JP2881409B2 - 異方性磁石粉末の製造方法 - Google Patents
異方性磁石粉末の製造方法Info
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- C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
Description
ホウ素系合金よりなり高い異方性をもつ異方性磁石粉末
の製造方法に関する。
元素(以下、Rと称す)と、鉄(Fe)と、ホウ素
(B)とを主成分とするRFeB系合金よりなる希土類
磁石は残留磁束密度、保磁力などの磁気特性に優れるた
め工業的に広く利用されている。この希土類磁石は、例
えば、特開昭60−257107号公報、特開昭62−
23903号公報、特公平7−68561号公報等に報
告されている。
eB系合金に水素の吸蔵および脱着による組織の順変態
および逆変態を行う高温水素熱処理の脱水素処理を改善
することにより保磁力(iHc)が5kOe(398k
A/m)と高い永久磁石を製造する方法が開示されてい
る。ここで高温水素熱処理は組織の変態を伴う熱処理を
意味し、組織の変態を伴わない水素の吸蔵、脱水素のみ
が生ずる低温水素熱処理と区別する。
は、この高温水素熱処理を改良し、RFeB系合金を1
0Torr(1.3kPa)以上の水素ガスもしくは1
0Torr(13kPa)以上の分圧の水素ガスと不活
性ガスからなる混合ガスの雰囲気の下で500℃〜10
00℃の温度で熱処理して原料中に水素を吸収させて順
変態を起こさせ、再び脱水素を行うといった一連の高温
水素熱処理を行うことにより、iHcが10kOe(7
95kA/m)と高い磁気特性を持つ希土類永久ボンド
磁石を得る方法が開示されている。
Nd12.0Pr1.4Fe80.8B5.8の原子数
組成の希土類合金を1atmH2ガス中で830℃まで
昇温し、その後830℃で5時間保持しこの間にH2ガ
ス圧力を10〜760Torr(1.3kPa〜0.1
MPa)の範囲の所定圧力に保持し、その後830℃の
温度で1.0×10−5Torr(1.31×10 −3
Pa)の真空度に減圧して40分保持し、その後急冷す
ることにより、異方性ボンド磁石を得ている。その実施
例中で最も顕著な異方性をもつボンド磁石として、圧縮
成形時に磁場を作用させてBrを6.1kG(0.61
T)から7.2kG(0.72T)へと約18.2%向
上したものを挙げている。
一度メルトスピンニングにより希土類磁石とした後、こ
の希土類磁石を熱間圧延処理して結晶方向を揃えた組織
とし、高い異方性をもつ希土類磁石とする方法が開示さ
れている。
処理された希土類磁石粉末の製造方法であって、高い異
方性、即ち、Br/Bsが0.65以上の高い異方性を
もつ希土類磁石粉末を提供することを課題とする。希土
類磁石を熱間圧延処理して結晶方向を揃えた組織とし、
高い異方性をもつ希土類磁石粉末とする方法は、操作が
複雑なために製造コストが高くなる。また、得られる希
土類磁石粉末の結晶粒は偏平となる特色をもつ。
特色でもある水素の吸蔵による組織の順変態、脱水素に
よる組織の逆変態を行う高温水素熱処理により結晶粒を
微細化し、結晶粒を小さくすることにより残留磁束密
度、保磁力などの磁気特性を高める高温水素熱処理によ
る希土類磁石粉末を得る方法がある。この高温水素熱処
理による希土類磁石粉末は、操作が比較的単純で製造コ
ストが安いという利点があるが、磁気特性に優れた希土
類磁石粉末が得られないという問題がある。特に異方性
を付与することが極めて困難である。
記した特公平7−68561号公報に開示されているよ
うに、Nd12.0Pr1.4Fe80.8B5.8組
成の希土類合金を高温水素熱処理した場合、圧縮成形時
に磁場を作用させることによりBrが6.1kG(0.
