JP2015184124A5

JP2015184124A5 -

Info

Publication number: JP2015184124A5
Application number: JP2014060375A
Authority: JP
Filing date: 2014-03-24
Publication date: 2017-04-27
Anticipated expiration: 2034-03-24

Claims

物理量検出素子と、
第１の電流・電圧変換部と、
第２の電流・電圧変換部と、を含み、
前記物理量検出素子は、
基部と、
前記基部に接続された複数の振動腕と、
前記複数の振動腕のいずれかに設けられ、前記振動腕の振動に応じた第１検出信号、第２検出信号、第３検出信号及び第４検出信号をそれぞれ発生させる第１検出電極、第２検出電極、第３検出電極及び第４検出電極と、を含み、
前記第１検出信号と前記第４検出信号とは電気的極性が同じであり、前記第２検出信号と前記第３検出信号とは電気的極性が同じであり、前記第１検出信号と前記第２検出信号とは電気的極性が反対であり、
前記第１検出電極と前記第４検出電極とが前記第１の電流・電圧変換部に接続され、
前記第２検出電極と前記第３検出電極とが前記第２の電流・電圧変換部に接続される、物理量検出装置。
請求項１において、
前記複数の振動腕は、圧電部材を含み、
前記第１検出電極と前記第２検出電極の間に前記圧電部材が設けられ、
前記第３検出電極と前記第４検出電極の間に前記圧電部材が設けられている、物理量検出装置。
請求項１又は２において、
前記物理量検出素子は、
前記複数の振動腕のいずれかに設けられ、前記振動腕を振動させる信号が入力される駆動電極と、
前記駆動電極と前記第１検出電極との間、前記駆動電極と前記第２検出電極との間、前記駆動電極と前記第３検出電極との間、及び前記駆動電極と前記第４検出電極との間の少なくとも１つの位置の前記基部に設けられ、固定された電位が入力される固定電位配線と
、を含む、物理量検出装置。
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記第１検出電極および前記第２検出電極は、１つの前記振動腕に設けられ、
前記第３検出電極および前記第４検出電極は、他の１つの前記振動腕に設けられている、物理量検出装置。
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記第１検出電極、前記第２検出電極、前記第３検出電極および前記第４検出電極は、１つの前記振動腕に設けられている、物理量検出装置。
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記物理量検出素子は、
前記基部から、第１軸に沿って互いに反対方向に延出する第１連結腕および第２連結腕を含み、
第１の前記振動腕である第１駆動振動腕および第２の前記振動腕である第２駆動振動腕は、前記第１連結腕から、前記第１軸と直交する第２軸に沿って互いに反対方向に延出し、
第３の前記振動腕である第３駆動振動腕および第４の前記振動腕である第４駆動振動腕は、前記第２連結腕から、前記第２軸に沿って互いに反対方向に延出し、
第５の前記振動腕である第１検出振動腕および第６の前記振動腕である第２検出振動腕は、前記基部から、前記第２軸に沿って互いに反対方向に延出し、
前記第１検出電極および前記第２検出電極は、前記第１検出振動腕に設けられ、
前記第３検出電極および前記第４検出電極は、前記第２検出振動腕に設けられている、物理量検出装置。
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記物理量検出素子は、
第１の前記振動腕である第１駆動振動腕および第２の前記振動腕である第２駆動振動腕は、第１軸に沿って並んで配置され、前記基部から前記第１軸と直交する第２軸に沿って延出し、
第３の前記振動腕である第１検出振動腕および第４の前記振動腕である第２検出振動腕は、前記第１軸に沿って並んで配置され、前記基部から前記第１駆動振動腕および前記第２駆動振動腕の延出方向と反対方向に延出し、
前記第１検出電極および前記第２検出電極は、前記第１検出振動腕に設けられ、
前記第３検出電極および前記第４検出電極は、前記第２検出振動腕に設けられている、物理量検出装置。
請求項１乃至３のいずれか一項又は請求項５において、
前記物理量検出素子は、
第１の前記振動腕である第１駆動振動腕、第２の前記振動腕である第２駆動振動腕および第３の前記振動腕である検出振動腕は、第１軸に沿って並んで配置され、前記基部から前記第１軸と直交する第２軸に沿って延出し、
前記第１検出電極、前記第２検出電極、前記第３検出電極および前記第４検出電極は、前記検出振動腕に設けられている、物理量検出装置。
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記物理量検出素子は、
第１の前記振動腕である第１駆動検出振動腕および第２の前記振動腕である第２駆動検出振動腕は、第１軸に沿って並んで配置され、前記基部から前記第１軸と直交する第２軸
に沿って延出し、
前記第２検出電極は、前記第１駆動検出振動腕に設けられ、
前記第４検出電極は、前記第２駆動検出振動腕に設けられ、
前記第１検出電極と前記第２検出電極の間には圧電膜が設けられ、
前記第３検出電極と前記第４検出電極の間には圧電膜が設けられている、物理量検出装置。
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の物理量検出装置を含む、電子機器。
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の物理量検出装置を含む、移動体。