JP2018508176A - 高電力回路のためのスイッチングデバイスの並列化 - Google Patents

高電力回路のためのスイッチングデバイスの並列化 Download PDF

Info

Publication number
JP2018508176A
JP2018508176A JP2017548106A JP2017548106A JP2018508176A JP 2018508176 A JP2018508176 A JP 2018508176A JP 2017548106 A JP2017548106 A JP 2017548106A JP 2017548106 A JP2017548106 A JP 2017548106A JP 2018508176 A JP2018508176 A JP 2018508176A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
inductor
half bridge
side switch
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017548106A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6637065B2 (ja
Inventor
ワン,チャン
Original Assignee
トランスフォーム インコーポレーテッド
トランスフォーム インコーポレーテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by トランスフォーム インコーポレーテッド, トランスフォーム インコーポレーテッド filed Critical トランスフォーム インコーポレーテッド
Publication of JP2018508176A publication Critical patent/JP2018508176A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6637065B2 publication Critical patent/JP6637065B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/51Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used
    • H03K17/56Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices
    • H03K17/687Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors
    • H03K17/6871Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors the output circuit comprising more than one controlled field-effect transistor
    • H03K17/6874Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors the output circuit comprising more than one controlled field-effect transistor in a symmetrical configuration
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M1/00Details of apparatus for conversion
    • H02M1/08Circuits specially adapted for the generation of control voltages for semiconductor devices incorporated in static converters
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P27/00Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage
    • H02P27/04Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage using variable-frequency supply voltage, e.g. inverter or converter supply voltage
    • H02P27/06Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage using variable-frequency supply voltage, e.g. inverter or converter supply voltage using dc to ac converters or inverters
    • H02P27/08Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage using variable-frequency supply voltage, e.g. inverter or converter supply voltage using dc to ac converters or inverters with pulse width modulation
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/12Modifications for increasing the maximum permissible switched current
    • H03K17/122Modifications for increasing the maximum permissible switched current in field-effect transistor switches
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/16Modifications for eliminating interference voltages or currents
    • H03K17/161Modifications for eliminating interference voltages or currents in field-effect transistor switches
    • H03K17/162Modifications for eliminating interference voltages or currents in field-effect transistor switches without feedback from the output circuit to the control circuit
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/16Modifications for eliminating interference voltages or currents
    • H03K17/161Modifications for eliminating interference voltages or currents in field-effect transistor switches
    • H03K17/162Modifications for eliminating interference voltages or currents in field-effect transistor switches without feedback from the output circuit to the control circuit
    • H03K17/163Soft switching
    • H03K17/164Soft switching using parallel switching arrangements
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/51Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used
    • H03K17/56Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices
    • H03K17/60Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being bipolar transistors
    • H03K17/64Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being bipolar transistors having inductive loads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/02Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/12Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
    • H01L29/20Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
    • H01L29/2003Nitride compounds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772Field effect transistors
    • H01L29/778Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
    • H01L29/7786Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
    • H01L29/7787Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT with wide bandgap charge-carrier supplying layer, e.g. direct single heterostructure MODFET
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M1/00Details of apparatus for conversion
    • H02M1/0048Circuits or arrangements for reducing losses
    • H02M1/0054Transistor switching losses
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
    • H02M7/42Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
    • H02M7/44Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters
    • H02M7/48Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
    • H02M7/53Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
    • H02M7/537Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters
    • H02M7/539Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters with automatic control of output wave form or frequency
    • H02M7/5395Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only, e.g. single switched pulse inverters with automatic control of output wave form or frequency by pulse-width modulation
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02BCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B70/00Technologies for an efficient end-user side electric power management and consumption
    • Y02B70/10Technologies improving the efficiency by using switched-mode power supplies [SMPS], i.e. efficient power electronics conversion e.g. power factor correction or reduction of losses in power supplies or efficient standby modes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Inverter Devices (AREA)

Abstract

回路は、第1ハーフブリッジ、第2ハーフブリッジ、第1インダクタ、第2インダクタ、メインインダクタを備える。前記ハーフブリッジはそれぞれ、ハイサイドスイッチ、ローサイドスイッチ、ゲートドライバを備え、前記ゲートドライバは、前記ハイサイドスイッチと前記ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するように構成されている。前記第1インダクタは、前記第1ハーフブリッジの出力ノードに対して電気的に接続された第1サイドを有し、前記第1ハーフブリッジの前記出力ノードは、前記第1ハイサイドスイッチと前記第1ローサイドスイッチとの間に配置されている。前記第2インダクタは、前記第2ハーフブリッジの出力ノードに対して電気的に接続された第1サイドを有し、前記第2ハーフブリッジの前記出力ノードは、前記第2ハイサイドスイッチと前記第2ローサイドスイッチとの間に配置されている。前記メインインダクタは、前記第1インダクタの第2サイドと前記第2インダクタの第2サイドとの間に配置されたノードに対して接続されている。前記メインインダクタのインダクタンスは、前記第1インダクタのインダクタンスよりも大きく、前記第2インダクタのインダクタンスよりも大きい。前記第1インダクタと前記第2インダクタは、互いに反対向きに接続されている。【選択図】図7

