JP3481653B2 - 永久磁石用異方性希土類合金粉末の製造方法 - Google Patents

永久磁石用異方性希土類合金粉末の製造方法

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JP3481653B2 JP18007293A JP18007293A JP3481653B2 JP 3481653 B2 JP3481653 B2 JP 3481653B2 JP 18007293 A JP18007293 A JP 18007293A JP 18007293 A JP18007293 A JP 18007293A JP 3481653 B2 JP3481653 B2 JP 3481653B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、各種モーター、アク
チュエーター等に用いることが可能な高保磁力を有する
R(希土類元素)−T(鉄属元素)−(M)−B系のボ
ンド磁石用および焼結磁石用異方性永久磁石粉末の製造
方法に係り、本系粗粉砕粉を特定昇温速度で昇温しH2
ガス中で加熱処理して4相の混合組織となし、さらに所
定雰囲気で加熱保持する脱H2処理を行い、結晶粒を1
μm以下の極微細結晶とした高保磁力を有するR−T−
(M)−B系永久磁石用異方性希土類合金粉末の製造方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】希土類系永久磁石粉末を水素処理法によ
り製造する方法は、例えば特開平1−132106号公
報に開示されている。すなわち、かかる水素処理法と
は、R−T−(M)−B系原料合金インゴットまたは粉
末を、H2ガス雰囲気またはH2ガスと不活性ガスの混合
雰囲気中で温度500℃〜1000℃に保持して上記合
金のインゴットまたは粉末にH2吸蔵させた後、H2ガス
圧力13Pa(1×10-1Torr)以下の真空雰囲気
またはH2ガス分圧13Pa(1×10-1Torr)以
下の不活性ガス雰囲気になるまで温度500℃〜100
0℃で脱H2処理し、ついで冷却することによりR−T
−(M)−B系合金磁石粉末を得る製造方法である。
【0003】上記手法で製造されたR−T−(M)−B
系合金磁石粉末は、大きな保磁力と磁気異方性を有す
る。これは上記処理によって、非常に微細な再結晶粒
径、実質的には0.1μm〜1μmの平均再結晶粒径を
持つ組織となり、磁気的には正方晶Nd2Fe14B系化
合物の単磁区臨界粒径に近い結晶粒径となっており、な
おかつこれらの極微細結晶がある程度結晶方位を揃えて
再結晶しているためである。
【0004】また、特開平2−4901号公報には水素
処理法による種々のヒートパターンが開示され、更にイ
ンゴットの均質化処理を付加することも提案されてお
り、例えば、インゴットを600℃〜1200℃で均質
化して合金粉末をH2中又はH2と不活性ガスの混合雰囲
気中で500℃〜1000℃に保持してH2を吸蔵さ
せ、その後500℃〜1000℃で真空脱気して、冷却
する方法が示されている。さらに、特開平3−1466
08号公報には、水素処理中の温度変化による特性変動
を小さくする手法として、蓄熱材とともに水素処理を行
う方法が提案されている。すなわち、水素処理法では、
処理過程において大きな反応熱を伴う化学反応が起こっ
ており、この反応熱による温度変化のために磁気特性の
にばらつきが生じる。そこで熱容量の大きな蓄熱材を用
いて反応熱による温度変化を最小限にしようというもの
である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記手法で
製造されたR−T−(M)−B系磁石用合金粉末の磁気
的性質は、特に磁気異方性については不充分であり、原
料合金そのものが本質的に有する磁気異方性に達してお
らず、磁気特性的には残留磁束密度Brが小さいという
欠点があった。これは粉末粒子中に多数存在する結晶粒
の磁化容易方向が特定の一方向に十分そろっておらず、
その結果、粉末粒子の平均残留磁束密度が小さくなるこ