61T)から7.2kG(0.72T)へと約18.2
%向上する異方性が報告されている。この特公平7−6
8561号公報の発明者の一人は、J.Alloys
and Compounds 231(1995)51
で、NdFeBの三元系希土類合金を水素処理しても等
方性磁石粉末が得られるだけであるが、このFeをCo
で置換し、Zr、Ga、Nb、Hf等の元素を添加した
NdFeCoBに水素処理を行うと異方性が発現すると
説明している。
検討し、実験を重ねた結果、従来高温水素熱処理により
等方性磁石粉末しか得られないと考えられていたNdF
eBの三元系磁石粉末が、高温水素熱処理により極めて
高い異方性をもつ磁石粉末となることを発見した。他の
磁気特性で説明すると、従来高温水素熱処理によるNd
FeBの三元系磁石粉末のBrが0.8T(8.0k
G)程度と考えられていたものが、NdFeBの三元系
磁石粉末の組成を変えることなくそのBrを1.2〜
1.5T(12〜15kG)と高めることができること
を発見し、確認したものである。
によるNdFeBの三元系合金の高い異方性は、NdF
eBの希土類合金を水素吸蔵させて水素と反応させ、こ
の希土類合金の組織を順変態するときに、Nd2Fe
14B1の結晶方位が順変態により生ずると考えられる
多数の微細なFe2Bに転写されて保存され、これが脱
水素による合金組織の逆変態で転写保存されたFe2B
の結晶方位が再生される微細なNd2Fe14B1の結
晶に転写され、極めて高い異方性をもつ磁石粉末となる
ものと考えている。
である。
の製造方法は、イットリウム(Y)を含む希土類元素
(以下、Rと称す)と、鉄(Fe)と、ホウ素(B)と
を主成分とするRFeB系合金に水素を吸蔵させて該R
FeB系合金と水素との反応を次の反応速度式に示す V r =(1/0.576)・√PH 2 ・exp(−Ea/RT) (ここで、V r :相対反応速度、PH 2 :水素ガス圧力
(atm)、Ea:活性化エネルギー(kJ/mo
l)、R:ガス定数(J/molK)、T:温度(K)
である。)で表される相対反応速度V r を 0.25〜
0.50の相対反応速度範囲内で進行させることにより
該RFeB系合金組織の順変態を起こさせ、その後脱水
素反応を進めて該RFeB系合金組織の逆変態を起こさ
せ、異方性が付与されたRFeB系合金磁石とすること
を特徴とする。
末を構成するRFeB系合金は、R2 Fe14B1 の正方
晶結晶構造を持つ再結晶粒からなるために高い異方性を
もつものと考えられる。また、本発明の異方性磁石粉末
は高温水素熱処理されて得られるもので、その結晶粒が
球形に近い、すなわち、結晶粒のアスペクト比が小さい
という特色がある。具体的には、結晶粒の大きさは、粒
径が0.1〜1.0μm程度で、ほぼ全ての結晶粒のア
スペクト比は2.0以下である。
ではなく、1個の合金粉末を構成する多数の結晶粒の個
々の結晶粒を意味する。また、アスペクト比とは、結晶
粒の最小粒径に対する最長粒径の比(最長粒径/最小粒
径)で定義される値である。さらに、熱間圧延による希
土類磁石はその結晶粒が偏平であり、結晶粒の形状が高
温水素熱処理した希土類磁石粉末のものと全く異なる。
レーサが使用できないため、本発明ではBrの測定方法
として次の方法を採用した。まず磁石粉末を74から1
05μmの粒径のものに分級して用いた。そして反磁場
が0.2になるように成形し、磁場中で配向後4578
kA/m(45KOe)で着磁し、VSMで測定してB
rを求めた。
法で水素処理されるRFeB系合金は、12〜15at
%のRと、5.5〜8at%のBと、不可避な不純物と
を含み、残りがFeからなる。Rが15at%を越える
とBrが低くなり、逆に12at%に達しないと初晶の
α−Feが残る。また、Bが8at%を越えるとBrが
低くなり、逆に5.5at%に達しないとNd2 Fe17
相等が析出する。Rとしては、Y、La、Ce、Pr、
Nd、Sm、Gd、Td、Dy、Ho、Er、Tm、L
uから選ばれる1種または2種以上が利用できる。中で
もコスト及び磁気特性の理由からNdを用いることが好
ましい。
配合することによって得られる磁石粉末の保磁力を向上
させる。このGaは結晶粒界のスムージング化を容易に
しiHcを上げるものと考えられる。また、Nbを0.
