JP2019030091A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2019030091A5
JP2019030091A5 JP2017146028A JP2017146028A JP2019030091A5 JP 2019030091 A5 JP2019030091 A5 JP 2019030091A5 JP 2017146028 A JP2017146028 A JP 2017146028A JP 2017146028 A JP2017146028 A JP 2017146028A JP 2019030091 A5 JP2019030091 A5 JP 2019030091A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
drive
drive device
vibrating body
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017146028A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2019030091A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017146028A priority Critical patent/JP2019030091A/ja
Priority claimed from JP2017146028A external-priority patent/JP2019030091A/ja
Priority to CN201810832568.8A priority patent/CN109309458B/zh
Priority to US16/047,578 priority patent/US11482661B2/en
Publication of JP2019030091A publication Critical patent/JP2019030091A/ja
Publication of JP2019030091A5 publication Critical patent/JP2019030091A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2017146028A 2017-07-28 2017-07-28 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター Pending JP2019030091A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017146028A JP2019030091A (ja) 2017-07-28 2017-07-28 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター
CN201810832568.8A CN109309458B (zh) 2017-07-28 2018-07-25 压电驱动装置及其驱动方法、机器人、电子部件输送装置
US16/047,578 US11482661B2 (en) 2017-07-28 2018-07-27 Piezoelectric driving device, driving method of piezoelectric driving device, robot, electronic component transport apparatus, printer, and projector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017146028A JP2019030091A (ja) 2017-07-28 2017-07-28 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019030091A JP2019030091A (ja) 2019-02-21
JP2019030091A5 true JP2019030091A5 (enExample) 2020-08-06

Family

ID=65137950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017146028A Pending JP2019030091A (ja) 2017-07-28 2017-07-28 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、及び、プロジェクター

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11482661B2 (enExample)
JP (1) JP2019030091A (enExample)
CN (1) CN109309458B (enExample)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6891619B2 (ja) * 2017-04-27 2021-06-18 セイコーエプソン株式会社 振動アクチュエーターの制御装置、振動アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター
JP7500963B2 (ja) * 2019-12-20 2024-06-18 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット
JP7388174B2 (ja) * 2019-12-20 2023-11-29 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2690907B2 (ja) * 1987-09-25 1997-12-17 株式会社日立製作所 複合型圧電モータ
JPH07241090A (ja) * 1994-02-28 1995-09-12 Nikon Corp 超音波モータ
JP3453838B2 (ja) * 1994-03-23 2003-10-06 株式会社ニコン 超音波モータ
ES2255551T3 (es) * 2000-03-23 2006-07-01 Elliptec Resonant Actuator Ag Motor vibratorio y metodo de hacer y usar el mismo.
JP4529237B2 (ja) 2000-05-31 2010-08-25 株式会社ニコン 振動アクチュエータ
JP2002010656A (ja) * 2000-06-22 2002-01-11 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JP2004266943A (ja) * 2003-02-28 2004-09-24 Seiko Epson Corp 超音波モータ、稼働装置、光学系切換機構および電気機器
JP2004320979A (ja) * 2003-04-03 2004-11-11 Seiko Epson Corp 稼働装置および電気機器
WO2004112158A1 (en) * 2003-06-13 2004-12-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Piezoelectric actuator and excitation method
JP4479725B2 (ja) * 2004-07-07 2010-06-09 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータおよび機器
JP4487662B2 (ja) * 2004-07-12 2010-06-23 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータの駆動方法、圧電アクチュエータの駆動装置、電子機器
JP2007151302A (ja) * 2005-11-28 2007-06-14 Seiko Epson Corp 駆動装置および電子機器
JP2007221865A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Seiko Epson Corp 圧電振動体、圧電振動体の固有振動数調整方法、圧電アクチュエータ、および電子機器
JP4277921B2 (ja) * 2007-06-05 2009-06-10 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP2009254198A (ja) * 2008-04-10 2009-10-29 Sharp Corp 超音波モータおよび超音波振動子
JP6268999B2 (ja) * 2013-12-06 2018-01-31 セイコーエプソン株式会社 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置
JP2015211604A (ja) * 2014-04-30 2015-11-24 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター
JP6442913B2 (ja) * 2014-08-13 2018-12-26 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法
JP2016154402A (ja) * 2015-02-20 2016-08-25 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターの駆動装置および電子機器
JP6592993B2 (ja) * 2015-07-07 2019-10-23 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置及びロボット

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8887582B2 (en) Piezoelectric vibration type force sensor and robot apparatus
JP2012185153A5 (enExample)
US9634228B2 (en) Piezo vibration module
JP2015184124A5 (enExample)
JP2015006047A5 (enExample)
JP2019030091A5 (enExample)
JP2015222748A5 (enExample)
JP2011196823A5 (ja) ジャイロ素子、ジャイロセンサー、および電子機器
JP2016040992A5 (enExample)
JP2016226175A5 (enExample)
JP2008253078A5 (enExample)
CN101918804A (zh) 压电振动型力传感器
JP2016092879A5 (enExample)
JP2012159494A5 (enExample)
JP2011199661A5 (enExample)
JP2012199631A5 (enExample)
JP2014224693A5 (ja) 圧電性の結晶体の極性及び／又は表裏を判定できるようにする装置及び方法
JP2021021636A5 (enExample)
JP2018187596A (ja) 触覚呈示装置
EP2784604A3 (en) Electronic apparatus and shock detection method
JP2019030092A5 (enExample)
US20200212766A1 (en) Haptic actuator including thermally coupled heat spreading layer and related methods
JP6323562B2 (ja) 圧電振動装置の駆動装置及び駆動方法
JP2019097343A5 (enExample)
JP6158583B2 (ja) セラミックデバイス及びその動作方法