とによる。また、原料処理量によって磁気特性、特に保
磁力が変化するという、量産に不向きな非常に重要な問
題を内在していた。上述した蓄熱材を用いて温度変化を
小さくする方法では実用上、原料処理量に対して大きな
設備を要したり、熱容量が大きいため加熱、冷却に多大
の時間とエネルギーを要するという問題が新に生じる。
しかも、水素処理法による磁気特性、特に保磁力の変動
の原因が単に水素化時の発熱反応による温度上昇や脱水
素時の吸熱反応による温度低下ではないため、蓄熱材を
用いても保磁力のばらつきや低下の問題は解消されな
い。
【0006】これらの諸問題は、例えば特開平2−49
01号公報では第1に、水素処理法によって得られる磁
性粉末が再結晶集合組織を有することを指摘しながら
も、再結晶組織に決定的な影響を与える前組織、すなわ
ち水素中熱処理による中間生成物の金属組織が最適化し
ておらず、第2には、その最適な中間生成物の組織を生
成させるための水素化条件を限定していないためであ
る。
【0007】その結果、開示されている方法によると水
素吸蔵後の中間生成物がR−H、T−B、T相の3相組
織になってしまい、これを真空排気により脱水素化して
も、実質的に等方性の組織となり、高い磁化は得られな
い。また、H2処理の昇温時のH2圧力を1気圧とし、8
30℃まで昇温し、5Torr〜850TorrのH2
圧力下で830℃で5時間保持した後、1×10-5To
rrに排気してAr中で急冷した試料が磁気的に異方性
となることが開示されているが、製造されたボンド磁石
のBrは磁界中成形品で5.1kG〜7.2kGであ
り、磁性粉末100%に換算すると6.3kG〜9.0
kG(0.63T〜0.90T)である。この値は異方
性化が完全になった場合の値(約1.2T〜1.5T)
に比較し、十分高くなく異方性が完全とはいえない。
【0008】この発明は、R−T−(M)−B系永久磁
石用希土類合金粉末を水素処理法により製造する方法に
おいて、原料合金そのものが本質的に有する磁気異方性
を完全に達成し、極微細結晶で高保磁力を発揮するR−
T−(M)−B系永久磁石用異方性希土類合金粉末を量
産性よく得ることができる製造方法の提供を目的として
いる。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記残留磁
束密度Brを大きくするため、原料組成および処理条件
の金属組織的検討を行った結果、水素化の条件を工夫す
ることで大きな異方性が得られることを見い出したもの
である。すなわち、発明者らは、水素処理法にてR−T
−(M)−B系永久磁石用希土類合金粉末を得る際に磁
性粉末を完全に異方性化する方法を目的に原料組成およ
び処理条件の金属組織的検討を種々行った結果、水素化
によって得られる中間生成物がR214B相を含有し、
その外にR−H、T−B化合物、T相が存在することが
高い残留磁化を得るための必須条件であること、そし
て、その中間生成物を生成させるための条件は、水素化
時に特定の温度領域を、充分速やかに通過させることが
必要であることを知見し、この発明を完成した。さら
に、脱水素処理時の水素分圧をR水素化物の平衡水素解
離圧、例えばNdH2では850℃で1kPaより大き
く下げることなく、平衡水素解離圧近傍で徐々に脱水素
反応を起こさせることで、核生成量、核成長速度を適正
化することにより、原料処理量にかかわらず高保磁力を
得ることができることを知見し、この発明を完成した。
【0010】 すなわち、この発明は、R:10〜20
at%(R:Yを含む希土類元素の少なくとも1種で、
かつPrまたはNdの1種または2種をRのうち50a
t%以上含有)、T:67〜85at%(T:Feまた
はFeの一部を50at%以下のCoで置換)、B:4
〜10at%である合金鋳塊を粗粉砕して、平均粒度が
50〜5000μmの少なくとも80vol%以上が正
方晶構造NdFe14B型化合物からなる粗粉砕粉と
なした後、前記粗粉砕粉を原料粉末としてこれを10k
Pa〜1000kPaのHガス中で、600℃〜75
0℃温度域を昇温速度10℃/min〜200℃/m
