メモリセルに印加されるゲート電圧が変動した
場合、その変動に応じてリファレンスセル制御電圧も同
様の比率で変動する。
て説明する。
発性半導体メモリは、リファレンス電圧発生回路が有す
るリファレンスセルの浮遊ゲート及び制御ゲートを短絡
した点が従来の構成と異なっている、その他の構成は従
来と同様である。
ータ読み出し時の各構成要素の関係を示すブロック図で
あり、図2は図1に示したリファレンス電圧発生回路が
有するリファレンスセルの構造を示す断面図である。ま
た、図3は図1に示したリファレンス電圧発生回路が有
するリファレンスセルのID−Vcg特性を示すグラフ
であり、図4は本発明の不揮発性半導体メモリの第1の
実施の形態のデータ読み出し時の読み出し電圧Vsとリ
ファレンス電圧Vrefの様子を示す波形図である。
メモリセルMCと同様に浮遊ゲート2及び制御ゲート1
をそれぞれ備え、図2に示すように浮遊ゲート2と制御
ゲート1をコンタクト5で短絡する。
ート2からみたMOSトランジスタはメモリセルMCと
同一の構造であり、浮遊ゲート2からみたMOSトラン
ジスタのID−Vcg特性はメモリセルMCのそれと同
一であるため、リファレンスセルRC1のゲート電圧V
refgを制御することにより、リファレンスセルRC
1のID−Vcg特性を、図3に示すようにオン状態の
メモリセルMCのID−Vcg特性とオフ状態のメモリ
セルMCのID−Vcg特性のほぼ中間の特性に設定す
ることができる。
ルRC1では浮遊ゲート2と制御ゲート1が短絡されて
いるため、読み出し時に浮遊ゲート2に対して電子が注
入されなくなり(制御ゲート1に吸収される)、読み出
しディスターブが発生しない。
ンス電圧Vrefは、常にメモリセルMCがオン状態の
ときの読み出し電圧Vs(on)とオフ状態のときの読
み出し電圧Vs(off)の中間の電圧に設定され、セ
ンスアンプの読み出しマージンの劣化が防止される。
の実施の形態について図面を参照して説明する。
リファレンスセル制御電圧発生回路の構成が従来と異な
っている。その他の構成は従来と同様であるため、その
説明は省略する。
制御電圧Vrefgを2つの抵抗器を用いて発生させる
場合、ゲート電圧Vcgを出力する読出電圧発生回路1
0からは電流が定常的に出力されることになる。したが
って、読出電圧発生回路10の電流駆動能力に余裕を持
たせる必要が生じ、その回路規模が増大する。
メモリセルMCの浮遊ゲート2には制御ゲート1との間
のカップリング容量CCFを介してその変動が印加され
る。一方、リファレンスセルRC1の浮遊ゲート2に
は、抵抗器で分割された電圧変動がそのまま印加され
る。したがって、両者のゲート電圧の変動にずれが生
じ、センスアンプの読み出しマージンが劣化する可能性
がある。
るために、リファレンスセル制御電圧発生回路を図5に
示すような回路で構成する。
2の実施の形態の構成を示す図であり、リファレンスセ
ル制御電圧発生回路の構成を示す回路図である。
スセル制御電圧発生回路92は、コンデンサC1とコン
デンサC2とによってゲート電圧Vcgを分割すること
によりリファレンスセル制御電圧Vrefgを発生す
る。このようにすると、メモリセルMCと同様に、リフ
ァレンスセルRC1の浮遊ゲート2にはゲート電圧Vc
gの変動がコンデンサC1及びコンデンサC2を介して
印加される。なお、トランジスタQ8及びトランジスタ
Q9は、読み出し終了後、コンデンサC1及びコンデン
サC2の各電極を接地電位GNDにディスチャージする
ためのものである。
電圧Vcgを5.0Vとしたとき、リファレンスセル制
御電圧Vrefgを1.5Vにするためには、コンデン
サC1とコンデンサC2の容量比をC1:C2=3:7
に設定すればよい。
形成方法について図6〜図8を用いて説明する。
電圧発生回路のコンデンサC1及びコンデンサC2の形
成方法の一例を示す断面図であり、図7は図5に示した
リファレンスセル制御電圧発生回路のコンデンサC1及
びコンデンサC2の形成方法の他の例を示す断面図であ
る。また、図8は図5に示したリファレンスセル制御電
圧発生回路から出力されるリファレンスセル制御電圧の