01〜0.6at%配合することによりより異方性を高
める事ができる。このNbはFe2Bの転写を確実にし
てBrを向上させるものと考えられる。
末は、その異方性(Br/Bs、ここでBsは1.6T
(16kG))が0.65以上である。その他の磁気特
性として、Brは1.2〜1.5T(12〜15k
G)、iHeは636〜1272kA/m(8.0〜1
6kOe)、(BH)maxは238〜358kJ/m
3(30〜45MGOe)の特性を持つ。本発明の異方
性磁石粉末の製造方法は、RFeB系合金に水素を吸蔵
させて水素と合金との反応を0.25〜0.50の相対
反応速度範囲内で進行させ、組織の順変態を起こさせ、
その後脱水素反応を進めて組織の逆変態を起こさせるも
のである。この製造に用いる原料の調製の方法は特に限
定されないが、高純度の希土類、鉄、ホウ素を、用い、
これらを所定量混合して溶解炉等で溶解し、これを鋳造
して合金のインゴットを作製し、これを原料とすること
ができる。さらに、このインゴットを粉砕して粉末状と
し、これを原料とすることもできる。
料中の組成分布の偏りが生じることもある。このような
組成分布の偏りが生じると、好ましくない。そこで、こ
れらの原料を均質化処理しておくことが望ましい。この
均質化処理により組成分布の偏りが生じるのを減少させ
ることができる。本発明のRFeB系合金に水素を吸蔵
させ、合金と水素の反応速度Vは V=V0・ (PH2/P)・exp(−Ea/RT) (ここで、Vo:頻度因子、PH2:水素ガス圧力(P
a)、Po:解離圧(Pa)、Ea:活性化エネルギー
(kJ/mol)、R:ガス定数(J/molK)、
T:温度(K)である。)で表される。この反応速度と
組織の変態速度とは比例していると考えられるので、組
織の変態速度をこの反応速度で評価することとした。
応温度が830℃、水素ガス圧力が0.1MPa(1a
tm)の時の反応速度VbをVb=1とする基準反応速
度とし、この基準反応速度に基づく相対反応速度Vrで
定義した。Vrは次の式で示すことができる。 Vr=
(1/0.576)・ PH2・exp(−Ea/R
T)また、組織の逆変態は830℃、水素ガス圧力が
0.001MPa(0.01atm)を基準反応速度と
した。逆変態反応の相対反応速度も同様に求めることが
できる。
ように組成に依存し195〜200kJ/molとな
る。なお、この活性化エネルギーEaはNdとH2とが
反応してNdH2となる生成熱を参考にして求めたもの
である。具体的に順変態反応の相対反応速度を反応温度
と水素ガス圧力で規定すると、相対反応速度の温度依存
性を示す図2、相対反応速度の圧力依存性を示す図3で
示される。
0.50の反応速度範囲内とするためには、反応温度は
780〜840℃の範囲が、水素圧力は0.01〜0.
