JP2022062199A - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 426
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 107
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 450
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 309
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 70
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 82
- 239000010408 film Substances 0.000 description 62
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 57
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 50
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 42
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 39
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 39
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 39
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 38
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 37
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 35
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 34
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 33
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 29
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 26
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 19
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 19
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 18
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 238000002173 high-resolution transmission electron microscopy Methods 0.000 description 17
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 16
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 12
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 11
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 11
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 9
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 7
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 7
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 description 6
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 6
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 6
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 5
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 5
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 5
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- -1 xenone Substances 0.000 description 5
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 5
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 4
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 201000003373 familial cold autoinflammatory syndrome 3 Diseases 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 3
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FTWRSWRBSVXQPI-UHFFFAOYSA-N alumanylidynearsane;gallanylidynearsane Chemical compound [As]#[Al].[As]#[Ga] FTWRSWRBSVXQPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000002524 electron diffraction data Methods 0.000 description 2
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 2
- 239000005262 ferroelectric liquid crystals (FLCs) Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 2
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 2
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 description 1
- VUFNLQXQSDUXKB-DOFZRALJSA-N 2-[4-[4-[bis(2-chloroethyl)amino]phenyl]butanoyloxy]ethyl (5z,8z,11z,14z)-icosa-5,8,11,14-tetraenoate Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCC(=O)OCCOC(=O)CCCC1=CC=C(N(CCCl)CCCl)C=C1 VUFNLQXQSDUXKB-DOFZRALJSA-N 0.000 description 1
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000002925 A-like Anatomy 0.000 description 1
- 229910000925 Cd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005555 GaZnO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 101001106432 Homo sapiens Rod outer segment membrane protein 1 Proteins 0.000 description 1
- 101000800735 Mycolicibacterium fortuitum Putative 3-methyladenine DNA glycosylase Proteins 0.000 description 1
- 102100021424 Rod outer segment membrane protein 1 Human genes 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000370 acceptor Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
- GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N azanylidynemolybdenum Chemical compound [Mo]#N GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- CEKJAYFBQARQNG-UHFFFAOYSA-N cadmium zinc Chemical compound [Zn].[Cd] CEKJAYFBQARQNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052800 carbon group element Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZZNJYQZJKSEER-UHFFFAOYSA-N gallium tin Chemical compound [Ga].[Sn] YZZNJYQZJKSEER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- QKEOZZYXWAIQFO-UHFFFAOYSA-M mercury(1+);iodide Chemical compound [Hg]I QKEOZZYXWAIQFO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N oxotin;zinc Chemical compound [Zn].[Sn]=O KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
に関する。または、本発明は、例えば、酸化物、表示装置、発光装置、照明装置、蓄電装
置、記憶装置、プロセッサ、撮像装置、電子機器に関する。または、酸化物、表示装置、
液晶表示装置、発光装置、記憶装置、プロセッサ、撮像装置、電子機器の製造方法に関す
る。または、半導体装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、記憶装置、プロセッサ、
撮像装置、電子機器の駆動方法に関する。
一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明
の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・
オブ・マター)に関するものである。
全般を指す。表示装置、発光装置、照明装置、電気光学装置、半導体回路および電子機器
は、半導体装置を有する場合がある。
る。当該トランジスタは集積回路や表示装置のような半導体装置に広く応用されている。
トランジスタに適用可能な半導体としてシリコンが知られている。
リコンとが使い分けられている。例えば、大型の表示装置を構成するトランジスタに適用
する場合、大面積基板への成膜技術が確立されている非晶質シリコンを用いると好適であ
る。一方、駆動回路を一体形成した高機能の表示装置を構成するトランジスタに適用する
場合、高い電界効果移動度を有するトランジスタを作製可能な多結晶シリコンを用いると
好適である。多結晶シリコンは、非晶質シリコンに対し高温での熱処理、またはレーザ光
処理を行うことで形成する方法が知られる。
開発が活発化している。
へ利用することが開示されている(特許文献1参照。)。また、1995年には、酸化物
半導体を用いたトランジスタが発明されており、その電気特性が開示されている(特許文
献2参照。)。
。酸化物半導体は、スパッタリング法などを用いて成膜できるため、大型の表示装置を構
成するトランジスタの半導体に用いることができる。また、酸化物半導体を用いたトラン
ジスタは、高い電界効果移動度を有するため、駆動回路を一体形成した高機能の表示装置
を実現できる。また、非晶質シリコンを用いたトランジスタの生産設備の一部を改良して
利用することが可能であるため、設備投資を抑えられるメリットもある。
さいことが知られている。例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタのリーク電流が低
いという特性を応用した低消費電力のCPUなどが開示されている(特許文献4参照。)
。また、酸化物半導体からなる活性層で井戸型ポテンシャルを構成することにより、高い
電界効果移動度を有するトランジスタが得られることが開示されている(特許文献5参照
。)。
スタのチャネル長(L)の縮小に起因する電気特性の劣化である。短チャネル効果の一つ
には、ドレインの電界がソースにまでおよぶことに起因するものがある。短チャネル効果
によって、ノーマリーオン化、サブスレッショルドスイング値(S値ともいう。)の増大
、リーク電流の増大などが起こる。
とする。または、低消費電力の半導体装置を提供することを課題の一とする。または、本
発明の一態様は、微細化及び高集積化が可能であり、安定した電気特性を有するトランジ
スタを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、寄生容量の小さいト
ランジスタを提供することを課題の一とする。
、非導通時のリーク電流の小さいトランジスタを提供することを課題の一とする。または
、オン電流の大きいトランジスタを提供することを課題の一とする。または、ノーマリー
オフの電気特性を有するトランジスタを提供することを課題の一とする。または、サブス
レッショルドスイング値の小さいトランジスタを提供することを課題の一とする。または
、信頼性の高いトランジスタを提供することを課題の一とする。
性化を達成することを課題の一とする。または、トランジスタのチャネル層に、酸素を供
給しやすい半導体装置を提供することを課題の一とする。または、新規な半導体装置を提
供することを課題の一とする。なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるも
のではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はない。なお
、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるもの
であり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能
である。
は第1の領域と、第2の領域と、を有し、第1の領域となる酸化物半導体の四方は、絶縁
体を介して、導電体で囲まれていることを特徴とする。
を有し、酸化物半導体は第1の領域と、第2の領域と、を有し、第2の領域は第1の領域
よりも低抵抗であり、第1の領域となる酸化物半導体の四方は、第1の絶縁体および第2
の絶縁体を介して、導電体で囲まれていることを特徴とする。
る。
は、第1の領域と、第2の領域と、第1の領域と第2の領域との間に第3の領域を有し、
第3の領域となる酸化物半導体の四方は、絶縁体を介して、導電体で囲まれていることを
特徴とする。
、を有し、酸化物半導体は、第1の領域と、第2の領域と、第1の領域と第2の領域との
間に第3の領域を有し、第3の領域となる酸化物半導体の四方は、第1の絶縁体および第
2の絶縁体を介して、導電体で囲まれていることを特徴とする。
ことを特徴とする。
の領域はソース領域及びドレイン領域の他方として機能することを特徴とする。
とを特徴とする。
、低消費電力化が可能となる。また、微細な構造であっても、高く安定した電気特性を有
するトランジスタを提供することができる。さらに、チャネル長の制御が容易であり、微
細化した場合でも短チャネル効果を抑制することができる。そのため、トランジスタの集
積度を高められることであらゆる小型電子機器のさらなる小型化が実現可能となる。
時のリーク電流の小さいトランジスタを提供することができる。または、オン電流の大き
いトランジスタを提供することができる。または、ノーマリーオフの電気特性を有するト
ランジスタを提供することができる。または、サブスレッショルドスイング値の小さいト
ランジスタを提供することができる。または、信頼性の高いトランジスタを提供すること
ができる。
性化を達成することができる。または、新規な半導体装置などを提供することが出来る。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一
態様は、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、
図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項な
どの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
る態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及
び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、
以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお図面は、理想的な例を模
式的に示したものであり、図面に示す形状又は値などに限定されない。また、図面におい
て、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い
、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを
同じくし、特に符号を付さない場合がある。
あり、工程順又は積層順を示すものではない。そのため、例えば、「第1の」を「第2の
」又は「第3の」などと適宜置き換えて説明することができる。また、本明細書等に記載
されている序数詞と、本発明の一態様を特定するために用いられる序数詞は一致しない場
合がある。
関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関係
は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。従って、明細書で説明した
語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
置全般を指す。トランジスタなどの半導体素子をはじめ、半導体回路、演算装置、記憶装
置は、半導体装置の一態様である。撮像装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、電気
光学装置、発電装置(薄膜太陽電池、有機薄膜太陽電池等を含む)、及び電子機器は、半
導体装置を有する場合がある。
少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン(ドレイン端子、ドレイン
領域またはドレイン電極)とソース(ソース端子、ソース領域またはソース電極)の間に
チャネル領域を有しており、ドレインとチャネル領域とソースとを介して電流を流すこと
ができるものである。なお、本明細書等において、チャネル領域とは、電流が主として流
れる領域をいう。
作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細
書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする
。
の含有量が多いものであって、好ましくは酸素が55原子%以上65原子%以下、窒素が
1原子%以上20原子%以下、シリコンが25原子%以上35原子%以下、水素が0.1
原子%以上10原子%以下の濃度範囲で含まれるものをいう。また、窒化酸化シリコン膜
とは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多いものであって、好ましくは窒素が
55原子%以上65原子%以下、酸素が1原子%以上20原子%以下、シリコンが25原
子%以上35原子%以下、水素が0.1原子%以上10原子%以下の濃度範囲で含まれる
ものをいう。
えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更
することが可能な場合がある。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」と
いう用語に変更することが可能な場合がある。
で配置されている状態をいう。したがって、-5°以上5°以下の場合も含まれる。また
、「略平行」とは、二つの直線が-30°以上30°以下の角度で配置されている状態を
いう。また、「垂直」とは、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されてい
る状態をいう。したがって、85°以上95°以下の場合も含まれる。また、「略垂直」
とは、二つの直線が60°以上120°以下の角度で配置されている状態をいう。
合は、XとYとが電気的に接続されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場
合と、XとYとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする
。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず
、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に記載されているものと
する。
、など)であるとする。
とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイ
オード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に接続されていない場合であ
り、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量
素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など)を介さずに
、XとYとが、接続されている場合である。
とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイ
オード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが
可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイ
ッチは、導通状態(オン状態)、または、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか
流さないかを制御する機能を有している。または、スイッチは、電流を流す経路を選択し
て切り替える機能を有している。なお、XとYとが電気的に接続されている場合は、Xと
Yとが直接的に接続されている場合を含むものとする。
とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変
換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電
源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など)
、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅または電流量などを大きく出来る
回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成
回路、記憶回路、制御回路など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能であ
る。なお、一例として、XとYとの間に別の回路を挟んでいても、Xから出力された信号
がYへ伝達される場合は、XとYとは機能的に接続されているものとする。なお、XとY
とが機能的に接続されている場合は、XとYとが直接的に接続されている場合と、XとY
とが電気的に接続されている場合とを含むものとする。
が電気的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟んで
接続されている場合)と、XとYとが機能的に接続されている場合(つまり、XとYとの
間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、XとYとが直接接続されている
場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合)と
が、本明細書等に開示されているものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示
的に記載されている場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合
と同様な内容が、本明細書等に開示されているものとする。
さず)、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)が、Z