様子を示す波形図である。
C1は、浮遊ゲート2と制御ゲート1とがコンタクト5
によって短絡されている。ここで、浮遊ゲート2とソー
ス3、ドレイン4が形成される基板との間にはゲート酸
化膜があるため、浮遊ゲート2、基板、及びゲート酸化
膜によってコンデンサC22が形成される。そこで、こ
のコンデンサC22を図5に示したコンデンサC2とし
て用いる。また、図6に示すようにフィールド上にメモ
リセルMCと同じ構造でセルを形成すると、その浮遊ゲ
ート2、制御ゲート1、及び浮遊ゲート2と制御ゲート
1に挟まれる酸化膜によってコンデンサC11が形成さ
れる。このコンデンサC11を図5に示したコンデンサ
C1として用いる。
メモリセルMCと同じ構造のセルを形成し、そのソース
3及びドレイン4をそれぞれ基板と同電位にする。この
とき、基板、浮遊ゲート2、及び基板と浮遊ゲート2と
に挟まれる酸化膜とによってコンデンサC222が形成
される。また、浮遊ゲート2、制御ゲート1、及び浮遊
ゲート2と制御ゲート1に挟まれる酸化膜によってコン
デンサC111が形成される。このコンデンサC222
を図5に示したコンデンサC2として用い、コンデンサ
C111を図5に示したコンデンサC1として用いても
よい。
2を用いてリファレンスセル制御電圧Vrefgを発生
させたときの読み出し電圧Vsとリファレンス電圧Vr
efの様子を図8に示す。
でゲート電圧Vcgが変動しているが、リファレンスセ
ル制御電圧Vrefgもゲート電圧Vcgの変動に応じ
てメモリセルMCと同様の比率で変化する。したがっ
て、本実施の形態の不揮発性半導体メモリにおいては、
センスアンプの読み出しマージンの劣化がより防止され
る。
いるので、以下に記載する効果を奏する。
ートが短絡されていることで、読み出し時に浮遊ゲート
に対して電子が注入されないため、読み出しディスター
ブが発生しなくなる。
準電圧は、メモリセルがオン状態のときの読み出し電圧
とオフ状態のときの読み出し電圧の中間の電圧に設定さ
れ、センスアンプの読み出しマージンの劣化が防止され
る。
に、メモリセルに印加されるゲート電圧を所定の容量比
で分割し、リファレンスセル制御電圧として出力する、
直列に接続された複数の分割用コンデンサを有すること
で、メモリセルに印加されるゲート電圧が変動した場
合、その変動に応じてリファレンスセル制御電圧も同様
の比率で変動するため、センスアンプの読み出しマージ
ンの劣化がより防止される。
し時の各構成要素の関係を示すブロック図である。
るリファレンスセルの構造を示す断面図である。
るリファレンスセルのID−Vcg特性を示すグラフで
ある。
形態のデータ読み出し時の読み出し電圧Vsとリファレ
ンス電圧Vrefの様子を示す波形図である。
形態の構成を示す図であり、リファレンスセル制御電圧
発生回路の構成を示す回路図である。
路のコンデンサC1及びコンデンサC2の形成方法の一
例を示す断面図である。
路のコンデンサC1及びコンデンサC2の形成方法の他
の例を示す断面図である。
路から出力されるリファレンスセル制御電圧の様子を示
す波形図である。
である。
し時の各構成要素の関係を示すブロック図である。
リセルの構造を示す断面図である。
cg特性を示すグラフである。
生回路の第1従来例の構成を示す回路図である。
生回路の第2従来例の構成を示す回路図である。
し時の読み出し電圧Vsとリファレンス電圧Vrefの
様子を示す波形図である。
コンデンサ MC メモリセル Q1〜Q9 トランジスタ RC1 リファレンスセル
Claims (4)
- 【請求項1】 浮遊ゲート及び制御ゲートを有するMO
Sトランジスタからなるメモリセルと、 データ読み出し時に、前記メモリセルから出力される読
み出し電圧と所定の基準電圧とを比較し、該メモリセル
に記録されたデータを再生するセンスアンプと、 前記メモリセルと同一構造のリファレンスセル、及び前
記リファレンスセルに印加するリファレンスセル制御電
圧を発生するリファレンスセル制御電圧発生回路を備
え、前記リファレンスセルの出力から前記基準電圧を発
生するリファレンス電圧発生回路と、 を有する不揮発性半導体メモリにおいて、 前記リファレンスセルの浮遊ゲートと制御ゲートが短絡