inで昇温し、さらに750℃〜900℃に15分〜8
時間加熱保持し、組織をR水素化物、T―B化合物、T
相、R14B化合物の少なくとも4相の混合組織と
した後、さらにArガス又はHeガスによる絶対圧10
0Pa〜50kPaの減圧気流中にて700℃〜900
℃に5分〜8時間保持する脱H処理を行い、ついで冷
却して平均結晶粒径が0.05μm〜1μmである磁気
的に異方性を有する合金粉末を得ることを特徴とする永
久磁石用希土類合金粉末の製造方法である。
【0011】 また、この発明は、R:10〜20at
%(R:Yを含む希土類元素の少なくとも1種で、かつ
PrまたはNdの1種または2種をRのうち50at%
以上含有)、T:67〜85at%(T:FeまたはF
eの一部を50at%以下のCoで置換)、M:10a
t%以下(M:Al、Ti、V、Cr、Ni、Ga、Z
r、Nb、Mo、In、Sn、Hf、Ta、Wのうち1
種または2種以上)、B:4〜10at%である合金鋳
塊を粗粉砕して平均粒度が50μm〜5000μmの少
なくとも80vol%以上が正方晶構造NdFe14
B型化合物からなる粗粉砕粉となした後、前記粗粉砕粉
を原料粉末としてこれを10kPa〜1000kPaの
ガス中で、600℃〜750℃温度域を昇温速度
10℃/min〜200℃/minで昇温し、さらに7
50℃〜900℃に15分〜8時間加熱保持し、組織を
R水素化物、T―B化合物、T相、R14B化合物
の少なくとも4相の混合組織とした後、さらにArガス
又はHeガスによる絶対圧100Pa〜50kPaの減
圧気流中にて700℃〜900℃に5分〜8時間保持す
る脱H処理を行い、ついで冷却して平均結晶粒径が
0.05μm〜1μmである磁気的に異方性を有する合
金粉末を得ることを特徴とする永久磁石用希土類合金粉
末の製造方法である。
【0012】組成の限定理由 この発明に使用する原料合金に用いるRすなわち希土類
元素は、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、T
b、Dy、Ho、Er、Tm、Luが包括され、このう
ち少なくとも1種以上で、Pr、Ndのうち少なくとも
1種または2種をRのうち50at%以上含有し、さら
にRの全てがPr、Ndのうち1種または2種の場合が
ある。Rの50at%以上をPr、Ndのうち少なくと
も1種以上とするのは、50at%未満では充分な磁化
が得られないためである。Rは、10at%未満ではα
Fe相の析出により保磁力が低下し、また20at%を
超えると、目的とする正方晶Nd2Fe14B型化合物以
外に、Rリッチの第2相が多く析出し、この第2相が多
すぎると合金の磁化を低下させる。従ってRの範囲は1
0〜20at%とする。
【0013】Tは鉄属元素であって、Fe、Coを包含
する。Tが67at%未満では低保磁力、低磁化の第2
相が析出して磁気的特性が低下し、また85at%を超
えるとαFe相の析出により保磁力、角型性が低下する
ため、Tは67〜85at%とする。また、Feのみで
も必要な磁気的性質は得られるが、Coの適量の添加
は、キュリー温度の向上に有用であり、Coは必要に応
じて添加できる。FeとCoの原子比においてFeが5
0%以下となるとNd2Fe14B型化合物の飽和磁化そ
のものの減少量が大きくなってしまうため、Tのうち原
子比でFeを50%以上とした。
【0014】添加元素Mの効果は、水素化時に母相の分
解反応を完全に終了させずに、母相すなわちR214
相を安定化して故意に残存させるのに有効な元素が望ま
れる。特に顕著な効果を持つものとして、Ni、Ga、
Zr、Hfがある。また、Mのうち、Al、Ni、G
a、Zr、In、Sn、Hfは、脱H2処理時の再結晶
粒を0.1μm〜1μmのサイズにまで成長させ、粉末
に磁気異方性を付与するのに有用な元素である。Ti、
V、Cr、Nb、Mo、Ta、Wは、脱H2処理時の再
結晶粒が、1μm以上に粗大化するのを防止し、結果と
して保磁力が低下するのを抑制する効果を有する。従っ
て、Mとしては、上記の元素を目的に応じて組み合わせ