2を介して(又は介さず)、Yと電気的に接続されている場合や、トランジスタのソース
(又は第1の端子など)が、Z1の一部と直接的に接続され、Z1の別の一部がXと直接
的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)が、Z2の一部と直接的
に接続され、Z2の別の一部がYと直接的に接続されている場合では、以下のように表現
することが出来る。
の端子など)とは、互いに電気的に接続されており、X、トランジスタのソース(又は第
1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yの順序で電気的に
接続されている。」と表現することができる。または、「トランジスタのソース(又は第
1の端子など)は、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子な
ど)はYと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、トラ
ンジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yは、この順序で電気的に接続されている
」と表現することができる。または、「Xは、トランジスタのソース(又は第1の端子な
ど)とドレイン(又は第2の端子など)とを介して、Yと電気的に接続され、X、トラン
ジスタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など
)、Yは、この接続順序で設けられている」と表現することができる。これらの例と同様
な表現方法を用いて、回路構成における接続の順序について規定することにより、トラン
ジスタのソース(又は第1の端子など)と、ドレイン(又は第2の端子など)とを、区別
して、技術的範囲を決定することができる。
は、少なくとも第1の接続経路を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の接続経路は
、第2の接続経路を有しておらず、前記第2の接続経路は、トランジスタを介した、トラ
ンジスタのソース(又は第1の端子など)とトランジスタのドレイン(又は第2の端子な
ど)との間の経路であり、前記第1の接続経路は、Z1を介した経路であり、トランジス
タのドレイン(又は第2の端子など)は、少なくとも第3の接続経路を介して、Yと電気
的に接続され、前記第3の接続経路は、前記第2の接続経路を有しておらず、前記第3の
接続経路は、Z2を介した経路である。」と表現することができる。または、「トランジ
スタのソース(又は第1の端子など)は、少なくとも第1の接続経路によって、Z1を介
して、Xと電気的に接続され、前記第1の接続経路は、第2の接続経路を有しておらず、
前記第2の接続経路は、トランジスタを介した接続経路を有し、トランジスタのドレイン
(又は第2の端子など)は、少なくとも第3の接続経路によって、Z2を介して、Yと電
気的に接続され、前記第3の接続経路は、前記第2の接続経路を有していない。」と表現
することができる。または、「トランジスタのソース(又は第1の端子など)は、少なく
とも第1の電気的パスによって、Z1を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の電気
的パスは、第2の電気的パスを有しておらず、前記第2の電気的パスは、トランジスタの
ソース(又は第1の端子など)からトランジスタのドレイン(又は第2の端子など)への
電気的パスであり、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)は、少なくとも第3
の電気的パスによって、Z2を介して、Yと電気的に接続され、前記第3の電気的パスは
、第4の電気的パスを有しておらず、前記第4の電気的パスは、トランジスタのドレイン
(又は第2の端子など)からトランジスタのソース(又は第1の端子など)への電気的パ
スである。」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成
における接続経路について規定することにより、トランジスタのソース(又は第1の端子
など)と、ドレイン(又は第2の端子など)とを、区別して、技術的範囲を決定すること
ができる。
、Y、Z1、Z2は、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、
層、など)であるとする。
る場合であっても、1つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もあ
る。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及び
電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電
気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場
合も、その範疇に含める。
本実施の形態では、半導体装置の一形態を、図1乃至図22を用いて説明する。
図1は、トランジスタ100の一例を示す。なお、簡単のため、図1(A)において一部
の膜は省略されている。また、図1(B)は図1(A)に示す一点鎖線X1-X2に対応
する断面図であり、図1(C)はY1-Y2に対応する断面図である。
0および導電体170と、領域131、ソース領域またはドレイン領域の一方として機能
する領域132、及びソース領域またはドレイン領域の他方として機能する領域133を
有する酸化物130と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体120、および絶縁体150
と、を有する。また、領域132は、配線140aと電気的に接続し、領域133は、配
線140bと電気的に接続し、導電体160は、配線140cと電気的に接続する。
32、及び領域133が形成されており、領域132及び領域133は、領域131と比
較して不純物の濃度が高く、低抵抗化されている。例えば、領域131は、領域132及
び領域133の不純物の最大濃度に対して、5%以下の濃度の領域、2%以下の濃度の領
域、または1%以下の濃度の領域とすればよい。なお、不純物を、ドナー、アクセプター
、ドーパントまたは元素と言い換えてもよい。
領域を有し、領域132及び領域133は、領域131を除いた領域である。なお、酸化
物130と、導電体160とが重なる領域の一部に、領域132及び領域133が形成さ
れていてもよい。これにより、トランジスタ100のチャネルが形成される領域と低抵抗
化された領域132及び領域133が接し、領域132および領域133と、チャネルが
形成される領域との間に、高抵抗のオフセット領域が形成されないため、トランジスタ1
00のオン電流を増大させることができる。
形成すればよい。例えば、図1(B)に示すトランジスタ構造を設ける場合は、導電体1
60を形成した後、導電体160をマスクとしてドーピング処理を行うとよい。絶縁体1
50が十分に薄く、ドーピングイオンが十分に加速されていると、不純物は絶縁体150
を透過し、酸化物130に添加される。一方、導電体160と重なる領域には、不純物は
添加されない。従って、図1(B)に示すように、領域132および領域133が形成さ
れる。従って、領域132及び領域133は領域131より、SIMS分析により得られ
る当該不純物の濃度が高くなる。
ン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素、フッ素、リン、塩素、ヒ素、ホウ素、マグ
ネシウム、アルミニウム、シリコン、チタン、バナジウム、クロム、ニッケル、亜鉛、ガ
リウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、インジウム
、スズ、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタルまたはタングステンなど
が挙げられる。これらの元素の中でも、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセ
ノン、窒素、フッ素、リン、塩素、ヒ素またはホウ素は、イオン注入法、イオンドーピン
グ法、プラズマイマージョンイオンインプランテーション法などを用いて比較的容易に添
加することができるため、好適である。
も、SIMS分析により得られる酸素濃度が低くなる。また、領域132、領域133は
、欠陥が多く形成されているため、領域131よりも結晶性が低くなっている。
び絶縁体150を介して、導電体160および導電体170で囲まれた構造を有する。な
お、ここで記載する「領域131となる酸化物130の全面」とは、酸化物130が絶縁
体120および絶縁体150と接する上面、底面、及び側面をいう。また、酸化物130
が、側面、上面、底面と明確な区別がない曲面で形成されていた場合においては、領域1
31となる酸化物130の最表面を意味する。
電体により包まれている構造により、導電体160および導電体170から生じる電界に
よって、チャネルが形成される領域131の四方(言い換えると、チャネル長方向を除い
た領域131の四方)を電気的に取り囲むことができる(導電体から生じる電界によって
、半導体を電気的に取り囲むトランジスタの構造を、surrounded chann
el(s-channel)構造とよぶ。)。そのため、領域131の全体にチャネルが
形成される場合がある。s-channel構造では、トランジスタのソース-ドレイン
間に大電流を流すことができ、オン電流を高くすることができる。また、チャネルが形成
される領域に全周から電圧が印加されるため、リーク電流が抑制されたトランジスタを提
供することができる。
ネルが形成される場合がある。したがって、酸化物130が厚いほどチャネル領域は大き
くなる。即ち、酸化物130が厚いほど、トランジスタのオン電流を高くすることができ
る。また、酸化物130が厚いほど、キャリアの制御性の高い領域の割合が増えるため、
サブスレッショルドスイング値を小さくすることができる。例えば、10nm以上、好ま
しくは20nm以上、さらに好ましくは30nm以上、より好ましくは50nm以上の厚
さの領域を有する酸化物130とすればよい。ただし、半導体装置の生産性が低下する場
合があるため、例えば、300nm以下、好ましくは200nm以下、さらに好ましくは
150nm以下の厚さの領域を有する酸化物130とすればよい。
適した構造といえる。トランジスタを微細化できるため、該トランジスタを有する半導体
装置は、集積度の高い、高密度化された半導体装置とすることが可能となる。例えば、ト
ランジスタは、チャネル長が好ましくは40nm以下、さらに好ましくは30nm以下、
より好ましくは20nm以下の領域を有し、かつ、トランジスタは、チャネル幅が好まし
くは40nm以下、さらに好ましくは30nm以下、より好ましくは20nm以下の領域
を有する。
ン、アルミニウム、銅、クロム、ネオジム、スカンジウムから選ばれた元素を含む金属膜
、または上述した元素を成分とする金属窒化物膜(窒化チタン膜、窒化モリブデン膜、窒
化タングステン膜)等である。又は、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むイン
ジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジ
ウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素
を添加したインジウム錫酸化物などの導電性材料を適用することもできる。また、上記導
電性材料と、上記金属材料の積層構造とすることもできる。
、酸素を含む絶縁体であることが好ましい。なお、絶縁体120として過剰酸素を含む(
化学量論的組成よりも過剰に酸素を含む)絶縁体を用いることが好ましい。このような過
剰酸素を含む絶縁体を酸化物130に接して設けることにより、領域131中の酸素欠損
を補償することができる。
酸化ガリウム、酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフ
ニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化シリコンなどの、酸素や水素に対してバリア性のある
絶縁膜を用いることができる。このような材料を用いて形成した場合、酸化物130から
の酸素の放出や、外部からの水素等の不純物の混入を防ぐ層として機能する。
。絶縁体120と絶縁体150を異なる材料を用いて形成する場合、誘電率などの物性を
考慮し、膜厚を異ならせるなどして、適宜最適な構造を取ればよい。例えば、酸化ハフニ
ウム系の材料は、酸化シリコン系の材料よりも誘電率が高い。従って、絶縁体120に酸
化シリコン膜を用い、絶縁体150に酸化ハフニウム膜を用いる場合、絶縁体150を、
絶縁体120よりも厚く設けることが好ましい。絶縁体120および絶縁体150に用い
る材料の物性を考慮し、領域131となる酸化物130の全面にむらなくチャネルを形成
するトランジスタとなるように、絶縁体120および絶縁体150の膜厚を適宜最適化す
るとよい。
含む絶縁膜を酸化物130に接して設け、さらにバリア膜で包み込むことで、酸化物13
0を化学量論比組成とほぼ一致するような状態、または化学量論的組成より酸素が多い過
飽和の状態とすることができる。また、酸化物130への水素等の不純物の侵入を防ぐこ
とができる。
なる導電体を形成する際に、表面側がエッチングされてしまう場合がある。領域132、
及び領域133を設けるために絶縁体150を透過して不純物を添加する場合、領域13
2及び領域133上の絶縁体150を薄くすることで効率よく不純物を添加することがで
きる。一方、絶縁体150に酸化ハフニウム膜等を用いた場合、ゲートとなる導電体を形
成する場合に、絶縁体150の表面が除去されることはない。
酸化物を適切な条件で加工し、そのキャリア密度を十分に低減して得られた酸化物膜が適
用されたトランジスタにおいては、オフ状態でのソースとドレイン間のリーク電流(オフ
電流)を、従来のシリコンを用いたトランジスタと比較して極めて低いものとすることが
できる。
を含むことが好ましい。特にInとZnを含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を
用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライザとして、それらに
加えてガリウム(Ga)、スズ(Sn)、ハフニウム(Hf)、ジルコニウム(Zr)、
チタン(Ti)、スカンジウム(Sc)、イットリウム(Y)、ランタノイド(例えば、
セリウム(Ce)、ネオジム(Nd)、ガドリニウム(Gd))から選ばれた一種、また
は複数種が含まれていることが好ましい。
に説明する。
られている。また、層間膜に加えて、バリア層として絶縁体180などが積層されていて
もよい。また、基板101上には、下地膜を形成してもよい。また、下地膜の他にバリア
膜が積層されていてもよい。
しい。このような絶縁体としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、
酸化ガリウム、酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフ
ニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化シリコンなどを用いることができる。このような材料
を用いて形成した場合、バリア膜は酸化物130からの酸素の放出や絶縁体120から酸
化物130以外への酸素の拡散を抑え、また、外部からの水素等の不純物の混入を防ぐ層
として機能する。
る。または、非導通時のリーク電流の小さいトランジスタを提供することができる。また
は、オン電流の大きいトランジスタを提供することができる。または、ノーマリーオフの
電気特性を有するトランジスタを提供することができる。または、サブスレッショルドス
イング値の小さいトランジスタを提供することができる。または、信頼性の高いトランジ
スタを提供することができる。
ものとなる。また、低消費電力化が可能となる。さらに、トランジスタの微細化に伴い、
チャネル長が短くなったとしても、高く安定した電気特性を有するトランジスタを提供す
ることができる。つまり、短チャネル効果を抑制し、微細化が可能であり、トランジスタ
の集積度を高められることであらゆる小型電子機器のさらなる小型化が実現可能だとされ
る。また、微細な構造であっても、高く安定した電気特性を有するトランジスタを提供す
ることができる。
図2、図3、及び図4は、半導体装置の構成例1とは異なるトランジスタ100の一例を
それぞれ示す。図2(A)、図3(A)、及び図4(A)はトランジスタ100の上面を
示す。なお、簡単のため、図2(A)、図3(A)、及び図4(A)において一部の膜は
省略されている。また、図2(B)、図3(B)、及び図4(B)は、それぞれ図2(A
)、図3(A)、及び図4(A)に示す一点鎖線X1-X2に対応する断面図であり、図
2(C)、図3(C)、及び図4(C)はY1-Y2に対応する断面図である。
スタ100を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。従って、基板
101上に形成されたトランジスタ100は、ゲート電極として機能する導電体160お
よび導電体170と、チャネルが形成される領域131、ソース領域またはドレイン領域
の一方として機能する領域132、及びソース領域またはドレイン領域の他方として機能
する領域133を有する酸化物130と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体120、及
び絶縁体150と、を有する。また、領域132は、配線140aと電気的に接続し、領
域133は、配線140bと電気的に接続し、導電体160は、配線140cと電気的に
接続する。
うに形成してもよい。当該構成とすることで、絶縁体150および導電体160をマスク
としてドーピング処理が行われる。このため、ドーピング工程において、領域132およ
び領域133は、不純物がそのまま添加される領域と、絶縁体150を透過して添加され
る領域を有する。従って、図2(B)に示すように、領域132及び領域133のチャネ
ル長方向の側面端部の位置が、酸化物130の上面から深くなるに従って、酸化物130
のチャネル長方向の側面端部側にシフトする場合がある。当該構造にすることにより、領
域132及び領域133がチャネル形成領域に対して深く形成されすぎて常に導通状態に
なってしまうことも防ぐことができる。
、図4に示すように、絶縁体120の端部が、絶縁体150の端部よりも外側に位置して
もよい。例えば、絶縁体150に用いる材料と、絶縁体120に用いる材料とが異なる場
合、誘電率等を踏まえて絶縁体120および絶縁体150の膜厚を異ならせることで、例
えば、等価酸化膜厚(EOT:Equivalent Oxide Thickness
)が同値となるように、適宜、構造を最適化すればよい。。
図5、図6、図7、図8には、トランジスタ100の変形例の一例をそれぞれ示す。図5
(A)、図6(A)、図7(A)及び図8(A)はトランジスタ100の上面を示す。な
お、簡単のため、図5(A)、図6(A)、図7(A)及び図8(A)において一部の膜
は省略されている。また、図5(B)、図6(B)、図7(B)及び図8(B)は、それ
ぞれ図5(A)、図6(A)、図7(A)及び図8(A)に示す一点鎖線X1-X2に対
応する断面図であり、図5(C)、図6(C)、図7(C)及び図8(C)はY1-Y2
に対応する断面図である。
0を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。従って、基板101上
に形成されたトランジスタ100は、ゲート電極として機能する導電体160および導電
体170と、チャネルが形成される領域131、ソース領域またはドレイン領域の一方と
して機能する領域132、及びソース領域またはドレイン領域の他方として機能する領域
133を有する酸化物130と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体120、及び絶縁体
150と、を有する。また、領域132は、配線140aと電気的に接続し、領域133
は、配線140bと電気的に接続し、導電体160は、配線140cと電気的に接続する
。
てもよい。導電体170を酸化物130よりも大きく形成することで、導電体170より
も上方に形成する膜の被膜性を向上することができる。つまり、酸化物130などのトラ
ンジスタ100を構成する各膜が、平坦性を損なうことなく形成することができるため、
信頼性が高いトランジスタを提供することができる。
絶縁体120および酸化物130を、同時に整形することができ、マスクを削減すること
ができる。
。また、図7に示すように、絶縁体120の端部が、絶縁体150の端部よりも外側に位
置してもよい。例えば、絶縁体150に用いる材料と、絶縁体120に用いる材料とが異
なる場合、誘電率等を踏まえて絶縁体120および絶縁体150の膜厚を異ならせること
で、例えば、等価酸化膜厚(EOT)が同値となるように、適宜、構造を最適化すればよ
い。
よい。この場合、導電体170は、側面にて導電体160と導通する。なお、当該構成に
おいて、絶縁体120および導電体170を同時に形成することで、マスクを削減するこ
とができる。
図9、図10には、トランジスタ100の変形例の一例をそれぞれ示す。図9(A)、及
び図10(A)はトランジスタ100の上面を示す。なお、簡単のため、図9(A)、及
び図10(A)において一部の膜は省略されている。また、図9(B)、及び図10(B
)は、それぞれ図9(A)、及び図10(A)に示す一点鎖線X1-X2に対応する断面
図であり、図9(C)、及び図10(C)はY1-Y2に対応する断面図である。
0を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。従って、基板101上
に形成されたトランジスタ100は、ゲート電極として機能する導電体160および導電
体170と、チャネルが形成される領域131、ソース領域またはドレイン領域の一方と
して機能する領域132、及びソース領域またはドレイン領域の他方として機能する領域
133を有する酸化物130と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体120、及び絶縁体
150と、を有する。また、領域132は、配線140aと電気的に接続し、領域133
は、配線140bと電気的に接続し、導電体160は、配線140cと電気的に接続する
。
導電体170を形成した後に、絶縁体110を成膜し、CMP(Chemical Me
chanical Polishing:化学的機械研磨)により、導電体170が露出
するまで、絶縁体110を除去すればよい。なお、埋め込み電極とすることで、導電体1
70の上方に形成する膜の被膜性を向上することができる。
絶縁体150の側面に、絶縁体190を形成してもよい。例えば、絶縁体190はサイド
ウォール絶縁体として設けることで、さらなる微細化が可能となる。また、例えば、絶縁
体120に用いる材料と、絶縁体150に用いる材料と、絶縁体190に用いる材料とが
異なる場合、誘電率等を踏まえて絶縁体120、絶縁体150、及び絶縁体190の膜厚
を異ならせることで、例えば、等価酸化膜厚(EOT)が同値となるように、適宜、構造
を最適化すればよい。また、絶縁体190は、絶縁体120、及び絶縁体150は積層構
造としてもよい。
構造としてもよい。図10に示す構造において、絶縁体120、絶縁体150、及び酸化
物130を同時に形成することで、マスクを削減することができる。
図11、図12、図13、図14、及び図15には、トランジスタ100の変形例の一例
をそれぞれ示す。図11(A)、図12(A)、図13(A)、図14(A)、及び図1
5(A)はトランジスタ100の上面を示す。なお、簡単のため、図11(A)、図12
(A)、図13(A)、図14(A)、及び図15(A)において一部の膜は省略されて
いる。また、図11(B)、図12(B)、図13(B)、図14(B)、及び図15(
B)は、それぞれ図11(A)、図12(A)、図13(A)、図14(A)、及び図1
5(A)に示す一点鎖線X1-X2に対応する断面図であり、図11(C)、図12(C
)、図13(C)、図14(C)、及び図15(C)はY1-Y2に対応する断面図であ
る。
、図1に示したトランジスタ100を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を
付記する。従って、基板101上に形成されたトランジスタ100は、ゲート電極として
機能する導電体160および導電体170と、チャネルが形成される領域131、ソース
領域またはドレイン領域の一方として機能する領域132、及びソース領域またはドレイ
ン領域の他方として機能する領域133を有する酸化物130と、ゲート絶縁層として機
能する絶縁体120、及び絶縁体150と、を有する。また、領域132は、配線140
aと電気的に接続し、領域133は、配線140bと電気的に接続し、導電体160は、
配線140cと電気的に接続する。
部内に、導電体170、絶縁体120および酸化物130を有する構造としてもよい。例
えば、絶縁体110にダミー層などを用いて、開口部を形成し、当該開口部にトランジス
タ100の一部を設けるとよい。本構成とすることで、複数のトランジスタを作製した場
合にばらつきを減らすことができる。
後、絶縁体110の上面が露出するまで、平坦化を行うことで設けることができる。その
後、絶縁体150、及び導電体160を形成すればよい。例えば、平坦化処理には、CM
Pなどを用いることができる。
いなくともよい。また、図13に示すように、絶縁体150の端部、及び絶縁体120の
端部は、必ずしも導電体170の開口部の側面の延長上になくてもよい。この場合、絶縁
体120をストッパー膜として用いることもできる。
