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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6074967B2 (ja) * 2012-09-20 2017-02-08 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体
JP6399283B2 (ja) * 2014-03-24 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP6507565B2 (ja) * 2014-10-28 2019-05-08 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子機器および移動体
JP6586735B2 (ja) * 2015-02-20 2019-10-09 セイコーエプソン株式会社 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP6492739B2 (ja) 2015-02-20 2019-04-03 セイコーエプソン株式会社 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP6477100B2 (ja) * 2015-03-23 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体
JP6477101B2 (ja) * 2015-03-23 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体
US20170059393A1 (en) 2015-08-26 2017-03-02 Seiko Epson Corporation Physical Quantity Detection Device, Manufacturing Method For Physical Quantity Detection Device, Electronic Apparatus, And Moving Object
JP7087479B2 (ja) * 2018-03-09 2022-06-21 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーデバイス、物理量センサーデバイスを用いた傾斜計、慣性計測装置、構造物監視装置、及び移動体
JP2019178905A (ja) 2018-03-30 2019-10-17 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体
JP2019178994A (ja) 2018-03-30 2019-10-17 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体
JP2021071382A (ja) * 2019-10-31 2021-05-06 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、電子機器及び移動体

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US454619A (en) * 1891-06-23 Noah palmer
US5197331A (en) * 1987-12-30 1993-03-30 Yazaki Corporation Oscillatory angular speed detecting apparatus
JP3795888B2 (ja) 1996-02-21 2006-07-12 富士通株式会社 音叉型圧電振動ジャイロ
JP3739492B2 (ja) 1996-02-21 2006-01-25 富士通株式会社 音叉型圧電振動ジャイロ
JPH1030929A (ja) * 1996-07-16 1998-02-03 Toyota Motor Corp 角速度検出装置
JP3732582B2 (ja) * 1996-07-25 2006-01-05 トヨタ自動車株式会社 角速度検出装置
US5998911A (en) 1996-11-26 1999-12-07 Ngk Insulators, Ltd. Vibrator, vibratory gyroscope, and vibration adjusting method
JP3694160B2 (ja) 1996-11-28 2005-09-14 日本碍子株式会社 振動型ジャイロスコープおよびその調整方法
JP3969824B2 (ja) 1998-02-09 2007-09-05 マイクロストーン株式会社 角速度センサ
JP2000131073A (ja) * 1998-10-27 2000-05-12 Citizen Watch Co Ltd 角速度検出装置およびその駆動方法
JP2002340559A (ja) 2001-05-11 2002-11-27 Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk 水晶角速度センサ
JP5135832B2 (ja) * 2007-03-15 2013-02-06 ソニー株式会社 振動型ジャイロセンサ、制御回路、電子機器及び振動型ジャイロセンサの製造方法
JP4591787B2 (ja) * 2007-04-19 2010-12-01 セイコーエプソン株式会社 振動子および角速度測定装置
JP2010054404A (ja) 2008-08-29 2010-03-11 Citizen Holdings Co Ltd 振動型ジャイロセンサ
JP2010256332A (ja) 2009-04-02 2010-11-11 Seiko Epson Corp 振動片、振動子および物理量検出装置
JP5282686B2 (ja) 2009-07-08 2013-09-04 セイコーエプソン株式会社 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造及びジャイロセンサー
JP2011174914A (ja) * 2010-01-28 2011-09-08 Seiko Epson Corp 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器
JP5560806B2 (ja) * 2010-03-19 2014-07-30 セイコーエプソン株式会社 ジャイロ素子、ジャイロセンサー、および電子機器
JP2011220997A (ja) * 2010-03-26 2011-11-04 Seiko Epson Corp 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器
JP2012231209A (ja) 2011-04-25 2012-11-22 Panasonic Corp 振動子
JP2013019834A (ja) 2011-07-13 2013-01-31 Seiko Epson Corp 角速度検出回路、集積回路装置及び角速度検出装置
JP5870532B2 (ja) * 2011-08-09 2016-03-01 セイコーエプソン株式会社 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器
JP2013156127A (ja) * 2012-01-30 2013-08-15 Seiko Epson Corp 振動片、振動デバイス、物理量検出装置、および電子機器
JP2013178179A (ja) 2012-02-28 2013-09-09 Seiko Epson Corp センサー素子、センサーデバイスおよび電子機器
US9222776B2 (en) * 2012-03-13 2015-12-29 Seiko Epson Corporation Gyro sensor and electronic apparatus
JP6160027B2 (ja) 2012-04-27 2017-07-12 セイコーエプソン株式会社 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体
JP2014032106A (ja) * 2012-08-03 2014-02-20 Seiko Epson Corp 振動片、振動子、ジャイロセンサー、電子機器、および移動体
JP6399283B2 (ja) * 2014-03-24 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP2015184157A (ja) * 2014-03-25 2015-10-22 セイコーエプソン株式会社 物理量検出回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体
US20170059393A1 (en) * 2015-08-26 2017-03-02 Seiko Epson Corporation Physical Quantity Detection Device, Manufacturing Method For Physical Quantity Detection Device, Electronic Apparatus, And Moving Object
JP2019178905A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体
JP2019178994A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体

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