て用いることが得策である。添加量は、全く加えなくて
もよいが、添加する場合は10at%を超えると強磁性
でない第2相が析出して磁化を低下させることから、M
は10at%以下とした。
【0015】Bについては、正方晶Nd2Fe14B型結
晶構造を安定して析出させるためには必須である。添加
量は、4at%以下ではR217相が析出して保磁力を
低下させ、また減磁曲線の角型性が著しく損なわれる。
また、10at%を超えて添加した場合は、磁化の小さ
い第2相が析出して粉末の磁化を低下させる。従って、
Bは、4〜10at%とした。
【0016】この発明において、粗粉砕粉の80vol
%以上が正方晶Nd2Fe14B型化合物としたのは、該
化合物が80vol%未満であると磁気特性が低下す
る。より具体的には、混在する第2相がαFe相の場合
は保磁力を低下させ、Rリッチ相やBリッチ相の場合に
は磁化が低下するため、正方晶Nd2Fe14B型化合物
の存在比を80vol%以上とした。体積比で80%以
上の正方晶Nd2Fe14B型化合物を有する粗粉砕を得
るためには、合金の鋳塊を900℃〜1200℃の温度
で1時間以上焼鈍するか、造塊工程で鋳型の冷却速度を
制御するなど、適宜選定すれば良い。
【0017】製造条件の限定理由 水素処理法とは、所要粒度の粗粉砕粉が外観上その大き
さを変化させることなく、極微細結晶組織の集合体が得
られることを特徴とする。すなわち、正方晶Nd2Fe14B型
化合物に対し、高温、実際上は600℃〜900℃の温度範囲
でH2ガスと反応させると、RH23、αFe、Fe2Bなどに相
分離し、さらに同温度域でH2ガスを脱H2処理により除去
すると、再度正方晶Nd2Fe14B型化合物の再結晶組織が得
られる。しかしながら、現実には、水素化処理条件によ
って分解生成物の結晶粒径、反応の度合いが異なり、水
素化状態の金属組織は、水素化温度750℃未満と750℃以
上で明らかに異なる。この金属組織上の違いが、脱水素
処理を行った後の磁粉の磁気的性質に大きく影響する。
さらに、脱水素化処理条件によって、正方晶Nd2Fe14B型
化合物の再結晶状態が大きく影響を受け、水素処理法に
よって作成した磁性粉の磁気的性質、特に保磁力に大き
く影響する。
【0018】出発原料の粗粉砕法は、従来の機械的粉砕
法やガスアトマイズ法の他、H2吸蔵による、いわゆる
水素粉砕法を用いてもよく、工程の簡略化のためにこの
水素粉砕による粗粉砕工程と、極微細結晶を得るための
水素処理法を同一装置内で連続して行っても良い。
【0019】この発明において、粗粉砕粉の平均粒度を
50μm〜5000μmに限定したのは、50μm未満
では粉末の酸化による磁性劣化の恐れがあり、また50
00μmを超えると水素処理によって大きな磁気異方性
を持たせることが困難となるからである。
【0020】この発明において、H2ガス中での加熱に際
し、H2ガス圧力が10kPa未満では前述の分解反応が充分
に進行せず、また1000kPaを超えると処理設備が大きく
なりすぎ、工業的にコスト面、また安全面で好ましくな
いため、圧力範囲を10kPa〜1000kPaとした。さらに好ま
しい圧力範囲は50kPa〜150kPaである。
【0021】H2ガス中での加熱処理温度は、600℃未満
ではRH23、αFe、Fe2Bなどへの分解反応が起こらな
い。また、600℃〜750℃の温度範囲では分解反応がほぼ
完全に進行してしまい、分解生成物中に適量のR2T14B相
が残存せず、脱水素処理後に磁気的、また結晶方位的に
充分な異方性が得られない。また900℃を超えるとRH
23が不安定となりかつ生成物が粒成長して正方晶Nd
2Fe14B型化合物極微細結晶組織を得ることが困難にな
る。水素化の温度範囲が750℃〜900℃の領域であれば、
脱水素時の再結晶反応の核となるR2T14B相が分散して適
量残存するため、脱水素後のR2T14B相の結晶方位が残存
R2T14B相によって決定され、結果的に再結晶組織の結晶
方位が原料インゴットの結晶方位と一致し、少なくとも
原料インゴットの結晶粒径の範囲内では大きな異方性を