示すように、絶縁体150と、絶縁体120との上面の高さを揃えてもよい。図14、お
よび図15の構成は、例えば、酸化物130のみをオーバーエッチした後、絶縁体150
を形成することで設けることができる。
図16、図17、及び図18にはトランジスタ100の変形例の一例を示す。図16(A
)、図17(A)、及び図18(A)はトランジスタ100の上面を示す。なお、簡単の
ため、図16(A)、図17(A)、及び図18(A)において一部の膜は省略されてい
る。また、図16(B)、図17(B)、及び図18(B)は、それぞれ図16(A)、
図17(A)、及び図18(A)に示す一点鎖線X1-X2に対応する断面図であり、図
16(C)、図17(C)、及び図18(C)はY1-Y2に対応する断面図である。
ランジスタ100を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。従って
、基板101上に形成されたトランジスタ100は、ゲート電極として機能する導電体1
60および導電体170と、領域131、ソース領域またはドレイン領域の一方として機
能する領域132、及びソース領域またはドレイン領域の他方として機能する領域133
を有する酸化物130と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体120、及び絶縁体150
と、を有する。また、領域132は、配線140aと電気的に接続し、領域133は、配
線140bと電気的に接続し、導電体160は、配線140cと電気的に接続する。
131a、領域132a、および領域133aを有する絶縁体130aと、絶縁体130
a上の領域131b、領域132b、および領域133bを有する半導体130bと、半
導体130b上の領域131c、領域132c、および領域133cを有する絶縁体13
0cと、を有する。また、絶縁体130aにおいて、領域132a、及び領域133aは
低抵抗化されており、領域131aは、領域132a、及び領域133aと接する。また
、半導体130bにおいて、領域132b、及び領域133bは低抵抗されており、領域
131bは、領域132b、及び領域133bと接する。また、絶縁体130cにおいて
、領域132c、および領域133cは低抵抗化されており、領域131cは、領域13
2c、及び領域133cと接する。なお、領域131a、領域131b、及び領域131
cを領域131とする。領域132a、領域132b、及び領域132cを領域132と
する。領域133a、領域133b、及び領域133cを領域133とする。
3及び領域131を有する。また、領域132及び領域133は領域131と比較して不
純物の濃度が高く、低抵抗化されている。ここで、絶縁体130a、半導体130b及び
絶縁体130cにおいて、領域131は、領域132および領域133を除いた領域であ
る。
bは、インジウムを含むと、キャリア移動度(電子移動度)が高くなる。また、半導体1
30bは、元素Mを含むと好ましい。元素Mは、好ましくは、Ti、Ga、Y、Zr、L
a、Ce、Nd、SnまたはHfを表すとする。ただし、元素Mとして、前述の元素を複
数組み合わせても構わない場合がある。元素Mは、例えば、酸素との結合エネルギーが高
い元素である。例えば、酸素との結合エネルギーがインジウムよりも高い元素である。ま
たは、元素Mは、例えば、酸化物半導体のエネルギーギャップを大きくする機能を有する
元素である。また、半導体130bは、亜鉛を含むと好ましい。酸化物半導体は、亜鉛を
含むと結晶化しやすくなる場合がある。
0bは、例えば、亜鉛スズ酸化物、ガリウムスズ酸化物などの、インジウムを含まず、亜
鉛を含む酸化物半導体、ガリウムを含む酸化物半導体、スズを含む酸化物半導体などであ
っても構わない。
一種以上、または二種以上から構成される。半導体130bを構成する酸素以外の元素一
種以上、または二種以上から絶縁体130a及び絶縁体130cが構成されるため、絶縁
体130aと半導体130bとの界面、及び半導体130bと絶縁体130cとの界面に
おいて、欠陥準位が形成されにくい。
好ましい。なお、絶縁体130aがIn-M-Zn酸化物のとき、InおよびMの和を1
00atomic%としたとき、好ましくはInが50atomic%未満、Mが50a
tomic%より高く、さらに好ましくはInが25atomic%未満、Mが75at
omic%より高いとする。また、半導体130bがIn-M-Zn酸化物のとき、In
およびMの和を100atomic%としたとき、好ましくはInが25atomic%
より高く、Mが75atomic%未満、さらに好ましくはInが34atomic%よ
り高く、Mが66atomic%未満とする。また、絶縁体130cがIn-M-Zn酸
化物のとき、InおよびMの和を100atomic%としたとき、好ましくはInが5
0atomic%未満、Mが50atomic%より高く、さらに好ましくはInが25
atomic%未満、Mが75atomic%より高いとする。ただし、絶縁体130a
または絶縁体130cがインジウムを含まなくても構わない場合がある。例えば絶縁体1
30aまたは絶縁体130cが酸化ガリウムであっても構わない。なお、絶縁体130a
、半導体130b及び絶縁体130cに含まれる各元素の原子数が、簡単な整数比になら
なくても構わない。
の代表例としては、In:M:Zn=1:2:4、In:M:Zn=1:3:2、In:
M:Zn=1:3:4、In:M:Zn=1:3:6、In:M:Zn=1:3:8、I
n:M:Zn=1:4:3、In:M:Zn=1:4:4、In:M:Zn=1:4:5
、In:M:Zn=1:4:6、In:M:Zn=1:6:3、In:M:Zn=1:6
:4、In:M:Zn=1:6:5、In:M:Zn=1:6:6、In:M:Zn=1
:6:7、In:M:Zn=1:6:8、In:M:Zn=1:6:9等がある。
は、In:M:Zn=1:1:1、In:M:Zn=1:1:1.2、In:M:Zn=
2:1:1.5、In:M:Zn=2:1:2.3、In:M:Zn=2:1:3、In
:M:Zn=3:1:2、In:M:Zn=4:2:4.1等がある。特に、スパッタリ
ングターゲットとして、原子数比がIn:Ga:Zn=4:2:4.1を用いる場合、成
膜される半導体130bの原子数比は、In:Ga:Zn=4:2:3近傍となる場合が
ある。
。そのため、絶縁体130cがインジウムガリウム酸化物を含むと好ましい。ガリウム原
子割合[Ga/(In+Ga)]は、例えば、70%以上、好ましくは80%以上、さら
に好ましくは90%以上とする。
bのエネルギーギャップは、例えば、2.5eV以上4.2eV以下、好ましくは2.8
eV以上3.8eV以下、さらに好ましくは3eV以上3.5eV以下とする。ここで、
絶縁体130aのエネルギーギャップは、半導体130bのエネルギーギャップより大き
い。また、絶縁体130cのエネルギーギャップは、半導体130bのエネルギーギャッ
プより大きい。
物を用いる。例えば、半導体130bとして、絶縁体130aまたは絶縁体130cより
も電子親和力の0.07eV以上1.3eV以下、好ましくは0.1eV以上0.7eV
以下、さらに好ましくは0.15eV以上0.4eV以下大きい酸化物を用いる。なお、
電子親和力は、真空準位と伝導帯下端のエネルギーとの差である。言い換えると、絶縁体
130aまたは絶縁体130cの伝導帯下端のエネルギー準位は、半導体130bの伝導
帯下端のエネルギー準位より真空準位に近い。
り電子親和力の大きい半導体130bにチャネルが形成される。
体または絶縁体として機能させることができる物質からなる。しかしながら、半導体13
0bと積層させてトランジスタを形成する場合、電子は半導体130b、半導体130b
と絶縁体130aの界面近傍、および半導体130bと絶縁体130cの界面近傍を流れ
、絶縁体130aおよび絶縁体130cは当該トランジスタのチャネルとして機能しない
領域を有する。このため、本明細書などにおいては、絶縁体130aおよび絶縁体130
cを半導体と記載せず、絶縁体と記載するものとする。なお、絶縁体130aおよび絶縁
体130cを絶縁体と記載するのは、あくまで半導体130bと比較してトランジスタの
機能上絶縁体に近い機能を有するためなので、絶縁体130aまたは絶縁体130cとし
て、半導体130bに用いることができる物質を用いる場合もある。
との混合領域を有する場合がある。また、絶縁体130cと半導体130bとの間には、
絶縁体130cと半導体130bとの混合領域を有する場合がある。混合領域は、欠陥準
位密度が低くなる。そのため、絶縁体130a、半導体130bおよび絶縁体130cの
積層体は、それぞれの界面近傍において、エネルギーが連続的に変化する(連続接合とも
いう。)バンド図となる。なお、絶縁体130aと半導体130b、または絶縁体130
cと半導体130bは、それぞれの界面を明確に判別できない場合がある。
主として移動する。上述したように、絶縁体130aと半導体130bとの界面、および
絶縁体130cと半導体130bとの界面における欠陥準位密度を低くすることによって
、半導体130b中で電子の移動が阻害されることが少なく、トランジスタのオン電流を
高くすることができる。
ことができる。例えば、電子の移動を阻害する要因のない場合、効率よく電子が移動する
と推定される。電子の移動は、例えば、チャネル形成領域の物理的な凹凸が大きい場合に
も阻害される。
(被形成面、ここでは絶縁体130aの上面)の、1μm×1μmの範囲における二乗平
均平方根(RMS:Root Mean Square)粗さが1nm未満、好ましくは
0.6nm未満、さらに好ましくは0.5nm未満、より好ましくは0.4nm未満とす
ればよい。また、1μm×1μmの範囲における平均面粗さ(Raともいう。)が1nm
未満、好ましくは0.6nm未満、さらに好ましくは0.5nm未満、より好ましくは0
.4nm未満とすればよい。また、1μm×1μmの範囲における最大高低差(P-Vと
もいう。)が10nm未満、好ましくは9nm未満、さらに好ましくは8nm未満、より
好ましくは7nm未満とすればよい。RMS粗さ、RaおよびP-Vは、エスアイアイ・
ナノテクノロジー株式会社製走査型プローブ顕微鏡システムSPA-500などを用いて
測定することができる。
、隣接する絶縁体を構成する酸素以外の元素(水素、シリコンなど)が入り込まないよう
ブロックする機能を有する。また、隣接する絶縁体と絶縁体130aとの界面からチャネ
ルの形成される半導体130bまでの距離を離すことで、チャネルが形成する半導体13
0bへ不純物の拡散を防ぐことができる。
ある。したがって、半導体130bのシリコン濃度は低いほど好ましい。例えば、半導体
130bと絶縁体130aとの間に、二次イオン質量分析法(SIMS:Seconda
ry Ion Mass Spectrometry)において、1×1016atom
s/cm3以上1×1019atoms/cm3以下、好ましくは1×1016atom
s/cm3以上5×1018atoms/cm3以下、さらに好ましくは1×1016a
toms/cm3以上2×1018atoms/cm3以下のシリコン濃度となる領域を
有する。また、半導体130bと絶縁体130cとの間に、SIMSにおいて、1×10
16atoms/cm3以上1×1019atoms/cm3以下、好ましくは1×10
16atoms/cm3以上5×1018atoms/cm3以下、さらに好ましくは1
×1016atoms/cm3以上2×1018atoms/cm3以下のシリコン濃度
となる領域を有する。
の水素濃度を低減すると好ましい。絶縁体130a及び絶縁体130cは、SIMSにお
いて、1×1016atoms/cm3以上2×1020atoms/cm3以下、好ま
しくは1×1016atoms/cm3以上5×1019atoms/cm3以下、より
好ましくは1×1016atoms/cm3以上1×1019atoms/cm3以下、
さらに好ましくは1×1016atoms/cm3以上5×1018atoms/cm3
以下の水素濃度となる領域を有する。また、半導体130bの窒素濃度を低減するために
、絶縁体130a及び絶縁体130cの窒素濃度を低減すると好ましい。絶縁体130a
及び絶縁体130cは、SIMSにおいて、1×1015atoms/cm3以上5×1
019atoms/cm3以下、好ましくは1×1015atoms/cm3以上5×1
018atoms/cm3以下、より好ましくは1×1015atoms/cm3以上1
×1018atoms/cm3以下、さらに好ましくは1×1015atoms/cm3
以上5×1017atoms/cm3以下の窒素濃度となる領域を有する。
30bは、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低い(酸素欠損の少ない)酸化物半導体で
あり、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼ぶことができる。高純度
真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体は、キャリア発生源が少ないため、キ
ャリア密度を低くすることができる。従って、該酸化物半導体にチャネル領域が形成され
るトランジスタは、しきい値電圧がマイナスとなる電気特性(ノーマリーオンともいう。
)になることが少ない。また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体
は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。また、高純度真
性または実質的に高純度真性である酸化物半導体は、オフ電流が著しく小さく、チャネル
幅Wが1×106μmでチャネル長Lが10μmの素子であっても、ソース電極とドレイ
ン電極間の電圧(ドレイン電圧)が1Vから10Vの範囲において、オフ電流が、半導体
パラメータアナライザの測定限界以下、すなわち1×10-13A以下という特性を得る
ことができる。
が形成されるトランジスタは、電気特性の変動が小さく、信頼性の高いトランジスタとす
ることができる。なお、酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまで
に要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラッ
プ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル領域が形成されるトランジスタは、電気特性が
不安定となる場合がある。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、またはアルカリ
土類金属等がある。
する酸素と反応して水になると共に、酸素が脱離した格子(または酸素が脱離した部分)
に酸素欠損を形成する。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成され
る場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである
電子を生成することがある。特に酸素欠損にトラップされた水素は、半導体のバンド構造
に対して浅いドナー準位を形成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導
体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、絶縁体130a
、半導体130b及び絶縁体130cは水素ができる限り低減されていることが好ましい
。具体的には、絶縁体130a、半導体130b及び絶縁体130cにおいて、SIMS
分析により得られる水素濃度を、2×1020atoms/cm3以下、好ましくは5×
1019atoms/cm3以下、より好ましくは1×1019atoms/cm3以下
、5×1018atoms/cm3以下、好ましくは1×1018atoms/cm3以
下、より好ましくは5×1017atoms/cm3以下、さらに好ましくは1×101
6atoms/cm3以下とする。
るシリコンや炭素が含まれると、絶縁体130a、半導体130b及び絶縁体130cに
おいて酸素欠損が増加し、n型化してしまう。このため、絶縁体130a、半導体130
b及び絶縁体130cにおけるシリコンや炭素の濃度と、絶縁体130a、半導体130
b及び絶縁体130cとの界面近傍のシリコンや炭素の濃度(SIMS分析により得られ
る濃度)を、2×1018atoms/cm3以下、好ましくは2×1017atoms
/cm3以下とする。
り得られるアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/c
m3以下、好ましくは2×1016atoms/cm3以下にする。アルカリ金属及びア
ルカリ土類金属は、酸化物半導体と結合するとキャリアを生成する場合があり、トランジ
スタのオフ電流が増大してしまうことがある。このため、絶縁体130a、半導体130
b及び絶縁体130cのアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を低減することが好
ましい。
ャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含
まれている酸化物半導体膜を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。従
って、該酸化物半導体膜において、窒素はできる限り低減されていることが好ましい。例
えば、SIMS分析により得られる窒素濃度は、5×1019atoms/cm3未満、
好ましくは5×1018atoms/cm3以下、より好ましくは1×1018atom
s/cm3以下、さらに好ましくは5×1017atoms/cm3以下とする。
、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低い(酸素欠損の少ない)酸化物であり、キャリア
密度が低い。このため、配線140a及び配線140bとの間で接触抵抗が大きくなりや
すい。そこで、本実施の形態に示すトランジスタ100では、配線140a及び配線14
0bと、絶縁体130a、半導体130bおよび絶縁体130cと、がそれぞれ酸化物1
30中の低抵抗化された領域132および低抵抗化された領域133を介して接続される
ことにより、接触抵抗の抑制を図ることができる。
る。例えば、絶縁体130aまたは絶縁体130cのいずれか一方を設けない2層構造と
してもよい。また、絶縁体130aおよび絶縁体130cの両方を設けない単層構造とし
てもよい。または、絶縁体130a、半導体130bおよび絶縁体130cとして例示し
た絶縁体、半導体又は導電体のいずれかを有するn層構造(nは4以上の整数)としても
構わない。
る。領域131bと接する絶縁体150には酸素を含む絶縁体を用いることが好ましい。
さらに、絶縁体120にはバリア性が高い絶縁体を用いることで、トランジスタの信頼性
を向上させることができる。
170を酸化物130よりも大きく形成することで、導電体170よりも上方に形成する
膜の被膜性を向上することができる。
70の上方に形成する膜の被膜性をさらに向上することができる。また、図18に示すト
ランジスタ100において、チャネル形成領域は、主に領域131bとなる。領域131
bと接する絶縁体190には酸素を含む絶縁体を用いることが好ましい。さらに、絶縁体
120および絶縁体150にはバリア性が高い絶縁体を用いることで、トランジスタの信
頼性を向上させることができる。
図19、図20、図21及び図22にはトランジスタ100の変形例の一例を示す。図1
9(A)、図20(A)、図21(A)、及び図22(A)はトランジスタ100の上面
を示す。なお、簡単のため、図19(A)、図20(A)、図21(A)、及び図22(
A)において一部の膜は省略されている。また、図19(B)、図20(B)、図21(
B)、及び図22(B)は、それぞれ図19(A)、図20(A)、図21(A)、及び
図22(A)に示す一点鎖線X1-X2に対応する断面図であり、図19(C)、図20
(C)、図21(C)、及び図22(C)はY1-Y2に対応する断面図である。
したトランジスタ100を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。
従って、基板101上に形成されたトランジスタ100は、ゲート電極として機能する導
電体160および導電体170と、領域131、ソース領域またはドレイン領域の一方と
して機能する領域132、及びソース領域またはドレイン領域の他方として機能する領域
133を有する酸化物130と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体120、及び絶縁体
150と、を有する。また、領域132は、配線140aと電気的に接続し、領域133
は、配線140bと電気的に接続し、導電体160は、配線140cと電気的に接続する
。
、領域131a、領域132a、および領域133aを有する絶縁体130aと、絶縁体
130a上の領域131b、領域132b、および領域133bを有する半導体130b
と、半導体130b上の領域131c、領域132c、および領域133cを有する絶縁
体130cと、を有する。また、絶縁体130aにおいて、領域132a、及び領域13
3aは低抵抗化されており、領域131aは、領域132a、及び領域133aと接する
。また、半導体130bにおいて、領域132b、及び領域133bは低抵抗されており
、領域131bは、領域132b、及び領域133bと接する。また、絶縁体130cに
おいて、領域132c、および領域133cは低抵抗化されており、領域131cは、領
域132c、及び領域133cと接する。なお、領域131a、領域131b、及び領域
131cを領域131とする。領域132a、領域132b、及び領域132cを領域1
32とする。領域133a、領域133b、及び領域133cを領域133とする。
3及び領域131を有する。また、領域132及び領域133は領域131と比較して不
純物の濃度が高く、低抵抗化されている。ここで、絶縁体130a、半導体130b及び
絶縁体130cにおいて、領域131は、領域132および領域133を除いた領域であ
る。
0bが絶縁体130a及び絶縁体130cによって包み込まれるように設けられている。
よって、半導体130bの側面端部、特にチャネル幅方向の側面端部近傍が、絶縁体13
0a及び絶縁体130cと接して設けられている。これにより、半導体130bの側面端
部近傍において、絶縁体130a又は絶縁体130cとの間に連続接合が形成され、欠陥
準位密度が低減される。よって、s-channel構造により、オン電流が流れやすく
なっても、半導体130bのチャネル幅方向の側面端部でもリーク電流が抑制され、安定
した電気特性を得ることができる。
してもよい。また、図20に示すように、絶縁体130cの底面が絶縁体120と接する
ように形成してもよい。なお、図20に示すように、導電体170を酸化物130よりも
大きく形成してもよい。導電体170を酸化物130よりも大きく形成することで、導電
体170よりも上方に形成する膜の被膜性を向上することができる。
方に形成する膜の被膜性をさらに向上することができる。
の一部を設けるとよい。本構成とすることで、各トランジスタ間にばらつきが少ないトラ
ンジスタを複数作成することができる。
る。または、非導通時のリーク電流の小さいトランジスタを提供することができる。また
は、オン電流の大きいトランジスタを提供することができる。または、ノーマリーオフの
電気特性を有するトランジスタを提供することができる。または、サブスレッショルドス
イング値の小さいトランジスタを提供することができる。または、信頼性の高いトランジ
スタを提供することができる。
ものとなる。また、低消費電力化が可能となる。さらに、トランジスタの微細化に伴い、
チャネル長が短くなったとしても、高く安定した電気特性を有するトランジスタを提供す
ることができる。つまり、短チャネル効果を抑制し、微細化が可能であり、トランジスタ
の集積度を高められることであらゆる小型電子機器のさらなる小型化が実現可能だとされ
る。また、微細な構造であっても、高く安定した電気特性を有するトランジスタを提供す
ることができる。
において、本発明の一態様について述べる。ただし、本発明の一態様は、これらに限定さ
れない。つまり、本実施の形態および他の実施の形態では、様々な発明の態様が記載され
ているため、本発明の一態様は、特定の態様に限定されない。例えば、本発明の一態様と
して、トランジスタ100のトランジスタのチャネル形成領域、ソースドレイン領域など
が、酸化物半導体を有する場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない
。場合によっては、または、状況に応じて、本発明の一態様におけるトランジスタ100
のトランジスタのチャネル形成領域、または、ソースドレイン領域などは、様々な半導体
を有していてもよい。場合によっては、または、状況に応じて、本発明の一態様における
トランジスタ100のトランジスタのチャネル形成領域、または、ソースドレイン領域な
どは、例えば、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化シリコン、ガリウ
ムヒ素、アルミニウムガリウムヒ素、インジウムリン、窒化ガリウム、または、有機半導
体などの少なくとも一つを有していてもよい。または例えば、場合によっては、または、
状況に応じて、本発明の一態様におけるトランジスタ100のトランジスタのチャネル形
成領域、または、ソースドレイン領域などは、酸化物半導体を有していなくてもよい。
<酸化物半導体の構造>
以下では、酸化物半導体の構造について説明する。
る。非単結晶酸化物半導体としては、CAAC-OS(C Axis Aligned
Crystalline Oxide Semiconductor)、多結晶酸化物半
導体、nc-OS(nanocrystalline Oxide Semicondu
ctor)、擬似非晶質酸化物半導体(a-like OS:amorphous li