06MPa(0.1〜0.6atm)の範囲が良い。な
お、ここで言う反応温度はRFeB系合金が水素を吸蔵
して順変態を起こす温度であり、反応炉の管理温度では
ないことに注意する必要がある。
起こす反応は発熱反応であり、順変態の開始により反応
温度が加速度的に高くなる。従って、実際の反応温度は
反応炉の管理温度と大きく異なる。また、水素吸蔵によ
り水素ガス圧が大きく変動することも考えられる。例え
ば、不活性ガスと水素ガスとの混合ガスを採用した場
合、水素が吸蔵され、順変態を起こすRFeB系合金の
周囲の水素ガス濃度が大きく低下することもあり得る。
異方性の高い磁石粉末とするためには、厳密な反応温度
管理および水素ガス圧力の管理を必要とする。
0の反応速度範囲外となる場合には、異方性が小さくな
る。なお、RFeB系合金よりなる磁石粉末は本来異方
性をもつものであり、完全な等方性とすることもまた極
めて困難である。ここでは異方性の定義として、異方性
Br/Bs(Bs=1.6T(Bs=16kG))とし
たとき、この値が0.5以下のものを完全等方性、0.
5を越え0.65未満のものを等方性、0.65以上の
ものを異方性と定義する。
0の反応速度範囲内でBr/Bs(Bs=1.6T(B
s=16kG))が0.65以上の異方性磁石粉末が得
られる。順変態の反応により、前に説明したように、N
dFeBの希土類合金を水素吸蔵させて順変態するとき
に、Nd2Fe14B1の結晶方位が順変態により生ず
ると考えられる多数の微細なFe2Bにより正確に転写
されるためであろうと考えている。順変態の相対反応速
度が0.25〜0.50の反応速度範囲外では、Fe2
Bへの転写が充分でなく、異方性が低くなる。発明者は
現状ではFe2Bへの転写が充分でない場合には、後の
工程で異方性を高めることは不可能であると考えてい
る。
相対反応速度を0.25〜0.50の相対反応速度範囲
内に管理することは通常の炉では不可能である。そのた
め新しい熱処理炉として、本発明者等は特願平8−20
6231号明細書に記載した反応時の発熱を相殺する吸
熱手段をもった炉を開発して使用した。この吸熱手段
は、水素吸蔵合金を管内に配置し、この管を炉内に入
れ、反応による発熱と逆に管内の水素ガス圧力を減圧
し、脱水素反応を進めて吸熱させ、反応による発熱を吸
収して相殺するものである。これにより炉の管理温度と
反応温度とをほぼ等しくできる。
で終わるが、工業的には反応時間は処理量に依存する。
順変態の終了後、順変態を起こした温度で少なくとも1
時間加熱処理を継続することにより得られる磁石粉末の
保磁力が向上する。これは順変態により生じた内部歪み
が緩和除去されることと関連していると考えている。内
部歪みが残存していると逆変態後に組織が不均一化して
保磁力が低下するものと考えている。
を起こさせる。この逆変態はFe2Bの結晶方位を生成
するNd2 Fe14B1 の結晶方位に転写するものであ
る。この逆変態時にFe2 Bの方位を転写するために
は、前記した順変態時の相対反応速度式と同じ相対反応
速度式の相対反応速度V r が0.1〜0.4の相対反応
速度範囲内で起こさせるのが好ましい。具体的にはこの
逆変態は、前記順変態の水素ガス圧力の1/10〜1/
100の水素ガス圧力に維持して行うことにより達成さ
れる。なお、逆変態は順変態とは反対の吸熱反応であ
り、逆変態の開始により反応温度が加速度的に低下す
る。従って、実際の反応温度を780〜840℃の範囲
に保つためには、順変態と同様の能力を持った炉が必要
である。
る。工業的には処理量に依存する。この逆変態終了後に
は逆変態の温度で少なくとも25分以上保持し、生成し
たNd2Fe14B1結晶を持つ希土類磁石粉末に含ま
れる水素を除去するのが好ましい。これにより保磁力が
向上する。解離した水素が合金内に残存していると保磁
力を著しく損なうためである。この後冷却し、本発明の
異方性磁石が得られる。冷却は少なくとも5℃/mi
n.の冷却速度で行うことが望ましい。
るインゴット状の希土類永久磁石は乳鉢等で容易に粉砕
することができる。また、粉末状の原料を用いた場合、
凝集等により固化することもあるが、乳鉢等で容易に粉
砕することができる。希土類永久ボンド磁石は、得られ
た希土類永久磁石粉末と、この磁石粉末のバインダーと
なる樹脂と、を用いて製造される。このとき樹脂として
はエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を用いることができ、
所定の着磁用の磁場のもとで、この樹脂と磁石粉末とを
混合して得られた混合物を加圧成形等により成形した
後、熱処理して樹脂を熱硬化し、異方性の希土類永久ボ
ンド磁石を形成することができる。
粉末は、Br/Bs(ここでBsは1.6T(16k
G))が0.65以上と極めて大きい異方性をもつ。ま
た、残留磁束密度および保磁力はそれぞれ1.2T(1
2kG)、636kA/m(8kOe)以上で磁気特性
に優れる。また、これらの磁石粉末を用いた異方性ボン
ド磁石は135kJ/m3(17MGOe)以上の高い
(BH)maxをもつ。
は高温水素熱処理の順変態反応の相対反応速度を所定速
度としたものである。これにより簡単に異方性の大きい
希土類磁石を容易に得ることができる。
りなる合金をボタンアーク溶解で溶製し、1140℃で
均質化終了を行い、その後表1に示す条件で水素処理を
行った。
少なくし石英管中に入れ、この石英管内の水素ガス圧を
管理できるように導管でガス圧制御装置に結んだ。加熱
炉としては赤外線加熱炉を使用した。温度測定には熱電
対を使用し、試料の温度と雰囲気の温度を測定し、これ
らの温度に基づいて炉を制御した。石英管の中に表1に
示す水素ガス圧を導入し、その状態で加熱し約60分間
で反応温度までした。そして反応の開始を試料の温度が
雰囲気の温度を越えると直ちに加熱を中止し、放熱によ
る冷却で雰囲気温度を下げ、反応による発熱を吸収し、
目的の反応温度+5℃以内に試料温度が保たれるように
した。試料量が15gと少なく、かつ、赤外線炉を使用
しているため石英管内の雰囲気温度は比較的容易に制御
できた。
a(0.2atm)で3時間加熱処理を行った。その後
逆変態相対速度0.26となるように石英管内の水素ガ
ス圧を放出して脱水素を図り、逆変態反応を進めた。こ
の脱水素による逆変態反応では、水素ガス圧を微妙に制
御し、温度が吸熱反応により下がり始めると、水素ガス
圧の減圧を止め、温度が所定温度に戻ると再び減圧を再
開するといった制御方法により行い、目的とする温度−
5℃の範囲で制御し、水素ガス吸蔵時の水素ガス圧の1
/100以下の0.0001MPa(0.001at
m)とした。
0分間後まで、所定温度の熱処理を続けた。このあと冷
却し、水素処理を終えた。これにより希土類磁石粉末を
製造した。得られた希土類磁石粉末の残留磁束密度を測
定し、異方化率を求めた。残留磁束密度、異方化率とと
もに順変態相対反応速度、処理温度および水素吸蔵時の
水素ガス圧を合わせて表1に示す。なお、アスペクト比
は、各結晶粒の最大直径および最小直径を電子顕微鏡で
測定し、25サンプルの平均値として求めた。 反応速度が0.25〜0.5の範囲では、いずれもNd
2Fe14Bの方位がFe2Bに転写され高い異方性が
得られるが、この範囲外の相対反応速度が早い場合、転
写がうまくいかず等方性の粉末しかえられない。一方、
反応速度が遅い場合は反応が不均一になり高いBsが得
られるもののNdFeBが残留してしまい高い保磁力
(iHc)が得られない。 実施例2. 主として実施例1のNo.1の水素吸蔵条件で水素吸蔵
させて合金組織の順変態を行ったものを表2に示す保持
温度、保持水素ガス圧力および保持時間で順変態後の加
熱処理を行った(なお、No.54については実施例1
のNo.52の水素吸蔵条件で水素吸蔵させて合金組織
の順変態を行った。)。その後逆変態相対速度0.26
となるように保持温度で水素ガス圧力を下げ、実施例1
と同様に脱水素による逆変態反応を起こさせ、その後実
施例1と同様に逆変態反応後の熱処理を820℃、真空
下で30分間保持し、その後冷却した。これにより表2
に示す希土類磁石粉末を製造した。
固有保磁力および(BH)maxを測定し、異方化率を
求めた。保磁力、異方化率とともに順変態相対反応速
度、保持時間、保持温度、保持圧力、残留磁束密度、異
方化率、固有保磁力および磁石粉末の(BH)maxを
合わせて表2に示す。 実施例1と同様にして順反応を終えたのち続けて保持温
度で及び圧力で熱処理し順変態に伴う歪みを緩和した
後、続けて脱水素(水素圧力0.0001MPa(0.