示すことになる。従って、水素化処理の温度範囲を750
℃〜900℃とする。また、加熱処理時の保持時間につい
ては、上記の分解反応を充分に行わせるためには15分以
上必要であり、また、8時間を越えると残存R2T14B相が
減少するため、脱水素後の異方性が低下するので好まし
くない、よって、15分〜8時間の加熱保持とする。
【0022】 Hガス中での昇温速度を所定範囲に保
持することはこの発明において最も重要な工程である。
すなわち、昇温速度が10℃/mi未満であると、昇
温過程で600℃〜750℃の温度域を分解反応が進行
しながら通過するために、完全に分解して母相すなわち
14B相が残存せず、脱水素処理後の磁気的及び
結晶方位的異方性がほとんど失われてしまう。また、多
量に処理を行う場合は、大きな反応熱のために局部的に
最適処理温度範囲を超える場合があり、そのために実用
的な保磁力が得られない場合がある。昇温速度を10℃
/min以上にすれば、600℃〜750℃の領域で反
応が充分に進行せず、母相を残存したまま750℃〜9
00℃の水素化温度域に達するため、脱水素処理後に磁
気的および結晶方位的に大きな異方性を持った粉末を得
る事ができる。また、750℃〜900℃の温度域にお
ける分解反応時の反応熱による温度上昇は小さく、多量
処理時でも実用的な保磁力が得易い。従って、昇温速度
は、750℃以下の温度域において、10℃/min以
上とする必要がある。また、200℃/minを越える
昇温速度は、赤外線加熱炉等を用いても実質的に実現困
難であり、また可能であっても設備費が過大となるので
好ましくない、よって、昇温速度を10℃/min〜2
00℃/minとする。
【0023】 この発明の脱H処理は、Arガス又は
Heガスの減圧気流中にて行うが、これによって原料の
周囲の実質的なH分圧をR水素化物の平衡水素解離
圧、例えばNdHでは850℃で1kPa程度とな
り、脱H反応は徐々に進行する。雰囲気をArガス又
はHeガスに限定したのは、コスト面でArガスが使い
よく、またHガスの置換性や温度制御の点からHeガ
スが使いよいことによる。さらに、不活性ガスとして一
般的なNガスは希土類系化合物と反応して窒化物を形
成するため不適当であり、また他の希ガスでは性能上の
メリットがなくコストの面でも不利である。この発明の
脱H処理時の雰囲気の絶対圧は、100Pa未満では
脱H反応が急激に起こり、化学反応による温度が大き
く低下し、さらに脱H反応が急激すぎるために冷却後
の磁性粉の組織に粗大な結晶粒が混在して保磁力が大き
く低下するため好ましくなく、また50kPaを超える
と脱H反応に時間がかかりすぎて実用上問題となるた
め、絶対圧100Pa〜50kPaの範囲とする。ま
た、脱H処理を減圧気流中で行うのは脱H反応によ
って、原料から放出されるHガスよって、炉内圧力が
上昇するのを防止するためである。実用上は、一方から
不活性ガスを導入しながら、他方から真空ポンプで排気
し、圧力の制御は、供給口、排気口のそれぞれに取り付
けられた流量調整弁を用いて行うとよい。
【0024】この発明において、脱H2処理の温度が700
℃未満では、RH23相からのH2の離脱が起こらないか、
正方晶Nd2Fe14B型化合物の再結晶が充分進行しない。ま
た、900℃を超えると正方晶Nd2Fe14B型化合物は生成す
るが、再結晶粒が粗大に成長し、高い保磁力が得られな
い。そのため、脱H2処理の温度範囲は700℃〜900℃とす
る。
【0025】また、加熱処理保持時間は、処理設備の排
気能力にもよるが、上記の再結晶反応を充分に行わせる
ことも重要であり、少なくとも5分以上保持する必要が
あるが、2次的な再結晶反応によって結晶が粗大化すれ
ば保磁力の低下を招くので、できる限り短時間の方が好
ましい。そのため、5分〜8時間の加熱保持で充分であ
る。脱H2処理は、原料の酸化防止の観点から、また処
理設備の熱効率の観点で、水素化処理に引き続いて行う
のがよいが、水素化処理後、一旦原料を冷却して、再び
改めて脱H2のための熱処理を行っても良い。
【0026】脱H2処理後の正方晶Nd2Fe14B型化合