ke Oxide Semiconductor)、非晶質酸化物半導体などがある。
導体とに分けられる。結晶性酸化物半導体としては、単結晶酸化物半導体、CAAC-O
S、多結晶酸化物半導体、nc-OSなどがある。
て不均質構造を持たないことなどが知られている。また、結合角度が柔軟であり、短距離
秩序性は有するが、長距離秩序性を有さない構造と言い換えることもできる。
ely amorphous)酸化物半導体と呼ぶことはできない。また、等方的でない
(例えば、微小な領域において周期構造を有する)酸化物半導体を、完全な非晶質酸化物
半導体と呼ぶことはできない。ただし、a-like OSは、微小な領域において周期
構造を有するものの、鬆(ボイドともいう。)を有し、不安定な構造である。そのため、
物性的には非晶質酸化物半導体に近いといえる。
まずは、CAAC-OSについて説明する。
導体の一つである。
scope)によって、CAAC-OSの明視野像と回折パターンとの複合解析像(高分
解能TEM像ともいう。)を観察すると、複数のペレットを確認することができる。一方
、高分解能TEM像ではペレット同士の境界、即ち結晶粒界(グレインバウンダリーとも
いう。)を明確に確認することができない。そのため、CAAC-OSは、結晶粒界に起
因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。
試料面と略平行な方向から観察したCAAC-OSの断面の高分解能TEM像を示す。高
分解能TEM像の観察には、球面収差補正(Spherical Aberration
Corrector)機能を用いた。球面収差補正機能を用いた高分解能TEM像を、
特にCs補正高分解能TEM像と呼ぶ。Cs補正高分解能TEM像の取得は、例えば、日
本電子株式会社製原子分解能分析電子顕微鏡JEM-ARM200Fなどによって行うこ
とができる。
図23(B)より、ペレットにおいて、金属原子が層状に配列していることを確認できる
。金属原子の各層の配列は、CAAC-OSの膜を形成する面(被形成面ともいう。)ま
たは上面の凹凸を反映しており、CAAC-OSの被形成面または上面と平行となる。
は、特徴的な原子配列を、補助線で示したものである。図23(B)および図23(C)
より、ペレット一つの大きさは1nm以上のものや、3nm以上のものがあり、ペレット
とペレットとの傾きにより生じる隙間の大きさは0.8nm程度であることがわかる。し
たがって、ペレットを、ナノ結晶(nc:nanocrystal)と呼ぶこともできる
。また、CAAC-OSを、CANC(C-Axis Aligned nanocry
stals)を有する酸化物半導体と呼ぶこともできる。
ト5100の配置を模式的に示すと、レンガまたはブロックが積み重なったような構造と
なる(図23(D)参照。)。図23(C)で観察されたペレットとペレットとの間で傾
きが生じている箇所は、図23(D)に示す領域5161に相当する。
補正高分解能TEM像を示す。図24(A)の領域(1)、領域(2)および領域(3)
を拡大したCs補正高分解能TEM像を、それぞれ図24(B)、図24(C)および図
24(D)に示す。図24(B)、図24(C)および図24(D)より、ペレットは、
金属原子が三角形状、四角形状または六角形状に配列していることを確認できる。しかし
ながら、異なるペレット間で、金属原子の配列に規則性は見られない。
AC-OSについて説明する。例えば、InGaZnO4の結晶を有するCAAC-OS
に対し、out-of-plane法による構造解析を行うと、図25(A)に示すよう
に回折角(2θ)が31°近傍にピークが現れる場合がある。このピークは、InGaZ
nO4の結晶の(009)面に帰属されることから、CAAC-OSの結晶がc軸配向性
を有し、c軸が被形成面または上面に略垂直な方向を向いていることが確認できる。
近傍のピークの他に、2θが36°近傍にもピークが現れる場合がある。2θが36°近
傍のピークは、CAAC-OS中の一部に、c軸配向性を有さない結晶が含まれることを
示している。より好ましいCAAC-OSは、out-of-plane法による構造解
析では、2θが31°近傍にピークを示し、2θが36°近傍にピークを示さない。
e法による構造解析を行うと、2θが56°近傍にピークが現れる。このピークは、In
GaZnO4の結晶の(110)面に帰属される。CAAC-OSの場合は、2θを56
°近傍に固定し、試料面の法線ベクトルを軸(φ軸)として試料を回転させながら分析(
φスキャン)を行っても、図25(B)に示すように明瞭なピークは現れない。これに対
し、InGaZnO4の単結晶酸化物半導体であれば、2θを56°近傍に固定してφス
キャンした場合、図25(C)に示すように(110)面と等価な結晶面に帰属されるピ
ークが6本観察される。したがって、XRDを用いた構造解析から、CAAC-OSは、
a軸およびb軸の配向が不規則であることが確認できる。
nO4の結晶を有するCAAC-OSに対し、試料面に平行にプローブ径が300nmの
電子線を入射させると、図26(A)に示すような回折パターン(制限視野透過電子回折
パターンともいう。)が現れる場合がある。この回折パターンには、InGaZnO4の
結晶の(009)面に起因するスポットが含まれる。したがって、電子回折によっても、
CAAC-OSに含まれるペレットがc軸配向性を有し、c軸が被形成面または上面に略
垂直な方向を向いていることがわかる。一方、同じ試料に対し、試料面に垂直にプローブ
径が300nmの電子線を入射させたときの回折パターンを図26(B)に示す。図26
(B)より、リング状の回折パターンが確認される。したがって、電子回折によっても、
CAAC-OSに含まれるペレットのa軸およびb軸は配向性を有さないことがわかる。
なお、図26(B)における第1リングは、InGaZnO4の結晶の(010)面およ
び(100)面などに起因すると考えられる。また、図26(B)における第2リングは
(110)面などに起因すると考えられる。
晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、逆の見方をする
とCAAC-OSは不純物や欠陥(酸素欠損など)の少ない酸化物半導体ともいえる。
元素などがある。例えば、シリコンなどの、酸化物半導体を構成する金属元素よりも酸素
との結合力の強い元素は、酸化物半導体から酸素を奪うことで酸化物半導体の原子配列を
乱し、結晶性を低下させる要因となる。また、鉄やニッケルなどの重金属、アルゴン、二
酸化炭素などは、原子半径(または分子半径)が大きいため、酸化物半導体の原子配列を
乱し、結晶性を低下させる要因となる。
る。例えば、酸化物半導体に含まれる不純物は、キャリアトラップとなる場合や、キャリ
ア発生源となる場合がある。また、酸化物半導体中の酸素欠損は、キャリアトラップとな
る場合や、水素を捕獲することによってキャリア発生源となる場合がある。
る。具体的には、8×1011個/cm3未満、好ましくは1×1011個/cm3未満
、さらに好ましくは1×1010個/cm3未満であり、1×10-9個/cm3以上の
キャリア密度の酸化物半導体とすることができる。そのような酸化物半導体を、高純度真
性または実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼ぶ。CAAC-OSは、不純物濃度が低
く、欠陥準位密度が低い。即ち、安定な特性を有する酸化物半導体であるといえる。
次に、nc-OSについて説明する。
な結晶部を確認することのできない領域と、を有する。nc-OSに含まれる結晶部は、
1nm以上10nm以下、または1nm以上3nm以下の大きさであることが多い。なお
、結晶部の大きさが10nmより大きく100nm以下である酸化物半導体を微結晶酸化
物半導体と呼ぶことがある。nc-OSは、例えば、高分解能TEM像では、結晶粒界を
明確に確認できない場合がある。なお、ナノ結晶は、CAAC-OSにおけるペレットと
起源を同じくする可能性がある。そのため、以下ではnc-OSの結晶部をペレットと呼
ぶ場合がある。
nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。また、nc-OSは、異なるペレ
ット間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。した
がって、nc-OSは、分析方法によっては、a-like OSや非晶質酸化物半導体
と区別が付かない場合がある。例えば、nc-OSに対し、ペレットよりも大きい径のX
線を用いた場合、out-of-plane法による解析では、結晶面を示すピークは検
出されない。また、nc-OSに対し、ペレットよりも大きいプローブ径(例えば50n
m以上)の電子線を用いる電子回折を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観
測される。一方、nc-OSに対し、ペレットの大きさと近いかペレットより小さいプロ
ーブ径の電子線を用いるナノビーム電子回折を行うと、スポットが観測される。また、n
c-OSに対しナノビーム電子回折を行うと、円を描くように(リング状に)輝度の高い
領域が観測される場合がある。さらに、リング状の領域内に複数のスポットが観測される
場合がある。
OSを、RANC(Random Aligned nanocrystals)を有す
る酸化物半導体、またはNANC(Non-Aligned nanocrystals
)を有する酸化物半導体と呼ぶこともできる。
nc-OSは、a-like OSや非晶質酸化物半導体よりも欠陥準位密度が低くなる
。ただし、nc-OSは、異なるペレット間で結晶方位に規則性が見られない。そのため
、nc-OSは、CAAC-OSと比べて欠陥準位密度が高くなる。
a-like OSは、nc-OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半
導体である。
分解能TEM像において、明確に結晶部を確認することのできる領域と、結晶部を確認す
ることのできない領域と、を有する。
OSが、CAAC-OSおよびnc-OSと比べて不安定な構造であることを示すため
、電子照射による構造の変化を示す。
試料Bと表記する。)およびCAAC-OS(試料Cと表記する。)を準備する。いずれ
の試料もIn-Ga-Zn酸化物である。
は、いずれも結晶部を有することがわかる。
InGaZnO4の結晶の単位格子は、In-O層を3層有し、またGa-Zn-O層を
6層有する、計9層がc軸方向に層状に重なった構造を有することが知られている。これ
らの近接する層同士の間隔は、(009)面の格子面間隔(d値ともいう。)と同程度で
あり、結晶構造解析からその値は0.29nmと求められている。したがって、格子縞の
間隔が0.28nm以上0.30nm以下である箇所を、InGaZnO4の結晶部と見
なすことができる。なお、格子縞は、InGaZnO4の結晶のa-b面に対応する。
。ただし、上述した格子縞の長さを結晶部の大きさとしている。図27より、a-lik
e OSは、電子の累積照射量に応じて結晶部が大きくなっていくことがわかる。具体的
には、図27中に(1)で示すように、TEMによる観察初期においては1.2nm程度
の大きさだった結晶部(初期核ともいう。)が、累積照射量が4.2×108e-/nm
2においては2.6nm程度の大きさまで成長していることがわかる。一方、nc-OS
およびCAAC-OSは、電子照射開始時から電子の累積照射量が4.2×108e-/
nm2までの範囲で、結晶部の大きさに変化が見られないことがわかる。具体的には、図
27中の(2)および(3)で示すように、電子の累積照射量によらず、nc-OSおよ
びCAAC-OSの結晶部の大きさは、それぞれ1.4nm程度および2.1nm程度で
あることがわかる。
る。一方、nc-OSおよびCAAC-OSは、電子照射による結晶部の成長がほとんど
見られないことがわかる。即ち、a-like OSは、nc-OSおよびCAAC-O
Sと比べて、不安定な構造であることがわかる。
て密度の低い構造である。具体的には、a-like OSの密度は、同じ組成の単結晶
の密度の78.6%以上92.3%未満となる。また、nc-OSの密度およびCAAC
-OSの密度は、同じ組成の単結晶の密度の92.3%以上100%未満となる。単結晶
の密度の78%未満となる酸化物半導体は、成膜すること自体が困難である。
面体晶構造を有する単結晶InGaZnO4の密度は6.357g/cm3となる。よっ
て、例えば、In:Ga:Zn=1:1:1[原子数比]を満たす酸化物半導体において
、a-like OSの密度は5.0g/cm3以上5.9g/cm3未満となる。また
、例えば、In:Ga:Zn=1:1:1[原子数比]を満たす酸化物半導体において、
nc-OSの密度およびCAAC-OSの密度は5.9g/cm3以上6.3g/cm3
未満となる。
単結晶を組み合わせることにより、所望の組成における単結晶に相当する密度を見積もる
ことができる。所望の組成の単結晶に相当する密度は、組成の異なる単結晶を組み合わせ
る割合に対して、加重平均を用いて見積もればよい。ただし、密度は、可能な限り少ない
種類の単結晶を組み合わせて見積もることが好ましい。
お、酸化物半導体は、例えば、非晶質酸化物半導体、a-like OS、nc-OS、
CAAC-OSのうち、二種以上を有する積層膜であってもよい。
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタなどを利用した半導体装置
の回路の一例について説明する。
図28(A)に示す回路図は、pチャネル型のトランジスタ2200とnチャネル型のト
ランジスタ2100を直列に接続し、かつそれぞれのゲートを接続した、いわゆるCMO
Sインバータの構成を示している。
図29は、図28(A)に対応する半導体装置の断面図である。図29に示す半導体装置
は、トランジスタ2200と、トランジスタ2100と、を有する。また、トランジスタ
2100は、トランジスタ2200の上方に配置する。なお、トランジスタ2100とし
て、上述の実施の形態において記載したトランジスタを用いることができる。よって、ト
ランジスタ2100については、適宜上述したトランジスタについての記載を参酌するこ
とができる。
トランジスタ2200は、半導体基板450中の領域472aと、半導体基板450中の
領域472bと、絶縁体462と、導電体454と、を有する。
ドレイン領域としての機能を有する。また、絶縁体462は、ゲート絶縁体としての機能
を有する。また、導電体454は、ゲート電極としての機能を有する。したがって、導電
体454に印加する電位によって、チャネル形成領域の抵抗を制御することができる。即
ち、導電体454に印加する電位によって、領域472aと領域472bとの間の導通・
非導通を制御することができる。
たは炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛
、酸化ガリウムなどの半導体基板などを用いればよい。好ましくは、半導体基板450と
して単結晶シリコン基板を用いる。
し、半導体基板450として、p型の導電型を付与する不純物を有する半導体基板を用い
ても構わない。その場合、トランジスタ2200となる領域には、n型の導電型を付与す
る不純物を有するウェルを配置すればよい。または、半導体基板450がi型であっても
構わない。
ランジスタ2200のオン特性を向上させることができる。
。このようにして、トランジスタ2200はpチャネル型トランジスタを構成する。
れる。領域460は、絶縁性を有する領域である。
480aと、導電体480bと、導電体480cと、導電体478aと、導電体478b
と、導電体478cと、導電体476aと、導電体476bと、導電体474aと、導電
体474bと、導電体474cと、導電体496aと、導電体496bと、導電体496
cと、導電体496dと、導電体498aと、導電体498bと、導電体498cと、絶
縁体489と、絶縁体490と、絶縁体492と、絶縁体493と、絶縁体494と、絶
縁体495と、を有する。
64上に配置する。また、絶縁体468は、絶縁体466上に配置する。また、絶縁体4
89は、絶縁体468上に配置する。また、トランジスタ2100は、絶縁体489上に
配置する。また、絶縁体493は、トランジスタ2100上に配置する。また、絶縁体4
94は、絶縁体493上に配置する。
体454に達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体480a、導
電体480bまたは導電体480cが埋め込まれている。
部と、導電体480cに達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体
478a、導電体478bまたは導電体478cが埋め込まれている。
部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体476aまたは導電体476bが埋
め込まれている。
電体476aに達する開口部と、導電体476bに達する開口部と、を有する。また、開
口部には、それぞれ導電体474a、導電体474bまたは導電体474cが埋め込まれ
ている。
。または、例えば、導電体474aに一定の電位を印加することで、トランジスタ210
0のしきい値電圧などの電気特性を制御しても構わない。または、例えば、導電体474
aとトランジスタ2100のゲート電極としての機能を有する導電体504とを電気的に
接続しても構わない。こうすることで、トランジスタ2100のオン電流を大きくするこ
とができる。また、パンチスルー現象を抑制することができるため、トランジスタ210
0の飽和領域における電気特性を安定にすることができる。なお、導電体474aは上記
実施の形態の導電体160に相当するため、詳細については導電体160の記載を参酌す
ることができる。
上記実施の形態の絶縁体120に相当するため、詳細については絶縁体120の記載を参
酌することができる。
507bを通って、導電体474bに達する開口部と、トランジスタ2100のソースま
たはドレインの他方である領域507aに達する開口部と、トランジスタ2100のゲー
ト電極である導電体504に達する開口部と、導電体474cに達する開口部と、を有す
る。なお、絶縁体495は上記実施の形態の絶縁体150に相当するため、詳細について
は絶縁体150の記載を参酌することができる。
507bを通って、導電体474bに達する開口部と、トランジスタ2100のソースま
たはドレインの他方である領域507aに達する開口部と、トランジスタ2100のゲー
ト電極である導電体504に達する開口部と、導電体474cに達する開口部と、を有す
る。また、開口部には、それぞれ導電体496a、導電体496b、導電体496cまた
は導電体496dが埋め込まれている。ただし、それぞれの開口部は、さらにトランジス
タ2100などの構成要素のいずれかが有する開口部を介する場合がある。
496dに達する開口部と、導電体496cに達する開口部と、を有する。また、開口部
には、それぞれ導電体498a、導電体498bまたは導電体498cが埋め込まれてい
る。
494としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニ
ウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジル
コニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、ま
たは積層で用いればよい。
494の一以上は、水素などの不純物および酸素をブロックする機能を有する絶縁体を有
することが好ましい。トランジスタ2100の近傍に、水素などの不純物および酸素をブ
ロックする機能を有する絶縁体を配置することによって、トランジスタ2100の電気特
性を安定にすることができる。
素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リン、塩素、
アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、ネオジム
、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いればよい。
導電体478c、導電体476a、導電体476b、導電体474a、導電体474b、
導電体474c、導電体496a、導電体496b、導電体496c、導電体496d、
導電体498a、導電体498bおよび導電体498cとしては、例えば、ホウ素、窒素
、酸素、フッ素、シリコン、リン、アルミニウム、チタン、クロム、マンガン、コバルト
、ニッケル、銅、亜鉛、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウ
ム、銀、インジウム、スズ、タンタルおよびタングステンを一種以上含む導電体を、単層
で、または積層で用いればよい。例えば、合金や化合物であってもよく、アルミニウムを
含む導電体、銅およびチタンを含む導電体、銅およびマンガンを含む導電体、インジウム
、スズおよび酸素を含む導電体、チタンおよび窒素を含む導電体などを用いてもよい。
構造が異なるのみである。よって、図30に示す半導体装置については、図29に示した
半導体装置の記載を参酌する。具体的には、図30に示す半導体装置は、トランジスタ2
200がFin型である場合を示している。トランジスタ2200をFin型とすること
により、実効上のチャネル幅が増大することによりトランジスタ2200のオン特性を向
上させることができる。また、ゲート電極の電界の寄与を高くすることができるため、ト
ランジスタ2200のオフ特性を向上させることができる。
構造が異なるのみである。よって、図31に示す半導体装置については、図29に示した
半導体装置の記載を参酌する。具体的には、図31に示す半導体装置は、トランジスタ2
200がSOI基板である半導体基板450に設けられた場合を示している。図31には
、絶縁体452によって領域456が半導体基板450と分離されている構造を示す。半
導体基板450としてSOI基板を用いることによって、パンチスルー現象などを抑制す
ることができるためトランジスタ2200のオフ特性を向上させることができる。なお、
絶縁体452は、半導体基板450を絶縁体化させることによって形成することができる
。例えば、絶縁体452としては、酸化シリコンを用いることができる。
を作製し、その上方にnチャネル型トランジスタを作製するため、素子の占有面積を縮小
することができる。即ち、半導体装置の集積度を高くすることができる。また、nチャネ
ル型トランジスタと、pチャネル型トランジスタとを同一の半導体基板を用いて作製した
場合と比べて、工程を簡略化することができるため、半導体装置の生産性を高くすること
ができる。また、半導体装置の歩留まりを高くすることができる。また、pチャネル型ト
ランジスタは、LDD(Lightly Doped Drain)領域、シャロートレ
ンチ構造、歪み設計などの複雑な工程を省略できる場合がある。そのため、nチャネル型
トランジスタを、半導体基板を用いて作製する場合と比べて、生産性および歩留まりを高
くすることができる場合がある。
また図28(B)に示す回路図は、トランジスタ2100とトランジスタ2200のそれ
ぞれのソースとドレインを接続した構成を示している。このような構成とすることで、い
わゆるCMOSアナログスイッチとして機能させることができる。
本発明の一態様に係るトランジスタを用いた、電力が供給されない状況でも記憶内容の保
持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い半導体装置(記憶装置)の一例を図32
に示す。
半導体を用いたトランジスタ3300、および容量素子3400を有している。なお、ト
ランジスタ3300としては、上述のトランジスタ2100と同様のトランジスタを用い
ることができる。
00は、例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタを用いることができる。トランジス
タ3300のオフ電流が小さいことにより、半導体装置の特定のノードに長期にわたり記
憶内容を保持することが可能である。つまり、リフレッシュ動作を必要としない、または
リフレッシュ動作の頻度が極めて少なくすることが可能となるため、消費電力の低い半導
体装置となる。
接続され、第2の配線3002はトランジスタ3200のドレインと電気的に接続される
。また、第3の配線3003はトランジスタ3300のソース、ドレインの一方と電気的
に接続され、第4の配線3004はトランジスタ3300のゲートと電気的に接続されて
いる。そして、トランジスタ3200のゲート、およびトランジスタ3300のソース、
ドレインの他方は、容量素子3400の電極の一方と電気的に接続され、第5の配線30
05は容量素子3400の電極の他方と電気的に接続されている。
う特性を有することで、以下に示すように、情報の書き込み、保持、読み出しが可能であ
る。
ンジスタ3300が導通状態となる電位にして、トランジスタ3300を導通状態とする
。これにより、第3の配線3003の電位が、トランジスタ3200のゲート、および容
量素子3400の電極の一方と電気的に接続するノードFGに与えられる。即ち、トラン
ジスタ3200のゲートには、所定の電荷が与えられる(書き込み)。ここでは、異なる
二つの電位レベルを与える電荷(以下Lowレベル電荷、Highレベル電荷という。)
のどちらかが与えられるものとする。その後、第4の配線3004の電位を、トランジス
タ3300が非導通状態となる電位にして、トランジスタ3300を非導通状態とするこ
とにより、ノードFGに電荷が保持される(保持)。
持される。
えた状態で、第5の配線3005に適切な電位(読み出し電位)を与えると、第2の配線
3002は、ノードFGに保持された電荷量に応じた電位をとる。これは、トランジスタ
3200をnチャネル型とすると、トランジスタ3200のゲートにHighレベル電荷
が与えられている場合の見かけ上のしきい値電圧Vth_Hは、トランジスタ3200の
ゲートにLowレベル電荷が与えられている場合の見かけ上のしきい値電圧Vth_Lよ
