JP2017020898A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 第１固定電極部を有する第１固定電極側固定部と、
   前記第１固定電極部に対して第１方向に並んで配置されている第２固定電極部を有する第２固定電極側固定部と、
   前記第１方向に交差する第２方向に並んで配置されている第１可動電極側固定部および第２可動電極側固定部と、
   前記第１固定電極部に対向している部分を有する第１可動電極部、および、前記第２固定電極部に対向している部分を有する第２可動電極部を有し、平面視で前記第１固定電極側固定部、前記第２固定電極側固定部、前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部を囲む可動質量部と、
   前記可動質量部を前記第２方向に変位可能に前記第１可動電極側固定部と前記可動質量部とを接続している第１弾性部と、
   前記可動質量部を前記第２方向に変位可能に前記第２可動電極側固定部と前記可動質量部とを接続している第２弾性部と、
   を備えることを特徴とする物理量センサー。
2. 前記第１可動電極部は、前記第１方向に延びる複数の第１可動電極指を有し、
   前記第２可動電極部は、前記第１方向に延びる複数の第２可動電極指を有し、
   前記第１固定電極部は、前記第１方向に延びる複数の第１固定電極指を有し、
   前記第２固定電極部は、前記第１方向に延びる複数の第２固定電極指を有する請求項１に記載の物理量センサー。
3. 前記第１固定電極側固定部は、前記第２方向に延び、前記複数の第１固定電極指を支持している第１延出部を有し、
   前記第２固定電極側固定部は、前記第２方向に延び、前記複数の第２固定電極指を支持している第２延出部を有する請求項２に記載の物理量センサー。
4. 前記第１延出部は、前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部に対して前記第１方向での一方側に配置され、
   前記第２延出部は、前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部に対して前記第１方向での他方側に配置されている請求項３に記載の物理量センサー。
5. 基板と、
   前記基板に設けられ、前記第１固定電極指に電気的に接続されている第１固定電極側配線と、
   前記基板に設けられ、前記第２固定電極指に電気的に接続されている第２固定電極側配線と、を備え、
   前記第１延出部は、前記基板と離間しており、平面視で前記第１固定電極側配線と重なり、
   前記第２延出部は、前記基板と離間しており、平面視で前記第２固定電極側配線と重なる請求項４に記載の物理量センサー。
6. 基板と、
   前記基板に設けられ、前記第１可動電極指および前記第２可動電極指のそれぞれに電気的に接続されている可動電極側配線と、を備え、
   前記第１可動電極指および前記第２可動電極指のそれぞれの先端部は、平面視で前記可動電極側配線と重なっている請求項２ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサー。
7. 基板と、
   前記基板に設けられている可動電極側配線と、を備え、
   前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部のうちの少なくとも一方の固定部は、前記基板に接続されている複数の接続部を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサー。
8. 前記接続部と前記可動電極側配線との間にこれら両者に接して設けられている導電性のコンタクト部を備える請求項７に記載の物理量センサー。
9. 平面視で前記可動質量部と重なって前記基板の主面に設けられている突起部を備える請求項７または８に記載の物理量センサー。
10. 前記第１固定電極側固定部および前記第２固定電極側固定部は、それぞれ、平面視で前記第１可動電極側固定部と前記第２可動電極側固定部との間に位置している部分を有する請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量センサー。
11. 前記第１可動電極側固定部と前記第２可動電極側固定部とを連結し、かつ、前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部と同じ材料で構成されている連結部を備える請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の物理量センサー。
12. 前記第１可動電極側固定部は、前記第２方向に延びる第１支持部を有し、
    前記第２可動電極側固定部は、前記第２方向に延びる第２支持部を有し、
    前記第１弾性部は、前記第１支持部から延び、
    前記第２弾性部は、前記第２支持部から延びる請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の物理量センサー。
13. 請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
14. 請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする移動体。