001atm))した結果は、実施例1同様高い異方性
が維持された。そして、60分以上保持することで、実
施例1と比較して保磁力が高くなる。一方短時間の保持
では異方性は失われないが、保磁力は低い。また、反応
速度が早いと、異方性は失われ、続けて保持、脱水素を
行っても異方性は回復しない。 実施例3. 主として実施例2のNo.7の水素吸蔵条件で水素吸蔵
させて合金組織の順変態を行いその後180分保持した
ものを、表3に示す試料温度、逆変態相対速度、逆変態
水素ガス圧力0.0001MPa(0.001atm)
で逆変態を行い、その後、820℃、真空下で30分加
熱処理を行い、その後急冷した(なお、No.56につ
いては実施例1のNo.52の水素吸蔵条件で水素吸蔵
させて合金組織の順変態を行った。)。これにより表3
に示す希土類磁石粉末を製造した。
固有保磁力および(BH)maxを測定し、異方化率を
求めた。保磁力、異方化率とともに順変態相対反応速
度、保持時間、逆変態相対速度、試料温度、残留磁束密
度、異方化率、固有保磁力および磁石粉末の(BH)m
axを合わせて表3に示す。 逆変態反応速度が0.1〜0.4の範囲では、転写され
た方位が、乱れることなくNd2Fe14Bに転写され
異方性が得られるが、No.55に見られるように、逆
変態反応速度がそれより早い場合には異方性が低くなり
高い特性が得られない。
の反応速度が早い場合には、その後の処理が良くても異
方性は得られない。 実施例4. 主に実施例3のNo.11と同様に順変態、熱処理およ
び逆変態を行ったものを表4に示す保持温度および保持
時間で加熱処理を行った。(なお、No.56について
は実施例3のNo.54の順変態、熱処理および逆変態
を行った。)これにより表4に示す希土類磁石粉末を製
造した。
化性樹脂としてフェノール樹脂を粉末磁石100gに対
して3g使用し、型内で圧縮成形してボンド磁石を得
た。また、成形時に2.0T(20kOe)の磁場を作
用させたものと、無磁場のものとの2種類のものを得
た。得られた希土類磁石粉末の残留磁束密度、固有保磁
力および(BH)maxを測定し、異方化率を求めた。
また、この磁石に含まれる残留水素を求めた。残留水素
の値は全体を100重量%としたときの重量%で示し
た。さらにボンド磁石の最大エネルギー積(BH)ma
xを測定した。
速度、保持時間、逆変態相対速度、逆変態後の保持温度
および保持時間の処理条件を表4に、測定された磁気特
性を表5に示す。 脱水素時間が25分以上保持することで、十分に水素が
抜け異方性が失われることなく、高い保磁力が得られる
ことがわかる。一方保持時間が早い場合は少し水素が残
り、高い保磁力は得られない。
高い保磁力は得られるものの、異方性は完全に消去さ
れ、等方性の粉末しか得られない。実施例5.Nd:1
2.5at%、B:6.2at%、残部Feよりなる合
金に表6に示す微量のGa,Nbを添加し、実施例1で
説明したのと同様にボタンアーク溶解で溶製し、114
0℃で均質化終了を行い、その後表6に示す条件で高温
水素熱処理を行った。その後実施例4と同様に磁気特性
を測定した。測定結果を表7に示す。 Ga添加は逆磁区の発生を抑えるための粒界のクリーニ
ング効果をもち高い保磁力が得られる。また、Nb添加