り低くなるためである。ここで、見かけ上のしきい値電圧とは、トランジスタ3200を
「導通状態」とするために必要な第5の配線3005の電位をいうものとする。したがっ
て、第5の配線3005の電位をVth_HとVth_Lの間の電位V0とすることによ
り、ノードFGに与えられた電荷を判別できる。例えば、書き込みにおいて、ノードFG
にHighレベル電荷が与えられていた場合には、第5の配線3005の電位がV0(>
Vth_H)となれば、トランジスタ3200は「導通状態」となる。一方、ノードFG
にLowレベル電荷が与えられていた場合には、第5の配線3005の電位がV0(<V
th_L)となっても、トランジスタ3200は「非導通状態」のままである。このため
、第2の配線3002の電位を判別することで、ノードFGに保持されている情報を読み
出すことができる。
を読み出さなくてはならない。情報を読み出さないメモリセルにおいては、ノードFGに
与えられた電荷によらずトランジスタ3200が「非導通状態」となるような電位、つま
り、Vth_Hより低い電位を第5の配線3005に与えることで所望のメモリセルの情
報のみを読み出せる構成とすればよい。または、例えば、情報を読み出さないメモリセル
においては、ノードFGに与えられた電荷によらずトランジスタ3200が「導通状態」
となるような電位、つまり、Vth_Lより高い電位を第5の配線3005に与えること
で所望のメモリセルの情報のみを読み出せる構成とすればよい。
明に係る半導体装置はこれに限られるものではない。例えば、半導体装置のノードFGに
3種類以上の電荷を保持できる構成としてもよい。このような構成とすることにより、当
該半導体装置を多値化して記憶容量の増大を図ることができる。
図33は、図32(A)に対応する半導体装置の断面図である。図33に示す半導体装置
は、トランジスタ3200と、トランジスタ3300と、容量素子3400と、を有する
。また、トランジスタ3300および容量素子3400は、トランジスタ3200の上方
に配置する。なお、トランジスタ3300としては、上述したトランジスタ2100につ
いての記載を参照する。また、トランジスタ3200としては、図29に示したトランジ
スタ2200についての記載を参照する。なお、図29では、トランジスタ2200がp
チャネル型トランジスタである場合について説明したが、トランジスタ3200がnチャ
ネル型トランジスタであっても構わない。
トランジスタ2200は、半導体基板450中の領域472aと、半導体基板450中の
領域472bと、絶縁体462と、導電体454と、を有する。
480aと、導電体480bと、導電体480cと、導電体478aと、導電体478b
と、導電体478cと、導電体476aと、導電体476bと、導電体474aと、導電
体474bと、導電体474cと、導電体496aと、導電体496bと、導電体496
cと、導電体496dと、導電体498aと、導電体498bと、導電体498cと、絶
縁体489と、絶縁体490と、絶縁体492と、絶縁体493と、絶縁体494と、絶
縁体495と、を有する。
64上に配置する。また、絶縁体468は、絶縁体466上に配置する。また、絶縁体4
89は、絶縁体468上に配置する。また、トランジスタ2100は、絶縁体489上に
配置する。また、絶縁体493は、トランジスタ2100上に配置する。また、絶縁体4
94は、絶縁体493上に配置する。
体454に達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体480a、導
電体480bまたは導電体480cが埋め込まれている。
部と、導電体480cに達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体
478a、導電体478bまたは導電体478cが埋め込まれている。
部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体476aまたは導電体476bが埋
め込まれている。
電体476aに達する開口部と、導電体476bに達する開口部と、を有する。また、開
口部には、それぞれ導電体474a、導電体474bまたは導電体474cが埋め込まれ
ている。
わない。または、例えば、導電体474aに一定の電位を印加することで、トランジスタ
3300のしきい値電圧などの電気特性を制御しても構わない。または、例えば、導電体
474aとトランジスタ3300のトップゲート電極である導電体504とを電気的に接
続しても構わない。こうすることで、トランジスタ3300のオン電流を大きくすること
ができる。また、パンチスルー現象を抑制することができるため、トランジスタ3300
の飽和領域における電気特性を安定にすることができる。
部と、を有する。なお、絶縁体490は上記実施の形態の絶縁体120に相当するため、
詳細については絶縁体120の記載を参酌することができる。
507bを通って、導電体474bに達する開口部と、トランジスタ3300のソースま
たはドレインの他方である領域507aと絶縁体511を介して重なる導電体514に達
する開口部と、トランジスタ3300のゲート電極である導電体504に達する開口部と
、トランジスタ3300のソースまたはドレインの他方である領域507aを通って、導
電体474cに達する開口部と、を有する。なお、絶縁体495は上記実施の形態の絶縁
体150に相当するため、詳細については絶縁体150の記載を参酌することができる。
507bを通って、導電体474bに達する開口部と、トランジスタ3300のソースま
たはドレインの他方である領域507aと絶縁体511を介して重なる導電体514に達
する開口部と、トランジスタ3300のゲート電極である導電体504に達する開口部と
、トランジスタ3300のソースまたはドレインの他方である領域507aを通って、導
電体474cに達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体496a
、導電体496b、導電体496cまたは導電体496dが埋め込まれている。ただし、
それぞれの開口部は、さらにトランジスタ3300などの構成要素のいずれかが有する開
口部を介する場合がある。
部と、導電体496cに達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体
498a、導電体498bまたは導電体498cが埋め込まれている。
494の一以上は、水素などの不純物および酸素をブロックする機能を有する絶縁体を有
することが好ましい。トランジスタ3300の近傍に、水素などの不純物および酸素をブ
ロックする機能を有する絶縁体を配置することによって、トランジスタ3300の電気特
性を安定にすることができる。
、導電体476aと、導電体474bと、導電体496cと、を介してトランジスタ33
00のソースまたはドレインの一方である領域507bと電気的に接続する。また、トラ
ンジスタ3200のゲート電極である導電体454は、導電体480cと、導電体478
cと、導電体476bと、導電体474cと、導電体496dと、を介してトランジスタ
3300のソースまたはドレインの他方である領域507aと電気的に接続する。
07aと、導電体514と、絶縁体511、を有する。なお、絶縁体511は、トランジ
スタ3300のゲート絶縁体として機能する絶縁体と同一工程を経て形成できるため、生
産性を高めることができて好ましい場合がある。また、導電体514として、トランジス
タ3300のゲート電極として機能する導電体504と同一工程を経て形成した層を用い
ると、生産性を高めることができて好ましい場合がある。
構造が異なるのみである。よって、図34に示す半導体装置については、図33に示した
半導体装置の記載を参酌する。具体的には、図34に示す半導体装置は、トランジスタ3
200がFin型である場合を示している。Fin型であるトランジスタ3200につい
ては、図30に示したトランジスタ2200の記載を参照する。なお、図30では、トラ
ンジスタ2200がpチャネル型トランジスタである場合について説明したが、トランジ
スタ3200がnチャネル型トランジスタであっても構わない。
構造が異なるのみである。よって、図35に示す半導体装置については、図33に示した
半導体装置の記載を参酌する。具体的には、図35に示す半導体装置は、トランジスタ3
200がSOI基板である半導体基板450に設けられた場合を示している。SOI基板
である半導体基板450に設けられたトランジスタ3200については、図31に示した
トランジスタ2200の記載を参照する。なお、図31では、トランジスタ2200がp
チャネル型トランジスタである場合について説明したが、トランジスタ3200がnチャ
ネル型トランジスタであっても構わない。
図32(B)に示す半導体装置は、トランジスタ3200を有さない点で図32(A)に
示した半導体装置と異なる。この場合も図32(A)に示した半導体装置と同様の動作に
より情報の書き込みおよび保持動作が可能である。
タ3300が導通状態になると、浮遊状態である第3の配線3003と容量素子3400
とが導通し、第3の配線3003と容量素子3400の間で電荷が再分配される。その結
果、第3の配線3003の電位が変化する。第3の配線3003の電位の変化量は、容量
素子3400の電極の一方の電位(または容量素子3400に蓄積された電荷)によって
、異なる値をとる。
の配線3003が有する容量成分をCB、電荷が再分配される前の第3の配線3003の
電位をVB0とすると、電荷が再分配された後の第3の配線3003の電位は、(CB×
VB0+CV)/(CB+C)となる。したがって、メモリセルの状態として、容量素子
3400の電極の一方の電位がV1とV0(V1>V0)の2つの状態をとるとすると、
電位V1を保持している場合の第3の配線3003の電位(=(CB×VB0+CV1)
/(CB+C))は、電位V0を保持している場合の第3の配線3003の電位(=(C
B×VB0+CV0)/(CB+C))よりも高くなることがわかる。
ができる。
ンジスタを用い、トランジスタ3300として第2の半導体が適用されたトランジスタを
駆動回路上に積層して配置する構成とすればよい。
することで、長期にわたって記憶内容を保持することが可能となる。つまり、リフレッシ
ュ動作が不要となるか、またはリフレッシュ動作の頻度を極めて低くすることが可能とな
るため、消費電力の低い半導体装置を実現することができる。また、電力の供給がない場
合(ただし、電位は固定されていることが好ましい)であっても、長期にわたって記憶内
容を保持することが可能である。
りにくい。例えば、従来の不揮発性メモリのように、フローティングゲートへの電子の注
入や、フローティングゲートからの電子の引き抜きを行わないため、絶縁体の劣化といっ
た問題が生じない。即ち、本発明の一態様に係る半導体装置は、従来の不揮発性メモリで
問題となっている書き換え可能回数に制限はなく、信頼性が飛躍的に向上した半導体装置
である。さらに、トランジスタの導通状態、非導通状態によって、情報の書き込みが行わ
れるため、高速な動作が可能となる。
図32(A)に示す半導体装置(記憶装置)の変形例について、図36に示す回路図を用
いて説明する。
子4500及び容量素子4600と、を有する。ここでトランジスタ4100は、上述の
トランジスタ3200と同様のトランジスタを用いることができ、トランジスタ4200
乃至4400は、上述のトランジスタ3300と同様のトランジスタを用いることができ
る。なお、図36に示す半導体装置は、図36では図示を省略したが、マトリクス状に複
数設けられる。図36に示す半導体装置は、配線4001、配線4003、配線4005
乃至4009に与える信号又は電位に従って、データ電圧の書き込み、読み出しを制御す
ることができる。
ンジスタ4100のソース又はドレインの他方は、配線4001に接続される。なお図3
6では、トランジスタ4100の導電型をpチャネル型として示すが、nチャネル型でも
よい。
、ノードFG1に接続されるトランジスタ4400のソース又はドレインの一方、容量素
子4600の一方の電極、及びトランジスタ4200のソース又はドレインの一方の間で
電荷を保持する。また、第2のデータ保持部は、ノードFG2に接続されるトランジスタ
4100のゲート、トランジスタ4200のソース又はドレインの他方、トランジスタ4
300のソース又はドレインの一方、及び容量素子4500の一方の電極の間で電荷を保
持する。
ンジスタ4400のソース又はドレインの他方は、配線4001に接続される。トランジ
スタ4400のゲートは、配線4005に接続される。トランジスタ4200のゲートは
、配線4006に接続される。トランジスタ4300のゲートは、配線4007に接続さ
れる。容量素子4600の他方の電極は、配線4008に接続される。容量素子4500
の他方の電極は、配線4009に接続される。
イッチとしての機能を有する。なおトランジスタ4200乃至4400は、非導通状態に
おいてソースとドレインとの間を流れる電流(オフ電流)が低いトランジスタが用いられ
ることが好適である。オフ電流が少ないトランジスタとしては、チャネル形成領域に酸化
物半導体を有するトランジスタ(OSトランジスタ)であることが好ましい。OSトラン
ジスタは、オフ電流が低い、シリコンを有するトランジスタと重ねて作製できる等の利点
がある。なお図36では、トランジスタ4200乃至4400の導電型をnチャネル型と
して示すが、pチャネル型でもよい。
半導体を用いたトランジスタであっても別層に設けることが好ましい。すなわち、図36
に示す半導体装置は、図36に示すように、トランジスタ4100を有する第1の層40
21と、トランジスタ4200及びトランジスタ4300を有する第2の層4022と、
トランジスタ4400を有する第3の層4023と、で構成されることが好ましい。トラ
ンジスタを有する層を積層して設けることで、回路面積を縮小することができ、半導体装
置の小型化を図ることができる。
書き込み動作1とよぶ。)について説明する。なお、以下において、ノードFG1に接続
されるデータ保持部に書きこむデータ電圧をVD1とし、トランジスタ4100の閾値電
圧をVthとする。
電気的に浮遊状態とする。また配線4005、4006をハイレベルにする。また配線4
007乃至4009をローレベルにする。すると、電気的に浮遊状態にあるノードFG2
の電位が上昇し、トランジスタ4100に電流が流れる。電流が流れることで、配線40
01の電位が上昇する。またトランジスタ4400、トランジスタ4200が導通状態と
なる。そのため、配線4001の電位の上昇につれて、ノードFG1、FG2の電位が上
昇する。ノードFG2の電位が上昇し、トランジスタ4100でゲートとソースとの間の
電圧(Vgs)がトランジスタ4100の閾値電圧Vthになると、トランジスタ410
0を流れる電流が小さくなる。そのため、配線4001、ノードFG1、FG2の電位の
上昇は止まり、VD1からVthだけ下がった「VD1-Vth」で一定となる。
配線4001に与えられ、ノードFG1、FG2の電位が上昇する。電位の上昇によって
、ノードFG2の電位が「VD1-Vth」となると、トランジスタ4100のVgsが
Vthとなるため、電流が止まる。
き込み動作2とよぶ。)について説明する。なお、ノードFG2に接続されるデータ保持
部に書きこむデータ電圧をVD2として説明する。
電気的に浮遊状態とする。また配線4007をハイレベルにする。また配線4005、4
006、4008、4009をローレベルにする。トランジスタ4300を導通状態とし
て配線4003をローレベルにする。そのため、ノードFG2の電位もローレベルにまで
低下し、トランジスタ4100に電流が流れる。電流が流れることで、配線4003の電
位が上昇する。またトランジスタ4300が導通状態となる。そのため、配線4003の
電位の上昇につれて、ノードFG2の電位が上昇する。ノードFG2の電位が上昇し、ト
ランジスタ4100でVgsがトランジスタ4100のVthになると、トランジスタ4
100を流れる電流が小さくなる。そのため、配線4003、FG2の電位の上昇は止ま
り、VD2からVthだけ下がった「VD2-Vth」で一定となる。
配線4003に与えられ、ノードFG2の電位が上昇する。電位の上昇によって、ノード
FG2の電位が「VD2-Vth」となると、トランジスタ4100のVgsがVthと
なるため、電流が止まる。このとき、ノードFG1の電位は、トランジスタ4200、4
400共に非導通状態であり、書き込み動作1で書きこんだ「VD1-Vth」が保持さ
れる。
4009をハイレベルにして、ノードFG1、FG2の電位を上昇させる。そして、各ト
ランジスタを非導通状態として、電荷の移動をなくし、書きこんだデータ電圧を保持する
。
タ保持部にデータ電圧を保持させることができる。なお書きこまれる電位として、「VD
1-Vth」や「VD2-Vth」を一例として挙げて説明したが、これらは多値のデー
タに対応するデータ電圧である。そのため、それぞれのデータ保持部で4ビットのデータ
を保持する場合、16値の「VD1-Vth」や「VD2-Vth」を取り得る。
読み出し動作1とよぶ。)について説明する。
を放電させる。配線4005乃至4008をローレベルにする。また、配線4009をロ
ーレベルとして、電気的に浮遊状態にあるノードFG2の電位を「VD2-Vth」とす
る。ノードFG2の電位が下がることで、トランジスタ4100に電流が流れる。電流が
流れることで、電気的に浮遊状態の配線4003の電位が低下する。配線4003の電位
の低下につれて、トランジスタ4100のVgsが小さくなる。トランジスタ4100の
Vgsがトランジスタ4100のVthになると、トランジスタ4100を流れる電流が
小さくなる。すなわち、配線4003の電位が、ノードFG2の電位「VD2-Vth」
からVthだけ大きい値である「VD2」となる。この配線4003の電位は、ノードF
G2に接続されるデータ保持部のデータ電圧に対応する。読み出されたアナログ値のデー
タ電圧はA/D変換を行い、ノードFG2に接続されるデータ保持部のデータを取得する
。
ルからローレベルに切り替えることで、トランジスタ4100に電流が流れる。電流が流
れることで、浮遊状態にあった配線4003の電位は低下して「VD2」となる。トラン
ジスタ4100では、ノードFG2の「VD2-Vth」との間のVgsがVthとなる
ため、電流が止まる。そして、配線4003には、書き込み動作2で書きこんだ「VD2
」が読み出される。
導通状態として、ノードFG2の「VD2-Vth」を放電させる。
るデータ保持部のデータ電圧を、ノードFG2に接続されるデータ保持部に移す。ここで
、配線4001、4003をローレベルとする。配線4006をハイレベルにする。また
、配線4005、配線4007乃至4009をローレベルにする。トランジスタ4200
が導通状態となることで、ノードFG1の電荷が、ノードFG2との間で分配される。
ため、容量素子4600の容量値は、容量素子4500の容量値よりも大きくしておくこ
とが好ましい。あるいは、ノードFG1に書きこむ電位「VD1-Vth」は、同じデー
タを表す電位「VD2-Vth」よりも大きくすることが好ましい。このように、容量値
の比を変えること、予め書きこむ電位を大きくしておくことで、電荷の分配後の電位の低
下を抑制することができる。電荷の分配による電位の変動については、後述する。
み出し動作2とよぶ。)について説明する。
を放電させる。配線4005乃至4008をローレベルにする。また、配線4009は、
プリチャージ時にハイレベルとして、その後ローレベルとする。配線4009をローレベ
ルとすることで、電気的に浮遊状態にあるノードFG2の電位を「VD1-Vth」とす
る。ノードFG2の電位が下がることで、トランジスタ4100に電流が流れる。電流が
流れることで、電気的に浮遊状態の配線4003の電位が低下する。配線4003の電位
の低下につれて、トランジスタ4100のVgsが小さくなる。トランジスタ4100の
Vgsがトランジスタ4100のVthになると、トランジスタ4100を流れる電流が
小さくなる。すなわち、配線4003の電位が、ノードFG2の電位「VD1-Vth」
からVthだけ大きい値である「VD1」となる。この配線4003の電位は、ノードF
G1に接続されるデータ保持部のデータ電圧に対応する。読み出されたアナログ値のデー
タ電圧はA/D変換を行い、ノードFG1に接続されるデータ保持部のデータを取得する
。以上が、ノードFG1に接続されるデータ保持部へのデータ電圧の読み出し動作である
。
ルからローレベルに切り替えることで、トランジスタ4100に電流が流れる。電流が流
れることで、浮遊状態にあった配線4003の電位は低下して「VD1」となる。トラン
ジスタ4100では、ノードFG2の「VD1-Vth」との間のVgsがVthとなる
ため、電流が止まる。そして、配線4003には、書き込み動作1で書きこんだ「VD1
」が読み出される。
ータ保持部からデータ電圧を読み出すことができる。例えば、ノードFG1及びノードF
G2にそれぞれ4ビット(16値)のデータを保持することで計8ビット(256値)の
データを保持することができる。また、図36においては、第1の層4021乃至第3の
層4023からなる構成としたが、さらに層を形成することによって、半導体装置の面積
を増大させず記憶容量の増加を図ることができる。
すことができる。そのため、書き込み動作で書きこんだ「VD1-Vth」や「VD2-
Vth」のVthを相殺して読み出す構成とすることができる。その結果、メモリセルあ
たりの記憶容量を向上させるとともに、読み出されるデータを正しいデータに近づけるこ
とができるため、データの信頼性を優れたものとすることができる。
、トランジスタ4100乃至トランジスタ4400と、容量素子4500及び容量素子4
600と、を有する。ここで、トランジスタ4100は第1の層4021に形成され、ト
ランジスタ4200、4300、及び容量素子4500は第2の層4022に形成され、
トランジスタ4400及び容量素子4600は第3の層4023に形成される。
ランジスタ4100としてはトランジスタ3200の記載を参酌することができる。また
、その他の配線、絶縁体等についても適宜図33の記載を参酌することができる。
て容量を形成する構成としたが、図37に示す容量素子4500、4600では、トレン
チ状に導電層を設けて、容量を形成する構成としている。このような構成とすることで、
同じ占有面積であっても大きい容量値を確保することができる。
また本発明の一態様は、FPGA(Field Programmable Gate
Array)などのLSIにも適用可能である。
ッチエレメント521と、ロジックエレメント522とによって構成される。また、ロジ
ックエレメント522は、コンフィギュレーションメモリに記憶したコンフィギュレーシ
ョンデータに応じて、組み合わせ回路の機能、または順序回路の機能といった論理回路の
機能を切り替えることができる。
である。ルーティングスイッチエレメント521は、コンフィギュレーションメモリ52
3に記憶したコンフィギュレーションデータに応じて、ロジックエレメント522間の接
続を切り替えることができる。なお図38(B)では、スイッチを一つ示し、端子INと
端子OUTの間の接続を切り替える様子を示しているが、実際には複数あるロジックエレ
メント522間にスイッチが設けられる。
を示す。コンフィギュレーションメモリ523は、OSトランジスタで構成されるトラン
ジスタM11と、Siトランジスタで構成されるトランジスタM12によって構成される
。ノードFNSWには、トランジスタM11を介してコンフィギュレーションデータDS
Wが与えられる。このコンフィギュレーションデータDSWの電位は、トランジスタM1
1を非導通状態とすることで、保持することができる。保持したコンフィギュレーション
データDSWの電位によって、トランジスタM12の導通状態が切り替えられ、端子IN
と端子OUTの間の接続を切り替えることができる。
ックエレメント522は、コンフィギュレーションメモリ527に記憶したコンフィギュ
レーションデータに応じて、端子OUTmemの電位を切り替えることができる。ルック
アップテーブル524は、端子OUTmemの電位に応じて、端子INの信号を処理する
組み合わせ回路の機能を切り替えることができる。またロジックエレメント522は、順
序回路であるレジスタ525と、端子OUTの信号を切り替えるためのセレクタ526を
有する。セレクタ526は、コンフィギュレーションメモリ527から出力される端子O
UTmemの電位に応じて、ルックアップテーブル524の信号の出力か、レジスタ52
5の信号の出力か、を選択することができる。
を示す。コンフィギュレーションメモリ527は、OSトランジスタで構成されるトラン
ジスタM13、トランジスタM14と、Siトランジスタで構成されるトランジスタM1
5、トランジスタM16と、によって構成される。ノードFNLEには、トランジスタM
13を介してコンフィギュレーションデータDLEが与えられる。ノードFNBLEには
、トランジスタM14を介してコンフィギュレーションデータDBLEが与えられる。コ
ンフィギュレーションデータDBLEは、コンフィギュレーションデータDLEの論理が
反転した電位に相当する。このコンフィギュレーションデータDLE、コンフィギュレー
ションデータDBLEの電位は、トランジスタM13、トランジスタM14を非導通状態
とすることで、保持することができる。保持したコンフィギュレーションデータDLE、
コンフィギュレーションデータDBLEの電位によって、トランジスタM15またはトラ
ンジスタM16の一方の導通状態が切り替えられ、端子OUTmemには電位VDDまた
は電位VSSを与えることができる。
できる。例えばトランジスタM12、トランジスタM15、トランジスタM16をSiト
ランジスタで構成し、トランジスタM11、トランジスタM13、トランジスタM14を
OSトランジスタで構成する。この場合、下層にあるSiトランジスタ間を接続する配線
を低抵抗な導電材料で構成することができる。そのため、アクセス速度の向上、低消費電
力化に優れた回路とすることができる。
できる。