Description

<関連出願に対する相互参照>
本願は、U.S.C第119条(e)(1)のもと、2015年3月13日出願の米国仮出願62/133,253号の優先権を主張する。同文献は参照により本願に組み込まれる。
本明細書は、非常に高い電流および電力レベルで高速電力回路を動作させることができる回路構成および方法に関する。
高速III−N電力スイッチを用いるとき、以下の要求のバランスをとる:熱伝搬、組み立ての容易性、高速低インダクタンス電気接続。従来の電力パッケージ、例えば図1に示すTO−220パッケージ100の変形物は、III−N電力スイッチとともに用いることができる。金属取付タブ102、フレキシブル銅リード104、106、108の組み合わせにより、様々な態様で、パッケージを効率的なヒートシンクへ取り付けることができる。従来のはんだ付け技術でPCBと接続することにより、製造が容易になる。
しかしパッケージリードは通常、不要なインダクタンスをもたらす。このインダクタンスがもたらすスイッチング速度の低下は、設計上の折衷として許容できる場合もあるが、それでも不安定性が課題となることもある。電力スイッチは高ゲインデバイスなので、以下の点に注意すべきである:リニアモードで動作するとき、寄生共振に起因する発振が、正帰還により発振を持続させあるいは増幅するノードに対して導入されないようにする。
図2は、ハーフブリッジ回路の回路図である。同回路は、ゲートドライバ202、高電圧ノード206に接続されたハイサイドIII−Nトランジスタ204、グランドノード210に接続されたローサイドIII−Nトランジスタ208、を備える。ゲートドライバ202の2つの端子231と233は、トランジスタ204と208のゲートに対してそれぞれ接続されている。ゲートドライバ202の2つの端子232と234は、トランジスタ204と208のソースに対してそれぞれ接続されている。これによりゲートドライバは、トランジスタ204と208それぞれのゲートに対して、ソースに対する相対的な電圧信号を印加することができる。インダクタ214は、出力ノード212においてハーフブリッジ回路に接続されている。
動作時においてゲートドライバ202は、定電流モード(CCM)で、定格電流と定格電圧において、トランジスタ204と208を動作させることができる。例えば高電圧ノード206は、400V、600V、またはそれ以上の電圧を提供することができ、III−Nトランジスタは、定格により高電流に耐えるように構成することができる。インダクタ214のインダクタンスにより、インダクタ214を流れる電流は瞬時に変化することができない。
ハーフブリッジの動作を説明するため、シナリオ例を考える。同シナリオにおいて、ゲートドライバ202はハイサイドトランジスタ204をONにし、ローサイドトランジスタ208をOFFにする。電流は、高電圧ノード206からハイサイドトランジスタ204へ流れ、さらに出力ノード212からインダクタ214へ流れる。ゲートドライバ202がハイサイドトランジスタ204をOFFにすると、インダクタ214のインダクタンスによりノード212の電圧は負になり、これにより電流はローサイドトランジスタ208がOFFであってもこれを通過する。ハーフブリッジが従来のパッケージを用いて実装されている場合、このパッケージリードによりもたらされる不要なインダクタンスが、多大なリンギングと発振を引き起こす。これは、回路を流れる過渡電流に関連するものであり、スイッチング機能の安定性と効率性に影響を及ぼす。
第1側面において、回路は、第1ハーフブリッジ、第2ハーフブリッジ、第1インダクタ、第2インダクタ、メインインダクタを備える。前記第1ハーフブリッジは、第1ハイサイドスイッチ、第1ローサイドスイッチ、第1ゲートドライバを備え、前記第1ゲートドライバは、前記第1ハイサイドスイッチと前記第1ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するように構成されている。前記第2ハーフブリッジは、第2ハイサイドスイッチ、第2ローサイドスイッチ、第2ゲートドライバを備え、前記第2ゲートドライバは、前記第2ハイサイドスイッチと前記第2ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するように構成されている。前記第1インダクタは、前記第1ハーフブリッジの出力ノードに対して電気的に接続された第1サイドを有し、前記第1ハーフブリッジの前記出力ノードは、前記第1ハイサイドスイッチと前記第1ローサイドスイッチとの間に配置されている。前記第2インダクタは、前記第2ハーフブリッジの出力ノードに対して電気的に接続された第1サイドを有し、前記第2ハーフブリッジの前記出力ノードは、前記第2ハイサイドスイッチと前記第2ローサイドスイッチとの間に配置されている。前記メインインダクタは、前記第1インダクタの第2サイドと前記第2インダクタの第2サイドとの間に配置されたノードに対して接続されている。前記メインインダクタのインダクタンスは、前記第1インダクタのインダクタンスよりも大きく、前記第2インダクタのインダクタンスよりも大きい。前記第1インダクタと前記第2インダクタは、互いに反対向きに接続されている。
第2側面において、負荷に対して出力電流を提供するように構成された回路を動作させる方法を説明する。前記方法は:前記回路の第1ハーフブリッジの第1ゲートドライバによって、前記第1ハーフブリッジの第1ハイサイドスイッチと第1ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するとともに、前記印加されたスイッチング信号に応答して、前記第1ハーフブリッジの出力を介して第1出力電流を提供するステップ;前記回路の第2ハーフブリッジの第2ゲートドライバによって、前記第2ハーフブリッジの第2ハイサイドスイッチと第2ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するとともに、前記印加されたスイッチング信号に応答して、前記第2ハーフブリッジの出力を介して第2出力電流を提供するステップ;第1期間において、前記回路の前記出力電流を前記負荷に対して第1電流レベルで提供しながら、前記第1ハーフブリッジと前記第2ハーフブリッジを動作させて、各前記ハーフブリッジの出力を介して前記第1出力電流と前記第2出力電流を提供することにより、前記第1期間において前記負荷に対して提供される出力電流の総和が前記第1出力電流と前記第2出力電流の和となるようにするステップ;第2期間において、前記回路の前記出力電流を前記負荷に対して前記第1電流レベルよりも小さい第2電流レベルで提供しながら、前記第2ハーフブリッジをOFF状態に維持しつつ前記第1ハーフブリッジを動作させて、前記第1ハーフブリッジの出力を介して前記第1出力電流を提供することにより、前記第2期間において前記負荷に対して提供される出力電流の総和が前記第1出力電流と等しくなるようにするステップ;を有する。
本明細書が記載する方法とデバイスは、以下の1以上を備えることができる。前記第1インダクタと前記第2インダクタの結合係数は、約−0.9からー1.0の範囲である。前記第1ハイサイドスイッチと前記第2ハイサイドスイッチは、第1PWMソースから共通タイミング信号を受け取るように構成されており、前記第1ローサイドスイッチと前記第1ローサイドスイッチは、第2PWMソースから共通タイミング信号を受け取るように構成されている。前記第1ハーフブリッジと前記第2ハーフブリッジは並列接続されており、単一のハーフブリッジ回路として動作するように構成されており、前記単一のハーフブリッジ回路は、前記第1ハーフブリッジと前記第2ハーフブリッジよりも大きい最大出力電流を有する。
前記第1PWMソースは、前記第1ゲートドライバの第1入力と前記第2ゲートドライバの第1入力に対して接続されており、前記第2PWMソースは、前記第1ゲートドライバの第2入力と前記第2ゲートドライバの第2入力に対して接続されている。前記第1および第2ハイサイドスイッチと前記第1および第2ローサイドスイッチはそれぞれ、2以上の並列接続されたスイッチを備える。前記第1ハイサイドスイッチと前記第2ハイサイドスイッチは、高電圧ノードに対して接続されており、前記第1ローサイドスイッチと前記第2ローサイドスイッチは、低電圧ノードまたはグランドノードに対して接続されている。
前記高電圧ノードにおける前記低電圧ノードまたはグランドノードに対する電圧は、約400Vまたはそれ以上である。前記第1ゲートドライバと前記第2ゲートドライバは、30kHzから10MHzの周波数で前記スイッチング信号を印加するように構成されている。前記第1および第2ハイサイドスイッチと前記第1および第2ローサイドスイッチは、III族窒化物デバイスを備える。前記III族窒化物デバイスは例えば、III族窒化物エンハンスメントモードトランジスタである。前記III族窒化物デバイスは例えばハイブリッドデバイスであり、各前記ハイブリッドデバイスは、空乏モードIII族窒化物トランジスタとエンハンスメントモードシリコントランジスタを備える。前記メインインダクタは、前記回路の前記ハーフブリッジによって駆動または制御される負荷の一部である。前記負荷は、電気モータを備える。
本明細書において、用語III族窒化物またはIII−N材料、レイヤ、デバイスなどは、以下の正規組成式に基づく複合半導体材料によって構成された材料またはデバイスを指す:BwAlxInyGazN、w+x+y+zは約1、0≦w≦1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1。III−N材料、レイヤ、またはデバイスは、適当な基板上で直接成長させることにより、または適当な基板上で成長させ、元基板から取り外し、他基板に接着することにより、形成または準備することができる。
本明細書において、例えば導電チャネルや部品などのような2以上の接点その他の物品は、以下に該当するとき“電気的に接続されている”ものとする:任意のバイアス状態において常に各接点または物品の電位が同じになるようにすることができる(例えば略等しい)だけの充分な導電性を有する材料によって接続されている。
本明細書において、“電圧をブロックする”ことは、トランジスタ、デバイス、または部品が、自身に電圧が印加されたとき、自身に大電流(例えば動作電流の0.001倍よりも大きい)が流れないようにする能力のことを指す。換言すると、トランジスタ、デバイス、または部品が自身に対して印加された電圧をブロックしている間、そのトランジスタ、デバイス、または部品を通過する電流は、通常状態における動作電流の0.001倍未満である。これよりも大きいOFF状態電流を有するデバイスは、損失が大きく低効率であり、一般的に多くの用途において適していない。
本明細書において、“高電圧デバイス”、例えば高電圧スイッチングトランジスタは、高電圧スイッチングアプリケーションに最適化された電気デバイスである。すなわち、トランジスタがOFFであるとき、例えば約300V以上、約600V以上、約1200V以上の高電圧をブロックすることができ、トランジスタがONであるとき、使用されるアプリケーションにおいて充分に低いON抵抗(RON)を有する。例えば、実際に電流がデバイスを通過するとき、導電損失が充分に低い。高電圧デバイスは、少なくとも高電圧源または回路内の最大電圧に等しい電圧をブロックすることができる。高電圧デバイスは、300V、600V、1200V、またはアプリケーションが必要とする適当なブロック電圧をブロックすることができる。換言すると高電圧デバイスは、0Vから少なくともVmaxまでの全電圧をブロックすることができる。Vmaxは、回路または電力源から供給され得る最大電圧であり、Vmaxは例えば、300V、600V、1200V、その他適当なアプリケーションが必要とするブロック電圧である。
本明細書において、“III族窒化物”または“III−Nデバイス”は、III−N材料に基づくデバイスである。III−Nデバイスは、エンハンスメントモード(E−mode)トランジスタデバイスとして動作するように設計することができる。これにより、デバイスの閾値電圧(すなわち、デバイスをONにするためゲートに対して印加しなければならない、ソースに対する最小電圧)を正にすることができる。これに代えてIII−Nデバイスは、高電圧アプリケーションに適した高電圧デバイスであってもよい。このような高電圧デバイスにおいて、デバイスがOFFバイアスされたとき(例えばソースに対するゲート電圧がデバイスの閾値電圧よりも小さいとき)、少なくともデバイスが用いられるアプリケーションにおける高電圧以下の全てのソース−ドレイン電圧をサポートすることができる。例えば100V、300V、600V、1200V、1700V、またはそれ以上である。高電圧デバイスがONバイアスされたとき(例えばソースに対するゲート電圧がデバイスの閾値電圧よりも大きいとき)、低いON電圧で充分な電流を導通させることができる。許容最大ON電圧は、デバイスが用いられるアプリケーションにおいて持続する最大電圧である。
本明細書が記載する技術的事項の1以上の実装の詳細部分は、以下の図面と説明に記載されている。その他の特徴、側面、利点は、本明細書、図面、および特許請求範囲から明らかになるであろう。
リード付き電力パッケージの図である。