物の再結晶粒径は実質的に0.05μm以下の平均再結
晶粒径を得ることは困難であり、またたとえ得られたと
しても磁気特性上の利点がない。一方、平均再結晶粒径
が1μmを超えると、粉末の保磁力が低下するため好ま
しくない。そのため、平均再結晶粒径を0.05μm〜
1μmとした。
【0027】
【作用】この発明は、R−T−(M)−B系永久磁石用
希土類合金粉末を水素処理法により製造する方法におい
て、水素化時に特定の温度領域を十分、速やかに通過さ
せて、R水素化物、T−B化合物、T相、R214B化
合物の少なくとも4相の混合組織とすることにより、原
料合金そのものが本質的に有する磁気異方性を完全に達
成し、さらにArガス又はHeガスによる絶対圧100
Pa〜50kPaの減圧気流中で加熱保持する脱H2
理を行い、極微細結晶で高保磁力を発揮するR−T−
(M)−B系永久磁石用異方性希土類合金粉末を処理量
にかかわらず量産性よく得ることができる。
【0028】
【実施例】実施例1 高周波誘導溶解法によって溶製して得られた表1に示すN
o.1〜12の組成の鋳塊を、1100℃、24時間、Ar雰囲気中
で焼鈍して、鋳塊中の正方晶Nd2Fe14B型化合物の体積比
を90%以上とした。この鋳塊を、Arガス雰囲気中(O2量0.
5%以下)でスタンプミルにて平均粒度500μmに粗粉砕し
た後、この粗粉砕粉を管状炉に入れ、1Pa以下にまで真
空排気した。真空排気には、ロータリーポンプおよび油
拡散ポンプを用いた。その後、純度99.9999%以上のH2
スを導入しつつ、表2に示す水素化処理条件で水素化処
理を行った。こうして得た水素化原料を、引き続き表2
に示す脱水素処理条件に従って脱水素処理を行った。ま
た、冷却は脱水素処理時に使用した雰囲気ガスの吹きつ
けで行った。冷却後、原料温度が50℃以下となったとこ
ろで原料を取り出した。このときの磁性粉末(No.1〜20)
の磁気特性を表2に示す。表2において、Isの値は、Hex=
0.8MA/mの時の磁化を示す
【0029】実施例2 実施例1で用いたNo.12の原料粉を用いて、磁気的性質の
処理量依存性を調査した。原料粒度は500μmで、水素化
処理は水素圧100kPa、昇温速度15℃/分として850℃で2
時間、脱水素処理はArガスによる10kPaの減圧気流中で8
40℃で2時間保持、冷却条件はArガス吹付冷却に条件を
固定し、処理量を2gから2kgまで変化させ、そのときの
磁性粉末の残留磁化Br、保磁力Hcj、磁化容易方向およ
び困難方向の磁化Isを処理量に対してグラフ化し、図1
に示す。なお、処理量の2kgは実験装置の制約によるも
のであり、この発明の適用上限を示すものではない。な
お、磁化は、外部磁界0.8MA/mでの値としてあり、磁化
容易方向と困難方向の値の差が大きいほど磁気的な異方
性が大きいことを示している。
【0030】比較例 表1に示す実施例と同様の組成を有する12種類の組成
の粗粉砕粉について、この粗粉砕粉を管状炉に入れ、1
Pa以下にまで真空排気した。その後、純度99.99
99%以上のH2ガスを導入しつつ、表3に示す処理条
件で水素化処理および脱水素処理を行った。ここに示し
た脱水素処理時の水素分圧または処理温度がこの発明の
範囲外である。このときの磁性粉末(No.21〜3
7)の磁気特性を表3に示す。
【0031】
【表1】
【0032】
【表2】
【0033】
【表3】
【0034】
【発明の効果】この発明によるR―T―(M)―B系永
久磁石用異方性希土類合金粉末の製造方法は、R―T―
(M)―B合金の粗粉砕粉を、水素ガス雰囲気中で昇温
速度10℃/min〜200℃/minの昇温速度で7
50℃以上の温度域まで昇温し、さらに750℃〜90
0℃で水素中の熱処理を行うことにより、再結晶時の結
晶方位を決める核としてのR14B相を適量残存さ
せることができ、引き続きArガス又はHeガスによる
絶対圧100Pa〜50kPaの減圧気流中にて700
℃〜900℃の脱水素熱処理を行って冷却することによ
り、高い保磁力と大きな磁気異方性を同時に有する、ボ
ンド磁石および焼磁石原料として最適なR―T―