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタなどを利用した撮像装置の
一例について説明する。
図39(A)は、本発明の一態様に係る撮像装置200の例を示す平面図である。撮像装
置200は、画素部210と、画素部210を駆動するための周辺回路260と、周辺回
路270、周辺回路280と、周辺回路290と、を有する。画素部210は、p行q列
(pおよびqは2以上の整数)のマトリクス状に配置された複数の画素211を有する。
周辺回路260、周辺回路270、周辺回路280および周辺回路290は、それぞれ複
数の画素211に接続し、複数の画素211を駆動するための信号を供給する機能を有す
る。なお、本明細書等において、周辺回路260、周辺回路270、周辺回路280およ
び周辺回路290などの全てを指して「周辺回路」または「駆動回路」と呼ぶ場合がある
。例えば、周辺回路260は周辺回路の一部といえる。
1を放射することができる。
回路の1つを有する。また、周辺回路は、画素部210を形成する基板上に形成してもよ
い。また、周辺回路の一部または全部をICチップ等の半導体装置を用いてもよい。なお
、周辺回路は、周辺回路260、周辺回路270、周辺回路280および周辺回路290
のいずれか一以上を省略してもよい。
211を傾けて配置してもよい。画素211を傾けて配置することにより、行方向および
列方向の画素間隔(ピッチ)を短くすることができる。これにより、撮像装置200にお
ける撮像の品質をより高めることができる。
撮像装置200が有する1つの画素211を複数の副画素212で構成し、それぞれの副
画素212に特定の波長域の光を透過するフィルタ(カラーフィルタ)を組み合わせるこ
とで、カラー画像表示を実現するための情報を取得することができる。
40(A)に示す画素211は、赤(R)の波長域の光を透過するカラーフィルタが設け
られた副画素212(以下、「副画素212R」ともいう)、緑(G)の波長域の光を透
過するカラーフィルタが設けられた副画素212(以下、「副画素212G」ともいう)
および青(B)の波長域の光を透過するカラーフィルタが設けられた副画素212(以下
、「副画素212B」ともいう)を有する。副画素212は、フォトセンサとして機能さ
せることができる。
1、配線247、配線248、配線249、配線250と電気的に接続される。また、副
画素212R、副画素212G、および副画素212Bは、それぞれが独立した配線25
3に接続している。また、本明細書等において、例えばn行目の画素211に接続された
配線248および配線249を、それぞれ配線248[n]および配線249[n]と記
載する。また、例えばm列目の画素211に接続された配線253を、配線253[m]
と記載する。なお、図40(A)において、m列目の画素211が有する副画素212R
に接続する配線253を配線253[m]R、副画素212Gに接続する配線253を配
線253[m]G、および副画素212Bに接続する配線253を配線253[m]Bと
記載している。副画素212は、上記配線を介して周辺回路と電気的に接続される。
ルタが設けられた副画素212同士がスイッチを介して電気的に接続する構成を有する。
図40(B)に、n行(nは1以上p以下の整数)m列(mは1以上q以下の整数)に配
置された画素211が有する副画素212と、該画素211に隣接するn+1行m列に配
置された画素211が有する副画素212の接続例を示す。図40(B)において、n行
m列に配置された副画素212Rと、n+1行m列に配置された副画素212Rがスイッ
チ201を介して接続されている。また、n行m列に配置された副画素212Gと、n+
1行m列に配置された副画素212Gがスイッチ202を介して接続されている。また、
n行m列に配置された副画素212Bと、n+1行m列に配置された副画素212Bがス
イッチ203を介して接続されている。
れず、それぞれシアン(C)、黄(Y)およびマゼンダ(M)の光を透過するカラーフィ
ルタを用いてもよい。1つの画素211に3種類の異なる波長域の光を検出する副画素2
12を設けることで、フルカラー画像を取得することができる。
けられた副画素212に加えて、黄(Y)の光を透過するカラーフィルタが設けられた副
画素212を有する画素211を用いてもよい。または、それぞれシアン(C)、黄(Y
)およびマゼンダ(M)の光を透過するカラーフィルタが設けられた副画素212に加え
て、青(B)の光を透過するカラーフィルタが設けられた副画素212を有する画素21
1を用いてもよい。1つの画素211に4種類の異なる波長域の光を検出する副画素21
2を設けることで、取得した画像の色の再現性をさらに高めることができる。
長域の光を検出する副画素212、および青の波長域の光を検出する副画素212の画素
数比(または受光面積比)は、1:1:1でなくても構わない。例えば、画素数比(受光
面積比)を赤:緑:青=1:2:1とするBayer配列としてもよい。または、画素数
比(受光面積比)を赤:緑:青=1:6:1としてもよい。
、同じ波長域の光を検出する副画素212を2つ以上設けることで、冗長性を高め、撮像
装置200の信頼性を高めることができる。
フィルタを用いることで、赤外光を検出する撮像装置200を実現することができる。
ることで、光電変換素子(受光素子)に大光量光が入射した時に生じる出力飽和すること
を防ぐことができる。減光量の異なるNDフィルタを組み合わせて用いることで、撮像装
置のダイナミックレンジを大きくすることができる。
断面図を用いて、画素211、フィルタ254、レンズ255の配置例を説明する。レン
ズ255を設けることで、光電変換素子が入射光を効率よく受光することができる。具体
的には、図41(A)に示すように、画素211に形成したレンズ255、フィルタ25
4(フィルタ254R、フィルタ254Gおよびフィルタ254B)、および画素回路2
30等を通して光256を光電変換素子220に入射させる構造とすることができる。
一部によって遮光されてしまうことがある。したがって、図41(B)に示すように光電
変換素子220側にレンズ255およびフィルタ254を配置して、光電変換素子220
が光256を効率良く受光させる構造が好ましい。光電変換素子220側から光256を
光電変換素子220に入射させることで、検出感度の高い撮像装置200を提供すること
ができる。
光電変換素子を用いてもよい。
いて形成してもよい。放射線を吸収して電荷を発生させる機能を有する物質としては、セ
レン、ヨウ化鉛、ヨウ化水銀、ヒ化ガリウム、テルル化カドミウム、カドミウム亜鉛合金
等がある。
X線や、ガンマ線といった幅広い波長域にわたって光吸収係数を有する光電変換素子22
0を実現できる。
て、第1のフィルタを有する副画素212を有してもよい。
以下では、シリコンを用いたトランジスタと、酸化物半導体を用いたトランジスタと、を
用いて画素を構成する一例について説明する。
に示す撮像装置は、シリコン基板300に設けられたシリコンを用いたトランジスタ35
1、トランジスタ351上に積層して配置された酸化物半導体を用いたトランジスタ35
2およびトランジスタ353、ならびにシリコン基板300に設けられたフォトダイオー
ド360を含む。各トランジスタおよびフォトダイオード360は、種々のプラグ370
および配線371と電気的な接続を有する。また、フォトダイオード360のアノード3
61は、低抵抗領域363を介してプラグ370と電気的に接続を有する。
オード360を有する層310と、層310と接して設けられ、配線371を有する層3
20と、層320と接して設けられ、トランジスタ352およびトランジスタ353を有
する層330と、層330と接して設けられ、配線372および配線373を有する層3
40を備えている。
1が形成された面とは逆側の面にフォトダイオード360の受光面を有する構成とする。
該構成とすることで、各種トランジスタや配線などの影響を受けずに光路を確保すること
ができる。そのため、高開口率の画素を形成することができる。なお、フォトダイオード
360の受光面をトランジスタ351が形成された面と同じとすることもできる。
0を、酸化物半導体を用いたトランジスタを有する層とすればよい。または層310を省
略し、酸化物半導体を用いたトランジスタのみで画素を構成してもよい。
省略すればよい。層330を省略した断面図の一例を図42(B)に示す。
替えて、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化シリコン、ヒ化ガリウム、ヒ化アル
ミニウムガリウム、リン化インジウム、窒化ガリウムまたは有機半導体を有する基板を用
いることもできる。
ジスタ352およびトランジスタ353を有する層330と、の間には絶縁体380が設
けられる。ただし、絶縁体380の位置は限定されない。
ングリングボンドを終端し、トランジスタ351の信頼性を向上させる効果がある。一方
、トランジスタ352およびトランジスタ353などの近傍に設けられる絶縁体中の水素
は、酸化物半導体中にキャリアを生成する要因の一つとなる。そのため、トランジスタ3
52およびトランジスタ353などの信頼性を低下させる要因となる場合がある。したが
って、シリコン系半導体を用いたトランジスタの上層に酸化物半導体を用いたトランジス
タを積層して設ける場合、これらの間に水素をブロックする機能を有する絶縁体380を
設けることが好ましい。絶縁体380より下層に水素を閉じ込めることで、トランジスタ
351の信頼性を向上させることができる。さらに、絶縁体380より下層から、絶縁体
380より上層に水素が拡散することを抑制できるため、トランジスタ352およびトラ
ンジスタ353などの信頼性を向上させることができる。
いる。
330に設けるトランジスタとを重なるように形成することができる。そうすると、画素
の集積度を高めることができる。すなわち、撮像装置の解像度を高めることができる。
湾曲させてもよい。図43(A1)は、撮像装置を同図中の一点鎖線X1-X2の方向に
湾曲させた状態を示している。図43(A2)は、図43(A1)中の一点鎖線X1-X
2で示した部位の断面図である。図43(A3)は、図43(A1)中の一点鎖線Y1-
Y2で示した部位の断面図である。
図中の一点鎖線Y3-Y4の方向に湾曲させた状態を示している。図43(B2)は、図
43(B1)中の一点鎖線X3-X4で示した部位の断面図である。図43(B3)は、
図43(B1)中の一点鎖線Y3-Y4で示した部位の断面図である。
像装置と組み合わせて用いるレンズなどの光学設計を容易とすることができる。例えば、
収差補正のためのレンズ枚数を低減できるため、撮像装置を用いた電子機器などの小型化
や軽量化を実現することができる。また、撮像された画像の品質を向上させる事ができる
。
できる。
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタや上述した記憶装置などの
半導体装置を含むCPUの一例について説明する。
図44は、上述したトランジスタを一部に用いたCPUの一例の構成を示すブロック図で
ある。
ic logic unit、演算回路)、ALUコントローラ1192、インストラク
ションデコーダ1193、インタラプトコントローラ1194、タイミングコントローラ
1195、レジスタ1196、レジスタコントローラ1197、バスインターフェース1
198、書き換え可能なROM1199、およびROMインターフェース1189を有し
ている。基板1190は、半導体基板、SOI基板、ガラス基板などを用いる。ROM1
199およびROMインターフェース1189は、別チップに設けてもよい。もちろん、
図44に示すCPUは、その構成を簡略化して示した一例にすぎず、実際のCPUはその
用途によって多種多様な構成を有している。例えば、図44に示すCPUまたは演算回路
を含む構成を一つのコアとし、当該コアを複数含み、それぞれのコアが並列で動作するよ
うな構成としてもよい。また、CPUが内部演算回路やデータバスで扱えるビット数は、
例えば8ビット、16ビット、32ビット、64ビットなどとすることができる。
デコーダ1193に入力され、デコードされた後、ALUコントローラ1192、インタ
ラプトコントローラ1194、レジスタコントローラ1197、タイミングコントローラ
1195に入力される。
ラ1197、タイミングコントローラ1195は、デコードされた命令に基づき、各種制
御を行なう。具体的にALUコントローラ1192は、ALU1191の動作を制御する
ための信号を生成する。また、インタラプトコントローラ1194は、CPUのプログラ
ム実行中に、外部の入出力装置や、周辺回路からの割り込み要求を、その優先度やマスク
状態から判断し、処理する。レジスタコントローラ1197は、レジスタ1196のアド
レスを生成し、CPUの状態に応じてレジスタ1196の読み出しや書き込みを行なう。
2、インストラクションデコーダ1193、インタラプトコントローラ1194、および
レジスタコントローラ1197の動作のタイミングを制御する信号を生成する。例えばタ
イミングコントローラ1195は、基準クロック信号を元に、内部クロック信号を生成す
る内部クロック生成部を備えており、内部クロック信号を上記各種回路に供給する。
1196のメモリセルとして、上述したトランジスタや記憶装置などを用いることができ
る。
指示に従い、レジスタ1196における保持動作の選択を行う。即ち、レジスタ1196
が有するメモリセルにおいて、フリップフロップによるデータの保持を行うか、容量素子
によるデータの保持を行うかを、選択する。フリップフロップによるデータの保持が選択
されている場合、レジスタ1196内のメモリセルへの、電源電圧の供給が行われる。容
量素子におけるデータの保持が選択されている場合、容量素子へのデータの書き換えが行
われ、レジスタ1196内のメモリセルへの電源電圧の供給を停止することができる。
である。記憶素子1200は、電源遮断で記憶データが揮発する回路1201と、電源遮
断で記憶データが揮発しない回路1202と、スイッチ1203と、スイッチ1204と
、論理素子1206と、容量素子1207と、選択機能を有する回路1220と、を有す
る。回路1202は、容量素子1208と、トランジスタ1209と、トランジスタ12
10と、を有する。なお、記憶素子1200は、必要に応じて、ダイオード、抵抗素子、
インダクタなどのその他の素子をさらに有していてもよい。
への電源電圧の供給が停止した際、回路1202のトランジスタ1209のゲートにはG
ND(0V)、またはトランジスタ1209がオフする電位が入力され続ける構成とする
。例えば、トランジスタ1209のゲートが抵抗等の負荷を介して接地される構成とする
。
て構成され、スイッチ1204は、一導電型とは逆の導電型(例えば、pチャネル型)の
トランジスタ1214を用いて構成した例を示す。ここで、スイッチ1203の第1の端
子はトランジスタ1213のソースとドレインの一方に対応し、スイッチ1203の第2
の端子はトランジスタ1213のソースとドレインの他方に対応し、スイッチ1203は
トランジスタ1213のゲートに入力される制御信号RDによって、第1の端子と第2の
端子の間の導通または非導通(つまり、トランジスタ1213の導通状態または非導通状
態)が選択される。スイッチ1204の第1の端子はトランジスタ1214のソースとド
レインの一方に対応し、スイッチ1204の第2の端子はトランジスタ1214のソース
とドレインの他方に対応し、スイッチ1204はトランジスタ1214のゲートに入力さ
れる制御信号RDによって、第1の端子と第2の端子の間の導通または非導通(つまり、
トランジスタ1214の導通状態または非導通状態)が選択される。
ちの一方、およびトランジスタ1210のゲートと電気的に接続される。ここで、接続部
分をノードM2とする。トランジスタ1210のソースとドレインの一方は、低電源電位
を供給することのできる配線(例えばGND線)に電気的に接続され、他方は、スイッチ
1203の第1の端子(トランジスタ1213のソースとドレインの一方)と電気的に接
続される。スイッチ1203の第2の端子(トランジスタ1213のソースとドレインの
他方)はスイッチ1204の第1の端子(トランジスタ1214のソースとドレインの一
方)と電気的に接続される。スイッチ1204の第2の端子(トランジスタ1214のソ
ースとドレインの他方)は電源電位VDDを供給することのできる配線と電気的に接続さ
れる。スイッチ1203の第2の端子(トランジスタ1213のソースとドレインの他方
)と、スイッチ1204の第1の端子(トランジスタ1214のソースとドレインの一方
)と、論理素子1206の入力端子と、容量素子1207の一対の電極のうちの一方と、
は電気的に接続される。ここで、接続部分をノードM1とする。容量素子1207の一対
の電極のうちの他方は、一定の電位が入力される構成とすることができる。例えば、低電
源電位(GND等)または高電源電位(VDD等)が入力される構成とすることができる
。容量素子1207の一対の電極のうちの他方は、低電源電位を供給することのできる配
線(例えばGND線)と電気的に接続される。容量素子1208の一対の電極のうちの他
方は、一定の電位が入力される構成とすることができる。例えば、低電源電位(GND等
)または高電源電位(VDD等)が入力される構成とすることができる。容量素子120
8の一対の電極のうちの他方は、低電源電位を供給することのできる配線(例えばGND
線)と電気的に接続される。
積極的に利用することによって省略することも可能である。
びスイッチ1204は、制御信号WEとは異なる制御信号RDによって第1の端子と第2
の端子の間の導通状態または非導通状態を選択され、一方のスイッチの第1の端子と第2
の端子の間が導通状態のとき他方のスイッチの第1の端子と第2の端子の間は非導通状態
となる。
に対応する信号が入力される。図45では、回路1201から出力された信号が、トラン
ジスタ1209のソースとドレインの他方に入力される例を示した。スイッチ1203の
第2の端子(トランジスタ1213のソースとドレインの他方)から出力される信号は、
論理素子1206によってその論理値が反転された反転信号となり、回路1220を介し
て回路1201に入力される。
レインの他方)から出力される信号は、論理素子1206および回路1220を介して回
路1201に入力する例を示したがこれに限定されない。スイッチ1203の第2の端子
(トランジスタ1213のソースとドレインの他方)から出力される信号が、論理値を反
転させられることなく、回路1201に入力されてもよい。例えば、回路1201内に、
入力端子から入力された信号の論理値が反転した信号が保持されるノードが存在する場合
に、スイッチ1203の第2の端子(トランジスタ1213のソースとドレインの他方)
から出力される信号を当該ノードに入力することができる。
タ1209以外のトランジスタは、酸化物半導体以外の半導体でなる層または基板119
0にチャネルが形成されるトランジスタとすることができる。例えば、シリコン膜または
シリコン基板にチャネルが形成されるトランジスタとすることができる。また、記憶素子
1200に用いられるトランジスタ全てを、チャネルが酸化物半導体で形成されるトラン
ジスタとすることもできる。または、記憶素子1200は、トランジスタ1209以外に
も、チャネルが酸化物半導体で形成されるトランジスタを含んでいてもよく、残りのトラ
ンジスタは酸化物半導体以外の半導体でなる層または基板1190にチャネルが形成され
るトランジスタとすることもできる。
また、論理素子1206としては、例えばインバータやクロックドインバータ等を用いる
ことができる。
、回路1201に記憶されていたデータを、回路1202に設けられた容量素子1208
によって保持することができる。
えば、酸化物半導体にチャネルが形成されるトランジスタのオフ電流は、結晶性を有する
シリコンにチャネルが形成されるトランジスタのオフ電流に比べて著しく低い。そのため
、当該トランジスタをトランジスタ1209として用いることによって、記憶素子120
0に電源電圧が供給されない間も容量素子1208に保持された信号は長期間にわたり保
たれる。こうして、記憶素子1200は電源電圧の供給が停止した間も記憶内容(データ
)を保持することが可能である。
作を行うことを特徴とする記憶素子であるため、電源電圧供給再開後に、回路1201が
元のデータを保持しなおすまでの時間を短くすることができる。
1210のゲートに入力される。そのため、記憶素子1200への電源電圧の供給が再開
された後、容量素子1208によって保持された信号を、トランジスタ1210の状態(
導通状態、または非導通状態)に変換して、回路1202から読み出すことができる。そ
れ故、容量素子1208に保持された信号に対応する電位が多少変動していても、元の信
号を正確に読み出すことが可能である。
記憶装置に用いることで、電源電圧の供給停止による記憶装置内のデータの消失を防ぐこ
とができる。また、電源電圧の供給を再開した後、短時間で電源供給停止前の状態に復帰
することができる。よって、プロセッサ全体、もしくはプロセッサを構成する一つ、また
は複数の論理回路において、短い時間でも電源停止を行うことができるため、消費電力を
抑えることができる。
Digital Signal Processor)、カスタムLSI等のLSI、R
F(Radio Frequency)デバイスにも応用可能である。また、FPGA(
Field Programmable Gate Array)やCPLD(Comp
lex PLD)などのプログラマブル論理回路(PLD:Programmable
Logic Device)等のLSIにも応用可能である。
できる。
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタなどを利用した表示装置に
ついて、図46および図47を用いて説明する。
表示装置に用いられる表示素子としては液晶素子(液晶表示素子ともいう。)、発光素子
(発光表示素子ともいう。)などを用いることができる。発光素子は、電流または電圧に
よって輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機EL(Elect
roluminescence)、有機ELなどを含む。以下では、表示装置の一例とし
てEL素子を用いた表示装置(EL表示装置)および液晶素子を用いた表示装置(液晶表
示装置)について説明する。
ントローラを含むICなどを実装した状態にあるモジュールとを含む。
た、コネクター、例えばFPC、TCPが取り付けられたモジュール、TCPの先にプリ
ント配線板を有するモジュールまたは表示素子にCOG方式によりIC(集積回路)が直
接実装されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
装置の画素の回路図を示す。図46(B)は、EL表示装置全体を示す上面図である。ま
た、図46(C)は、図46(B)の一点鎖線M-Nの一部に対応するM-N断面である
。
容量素子、抵抗素子など)などが有するすべての端子について、その接続先を特定しなく
ても、当業者であれば、発明の一態様を構成することは可能な場合がある。つまり、接続
先を特定しなくても、発明の一態様が明確であるといえる。そして、接続先が特定された
内容が、本明細書等に記載されている場合、接続先を特定しない発明の一態様が、本明細
書等に記載されていると判断することが可能な場合がある。特に、端子の接続先として複
数の箇所が想定される場合には、その端子の接続先を特定の箇所に限定する必要はない。
したがって、能動素子(トランジスタ、ダイオードなど)、受動素子(容量素子、抵抗素
子など)などが有する一部の端子についてのみ、その接続先を特定することによって、発
明の一態様を構成することが可能な場合がある。
者であれば、発明を特定することが可能な場合がある。または、ある回路について、少な
くとも機能を特定すれば、当業者であれば、発明を特定することが可能な場合がある。つ
まり、機能を特定すれば、発明の一態様が明確であるといえる。そして、機能が特定され
た発明の一態様が、本明細書等に記載されていると判断することが可能な場合がある。し
たがって、ある回路について、機能を特定しなくても、接続先を特定すれば、発明の一態
様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。または
、ある回路について、接続先を特定しなくても、機能を特定すれば、発明の一態様として
開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。
量素子742と、発光素子719と、を有する。
ることが可能である。逆に、図46(A)の各ノードにおいて、トランジスタ、スイッチ
、受動素子などを追加しないようにすることも可能である。
電極と電気的に接続される。トランジスタ741のソースは容量素子742の他方の電極
と電気的に接続され、発光素子719の一方の電極と電気的に接続される。トランジスタ
741のドレインは電源電位VDDが与えられる。スイッチ素子743の他端は信号線7
44と電気的に接続される。発光素子719の他方の電極は定電位が与えられる。なお、
定電位は接地電位GNDまたはそれより小さい電位とする。
ことで、画素の面積を小さくでき、解像度の高いEL表示装置とすることができる。また
、スイッチ素子743として、トランジスタ741と同一工程を経て作製されたトランジ
スタを用いると、EL表示装置の生産性を高めることができる。なお、トランジスタ74
1または/およびスイッチ素子743としては、例えば、上述したトランジスタを適用す
ることができる。
50と、シール材734と、駆動回路735と、駆動回路736と、画素737と、FP
C732と、を有する。シール材734は、画素737、駆動回路735および駆動回路
736を囲むように基板700と基板750との間に配置される。なお、駆動回路735
または/および駆動回路736をシール材734の外側に配置しても構わない。
である。
701上の導電体702aと、導電体702aが埋め込まれた絶縁体703と、絶縁体7