ゲートドライバ、高電圧ノードに接続されたハイサイドIII−Nトランジスタ、グランドノードに接続されたローサイドIII−Nトランジスタ、を備えるハーフブリッジ回路の回路図である。
スイッチング回路の回路図例である。ハイサイドスイッチは2つの並列接続されたスイッチを備え、ローサイドスイッチは2つの並列接続されたスイッチを備える。
III族窒化物トランジスタの例としてのトランジスタの断面図である。
高電圧空乏モードトランジスタと低電圧エンハンスメントモードトランジスタを備えるハイブリッドデバイスを示す回路概略図である。
スイッチング回路の回路図例である。2つのハーフブリッジ回路が並列接続され、単一のハーフブリッジ回路として動作する。
単一第出力インダクタと、逆接続された小型インダクタとを備える回路の概略図である。
図7のインダクタの構成図である。
4つのハーフブリッジ回路が組み合わさって単一のハーフブリッジとして動作する回路の回路図例である。
図9の回路における逆接続されたインダクタの構成図である。
単一のハーフブリッジとして動作することができる他の回路の概略図である。
本明細書の回路の電圧と電流の波形を示す。
本明細書の回路が特定の態様で動作するときの電流波形を示す。
図面内の同様の符号は同様の要素を示す。
多くの電力スイッチングアプリケーションは、非常に高い出力電流を必要とする。したがって関連する電力スイッチング回路は、最小導電損失で大電流を導通させることができ、最小スイッチング損失で大電圧をスイッチングすることができる、スイッチを必要とする。非常に高い出力電流レベルが必要なアプリケーションにおいて、要求される電流レベルを実現する1つの方法は、複数のスイッチを並列接続して、その並列接続スイッチを単一のスイッチとして動作させることである。
図3は、スイッチング回路300の回路図例である。スイッチング回路300は例えばハーフブリッジであり、ハイサイドスイッチ304は2つの並列接続されたスイッチ322と324を備え、ローサイドスイッチ308は2つの並列接続されたスイッチ326と328を備える。ゲートドライバ302の出力ノード331は、スイッチ322と324のゲートに接続されている。これにより、これらスイッチを略同時にスイッチングする。ゲートドライバの出力ノード332は、スイッチ322と324のソースに接続されている。これにより、ゲートドライバ302がスイッチ322と324のゲートに対して印加した電圧信号は、各ソースに対する基準電圧となる。ゲートドライバ302の出力ノード333は、スイッチ326と328のゲートに対して接続されている。これにより、これらスイッチを略同時にスイッチングする。ゲートドライバの出力ノード334は、スイッチ326と328のソースに接続されている。これにより、ゲートドライバ302がスイッチ326と328に対して印加した電圧信号は、各ソースに対する基準電圧となる。
出力ノード331は、スイッチ322と324のゲートに対して直接接続することができ(図示せず)、あるいはこれに代えて、出力ノード331とスイッチ322のゲートとの間に抵抗部品321を接続し、出力ノード331とスイッチ324のゲートとの間に抵抗部品323を接続することができる。出力ノード333は、スイッチ326と328に対して直接接続することができ(図示せず)、あるいはこれに代えて、出力ノード333とスイッチ326のゲートとの間に抵抗部品325を接続し、出力ノード333とスイッチ328のゲートとの間に抵抗部品327を接続することができる。抵抗部品321、323、325、327は例えば、抵抗器またはフェライトビーズであり、回路の安定性を向上させるのに役立つ。
ゲートドライバ302の第1入力364に対して接続された第1パルス幅変調(PWM)ソース354は、出力ノード331に対して印加されるON/OFF信号のタイミングを提供する。ゲートドライバ302の第2入力368に対して接続された第2PWMソース358は、出力ノード333に対して印加されるON/OFF信号のタイミングを提供する。インダクタ314は、出力ノード312において回路に接続(例:電気的に接続)されている。回路全体は、回路の部品を電気的に接続するプリント配線接続を有する回路基板上に形成することができる。
スイッチ322、324、326、328は、従来の高電圧電力スイッチング回路よりも高いスイッチング周波数で動作することができる。従来の高電圧電力スイッチング回路とは例えば、シリコンベーストランジスタ(例:シリコンベースMOSFETまたはIGBT)として実装されたスイッチである。例えばスイッチ322、324、326、328は、図4に示すようなIII−Nトランジスタであり、実質的な追加電力損失その他不安定動作をともなうことなく、シリコンベースMOSFETまたはIGBTよりも高い周波数でスイッチングすることができる。図4に示すように、III族窒化物高電子移動度トランジスタ(HEMT)は、基板400(例:シリコン基板)、AlNやAlGaNなどのIII−N半導体材料で形成されたIII−Nバッファ層402、GaNなどのIII−N半導体材料で形成されたIII−Nチャネル層406、III−Nチャネル層406よりも大きいバンドギャップを有するIII−N半導体材料(例:AlGaNまたはAlN)で形成されたIII−Nバリア層408、III−Nチャネル層406内に形成されIII−Nバリア層408に隣接する2次元電子ガス(2DEG)チャネル416、を備えることができる。2DEGチャネル416は、トランジスタの導電チャネルとして機能する。III−N HEMTはさらに、ソースコンタクト410とドレインコンタクト412を備え、これらは2DEGチャネル416と接続されている。ゲート電極414は、ソースコンタクト410とドレインコンタクト412の間に積層されており、ゲート電極414直下の領域におけるチャネルの導電率を変更するために用いられる。オプションとして、ゲート電極414とその下方のIII−N半導体材料との間に、ゲート絶縁層420を配置することができる。
図3を再び参照する。多くのアプリケーションにおいて、スイッチ304と308はエンハンスメントモードデバイスとして提供することが望ましい。これによりスイッチ322、324、326、328は、エンハンスメントモードデバイスとして提供することが必要になる。ただし単一の高電圧エンハンスメントモードトランジスタで形成されたスイッチングデバイスは、信頼性高く製造することが難しい。例えばプロセス公差が厳しいことに少なくとも一部起因して、正閾値電圧を有するエンハンスメントモードデバイスとして一貫して信頼性高く動作するように、図4に示すデバイスのようなIII−N HEMTを設計することは難しい。すなわち、実装したHEMTがエンハンスメントモードデバイスとなるようにIII−N HEMTを設計したとしても、よく発生する層厚、形状サイズなどのわずかなバラツキが多くのデバイスにおいて生じ得る。これは、空乏モードデバイスであっても、高信頼動作のための高閾値電圧を有さないデバイスであっても同じである。
単一高電圧エンハンスメントモードトランジスタの代替として、高スイッチング周波数で動作することができるエンハンスメントモードスイッチがスイッチ322、324、326、328として求められる場合、これらスイッチはハイブリッドデバイスとして実装することができる。このハイブリッドデバイスは、高電圧空乏モード(D−mode)トランジスタ504、低電圧エンハンスメントモード(E−mode)トランジスタ502を備える。図5はその構成を示す。図5のハイブリッドデバイスは、単一高電圧E−modeトランジスタと同様に動作することができ、多くの場合において単一高電圧E−modeトランジスタと同じまたは同様の出力特性を実現することができる。低電圧E−modeトランジスタ502のソース電極506と、高電圧D−modeトランジスタ504のゲート電極508は、例えばワイヤ接続により互いに電気的に接続され、一体となってハイブリッドデバイスのソース510を形成する。低電圧E−modeトランジスタ502のゲート電極512は、ハイブリッドデバイスのゲート514を形成する。高電圧D−modeトランジスタ504のドレイン電極516は、ハイブリッドデバイスのドレイン518を形成する。高電圧D−modeトランジスタ504のソース電極520は、低電圧E−modeトランジスタ502のドレイン電極522と電気的に接続されている。
図5のハイブリッドデバイスの特定の実装において、ハイブリッドデバイスはIII−Nデバイスとして実装されている。この場合、D−modeトランジスタ504は高電圧III−N D−modeトランジスタであり(例えばOFF状態にバイアスされているとき少なくとも200Vをブロックすることができる)、E−modeトランジスタ502は低電圧シリコンベースE−modeトランジスタである(例えばOFF状態にバイアスされているとき100V以上を確実にブロックすることができない)。III−Nスイッチのこのような実装はシリコンベーストランジスタをスイッチ内で利用するが、シリコンベーストランジスタは低電圧デバイスであるので、スイッチは高スイッチング周波数で動作することができる。
図3を再び参照する。スイッチ322、324、326、328として、III−Nトランジスタ(図4に示すもの)またはハイブリッドデバイス(図5に示すもの、例えばIII−Nハイブリッドデバイス)を用いることに起因して、図3に示すスイッチング回路300は、シリコントランジスタを用いて実装した従来のスイッチング回路よりも高いスイッチング周波数で動作することができる。例えばスイッチング回路300は、30kHz以上、50kHz以上、80kHz以上、1MHz以上のスイッチング周波数で動作することができる(すなわち、回路の動作中において、スイッチは30kHz以上、50kHz以上、80kHz以上、1MHz以上の周波数でスイッチングすることができる)。利用できる高スイッチング周波数は、少なくとも部分的には、スイッチ322、324、326、328が従来のスイッチよりも格段に高いスイッチング速度またはスルーレートでスイッチングできることによる。例えば、スイッチ322、324、326、328がONまたはOFFされるとき、スイッチをまたがる電圧の変化レート(一般に電圧スイッチングレートまたは単にスイッチングレートと呼ぶ)は、40ボルト/ナノ秒以上であり(例えば50〜200ボルト/ナノ秒の範囲)、電流の変化レートは2アンペア/ナノ秒以上である(例えば3〜10アンペア/ナノ秒の範囲)。
図3の回路300において、スイッチ322、324、326、328が個別のパッケージ内に収容されており(例えば図1に示すようなパッケージ)、高周波数および/または高スイッチングレートでスイッチングされる場合、パッケージリードによってもたらされる寄生インダクタンスと各スイッチの内在的遅延により、回路が不安定になる場合がある。例えば、スイッチ322と324のゲートはゲートドライバ302の同じ出力ノード331に対して電気的に接続されている(または電気的に連結している)が、スイッチの寄生成分と遅延は通常、いずれかのスイッチを他のスイッチよりも若干先にスイッチングさせる(同じことはスイッチ326と328にも当てはまる)。これにより、スイッチングデバイス322または324いずれかからの電流が、スイッチング直後に、インダクタ314ではなく他のスイッチに連結される。これは図3の回転電流線344と348によって示している。これにより、電圧オーバーシュートと発振が生じるとともに、回路300の不安定性が生じ、通常は回路が故障する。したがって図3の構成により、スイッチ304と308が単一スイッチとして形成されている(並列接続された複数スイッチではない)ブリッジ回路よりも、インダクタ314を通じて格段に大きい出力電流を実現できるものの、図3の回路300を安定的に回路動作させることは非常に困難である。さらに、回路の出力電流性能を向上させるため、並列接続されているスイッチに対してさらに別スイッチを並列接続することもできるが、これにより回路寄生成分が増加し、回路の電圧発振と不安定性が増してしまう。
図6は、スイッチング回路600の回路図例である。2つのハーフブリッジ回路660と670が並列接続され、単一のハーフブリッジ回路として動作し、最大出力電流はハーフブリッジ回路660と670それぞれの最大出力電流の2倍まで増加させることができる。ハーフブリッジ回路660と670はそれぞれ、出力端においてインダクタ664と674を有し、インダクタ664と674の出力端は回路600の出力612に対して接続されている。ハーフブリッジ回路660のスイッチは第1ゲートドライバ602によって駆動され、ハーフブリッジ回路670のスイッチは第2ゲートドライバ603によって駆動される。ゲートドライバ602と603の出力684と685は、ハイサイドスイッチ604(ハーフブリッジ回路660内)と605(ハーフブリッジ回路670内)のゲートに対して制御信号を送信し、第1共通PWMソース654からタイミング信号を受信する。第1共通PWMソース654は、第1ゲートドライバ602の第1入力694と第2ゲートドライバ603の第1入力695に対して接続されている。ゲートドライバ602と603の出力688と689は、ローサイドスイッチ608(ハーフブリッジ回路660内)と609(ハーフブリッジ回路670内)のゲートに対して制御信号を送信し、第2共通PWMソース658からタイミング信号を受信する。第2共通PWMソース658は、第1ゲートドライバ602の第2入力696と第2ゲートドライバ603の第2入力697に対して接続されている。