され、 前記リファレンスセル制御電圧発生回路が、前記メモリ
セルに印加されるゲート電圧を所定の抵抗比で分割して
前記リファレンスセル制御電圧として出力する、直列に
接続された複数の分割用抵抗器を有する 不揮発性半導体
メモリ。 - 【請求項2】 浮遊ゲート及び制御ゲートを有するMO
Sトランジスタからなるメモリセルと、 データ読み出し時に、前記メモリセルから出力される読
み出し電圧と所定の基準電圧とを比較し、該メモリセル
に記録されたデータを再生するセンスアンプと、 前記メモリセルと同一構造のリファレンスセル、及び前
記リファレンスセルに印加するリファレンスセル制御電
圧を発生するリファレンスセル制御電圧発生回路を備
え、前記リファレンスセルの出力から前記基準電圧を発
生するリファレンス電圧発生回路と、 を有する不揮発性半導体メモリにおいて、 前記リファレンスセルの浮遊ゲートと制御ゲートが短絡
され、 前記リファレンスセル制御電圧発生回路が、前記メモリ
セルに印加されるゲート電圧を所定の容量比で分割して
前記リファレンスセル制御電圧として出力する、直列に
接続された複数の分割用コンデンサを有する 不揮発性半
導体メモリ。 - 【請求項3】 前記分割用コンデンサは、前記 メモリセルの制御ゲート及び浮遊ゲートと同一の構
造から成る2つの電極と該2つの電極に挟まれた絶縁膜
とによって構成される第1のコンデンサと、前記 メモリセルの浮遊ゲート及びソース、ドレインを含
む基板と同一の構造から成る2つの電極と該2つの電極
に挟まれた絶縁膜とによって構成される第2のコンデン
サと、 を有する請求項2記載の不揮発性半導体メモリ。 - 【請求項4】 前記分割用コンデンサは、前記 メモリセルの制御ゲート及び浮遊ゲートと同一の構
造から成る2つの電極と該2つの電極に挟まれた絶縁膜
とによって構成される第1のコンデンサと、前記 リファレンスセルの浮遊ゲート及びソース、ドレイ
ンを含む基板から成る2つの電極と該2つの電極に挟ま
れたゲート酸化膜によって構成される第2のコンデンサ
と、 を有する請求項2記載の不揮発性半導体メモリ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18123597A JP3039458B2 (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | 不揮発性半導体メモリ |
KR10-1998-0027286A KR100381352B1 (ko) | 1997-07-07 | 1998-07-07 | 제어게이트전극과부유게이트전극사이에단락된부유게이트형기준셀을구비한반도체불휘발성메모리장치 |
US09/110,949 US5936888A (en) | 1997-07-07 | 1998-07-07 | Semiconductor non-volatile memory device having floating gate type reference cell short-circuited between control gate electrode and floating gate electrode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18123597A JP3039458B2 (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | 不揮発性半導体メモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH1126727A JPH1126727A (ja) | 1999-01-29 |
JP3039458B2 true JP3039458B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=16097169
Family Applications (1)
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