03上の絶縁体704と、絶縁体704上の領域705aおよび領域705bとが設けら
れた半導体705と、半導体705上の絶縁体706と、絶縁体706上の導電体707
aと、を有する構造を示す。なお、トランジスタ741の構造は一例であり、図46(C
)に示す構造と異なる構造であっても構わない。
電極としての機能を有し、絶縁体703および絶縁体706はゲート絶縁体としての機能
を有し、領域705aはソースとしての機能を有し、領域705bはドレインとしての機
能を有し、導電体707aはゲート電極としての機能を有する。なお、半導体705は、
光が当たることで電気特性が変動する場合がある。したがって、導電体702a、導電体
707aのいずれか一以上が遮光性を有すると好ましい。
702b上の絶縁体703と、絶縁体703上にあり導電体702bと重なる領域705
bと、領域705b上の絶縁体706と、絶縁体706上にあり領域705bと重なる導
電体707bと、を有する構造を示す。
、導電体707aは他方の電極として機能する。
ができる。また、導電体702aおよび導電体702bを同種の導電体とすると好ましい
。その場合、導電体702aおよび導電体702bは、同一工程を経て形成することがで
きる。また、導電体707aおよび導電体707bを同種の導電体とすると好ましい。そ
の場合、導電体707aおよび導電体707bは、同一工程を経て形成することができる
。
したがって、図46(C)は表示品位の高いEL表示装置である。
れる。ここで、絶縁体716および絶縁体720は、トランジスタ741のソースとして
機能する領域705aに達する開口部を有してもよい。絶縁体720上には、導電体78
1が配置される。導電体781は、絶縁体720の開口部を介してトランジスタ741と
電気的に接続している。
壁784上には、隔壁784の開口部で導電体781と接する発光層782が配置される
。発光層782上には、導電体783が配置される。導電体781、発光層782および
導電体783の重なる領域が、発光素子719となる。
する。
、トランジスタ751と、容量素子752と、一対の電極間に液晶の充填された素子(液
晶素子)753とを有する。
ゲートが走査線754に電気的に接続されている。
的に接続され、他方の電極が共通電位を供給する配線に電気的に接続されている。
的に接続され、他方の電極が共通電位を供給する配線に電気的に接続されている。なお、
上述した容量素子752の他方の電極が電気的に接続する配線に与えられる共通電位と、
液晶素子753の他方の電極に与えられる共通電位とが異なる電位であってもよい。
点鎖線M-Nに対応する液晶表示装置の断面図を図47(B)に示す。図47(B)にお
いて、FPC732は、端子731を介して配線733aと接続される。なお、配線73
3aは、トランジスタ751を構成する導電体または半導体のいずれかと同種の導電体ま
たは半導体を用いてもよい。
752は、容量素子742についての記載を参照する。なお、図47(B)には、図46
(C)の容量素子742に対応した容量素子752の構造を示したが、これに限定されな
い。
いトランジスタとすることができる。したがって、容量素子752に保持された電荷がリ
ークしにくく、長期間に渡って液晶素子753に印加される電圧を維持することができる
。そのため、動きの少ない動画や静止画の表示の際に、トランジスタ751をオフ状態と
することで、トランジスタ751の動作のための電力が不要となり、消費電力の小さい液
晶表示装置とすることができる。また、容量素子752の占有面積を小さくできるため、
開口率の高い液晶表示装置、または高精細化した液晶表示装置を提供することができる。
絶縁体721は、トランジスタ751に達する開口部を有する。絶縁体721上には、導
電体791が配置される。導電体791は、絶縁体721の開口部を介してトランジスタ
751と電気的に接続する。
には、液晶層793が配置される。液晶層793上には、配向膜として機能する絶縁体7
94が配置される。絶縁体794上には、スペーサ795が配置される。スペーサ795
および絶縁体794上には、導電体796が配置される。導電体796上には、基板79
7が配置される。
N(Super Twisted Nematic)モード、IPS(In-Plane
-Switching)モード、FFS(Fringe Field Switchin
g)モード、MVA(Multi-domain Vertical Alignmen
t)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モ
ード、ASV(Advanced Super View)モード、ASM(Axial
ly Symmetric aligned Micro-cell)モード、OCB(
Optically Compensated Birefringence)モード、
ECB(Electrically Controlled Birefringenc
e)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モ
ード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal
)モード、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Cryst
al)モード、ゲストホストモード、ブルー相(Blue Phase)モードなどを用
いることができる。ただし、これに限定されず、駆動方法として様々なものを用いること
ができる。
とができる、または、表示品位の高い表示装置を提供することができる。または、高精細
の表示装置を提供することができる。
子、および発光素子を有する装置である発光装置は、様々な形態を用いること、または様
々な素子を有することができる。表示素子、表示装置、発光素子または発光装置は、例え
ば、白色、赤色、緑色または青色などの発光ダイオード(LED:Light Emit
ting Diode)、トランジスタ(電流に応じて発光するトランジスタ)、電子放
出素子、液晶素子、電子インク、電気泳動素子、グレーティングライトバルブ(GLV)
、プラズマディスプレイ(PDP)、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・シ
ステム)を用いた表示素子、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、DMS(デジ
タル・マイクロ・シャッター)、IMOD(インターフェアレンス・モジュレーション)
素子、シャッター方式のMEMS表示素子、光干渉方式のMEMS表示素子、エレクトロ
ウェッティング素子、圧電セラミックディスプレイ、カーボンナノチューブを用いた表示
素子などの少なくとも一つを有している。これらの他にも、電気的または磁気的作用によ
り、コントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒体を有していても良い。
を用いた表示装置の一例としては、フィールドエミッションディスプレイ(FED)また
はSED方式平面型ディスプレイ(SED:Surface-conduction E
lectron-emitter Display)などがある。液晶素子を用いた表示
装置の一例としては、液晶ディスプレイ(透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディス
プレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ)
などがある。電子インクまたは電気泳動素子を用いた表示装置の一例としては、電子ペー
パーなどがある。なお、半透過型液晶ディスプレイや反射型液晶ディスプレイを実現する
場合には、画素電極の一部、または、全部が、反射電極としての機能を有するようにすれ
ばよい。例えば、画素電極の一部または全部が、アルミニウム、銀、などを有するように
すればよい。さらに、その場合、反射電極の下に、SRAMなどの記憶回路を設けること
も可能である。これにより、さらに、消費電力を低減することができる。
イトを配置してもよい。グラフェンやグラファイトは、複数の層を重ねて、多層膜として
もよい。このように、グラフェンやグラファイトを設けることにより、その上に、窒化物
半導体、例えば、結晶を有するn型GaN半導体などを容易に成膜することができる。さ
らに、その上に、結晶を有するp型GaN半導体などを設けて、LEDを構成することが
できる。なお、グラフェンやグラファイトと、結晶を有するn型GaN半導体との間に、
AlN層を設けてもよい。なお、LEDが有するGaN半導体は、MOCVDで成膜して
もよい。ただし、グラフェンを設けることにより、LEDが有するGaN半導体は、スパ
ッタリング法で成膜することも可能である。
できる。
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタなどを利用した電子機器に
ついて説明する。
本発明の一態様に係る半導体装置は、表示機器、パーソナルコンピュータ、記録媒体を備
えた画像再生装置(代表的にはDVD:Digital Versatile Disc
等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを有する装置)に用いること
ができる。その他に、本発明の一態様に係る半導体装置を用いることができる電子機器と
して、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯データ端末、電子書籍端末、ビデオカメラ
、デジタルスチルカメラ等のカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプ
レイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオ
プレイヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンタ、プリンタ複合機、現金自動預け入れ
払い機(ATM)、自動販売機などが挙げられる。これら電子機器の具体例を図48に示
す。
904、マイクロフォン905、スピーカー906、操作キー907、スタイラス908
等を有する。なお、図48(A)に示した携帯型ゲーム機は、2つの表示部903と表示
部904とを有しているが、携帯型ゲーム機が有する表示部の数は、これに限定されない
。
13、第2表示部914、接続部915、操作キー916等を有する。第1表示部913
は第1筐体911に設けられており、第2表示部914は第2筐体912に設けられてい
る。そして、第1筐体911と第2筐体912とは、接続部915により接続されており
、第1筐体911と第2筐体912の間の角度は、接続部915により変更が可能である
。第1表示部913における映像を、接続部915における第1筐体911と第2筐体9
12との間の角度にしたがって、切り替える構成としてもよい。また、第1表示部913
および第2表示部914の少なくとも一方に、位置入力装置としての機能が付加された表
示装置を用いるようにしてもよい。なお、位置入力装置としての機能は、表示装置にタッ
チパネルを設けることで付加することができる。または、位置入力装置としての機能は、
フォトセンサとも呼ばれる光電変換素子を表示装置の画素部に設けることでも、付加する
ことができる。
ーボード923、ポインティングデバイス924等を有する。
3等を有する。
操作キー944、レンズ945、接続部946等を有する。操作キー944およびレンズ
945は第1筐体941に設けられており、表示部943は第2筐体942に設けられて
いる。そして、第1筐体941と第2筐体942とは、接続部946により接続されてお
り、第1筐体941と第2筐体942の間の角度は、接続部946により変更が可能であ
る。表示部943における映像を、接続部946における第1筐体941と第2筐体94
2との間の角度にしたがって切り替える構成としてもよい。
954等を有する。
できる。
態様は、これらに限定されない。つまり、本実施の形態などでは、様々な発明の態様が記
載されているため、本発明の一態様は、特定の態様に限定されない。例えば、本発明の一
態様として、トランジスタのチャネル形成領域、ソース領域、ドレイン領域などが、酸化
物半導体を有する場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。場合に
よっては、または、状況に応じて、本発明の一態様における様々なトランジスタ、トラン
ジスタのチャネル形成領域、または、トランジスタのソース領域、ドレイン領域などは、
様々な半導体を有していてもよい。場合によっては、または、状況に応じて、本発明の一
態様における様々なトランジスタ、トランジスタのチャネル形成領域、または、トランジ
スタのソース領域、ドレイン領域などは、例えば、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲ
ルマニウム、炭化シリコン、ガリウムヒ素、アルミニウムガリウムヒ素、インジウムリン
、窒化ガリウム、または、有機半導体などの少なくとも一つを有していてもよい。または
例えば、場合によっては、または、状況に応じて、本発明の一態様における様々なトラン
ジスタ、トランジスタのチャネル形成領域、または、トランジスタのソース領域、ドレイ
ン領域などは、酸化物半導体を有していなくてもよい。
101 基板
110 絶縁体
120 絶縁体
130 酸化物
130a 絶縁体
130b 半導体
130c 絶縁体
131 領域
131a 領域
131b 領域
131c 領域
132 領域
132a 領域
132b 領域
132c 領域
133 領域
133a 領域
133b 領域
133c 領域
140a 配線
140b 配線
140c 配線
150 絶縁体
160 導電体
170 導電体
180 絶縁体
190 絶縁体
200 撮像装置
201 スイッチ
202 スイッチ
203 スイッチ
210 画素部
211 画素
212 副画素
212B 副画素
212G 副画素
212R 副画素
220 光電変換素子
230 画素回路
231 配線
247 配線
248 配線
249 配線
250 配線
253 配線
254 フィルタ
254B フィルタ
254G フィルタ
254R フィルタ
255 レンズ
256 光
257 配線
260 周辺回路
270 周辺回路
280 周辺回路
290 周辺回路
291 光源
300 シリコン基板
310 層
320 層
330 層
340 層
351 トランジスタ
352 トランジスタ
353 トランジスタ
360 フォトダイオード
361 アノード
363 低抵抗領域
370 プラグ
371 配線
372 配線
373 配線
380 絶縁体
450 半導体基板
452 絶縁体
454 導電体
456 領域
460 領域
462 絶縁体
464 絶縁体
466 絶縁体
468 絶縁体
472a 領域
472b 領域
474a 導電体
474b 導電体
474c 導電体
476a 導電体
476b 導電体
478a 導電体
478b 導電体
478c 導電体
480a 導電体
480b 導電体
480c 導電体
489 絶縁体
490 絶縁体
492 絶縁体
493 絶縁体
494 絶縁体
495 絶縁体
496a 導電体
496b 導電体
496c 導電体
496d 導電体
498a 導電体
498b 導電体
498c 導電体
504 導電体
507a 領域
507b 領域
511 絶縁体
514 導電体
521 ルーティングスイッチエレメント
522 ロジックエレメント
523 コンフィギュレーションメモリ
524 ルックアップテーブル
525 レジスタ
526 セレクタ
527 コンフィギュレーションメモリ
700 基板
701 絶縁体
702a 導電体
702b 導電体
703 絶縁体
704 絶縁体
705 半導体
705a 領域
705b 領域
706 絶縁体
707a 導電体
707b 導電体
716 絶縁体
719 発光素子
720 絶縁体
721 絶縁体
731 端子
732 FPC
733a 配線
734 シール材
735 駆動回路
736 駆動回路
737 画素
741 トランジスタ
742 容量素子
743 スイッチ素子
744 信号線
750 基板
751 トランジスタ
752 容量素子
753 液晶素子
754 走査線
755 信号線
781 導電体
782 発光層
783 導電体
784 隔壁
791 導電体
792 絶縁体
793 液晶層
794 絶縁体
795 スペーサ
796 導電体
797 基板
901 筐体
902 筐体
903 表示部
904 表示部
905 マイクロフォン
906 スピーカー
907 操作キー
908 スタイラス
911 筐体
912 筐体
913 表示部
914 表示部
915 接続部
916 操作キー
921 筐体
922 表示部
923 キーボード
924 ポインティングデバイス
931 筐体
932 冷蔵室用扉
933 冷凍室用扉
941 筐体
942 筐体
943 表示部
944 操作キー
945 レンズ
946 接続部
951 車体
952 車輪
953 ダッシュボード
954 ライト
1189 ROMインターフェース
1190 基板
1191 ALU
1192 ALUコントローラ
1193 インストラクションデコーダ
1194 インタラプトコントローラ
1195 タイミングコントローラ
1196 レジスタ
1197 レジスタコントローラ
1198 バスインターフェース
1199 ROM
1200 記憶素子
1201 回路
1202 回路
1203 スイッチ
1204 スイッチ
1206 論理素子
1207 容量素子
1208 容量素子
1209 トランジスタ
1210 トランジスタ
1213 トランジスタ
1214 トランジスタ
1220 回路
2100 トランジスタ
2200 トランジスタ
3001 配線
3002 配線
3003 配線
3004 配線
3005 配線
3200 トランジスタ
3300 トランジスタ
3400 容量素子
4001 配線
4003 配線
4005 配線
4006 配線
4007 配線
4008 配線
4009 配線
4021 層
4022 層
4023 層
4100 トランジスタ
4200 トランジスタ
4300 トランジスタ
4400 トランジスタ
4500 容量素子
4600 容量素子
5100 ペレット
5120 基板
5161 領域
Claims (1)
- 第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、を有し、
前記第1のトランジスタは、第1のチャネル形成領域と、第1のゲート電極と、前記第1のチャネル形成領域と前記第1のゲート電極との間の第1のゲート絶縁層と、第1のソース電極と、第1のドレイン電極と、を有し、
前記第2のトランジスタは、第2のゲート電極と、前記第2のゲート電極上の第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜上の第2のチャネル形成領域と、前記第2のチャネル形成領域上の第3のゲート絶縁膜と、前記第3のゲート絶縁膜上の第3のゲート電極と、第2のソース電極と、第2のドレイン電極と、を有し、
前記第2のトランジスタの上方に絶縁層を有し、
前記第2のソース電極および前記第2のドレイン電極は前記絶縁層上に設けられ、
前記第2のソース電極および前記第2のドレイン電極と同一層に設けられ、かつ同一材料を有する導電層を有し、
第3のゲート電極の底面は、前記第2のチャネル形成領域が設けられる酸化物半導体層の底面よりも下方に位置する領域を有し、
前記第2のゲート電極は、前記導電層と電気的に接続され、
前記第3のゲート電極は、前記導電層と電気的に接続され、
前記第1のソース電極または前記第1のドレイン電極の一方は、前記第2のソース電極または前記第2のドレイン電極の一方として機能する領域を有し、
前記第1のチャネル形成領域は、シリコンを有する半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023148887A JP2023164562A (ja) | 2015-03-27 | 2023-09-14 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015066832 | 2015-03-27 | ||
JP2015066832 | 2015-03-27 | ||
JP2020133730A JP7022796B2 (ja) | 2015-03-27 | 2020-08-06 | 半導体装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020133730A Division JP7022796B2 (ja) | 2015-03-27 | 2020-08-06 | 半導体装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023148887A Division JP2023164562A (ja) | 2015-03-27 | 2023-09-14 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022062199A true JP2022062199A (ja) | 2022-04-19 |
JP7351947B2 JP7351947B2 (ja) | 2023-09-27 |
Family
ID=56975742
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016061152A Withdrawn JP2016189464A (ja) | 2015-03-27 | 2016-03-25 | 半導体装置、および電子機器 |
JP2020006730A Withdrawn JP2020065083A (ja) | 2015-03-27 | 2020-01-20 | 半導体装置の作製方法 |
JP2020133730A Active JP7022796B2 (ja) | 2015-03-27 | 2020-08-06 | 半導体装置 |
JP2022016979A Active JP7351947B2 (ja) | 2015-03-27 | 2022-02-07 | 半導体装置 |
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Family Applications Before (3)
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JP2016061152A Withdrawn JP2016189464A (ja) | 2015-03-27 | 2016-03-25 | 半導体装置、および電子機器 |
JP2020006730A Withdrawn JP2020065083A (ja) | 2015-03-27 | 2020-01-20 | 半導体装置の作製方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023148887A Pending JP2023164562A (ja) | 2015-03-27 | 2023-09-14 | 半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (6) | US9837546B2 (ja) |
JP (5) | JP2016189464A (ja) |
KR (3) | KR102526233B1 (ja) |
TW (1) | TWI695513B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9847428B1 (en) * | 2016-08-08 | 2017-12-19 | United Microelectronics Corp. | Oxide semiconductor device |
US10937783B2 (en) * | 2016-11-29 | 2021-03-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2018098338A (ja) * | 2016-12-13 | 2018-06-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | トンネル電界効果トランジスタ |
DE112018002191T5 (de) * | 2017-04-28 | 2020-01-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren der Halbleitervorrichtung |
WO2019049013A1 (ja) | 2017-09-06 | 2019-03-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US10411206B2 (en) * | 2017-11-22 | 2019-09-10 | Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Flexible array substrate and method for manufacturing same |
JP7161529B2 (ja) * | 2018-06-08 | 2022-10-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
