JP2016040992A5 - - Google Patents
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- 第１面及び第２面を有する振動板と、
第１圧電素子を有し前記振動板の第１面に配置された第１圧電振動体と、
第２圧電素子を有し前記振動板の第２面に配置された第２圧電振動体と、
前記振動板に設けられて被駆動体に接する突起部と、
を備え、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体は、前記振動板に対して互いに非対称である非対称性を有する、圧電駆動装置。 - 請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体は、第１方向を長手方向とし、前記第１方向と直交する第２方向を短手方向としたとき、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の前記非対称性は、前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体とで構成される積層構造の積層方向である第３方向から前記積層構造を見たときに、前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体が前記第１方向と前記第２方向とのうちの少なくとも１つの方向において互いにずれた位置に配置されていることを含む、圧電駆動装置。 - 請求項２に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の前記非対称性は、前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体が前記第１方向に５μｍ〜３０μｍ互いにずれた位置に配置されていることを含む、圧電駆動装置。 - 請求項２又は３に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の前記非対称性は、前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体が前記第２方向に５μｍ〜３０μｍ互いにずれた位置に配置されていることを含む、圧電駆動装置。 - 請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体は、第１方向を長手方向とし、前記第１方向と直交する第２方向を短手方向としたとき、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の前記非対称性は、前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体とで構成される積層構造の積層方向である第３方向から前記積層構造を見たときに、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子が前記第１方向と前記第２方向とのうちの少なくとも１つの方向において互いにずれた位置に配置されていることを含む、圧電駆動装置。 - 請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体は、第１方向を長手方向とし、前記第１方向と直交する第２方向を短手方向としたとき、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の前記非対称性は、前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体とで構成される積層構造の積層方向である第３方向から前記積層構造を見たときに、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子が前記第１方向と前記第２方向とのうちの少なくとも１つの方向において互いに長さが異なることを含む、圧電駆動装置。 - 請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体は、第１基板と、前記第１基板の上に形成された前記第１圧電素子と、を有し、
前記第２圧電振動体は、第２基板と、前記第２基板の上に形成された前記第２圧電素子と、を有し、
前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体は、第１方向を長手方向とし、前記第１方向と直交する第２方向を短手方向としたとき、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の前記非対称性は、前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体とで構成される積層構造の積層方向である第３方向から前記積層構造を見たときに、前記第１基板と前記第２基板が前記第１方向と前記第２方向とのうちの少なくとも１つの方向において互いにずれた位置に配置されていることを含む、圧電駆動装置。 - 請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体は、第１基板と、前記第１基板の上に形成された前記第１圧電素子と、を有し、
前記第２圧電振動体は、第２基板と、前記第２基板の上に形成された前記第２圧電素子と、を有し、
前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体は、第１方向を長手方向とし、前記第１方向と直交する第２方向を短手方向としたとき、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の前記非対称性は、前記第１圧電振動体と前記振動板と前記第２圧電振動体とで構成される積層構造の積層方向である第３方向から前記積層構造を見たときに、前記第１基板と前記第２基板が前記第１方向と前記第２方向とのうちの少なくとも１つの方向において互いに長さが異なることを含む、圧電駆動装置。 - 請求項１〜８のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の圧電体の厚みは０．５μｍ以上２０μｍ以下である、圧電駆動装置。 - 請求項１〜８のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電振動体と前記第２圧電振動体の圧電体の厚みは０．５μｍ以上３μｍ以下である、圧電駆動装置。 - 複数のリンク部と
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記複数のリンク部を前記関節部で屈曲させる請求項１〜１０のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備えるロボット。 - 請求項１１に記載のロボットの駆動方法であって
前記圧電駆動装置の駆動回路は、交流電圧又は交流電圧にオフセット電圧を加えた電圧を駆動電圧として前記圧電駆動装置の前記第１圧電素子及び前記第２圧電素子に印加することによって、前記複数のリンク部を前記関節部で屈曲させる、ロボットの駆動方法。 - 電子部品搬送装置であって、
電子部品を把持する把持装置と、
前記把持装置を移動させるための少なくとも１つのステージと、
前記ステージを移動させる請求項１〜１０のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備える、電子部品搬送装置。 - 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の圧電駆動装置の駆動方法であって、
交流電圧又は交流電圧にオフセット電圧を加えた電圧を駆動電圧として前記圧電駆動装置の前記第１圧電素子及び前記第２圧電素子に印加する、圧電駆動装置の駆動方法。
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