は、転写の効果を上げる働きをもつ。その結果Ga,N
bの量元素の微量添加で従来得られていない、350k
J/m 3 (44.0MGOe)の高い特性が得られる。
粉末は異方性(Br/Bs=1.6T(16KG))が
0.65以上である希土類磁石である。この異方性磁石
粉末を用いることにより高い(BH)maxをもつ異方
性ボンド磁石とすることができる。
度との関係を示す線図である。
度との関係を示す線図である。
応速度との関係を示す線図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 イットリウム(Y)を含む希土類元素
(以下、Rと称す)と、鉄(Fe)と、ホウ素(B)と
を主成分とするRFeB系合金に水素を吸蔵させて該R
FeB系合金と水素との反応を次の反応速度式に示す V r =(1/0.576)・√PH 2 ・exp(−Ea/RT) (ここで、V r :相対反応速度、PH 2 :水素ガス圧力
(atm)、Ea:活性化エネルギー(kJ/mo
l)、R:ガス定数(J/molK)、T:温度(K)
である。)で表される相対反応速度V r を 0.25〜
0.50の相対反応速度範囲内で進行させることにより
該RFeB系合金組織の順変態を起こさせ、その後脱水
素反応を進めて該RFeB系合金組織の逆変態を起こさ
せ、異方性が付与されたRFeB系合金磁石とすること
を特徴とする異方性磁石粉末の製造方法。 - 【請求項2】 前記順変態は、水素ガス圧力を0.01
〜0.06MPa(0.1〜0.6atm)に維持し、
前記RFeB系合金の温度を780〜840℃の所定温
度に保持して順変態反応を起こさせる請求項1記載の異
方性磁石粉末の製造方法。 - 【請求項3】 前記順変態は、前記順変態反応開始に伴
う発熱を冷却して奪うことにより反応温度の上昇を抑え
つつ進める請求項1記載の異方性磁石粉末の製造方法。 - 【請求項4】 前記順変態の終了後、該順変態を起こし
た温度で少なくとも1時間加熱処理を継続する請求項1
記載の異方性磁石粉末の製造方法。 - 【請求項5】 前記逆変態は、前記RFeB系合金と水
素との解離反応を前記反応速度式の前記相対反応速度V
r が0.1〜0.4の相対反応速度内で起こさせる請求
項2記載の異方性磁石粉末の製造方法。 - 【請求項6】前記逆変態は、該逆変態に伴う吸熱を加熱
して補うことにより前記相対反応速度の低下を抑えつつ
進める請求項5記載の異方性磁石粉末の製造方法。 - 【請求項7】前記逆変態は、前記順変態の水素ガス圧力
の1/10〜1/100の水素ガス圧力に維持しかつ7
80〜840℃の所定温度に25分以上保持し、前記R
FeB系合金に残留する水素を除去した後、冷却する請
求項1記載の異方性磁石粉末の製造方法。 - 【請求項8】 前記RFeB系合金は、12〜15at
%のRと、5.5〜8at%のBと、不可避な不純物と
を含み、残りがFeからなる請求項1記載の異方性磁石
粉末の製造方法。 - 【請求項9】 前記RFeB系合金は、0.01〜1.
0at%のGaと0.01〜0.6at%のNbの少な
くとも1種を含む請求項1記載の異方性磁石粉末の製造
方法。
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