図6の回路600において、スイッチ604と605は略同時にスイッチングされ、スイッチ608と609は略同時にスイッチングされる。したがって、ハーフブリッジ660と670は常に略同じ電流を出力する(ただし先に説明したように、寄生成分/遅延に起因して、スイッチングの直前と直後を除く)。そのため、回路600の最大出力電流はハーフブリッジ660と670の約2倍にすることができる。ただし、スイッチ604と605それぞれが出力する電流は、インダクタ664と674によって互いから分離されている。スイッチ608と609が出力する電流も同様である(ノード680と690との間の合計インダクタンスは、インダクタ664と674のインダクタンスの和である)。このように、ハイサイドスイッチ604と605のスイッチング間に相対的遅延が存在し、またはローサイドスイッチ608と609のスイッチング間に相対的遅延が存在するとしても、図3の回路について説明した電圧発振と不安定性の増加は、回路600においては存在しないかまたは実質的に緩和されている。したがって回路600は、信頼性高く安定的な回路動作を実現しつつ、従来のハーフブリッジ回路よりも格段に大きい出力電流を提供することができる。
回路600の構成により、非常に高い電流性能を有する電力スイッチング回路を安定的に動作させることができるが、2つのインダクタ664と674が必要である。これと比較して、図2と図3の回路は単一のインダクタ214/314を用いる。インダクタ214、314、664、674は非常に大きい。例えば約20〜200μH以上のレンジである。このようなインダクタを2つ有すると、回路のサイズとコストが増える。
図7は、回路700の概略図である。回路700は図6の回路と似ているが、大出力インダクタ664と674が、単一の大メイン出力インダクタ714と、小型の逆接続されたインダクタ762、772のペアとによって置き換えられている。メイン出力インダクタ714は、逆接続インダクタ762と772よりも実質的に大きいインダクタンスを有する。例えばメイン出力インダクタ714のインダクタンスは、逆接続インダクタ762と772のインダクタンスの少なくとも2倍、少なくとも3倍、少なくとも5倍、または少なくとも10倍である。
図6の回路600と同様に、図7の回路700も、信頼性高く安定的な回路動作を実現しつつ、従来のハーフブリッジ回路よりも格段に大きい出力電流を提供することができる。ただし回路700は、図6の回路における2つの大出力インダクタの1つを小型インダクタのペアによって置き換え、これにより回路全体のサイズとコストを抑制できる利点がある。
インダクタ762と772は、略等しい自己インダクタンスを有し(例えばインダクタ762の自己インダクタンスはインダクタ772の自己インダクタンスの2%以内、5%以内、または10%以内である)、互いに反対向きに接続されている。これによりこれらの結合係数kは、−1またはこれに近い値であり、例えば−0.9〜−1.0の範囲である。このように、回路動作時において、ノード780と790との間の総インダクタンスLloopは(インダクタンス762と772の自己インダクタンス、プラスこれらの相互インダクタンス)、インダクタ762と772の自己インダクタンスの約4倍に等しい。シミュレーションによれば、多くのアプリケーションにおいて、インダクタ762と772はそれぞれ、メイン出力インダクタ714の自己インダクタンスの20%未満または10%未満の自己インダクタンスを有し、かつ回路動作時においてノード780と790の間を流れる電流を実質的に制限することができる。
図8は、インダクタ762、772、714の構成例を示す。メイン出力インダクタ714は、第1強磁性コア816の周りに巻き回された巻線によって形成されている。逆接続インダクタ762と772は、第2強磁性コア826の周りに逆方向に巻き回された巻線ペアによって形成されている。インダクタ762と772はそれぞれインダクタ714よりも小さい自己インダクタンスを有するので、第2強磁性コア826は第1強磁性コア816よりも小さくてよい。図8に示すように、強磁性コア816と826はトロイダルコアである。
図9は、回路900の概略図である。2×N個のハーフブリッジ(Nは整数)を組み合わせて単一のハーフブリッジとして動作させてさらに大きい最大出力電流を得る方法を示す。図9は、N=2の場合を示す。4個のハーフブリッジ回路の出力が組み合わされている。回路900全体は、単一の大メイン出力インダクタ914を備える。各ハーフブリッジはそれぞれ出力端において、小型インダクタ962/972/982/992を備える。インダクタ962、972、982、992は互いに逆向きに接続されており、これにより各インダクタの結合係数は−1に近くなる(例えば−0.9〜−1.0)。図7の回路700と同様に、図9の回路900も、頼性高く安定的な回路動作を実現しつつ、従来のハーフブリッジ回路よりも格段に大きい出力電流を提供することができる。
図10は、図9の逆接続インダクタ962、972、982、992の構成例を示す。インダクタ962、972、982、992は全て、単一強磁性コア1026によって形成されている。コア1026は、第1端部1030、第2端部1040、2×Nセグメント1032、1034、1036、1038を備える。各セグメントは、第1端部1030から第2端部1040へ延伸している。インダクタ962は第1セグメント1032の周りに第1巻線を巻き回すことにより形成され、インダクタ972は第2セグメント1034の周りに第2巻線を巻き回すことにより形成され、インダクタ982は第3セグメント1036の周りに第3巻線を巻き回すことにより形成され、インダクタ992は第4セグメント1038の周りに第4巻線を巻き回すことにより形成されている。
図11は、回路1100の概略図である。図3の回路と図7の回路の特徴を単一の回路に組み合わせている。図7と同様に、回路1100は、ハーフブリッジ1160と1170のペアを備え、これらは並列接続されており、単一のハーフブリッジとして動作する。最大出力電流は、ハーフブリッジ1160と1170の最大出力電流の2倍にすることができる。図3と同様に、ハーフブリッジのスイッチは、2つのスイッチを並列接続することにより、各スイッチの最大出力電流を増加させることができる。回路1100全体は単一の大メイン出力インダクタ1114を備え、ハーフブリッジ1160と1170は小型インダクタ1162と1172を出力端に備える。インダクタ1162と1172は互いに逆向きに接続されている。
図6、図7、図11の回路の効率を向上させる動作方法を以下に説明する。回路の出力電流が大きい時刻においては、先に説明したようにハーフブリッジは並列動作する。この高電流期間においては、損失はスイッチ間の導通損失が支配的であり、したがって2つのハーフブリッジを同時に並列動作させることにより損失を最小化できる。回路の出力電流が小さい時刻においては、導通損失は小さく、合計回路損失はスイッチング損失が支配的である。この低電流期間においては、ハーフブリッジの1つをOFFにし、他方を動作させる。これにより低電流期間の導通損失は若干増加するが、低電流期間の支配的損失メカニズムであるスイッチング損失を約2分の1に抑制できる。
同様の方法を図9の回路に対して適用することができる。例えば4つのハーフブリッジ全てを高電流期間において動作させ、若干電流が小さい期間においては3つのハーフブリッジを動作させ、さらに電流が小さい期間においては2つのハーフブリッジを動作させ、出力電流が非常に小さい期間においては1つのハーフブリッジを動作させることができる。
図12は、図7の回路の動作に関連する入力電圧波形と出力電圧波形の例を示す。横軸は時間であり、縦軸は電圧である。図12にプロットしている各電圧は互いに重畳され、互いから垂直方向にオフセットしている。ゲートドライバ入力信号754(図12の波形1202で示す)は、入力ノード794において第1ハーフブリッジゲートドライバ702に対して印加され、入力ノード795において第2ハーフブリッジゲートドライバ703に対して印加される。第1ゲートドライバ702に対して入力電圧信号754(波形1202)が印加されてから、第1ゲートドライバがノード784において第1ゲートドライバ出力信号(波形1204)を出力するまでに、第1遅延が生じる。第2ゲートドライバ703に対して入力電圧信号754(波形1202)が印加されてから、第2ゲートドライバがノード785において第2ゲートドライバ出力信号(波形1206)を出力するまでに、第2遅延が生じる。第1遅延は第2遅延と異なり、図12におけるその差分はΔtpである。したがって、ノード784における第1ゲートドライバ702の出力信号タイミングは、ノード785における第2ゲートドライバの出力信号タイミングとわずかに異なる。波形1208と1210は、出力ノード780と790における出力電圧を時間の関数として表す。これら出力電圧間の差分は、時間の関数として波形1212で表している。Δtpに起因する、第1ハーフブリッジ回路760の出力ノード780における電圧Vds1と第2ハーフブリッジ回路770の出力ノード790における電圧Vds2との間の差分(波形1212が表すもの)は、第1ハーフブリッジ回路の出力780と第2ハーフブリッジ回路の出力790との間で旋回電流を生じさせる。時間関数の旋回電流の相対振幅は、波形1214で与えられる。小型インダクタ762と772は、この旋回電流を制限するように動作する。旋回電流の振幅は以下で与えられる:icirculating=Vdc*Δtp/Lloop、Lloopは先に説明したものであり、Vdcはノード706における入力電圧である。通常回路動作である400Vdc、Δtp10ns未満のとき、旋回電流は1A未満に制限される。この構成において、逆接続インダクタ762と772の合計インダクタンスは、約4μHである。大インダクタ714は、出力電流リップルを制御するように動作する。一般に電流リップルは、定格出力電流の20%〜30%である。
図13は、図6、図7、図11の回路の動作時における出力波形のプロット1300を示す。波形I(L1)は、第1小型インダクタ664、762、または1162を介した第1出力電流の時間依存性を示す。波形I(L2)は、第2小型インダクタ674、772、または1172を介した第2出力電流の時間依存性を示す。波形I(L1)−I(L2)は、第1出力電流と第2出力電流との間の差分の時間依存性を示す。波形I(Lf)は、ノード612における出力電流または大インダクタ714もしくは1114を介した出力電流の時間依存性を示す。
一般に、図6、図7、図11の回路の第1および第2ハーフブリッジ回路は、ON状態またはOFF状態となり得る。図13に示す例において、第1期間tp1(2.5msよりも前)の間は、第1および第2ハーフブリッジ回路はともに動作し(すなわちON状態を維持する)、第1電流レベル(例えば17アンペア)の合計出力電流を共有する。小型インダクタは、電流をバランスさせ、旋回電流を小さく維持することを補助する。2.5msにおいて、出力電流は第2電流レベル(例えば8.5アンペア)まで低下する。この出力電流の低下に応じて、第2ハーフブリッジはOFFになる(したがって第2ハーフブリッジはON状態からOFF状態に遷移する)。このように、第2期間tp2(2.5ms以降)において、第1ハーフブリッジのみが動作し、第2ハーフブリッジはOFF状態を維持する。第2期間における電流は第1期間における電流と比較して小さいので、スイッチング損失が支配的になる。スイッチング損失を最小化するため、第2ハーフブリッジはOFFをキープし、合計電流は第1ハーフブリッジから出力される。第2ハーフブリッジのGaN HEMTの出力キャパシタンスを充放電する小電流が存在する。ただし、第2ハーフブリッジはOFFを維持しているので、これは第2ハーフブリッジのスイッチング損失をもたらさない。したがって、上述の回路動作方法は、低電力状態の間において、図6、図7、図11の回路の効率を向上させる。
複数の実装例を説明した。本明細書が記載する技術とデバイスの趣旨および範囲から逸脱することなく、様々な変形が可能であることを理解されたい。例えば、本明細書が記載している各回路において、大インダクタンスを有する負荷に対して回路が接続され、その負荷を制御または駆動するために用いる場合(例えば負荷が電気モータである場合)、個別のメイン出力インダクタ(例えばインダクタ314、664、674、714、914、1114)は必要ない。代わりに、負荷インダクタンスは回路の出力インダクタンスとして機能する。さらに、本明細書が記載している回路のスイッチは、III族窒化物デバイスとして形成することができ、高周波数および/または高電流および電圧スイッチングレートでスイッチングすることができる。図3のスイッチ322、324、326、328と同様のものである。すなわち、図3のスイッチ322、324、326、328として用いられるデバイスは、本明細書が記載している他の回路のスイッチとして用いることができる。さらに、“出力ノード”として説明した回路ノードは、回路の入力ノードであってもよい。例えば、出力電流が双方向であるアプリケーションにおいて回路を用いる場合、出力ノードは回路の動作時において入力ノードと出力ノード双方として機能する。したがって、他の実施例も特許請求範囲の範囲内である。

Claims (19)

  1. 第1ハイサイドスイッチ、第1ローサイドスイッチ、第1ゲートドライバを備え、前記第1ゲートドライバは、前記第1ハイサイドスイッチと前記第1ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するように構成されている、第1ハーフブリッジ、
    第2ハイサイドスイッチ、第2ローサイドスイッチ、第2ゲートドライバを備え、前記第2ゲートドライバは、前記第2ハイサイドスイッチと前記第2ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するように構成されている、第2ハーフブリッジ、
    前記第1ハーフブリッジの出力ノードに対して電気的に接続された第1サイドを有し、前記第1ハーフブリッジの前記出力ノードは、前記第1ハイサイドスイッチと前記第1ローサイドスイッチとの間に配置されている、第1インダクタ、
    前記第2ハーフブリッジの出力ノードに対して電気的に接続された第1サイドを有し、前記第2ハーフブリッジの前記出力ノードは、前記第2ハイサイドスイッチと前記第2ローサイドスイッチとの間に配置されている、第2インダクタ、
    前記第1インダクタの第2サイドと前記第2インダクタの第2サイドとの間に配置されたノードに対して接続されているメインインダクタ、
    を備え、
    前記メインインダクタのインダクタンスは、前記第1インダクタのインダクタンスよりも大きく、前記第2インダクタのインダクタンスよりも大きく、
    前記第1インダクタと前記第2インダクタは、互いに反対向きに接続されている
    ことを特徴とする回路。
  2. 前記第1インダクタと前記第2インダクタの結合係数は、約−0.9からー1.0の範囲である
    ことを特徴とする請求項1記載の回路。
  3. 前記第1ハイサイドスイッチと前記第2ハイサイドスイッチは、第1PWMソースから共通タイミング信号を受け取るように構成されており、前記第1ローサイドスイッチと前記第1ローサイドスイッチは、第2PWMソースから共通タイミング信号を受け取るように構成されている
    ことを特徴とする請求項1記載の回路。
  4. 前記第1ハーフブリッジと前記第2ハーフブリッジは並列接続されるとともに、単一のハーフブリッジ回路として動作するように構成されており、前記単一のハーフブリッジ回路は、前記第1ハーフブリッジと前記第2ハーフブリッジよりも大きい最大出力電流を有する
    ことを特徴とする請求項3記載の回路。
  5. 前記第1PWMソースは、前記第1ゲートドライバの第1入力と前記第2ゲートドライバの第1入力に対して接続されており、前記第2PWMソースは、前記第1ゲートドライバの第2入力と前記第2ゲートドライバの第2入力に対して接続されている
    ことを特徴とする請求項3記載の回路。
  6. 前記第1および第2ハイサイドスイッチと前記第1および第2ローサイドスイッチはそれぞれ、2以上の並列接続されたスイッチを備える
    ことを特徴とする請求項1記載の回路。
  7. 前記第1ハイサイドスイッチと前記第2ハイサイドスイッチは、高電圧ノードに対して接続されており、前記第1ローサイドスイッチと前記第2ローサイドスイッチは、低電圧ノードまたはグランドノードに対して接続されている
    ことを特徴とする請求項1記載の回路。
  8. 前記高電圧ノードにおける前記低電圧ノードまたはグランドノードに対する電圧は、約400Vまたはそれ以上である
    ことを特徴とする請求項7記載の回路。
  9. 前記第1ゲートドライバと前記第2ゲートドライバは、30kHzから10MHzの周波数で前記スイッチング信号を印加するように構成されている
    ことを特徴とする請求項8記載の回路。
  10. 前記第1および第2ハイサイドスイッチと前記第1および第2ローサイドスイッチは、III族窒化物デバイスを備える
    ことを特徴とする請求項1記載の回路。
  11. 前記III族窒化物デバイスは、III族窒化物エンハンスメントモードトランジスタである
    ことを特徴とする請求項10記載の回路。
  12. 前記III族窒化物デバイスはハイブリッドデバイスであり、各前記ハイブリッドデバイスは、空乏モードIII族窒化物トランジスタとエンハンスメントモードシリコントランジスタを備える
    ことを特徴とする請求項10記載の回路。
  13. 前記メインインダクタは、前記回路の前記ハーフブリッジによって駆動または制御される負荷の一部である
    ことを特徴とする請求項1記載の回路。
  14. 前記負荷は、電気モータを備える
    ことを特徴とする請求項13記載の回路。
  15. 負荷に対して出力電流を提供するように構成された回路を動作させる方法であって、
    前記回路の第1ハーフブリッジの第1ゲートドライバによって、前記第1ハーフブリッジの第1ハイサイドスイッチと第1ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するとともに、前記印加されたスイッチング信号に応答して、前記第1ハーフブリッジの出力を介して第1出力電流を提供するステップ、
    前記回路の第2ハーフブリッジの第2ゲートドライバによって、前記第2ハーフブリッジの第2ハイサイドスイッチと第2ローサイドスイッチに対してスイッチング信号を印加するとともに、前記印加されたスイッチング信号に応答して、前記第2ハーフブリッジの出力を介して第2出力電流を提供するステップ、
    第1期間において、前記回路の前記出力電流を前記負荷に対して第1電流レベルで提供しながら、前記第1ハーフブリッジと前記第2ハーフブリッジを動作させて、各前記ハーフブリッジの出力を介して前記第1出力電流と前記第2出力電流を提供することにより、前記第1期間において前記負荷に対して提供される出力電流の総和が前記第1出力電流と前記第2出力電流の和となるようにするステップ、
    第2期間において、前記回路の前記出力電流を前記負荷に対して前記第1電流レベルよりも小さい第2電流レベルで提供しながら、前記第2ハーフブリッジをOFF状態に維持しつつ前記第1ハーフブリッジを動作させて、前記第1ハーフブリッジの出力を介して前記第1出力電流を提供することにより、前記第2期間において前記負荷に対して提供される出力電流の総和が前記第1出力電流と等しくなるようにするステップ、
    を有することを特徴とする方法。
  16. 前記回路はさらに、(i)前記第1ハーフブリッジの出力に接続された第1インダクタ、(ii)前記第2ハーフブリッジの出力に接続された第2インダクタ、(iii)前記第1インダクタの第2サイドと前記第2インダクタの第2サイドとの間に配置されたノードに接続されたメインインダクタ、を備え、前記メインインダクタのインダクタンスは、前記第1および第2インダクタのインダクタンスよりも大きい
    ことを特徴とする請求項15記載の方法。
  17. 前記第1および第2インダクタは、互いに逆向きに接続されている
    ことを特徴とする請求項16記載の方法。
  18. 前記メインインダクタンスのインダクタンスは、前記第1および第2インダクタのインダクタンスの2倍から10倍の間である
    ことを特徴とする請求項16記載の方法。
  19. 前記第2期間における前記回路のスイッチング損失は、前記第1期間におけるスイッチング損失の約半分である
    ことを特徴とする請求項15記載の方法。
JP2017548106A 2015-03-13 2016-03-11 高電力回路のためのスイッチングデバイスの並列化 Active JP6637065B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201562133253P 2015-03-13 2015-03-13
US62/133,253 2015-03-13
PCT/US2016/022214 WO2016149146A1 (en) 2015-03-13 2016-03-11 Paralleling of switching devices for high power circuits

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018508176A true JP2018508176A (ja) 2018-03-22
JP6637065B2 JP6637065B2 (ja) 2020-01-29

Family

ID=55697467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017548106A Active JP6637065B2 (ja) 2015-03-13 2016-03-11 高電力回路のためのスイッチングデバイスの並列化

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10200030B2 (ja)
JP (1) JP6637065B2 (ja)
WO (1) WO2016149146A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3059497A1 (fr) * 2016-11-25 2018-06-01 Exagan Procede et circuit de commande d'un dispositif de commutation d'un circuit de puissance
JP6678774B2 (ja) * 2017-01-11 2020-04-08 東芝三菱電機産業システム株式会社 電力変換装置
TWI683522B (zh) * 2018-10-24 2020-01-21 林景源 高頻分時多相電源轉換器
JP2020150575A (ja) * 2019-03-11 2020-09-17 セイコーエプソン株式会社 駆動制御装置、駆動回路および移動体
CN110504242B (zh) * 2019-08-26 2022-11-11 黄山学院 大电流级联增强型GaN全桥功率模块封装结构及封装方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006187140A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Toshiba Corp コンバータ電源回路
CN101252283A (zh) * 2008-04-11 2008-08-27 华北电力大学 中压系统感性动态无功调节装置
US20140152413A1 (en) * 2012-12-05 2014-06-05 Futurewei Technologies, Inc. Coupled Inductor Structure