(M)―B系永久磁石用異方性希土類合金粉末を安定し
て得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】磁性粉末の保磁力、磁化容易方向および困難方
向の磁化の変化を処理量に対して表したグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 広沢 哲 大阪府三島郡島本町江川2丁目15ー17 住友特殊金属株式会社 山崎製作所内 (72)発明者 富田 俊郎 大阪府大阪市中央区北浜4丁目5番33号 住友金属工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−156320(JP,A) 特開 平2−4901(JP,A) 特開 平4−133407(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C22C 38/00 - 38/60 B22F 9/00 - 9/30 H01F 1/00 - 1/117

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 R:10〜20at%(R:Yを含む希
    土類元素の少なくとも1種で、かつPrまたはNdの1
    種または2種をRのうち50at%以上含有)、T:6
    7〜85at%(T:FeまたはFeの一部を50at
    %以下のCoで置換)、B:4〜10at%である合金
    鋳塊を粗粉砕して、平均粒度が50μm〜5000μm
    の少なくとも80vol%以上が正方晶構造NdFe
    14B型化合物からなる粗粉砕粉となした後、前記粗粉
    砕粉を原料粉末としてこれを10kPa〜1000kP
    aのHガス中で、600℃〜750℃温度域を昇温
    速度10℃/min〜200℃/minで昇温し、さら
    に750℃〜900℃に15分〜8時間加熱保持し、組
    織をR水素化物、T―B化合物、T相、R14B化
    合物の少なくとも4相の混合組織とした後、さらにAr
    ガス又はHeガスによる絶対圧100Pa〜50kPa
    の減圧気流中にて700℃〜900℃に5分〜8時間保
    持する脱H処理を行い、ついで冷却して平均結晶粒径
    が0.05μm〜1μmである磁気的に異方性を有する
    合金粉末を得ることを特徴とする永久磁石用希土類合金
    粉末の製造方法。
  2. 【請求項2】 R:10〜20at%(R:Yを含む希
    土類元素の少なくとも1種で、かつPrまたはNdの1
    種または2種をRのうち50at%以上含有)、T:6
    7〜85at%(T:FeまたはFeの一部を50at
    %以下のCoで置換)、M:10at%以下(M:A
    l、Ti、V、Cr、Ni、Ga、Zr、Nb、Mo、
    In、Sn、Hf、Ta、Wのうち1種または2種以
    上)、B:4〜10at%である合金鋳塊を粗粉砕して
    平均粒度が50μm〜5000μmの少なくとも80v
    ol%以上が正方晶構造NdFe14B型化合物から
    なる粗粉砕粉となした後、前記粗粉砕粉を原料粉末とし
    てこれを10kPa〜1000kPaのHガス中で、
    600℃〜750℃温度域を昇温速度10℃/min
    〜200℃/minで昇温し、さらに750℃〜900
    ℃に15分〜8時間加熱保持し、組織をR水素化物、T
    ―B化合物、T相、R14B化合物の少なくとも4
    相の混合組織とした後、さらにArガス又はHeガスに
    よる絶対圧100Pa〜50kPaの減圧気流中にて7
    00℃〜900℃に5分〜8時間保持する脱H処理を
    行い、ついで冷却して平均結晶粒径が0.05μm〜1
    μmである磁気的に異方性を有する合金粉末を得ること
    を特徴とする永久磁石用希土類合金粉末の製造方法。
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