WO2020115604A1 (ja) * | 2018-12-07 | 2020-06-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、および半導体装置の作製方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013243349A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-12-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2014241404A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2015005733A (ja) * | 2013-05-20 | 2015-01-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2015038974A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2015043415A (ja) * | 2013-07-25 | 2015-03-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置および半導体装置の作製方法 |
Family Cites Families (148)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5215589B1 (ja) | 1971-06-21 | 1977-04-30 | ||
BE843224A (fr) | 1975-07-24 | 1976-12-21 | Nouveau catalyseur et son procede de fabrication | |
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244258B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244260B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US5807772A (en) * | 1992-06-09 | 1998-09-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for forming semiconductor device with bottom gate connected to source or drain |
US7081938B1 (en) * | 1993-12-03 | 2006-07-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device and method for manufacturing the same |
JP3485983B2 (ja) | 1994-12-22 | 2004-01-13 | エルジイ・セミコン・カンパニイ・リミテッド | 薄膜トランジスタの構造及びその製造方法 |
US5904515A (en) | 1995-01-27 | 1999-05-18 | Goldstar Electron Co., Ltd. | Method for fabricating a thin film transistor with the source, drain and channel in a groove in a divided gate |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
KR100394896B1 (ko) | 1995-08-03 | 2003-11-28 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 투명스위칭소자를포함하는반도체장치 |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP4042177B2 (ja) | 1997-04-11 | 2008-02-06 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2001051292A (ja) * | 1998-06-12 | 2001-02-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置および半導体表示装置 |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
JP3912064B2 (ja) * | 2001-09-21 | 2007-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP2003115593A (ja) | 2001-10-04 | 2003-04-18 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法、電子機器並びに薄膜トランジスタ |
EP1443130B1 (en) | 2001-11-05 | 2011-09-28 | Japan Science and Technology Agency | Natural superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
US7049190B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-05-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for forming ZnO film, method for forming ZnO semiconductor layer, method for fabricating semiconductor device, and semiconductor device |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) * | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7456476B2 (en) * | 2003-06-27 | 2008-11-25 | Intel Corporation | Nonplanar semiconductor device with partially or fully wrapped around gate electrode and methods of fabrication |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
EP1737044B1 (en) | 2004-03-12 | 2014-12-10 | Japan Science and Technology Agency | Amorphous oxide and thin film transistor |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7332439B2 (en) * | 2004-09-29 | 2008-02-19 | Intel Corporation | Metal gate transistors with epitaxial source and drain regions |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
EP1812969B1 (en) | 2004-11-10 | 2015-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor comprising an amorphous oxide |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
US7868326B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor |
CN101057333B (zh) | 2004-11-10 | 2011-11-16 | 佳能株式会社 | 发光器件 |
US7736964B2 (en) * | 2004-11-22 | 2010-06-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and method for manufacturing the same |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
US7608531B2 (en) | 2005-01-28 | 2009-10-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, electronic device, and method of manufacturing semiconductor device |
TWI562380B (en) | 2005-01-28 | 2016-12-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Semiconductor device, electronic device, and method of manufacturing semiconductor device |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
WO2006105077A2 (en) | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage thin film transistor with high-k dielectric material |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
TWI332707B (en) * | 2005-08-04 | 2010-11-01 | Au Optronics Corp | Array substrate of a liquid crystal display and method of fabricating the same |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
EP3614442A3 (en) | 2005-09-29 | 2020-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufactoring method thereof |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
KR101117948B1 (ko) | 2005-11-15 | 2012-02-15 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 액정 디스플레이 장치 제조 방법 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP5145666B2 (ja) | 2006-07-31 | 2013-02-20 | 株式会社リコー | 電子素子、電流制御ユニット、電流制御装置、演算装置及び表示装置 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
US8274078B2 (en) | 2007-04-25 | 2012-09-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Metal oxynitride semiconductor containing zinc |
JP5215589B2 (ja) | 2007-05-11 | 2013-06-19 | キヤノン株式会社 | 絶縁ゲート型トランジスタ及び表示装置 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP5215158B2 (ja) | 2007-12-17 | 2013-06-19 | 富士フイルム株式会社 | 無機結晶性配向膜及びその製造方法、半導体デバイス |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
JP2011071476A (ja) | 2009-08-25 | 2011-04-07 | Canon Inc | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタを用いた表示装置及び薄膜トランジスタの製造方法 |
JP5602414B2 (ja) * | 2009-11-05 | 2014-10-08 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
WO2011083598A1 (ja) * | 2010-01-07 | 2011-07-14 | シャープ株式会社 | 半導体装置、アクティブマトリクス基板、及び表示装置 |
KR101399611B1 (ko) | 2010-02-05 | 2014-05-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법 |
DE112011102644B4 (de) | 2010-08-06 | 2019-12-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Integrierte Halbleiterschaltung |
CN101930954B (zh) * | 2010-08-23 | 2012-02-15 | 北京大学 | 一种soi场效应晶体管的散热结构 |
JP5626978B2 (ja) | 2010-09-08 | 2014-11-19 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法、並びにその薄膜トランジスタを備えた装置 |
US8835917B2 (en) | 2010-09-13 | 2014-09-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, power diode, and rectifier |
US9443984B2 (en) | 2010-12-28 | 2016-09-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
US9646829B2 (en) | 2011-03-04 | 2017-05-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of semiconductor device |
JP5706254B2 (ja) * | 2011-07-05 | 2015-04-22 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
KR101846410B1 (ko) * | 2011-07-29 | 2018-04-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
US8637864B2 (en) | 2011-10-13 | 2014-01-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
US9287405B2 (en) | 2011-10-13 | 2016-03-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising oxide semiconductor |
TWI569446B (zh) | 2011-12-23 | 2017-02-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體元件、半導體元件的製造方法、及包含半導體元件的半導體裝置 |
US9419146B2 (en) * | 2012-01-26 | 2016-08-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP6168795B2 (ja) | 2012-03-14 | 2017-07-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US8901556B2 (en) * | 2012-04-06 | 2014-12-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Insulating film, method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device |
US8492228B1 (en) * | 2012-07-12 | 2013-07-23 | International Business Machines Corporation | Field effect transistor devices having thick gate dielectric layers and thin gate dielectric layers |
KR20140058278A (ko) * | 2012-11-06 | 2014-05-14 | 삼성전자주식회사 | 저항성 메모리 소자, 저항성 메모리 어레이 및 저항성 메모리 소자의 제조 방법 |
US9343579B2 (en) | 2013-05-20 | 2016-05-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9647125B2 (en) | 2013-05-20 | 2017-05-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP6161431B2 (ja) * | 2013-06-27 | 2017-07-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US20150008428A1 (en) * | 2013-07-08 | 2015-01-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
US9666697B2 (en) * | 2013-07-08 | 2017-05-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device including an electron trap layer |
JP2015023080A (ja) | 2013-07-17 | 2015-02-02 | ソニー株式会社 | 放射線撮像装置および放射線撮像表示システム |
KR102234236B1 (ko) | 2013-09-13 | 2021-04-01 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
SG11201602987XA (en) * | 2013-12-16 | 2016-05-30 | Intel Corp | Dual strained cladding layers for semiconductor devices |
TWI642186B (zh) * | 2013-12-18 | 2018-11-21 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置 |
CN103943655B (zh) * | 2014-03-11 | 2016-06-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种oled阵列基板及其制备方法、显示器 |
US9705004B2 (en) * | 2014-08-01 | 2017-07-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP6570417B2 (ja) * | 2014-10-24 | 2019-09-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置および電子機器 |
-
2016
- 2016-03-22 TW TW105108819A patent/TWI695513B/zh active
- 2016-03-25 JP JP2016061152A patent/JP2016189464A/ja not_active Withdrawn
- 2016-03-25 US US15/081,129 patent/US9837546B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2016-03-25 KR KR1020160035841A patent/KR102526233B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-11-28 US US15/823,680 patent/US10062790B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2018
- 2018-07-10 US US16/030,928 patent/US10522691B2/en active Active
-
2019
- 2019-12-27 US US16/728,423 patent/US11538940B2/en active Active
-
2020
- 2020-01-20 JP JP2020006730A patent/JP2020065083A/ja not_active Withdrawn
- 2020-08-06 JP JP2020133730A patent/JP7022796B2/ja active Active
-
2022
- 2022-02-07 JP JP2022016979A patent/JP7351947B2/ja active Active
- 2022-11-21 US US17/990,855 patent/US20230093689A1/en active Pending
-
2023
- 2023-04-07 KR KR1020230046043A patent/KR102672464B1/ko active IP Right Grant
- 2023-09-14 JP JP2023148887A patent/JP2023164562A/ja active Pending
- 2023-12-06 US US18/530,404 patent/US20240113230A1/en active Pending
-
2024
- 2024-05-28 KR KR1020240069181A patent/KR20240082312A/ko active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013243349A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-12-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2014241404A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2015005733A (ja) * | 2013-05-20 | 2015-01-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2015038974A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2015043415A (ja) * | 2013-07-25 | 2015-03-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置および半導体装置の作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10062790B2 (en) | 2018-08-28 |
JP2016189464A (ja) | 2016-11-04 |
US20160284858A1 (en) | 2016-09-29 |
US20240113230A1 (en) | 2024-04-04 |
US11538940B2 (en) | 2022-12-27 |
JP2020188287A (ja) | 2020-11-19 |
KR20240082312A (ko) | 2024-06-10 |
JP7022796B2 (ja) | 2022-02-18 |
JP2023164562A (ja) | 2023-11-10 |
US20200194590A1 (en) | 2020-06-18 |
JP2020065083A (ja) | 2020-04-23 |
KR20160115829A (ko) | 2016-10-06 |
US9837546B2 (en) | 2017-12-05 |
TW201705489A (zh) | 2017-02-01 |
KR102672464B1 (ko) | 2024-06-07 |
JP7351947B2 (ja) | 2023-09-27 |
US20180331229A1 (en) | 2018-11-15 |
TWI695513B (zh) | 2020-06-01 |
US20230093689A1 (en) | 2023-03-23 |
US20180090618A1 (en) | 2018-03-29 |
KR20230052858A (ko) | 2023-04-20 |
US10522691B2 (en) | 2019-12-31 |
KR102526233B1 (ko) | 2023-04-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230330 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230905 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7351947 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |