JP2017083286A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017083286A5
JP2017083286A5 JP2015211602A JP2015211602A JP2017083286A5 JP 2017083286 A5 JP2017083286 A5 JP 2017083286A5 JP 2015211602 A JP2015211602 A JP 2015211602A JP 2015211602 A JP2015211602 A JP 2015211602A JP 2017083286 A5 JP2017083286 A5 JP 2017083286A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detection
arm
electrode portion
electrode
reference potential
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015211602A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6623682B2 (ja
JP2017083286A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2015211602A priority Critical patent/JP6623682B2/ja
Priority claimed from JP2015211602A external-priority patent/JP6623682B2/ja
Priority to CN201610947746.2A priority patent/CN106969760B/zh
Priority to US15/336,404 priority patent/US10072928B2/en
Publication of JP2017083286A publication Critical patent/JP2017083286A/ja
Publication of JP2017083286A5 publication Critical patent/JP2017083286A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6623682B2 publication Critical patent/JP6623682B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2015211602A 2015-10-28 2015-10-28 物理量検出振動片、物理量検出装置、電子機器および移動体 Active JP6623682B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015211602A JP6623682B2 (ja) 2015-10-28 2015-10-28 物理量検出振動片、物理量検出装置、電子機器および移動体
CN201610947746.2A CN106969760B (zh) 2015-10-28 2016-10-26 物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体
US15/336,404 US10072928B2 (en) 2015-10-28 2016-10-27 Physical quantity detection vibrator element, physical quantity detection apparatus, electronic apparatus, and moving object

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015211602A JP6623682B2 (ja) 2015-10-28 2015-10-28 物理量検出振動片、物理量検出装置、電子機器および移動体

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017083286A JP2017083286A (ja) 2017-05-18
JP2017083286A5 true JP2017083286A5 (enExample) 2018-11-08
JP6623682B2 JP6623682B2 (ja) 2019-12-25

Family

ID=58634432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015211602A Active JP6623682B2 (ja) 2015-10-28 2015-10-28 物理量検出振動片、物理量検出装置、電子機器および移動体

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10072928B2 (enExample)
JP (1) JP6623682B2 (enExample)
CN (1) CN106969760B (enExample)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7139610B2 (ja) * 2018-01-23 2022-09-21 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動素子の製造方法、物理量センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体
JP7332007B2 (ja) * 2018-01-23 2023-08-23 セイコーエプソン株式会社 振動素子、物理量センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体
JP2019178905A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体
JP7152498B2 (ja) * 2018-09-28 2022-10-12 京セラ株式会社 センサ素子及び角速度センサ
JP7537152B2 (ja) * 2020-07-17 2024-08-21 セイコーエプソン株式会社 オーバーシュート量検出方法およびロボットシステム
CN114978079B (zh) * 2021-02-25 2025-10-28 精工爱普生株式会社 振动元件的制造方法
JP2023048349A (ja) * 2021-09-28 2023-04-07 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法
JP2023048348A (ja) * 2021-09-28 2023-04-07 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法
JP2023065836A (ja) * 2021-10-28 2023-05-15 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法
JP2023082271A (ja) * 2021-12-02 2023-06-14 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法
JP2023085722A (ja) * 2021-12-09 2023-06-21 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002340559A (ja) * 2001-05-11 2002-11-27 Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk 水晶角速度センサ
DE102005041059B4 (de) * 2004-09-02 2014-06-26 Denso Corporation Winkelratensensor und Anbringungsstruktur eines Winkelratensensors
JP4694953B2 (ja) 2005-11-30 2011-06-08 セイコーインスツル株式会社 圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
CN101173957B (zh) * 2006-10-30 2011-12-21 索尼株式会社 角速度传感器及电子机器
JP5487672B2 (ja) * 2009-03-27 2014-05-07 パナソニック株式会社 物理量センサ
JP2011209002A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Seiko Epson Corp 振動片、角速度センサー、および電子機器
JP2012063177A (ja) 2010-09-14 2012-03-29 Seiko Epson Corp 振動片、振動子および電子機器
US20120244969A1 (en) * 2011-03-25 2012-09-27 May Patents Ltd. System and Method for a Motion Sensing Device
JP5724672B2 (ja) 2011-06-24 2015-05-27 セイコーエプソン株式会社 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器
JP2013024721A (ja) * 2011-07-21 2013-02-04 Seiko Epson Corp 振動ジャイロ素子、ジャイロセンサー及び電子機器
JP5838689B2 (ja) 2011-09-26 2016-01-06 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、センサー素子の製造方法、センサーデバイスおよび電子機器
JP2013178179A (ja) * 2012-02-28 2013-09-09 Seiko Epson Corp センサー素子、センサーデバイスおよび電子機器
US9222776B2 (en) 2012-03-13 2015-12-29 Seiko Epson Corporation Gyro sensor and electronic apparatus
JP5966460B2 (ja) * 2012-03-13 2016-08-10 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサーおよび電子機器
JP6020793B2 (ja) * 2012-04-02 2016-11-02 セイコーエプソン株式会社 物理量センサーおよび電子機器
JP6160027B2 (ja) 2012-04-27 2017-07-12 セイコーエプソン株式会社 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体
JP5974629B2 (ja) * 2012-05-23 2016-08-23 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動片の製造方法、角速度センサー、電子機器、移動体
JP2016042074A (ja) * 2014-08-13 2016-03-31 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、電子機器および移動体
JP6631108B2 (ja) * 2015-09-15 2020-01-15 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、センサーデバイス、電子機器および移動体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017083286A5 (enExample)
JP2015184124A5 (enExample)
JP2011196823A5 (ja) ジャイロ素子、ジャイロセンサー、および電子機器
JP2006217716A (ja) 超音波アクチュエータ駆動装置及び超音波アクチュエータ駆動方法
JP5858605B2 (ja) 圧電振動子の駆動方法、該駆動方法による塵埃除去装置、超音波モータ
JP2018159674A5 (enExample)
JP6972845B2 (ja) 物理量測定装置、電子機器及び移動体
JP2012096193A5 (enExample)
JP2018173313A5 (enExample)
WO2016059940A1 (ja) 圧力検出装置、圧力検出装置の制御方法、及びプログラム
JP6015615B2 (ja) 半導体装置
JP6223793B2 (ja) 角速度センサ及びセンサ素子
JP2013146004A5 (enExample)
JP2021021636A5 (enExample)
JP2019030091A5 (enExample)
TW201406045A (zh) 無感測器的馬達驅動裝置及反電動勢偵測電路與偵測方法
US7343802B2 (en) Dynamic-quantity sensor
RU2016131410A (ru) Микромеханический компонент с раздельной, гальванически изолированной активной структурой и способ эксплуатации такого компонента
JPWO2021177268A5 (enExample)
JP2015094716A5 (ja) 振動素子製造用基板、振動素子の製造方法、物理量検出装置、電子機器、および移動体
JP2015087257A5 (enExample)
JP2016085179A5 (enExample)
JP2016085180A5 (enExample)
JP2016085181A5 (enExample)
JP2016085178A5 (enExample)