Family Cites Families (144)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55149871A (en) 1978-07-31 1980-11-21 Fujitsu Ltd Line voltage detector
JPS55136726A (en) 1979-04-11 1980-10-24 Nec Corp High voltage mos inverter and its drive method
US4665508A (en) 1985-05-23 1987-05-12 Texas Instruments Incorporated Gallium arsenide MESFET memory
US4728826A (en) 1986-03-19 1988-03-01 Siemens Aktiengesellschaft MOSFET switch with inductive load
US4808853A (en) 1987-11-25 1989-02-28 Triquint Semiconductor, Inc. Tristate output circuit with selectable output impedance
US4864479A (en) 1988-03-07 1989-09-05 General Electric Company Full-bridge lossless switching converter
JP2901091B2 (ja) 1990-09-27 1999-06-02 株式会社日立製作所 半導体装置
US6143582A (en) 1990-12-31 2000-11-07 Kopin Corporation High density electronic circuit modules
JPH0575040A (ja) 1991-09-13 1993-03-26 Fujitsu Ltd 半導体集積回路装置
JPH0667744A (ja) 1992-08-18 1994-03-11 Fujitsu Ltd 定電圧回路
US5493487A (en) 1993-02-09 1996-02-20 Performance Controls, Inc. Electronic switching circuit
US5379209A (en) 1993-02-09 1995-01-03 Performance Controls, Inc. Electronic switching circuit
US5637922A (en) 1994-02-07 1997-06-10 General Electric Company Wireless radio frequency power semiconductor devices using high density interconnect
JP3429921B2 (ja) 1995-10-26 2003-07-28 三菱電機株式会社 半導体装置
JP3665419B2 (ja) 1996-05-02 2005-06-29 新電元工業株式会社 誘導性負荷駆動方法、及びhブリッジ回路制御装置
US6172550B1 (en) 1996-08-16 2001-01-09 American Superconducting Corporation Cryogenically-cooled switching circuit
KR19980021826U (ko) 1996-10-21 1998-07-15 이관기 자동차 시트 등받이 폴딩(folding)장치
US6008684A (en) 1996-10-23 1999-12-28 Industrial Technology Research Institute CMOS output buffer with CMOS-controlled lateral SCR devices
US5789951A (en) 1997-01-31 1998-08-04 Motorola, Inc. Monolithic clamping circuit and method of preventing transistor avalanche breakdown
JP3731358B2 (ja) 1998-09-25 2006-01-05 株式会社村田製作所 高周波電力増幅回路
US6107844A (en) 1998-09-28 2000-08-22 Tripath Technology, Inc. Methods and apparatus for reducing MOSFET body diode conduction in a half-bridge configuration
JP3275851B2 (ja) 1998-10-13 2002-04-22 松下電器産業株式会社 高周波集積回路
JP3049427B2 (ja) 1998-10-21 2000-06-05 株式会社ハイデン研究所 正負パルス式高周波スイッチング電源
DE19855900B4 (de) 1998-12-03 2004-04-08 Siemens Ag Verfahren zur Verringerung von Verlusten beim Kommutierungsvorgang
DE19902520B4 (de) 1999-01-22 2005-10-06 Siemens Ag Hybrid-Leistungs-MOSFET
US6395593B1 (en) 1999-05-06 2002-05-28 Texas Instruments Incorporated Method of manufacturing high side and low side guard rings for lowest parasitic performance in an H-bridge configuration
US6864131B2 (en) 1999-06-02 2005-03-08 Arizona State University Complementary Schottky junction transistors and methods of forming the same
JP3458768B2 (ja) 1999-06-10 2003-10-20 株式会社デンソー 負荷駆動装置
EP1358709A2 (en) 2001-02-06 2003-11-05 Harman International Industries, Inc. Half-bridge gate driver circuit
US6455905B1 (en) 2001-04-05 2002-09-24 Ericsson Inc. Single chip push-pull power transistor device
US6650169B2 (en) 2001-10-01 2003-11-18 Koninklijke Philips Electronics N.V. Gate driver apparatus having an energy recovering circuit
DE10156963A1 (de) * 2001-11-20 2003-06-05 Fritz Frey Schaltungsanordnung zum zuverlässigen Schalten von Stromkreisen
JP2003244943A (ja) 2002-02-13 2003-08-29 Honda Motor Co Ltd 電源装置の昇圧装置
JP3850739B2 (ja) 2002-02-21 2006-11-29 三菱電機株式会社 半導体装置
US7122884B2 (en) 2002-04-16 2006-10-17 Fairchild Semiconductor Corporation Robust leaded molded packages and methods for forming the same
DE10219760A1 (de) 2002-05-02 2003-11-20 Eupec Gmbh & Co Kg Halbbrückenschaltung
JP3731562B2 (ja) 2002-05-22 2006-01-05 日産自動車株式会社 電流制御型素子用駆動回路
US6975023B2 (en) 2002-09-04 2005-12-13 International Rectifier Corporation Co-packaged control circuit, transistor and inverted diode
DE10243885A1 (de) 2002-09-21 2004-04-01 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh Konverterschaltung und Ansteuerverfahren hierfür
EP1559194A1 (en) 2002-10-29 2005-08-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Bi-directional double nmos switch
JP4385205B2 (ja) 2002-12-16 2009-12-16 日本電気株式会社 電界効果トランジスタ
US6825559B2 (en) 2003-01-02 2004-11-30 Cree, Inc. Group III nitride based flip-chip intergrated circuit and method for fabricating
TW583636B (en) 2003-03-11 2004-04-11 Toppoly Optoelectronics Corp Source follower capable of compensating the threshold voltage
JP4241106B2 (ja) 2003-03-12 2009-03-18 シャープ株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP4531343B2 (ja) 2003-03-26 2010-08-25 株式会社半導体エネルギー研究所 駆動回路
GB0308674D0 (en) 2003-04-15 2003-05-21 Koninkl Philips Electronics Nv Driver for inductive load
JP4248953B2 (ja) 2003-06-30 2009-04-02 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置およびその製造方法
DE60335180D1 (de) 2003-07-04 2011-01-13 Dialog Semiconductor Gmbh Hochspannungschnittstelle und Steuerschaltung dafür
JP3973638B2 (ja) 2003-09-05 2007-09-12 三洋電機株式会社 電源ユニット及びこれを有する電源システム
US7501669B2 (en) 2003-09-09 2009-03-10 Cree, Inc. Wide bandgap transistor devices with field plates
US6900657B2 (en) 2003-09-24 2005-05-31 Saia-Burgess Automotive, Inc. Stall detection circuit and method
DE10344841B4 (de) 2003-09-26 2010-02-25 Infineon Technologies Ag Ansteuerschaltung für ein Zündelement eines Insassenschutzsystems
US7166867B2 (en) 2003-12-05 2007-01-23 International Rectifier Corporation III-nitride device with improved layout geometry
US7193396B2 (en) 2003-12-24 2007-03-20 Potentia Semiconductor Corporation DC converters having buck or boost configurations
US7382001B2 (en) 2004-01-23 2008-06-03 International Rectifier Corporation Enhancement mode III-nitride FET
US7550781B2 (en) 2004-02-12 2009-06-23 International Rectifier Corporation Integrated III-nitride power devices
US7465997B2 (en) 2004-02-12 2008-12-16 International Rectifier Corporation III-nitride bidirectional switch
JP2005295794A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd アクティブダイオード
JP2006032552A (ja) 2004-07-14 2006-02-02 Toshiba Corp 窒化物含有半導体装置
JP2006033723A (ja) 2004-07-21 2006-02-02 Sharp Corp 電力制御用光結合素子およびこの電力制御用光結合素子を用いた電子機器
US7227198B2 (en) 2004-08-11 2007-06-05 International Rectifier Corporation Half-bridge package
JP4637553B2 (ja) 2004-11-22 2011-02-23 パナソニック株式会社 ショットキーバリアダイオード及びそれを用いた集積回路
CN100359686C (zh) 2004-11-30 2008-01-02 万代半导体元件(上海)有限公司 金属氧化物半导体场效应晶体管和肖特基二极管结合的瘦小外形封装
JP2006173754A (ja) 2004-12-13 2006-06-29 Oki Electric Ind Co Ltd 高周波スイッチ
US7116567B2 (en) 2005-01-05 2006-10-03 Velox Semiconductor Corporation GaN semiconductor based voltage conversion device
US7612602B2 (en) 2005-01-31 2009-11-03 Queen's University At Kingston Resonant gate drive circuits
US7239108B2 (en) 2005-01-31 2007-07-03 Texas Instruments Incorporated Method for stepper motor position referencing
JP2006223016A (ja) 2005-02-08 2006-08-24 Renesas Technology Corp 電源システム、マルチチップモジュール、システムインパッケージ、および非絶縁型dc/dcコンバータ
US7547964B2 (en) 2005-04-25 2009-06-16 International Rectifier Corporation Device packages having a III-nitride based power semiconductor device
US7368980B2 (en) 2005-04-25 2008-05-06 Triquint Semiconductor, Inc. Producing reference voltages using transistors
US7408399B2 (en) 2005-06-27 2008-08-05 International Rectifier Corporation Active driving of normally on, normally off cascoded configuration devices through asymmetrical CMOS
US7855401B2 (en) 2005-06-29 2010-12-21 Cree, Inc. Passivation of wide band-gap based semiconductor devices with hydrogen-free sputtered nitrides
JP4730529B2 (ja) 2005-07-13 2011-07-20 サンケン電気株式会社 電界効果トランジスタ
US7548112B2 (en) 2005-07-21 2009-06-16 Cree, Inc. Switch mode power amplifier using MIS-HEMT with field plate extension
JP2007059595A (ja) 2005-08-24 2007-03-08 Toshiba Corp 窒化物半導体素子
US7482788B2 (en) 2005-10-12 2009-01-27 System General Corp. Buck converter for both full load and light load operations
US7932539B2 (en) 2005-11-29 2011-04-26 The Hong Kong University Of Science And Technology Enhancement-mode III-N devices, circuits, and methods
US8018056B2 (en) 2005-12-21 2011-09-13 International Rectifier Corporation Package for high power density devices
JP5065595B2 (ja) 2005-12-28 2012-11-07 株式会社東芝 窒化物系半導体装置
US20070164428A1 (en) 2006-01-18 2007-07-19 Alan Elbanhawy High power module with open frame package
JP2007215331A (ja) 2006-02-10 2007-08-23 Hitachi Ltd 昇圧回路
US7423894B2 (en) * 2006-03-03 2008-09-09 Advanced Energy Industries, Inc. Interleaved soft switching bridge power converter
US7521907B2 (en) 2006-03-06 2009-04-21 Enpirion, Inc. Controller for a power converter and method of operating the same
JP2007242853A (ja) 2006-03-08 2007-09-20 Sanken Electric Co Ltd 半導体基体及びこれを使用した半導体装置
JP4772542B2 (ja) 2006-03-15 2011-09-14 株式会社東芝 電力変換装置
WO2007109301A2 (en) 2006-03-20 2007-09-27 International Rectifier Corporation Merged gate cascode transistor
JP2007294769A (ja) 2006-04-26 2007-11-08 Toshiba Corp 窒化物半導体素子
US20080017998A1 (en) 2006-07-19 2008-01-24 Pavio Jeanne S Semiconductor component and method of manufacture
US7893676B2 (en) 2006-07-20 2011-02-22 Enpirion, Inc. Driver for switch and a method of driving the same
TW200835126A (en) 2006-11-28 2008-08-16 Int Rectifier Corp Synchronous DC/DC converter
US8384243B2 (en) 2007-12-04 2013-02-26 Solaredge Technologies Ltd. Distributed power harvesting systems using DC power sources
US7863877B2 (en) 2006-12-11 2011-01-04 International Rectifier Corporation Monolithically integrated III-nitride power converter
JP2008164796A (ja) 2006-12-27 2008-07-17 Sony Corp 画素回路および表示装置とその駆動方法
US7378883B1 (en) 2007-01-03 2008-05-27 Tpo Displays Corp. Source follower and electronic system utilizing the same
US8014110B2 (en) 2007-01-22 2011-09-06 Johnson Controls Technology Company Variable speed drive with integral bypass contactor
US8188596B2 (en) 2007-02-09 2012-05-29 Infineon Technologies Ag Multi-chip module
JP5358882B2 (ja) 2007-02-09 2013-12-04 サンケン電気株式会社 整流素子を含む複合半導体装置
JP2008199771A (ja) 2007-02-13 2008-08-28 Fujitsu Ten Ltd 昇圧回路制御装置、及び昇圧回路
KR101391925B1 (ko) 2007-02-28 2014-05-07 페어차일드코리아반도체 주식회사 반도체 패키지 및 이를 제조하기 위한 반도체 패키지 금형
KR20090122252A (ko) 2007-03-20 2009-11-26 액세스 비지니스 그룹 인터내셔날 엘엘씨 전원
US7453107B1 (en) 2007-05-04 2008-11-18 Dsm Solutions, Inc. Method for applying a stress layer to a semiconductor device and device formed therefrom
US7719055B1 (en) 2007-05-10 2010-05-18 Northrop Grumman Systems Corporation Cascode power switch topologies
US7477082B2 (en) 2007-05-15 2009-01-13 Freescale Semiconductor, Inc. Method and circuit for driving H-bridge that reduces switching noise
JP2008288289A (ja) 2007-05-16 2008-11-27 Oki Electric Ind Co Ltd 電界効果トランジスタとその製造方法
JP4478175B2 (ja) 2007-06-26 2010-06-09 株式会社東芝 半導体装置
JP4775859B2 (ja) 2007-08-24 2011-09-21 シャープ株式会社 窒化物半導体装置とそれを含む電力変換装置
WO2009036266A2 (en) 2007-09-12 2009-03-19 Transphorm Inc. Iii-nitride bidirectional switches
US7795642B2 (en) 2007-09-14 2010-09-14 Transphorm, Inc. III-nitride devices with recessed gates
US20090072269A1 (en) 2007-09-17 2009-03-19 Chang Soo Suh Gallium nitride diodes and integrated components
US7915643B2 (en) 2007-09-17 2011-03-29 Transphorm Inc. Enhancement mode gallium nitride power devices
JP4528321B2 (ja) 2007-09-26 2010-08-18 シャープ株式会社 スイッチング回路、回路、並びにスイッチング回路及び駆動パルス生成回路を含む回路
US7791208B2 (en) 2007-09-27 2010-09-07 Infineon Technologies Ag Power semiconductor arrangement
WO2009076076A2 (en) 2007-12-10 2009-06-18 Transphorm Inc. Insulated gate e-mode transistors
JP5130906B2 (ja) 2007-12-26 2013-01-30 サンケン電気株式会社 スイッチ装置
US8063616B2 (en) 2008-01-11 2011-11-22 International Rectifier Corporation Integrated III-nitride power converter circuit
US7639064B2 (en) 2008-01-21 2009-12-29 Eutech Microelectronic Inc. Drive circuit for reducing inductive kickback voltage
US7965126B2 (en) 2008-02-12 2011-06-21 Transphorm Inc. Bridge circuits and their components
JP2009200338A (ja) 2008-02-22 2009-09-03 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造方法
JP2009218475A (ja) 2008-03-12 2009-09-24 Sharp Corp 出力制御装置、ならびに、これを用いたac/dc電源装置及び回路装置
US7920013B2 (en) 2008-04-18 2011-04-05 Linear Technology Corporation Systems and methods for oscillation suppression in switching circuits
US8957642B2 (en) 2008-05-06 2015-02-17 International Rectifier Corporation Enhancement mode III-nitride switch with increased efficiency and operating frequency
US7804328B2 (en) 2008-06-23 2010-09-28 Texas Instruments Incorporated Source/emitter follower buffer driving a switching load and having improved linearity
TWI371163B (en) 2008-09-12 2012-08-21 Glacialtech Inc Unidirectional mosfet and applications thereof
US8289065B2 (en) 2008-09-23 2012-10-16 Transphorm Inc. Inductive load power switching circuits
US20100079192A1 (en) 2008-09-29 2010-04-01 Bernhard Strzalkowski Drive for a half-bridge circuit
US7893791B2 (en) 2008-10-22 2011-02-22 The Boeing Company Gallium nitride switch methodology
US8084783B2 (en) 2008-11-10 2011-12-27 International Rectifier Corporation GaN-based device cascoded with an integrated FET/Schottky diode device
US7898004B2 (en) 2008-12-10 2011-03-01 Transphorm Inc. Semiconductor heterostructure diodes
US8054110B2 (en) 2009-01-20 2011-11-08 University Of South Carolina Driver circuit for gallium nitride (GaN) heterojunction field effect transistors (HFETs)
US8193559B2 (en) 2009-01-27 2012-06-05 Infineon Technologies Austria Ag Monolithic semiconductor switches and method for manufacturing
US7884394B2 (en) 2009-02-09 2011-02-08 Transphorm Inc. III-nitride devices and circuits
DE102009009892A1 (de) 2009-02-20 2010-09-16 Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung Elektronisches Betriebsgerät für eine Gasentladungslampe
EP2264894B1 (en) 2009-06-19 2011-10-12 Vincotech Holdings S.a.r.l. Power module with additional transient current path and power module system
US8138529B2 (en) 2009-11-02 2012-03-20 Transphorm Inc. Package configurations for low EMI circuits
US8816497B2 (en) 2010-01-08 2014-08-26 Transphorm Inc. Electronic devices and components for high efficiency power circuits
US8624662B2 (en) 2010-02-05 2014-01-07 Transphorm Inc. Semiconductor electronic components and circuits
US8530904B2 (en) 2010-03-19 2013-09-10 Infineon Technologies Austria Ag Semiconductor device including a normally-on transistor and a normally-off transistor
US8742460B2 (en) 2010-12-15 2014-06-03 Transphorm Inc. Transistors with isolation regions
US8786327B2 (en) 2011-02-28 2014-07-22 Transphorm Inc. Electronic components with reactive filters
US9166028B2 (en) 2011-05-31 2015-10-20 Infineon Technologies Austria Ag Circuit configured to adjust the activation state of transistors based on load conditions
US20130033240A1 (en) 2011-06-29 2013-02-07 Texas Instruments Incorporated Pfc thd reduction by zvs or valley switching
US8441128B2 (en) 2011-08-16 2013-05-14 Infineon Technologies Ag Semiconductor arrangement
US9209176B2 (en) 2011-12-07 2015-12-08 Transphorm Inc. Semiconductor modules and methods of forming the same
US8648643B2 (en) 2012-02-24 2014-02-11 Transphorm Inc. Semiconductor power modules and devices

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006187140A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Toshiba Corp コンバータ電源回路
CN101252283A (zh) * 2008-04-11 2008-08-27 华北电力大学 中压系统感性动态无功调节装置
US20140152413A1 (en) * 2012-12-05 2014-06-05 Futurewei Technologies, Inc. Coupled Inductor Structure

Also Published As

Publication number Publication date
WO2016149146A1 (en) 2016-09-22
JP6637065B2 (ja) 2020-01-29
US10200030B2 (en) 2019-02-05
US20180083617A1 (en) 2018-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6909881B2 (ja) フェライトビーズを有するスイッチング回路
US9818686B2 (en) Semiconductor modules and methods of forming the same
US9362903B2 (en) Gate drivers for circuits based on semiconductor devices
US9741702B2 (en) Semiconductor power modules and devices
JP6637065B2 (ja) 高電力回路のためのスイッチングデバイスの並列化
US20120268091A1 (en) Switching circuit device and power supply device having same
JP7224918B2 (ja) 半導体装置及び半導体パッケージ
WO2013077105A1 (ja) インバータ装置
US10897249B1 (en) Switching circuits having drain connected ferrite beads
JP7293176B2 (ja) 半導体装置
WO2021140889A1 (ja) 同期整流回路、電源装置、及び電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426

Effective date: 20180522

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20180522

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190306

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191114

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20191126

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191129

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191210

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191219

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6637065

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250