JP2016163474A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 被駆動部と接触可能な接触部を有し、圧電体を有する複数の圧電駆動部を備え、
   前記複数の圧電駆動部の数量は１０個以上であり、
   前記複数の圧電駆動部による全体の出力は０．３Ｗ以上であり、
   前記圧電駆動部の重量は１μｇ以上５ｇ以下である
   ことを特徴とする圧電駆動装置。
2. 請求項１に記載の圧電駆動装置であって、
   前記圧電駆動部は、下式を満たすことを特徴とする圧電駆動装置。
   ｌｏｇ_１０（Ｐｗ／Ｗｔ）≧−０．３７３・ｌｏｇ_１０（Ｗｔ）＋１．４４８
   ここで、Ｗｔは前記圧電駆動部の重量［ｋｇ］であり、Ｐｗは前記圧電駆動部の出力［Ｗ］である。
3. 請求項２に記載の圧電駆動装置であって、
   前記圧電駆動部は、下式を満たすことを特徴とする圧電駆動装置。
   ｌｏｇ_１０（Ｐｗ／Ｗｔ）≧−０．４９８・ｌｏｇ_１０（Ｗｔ）＋１．６５３
4. 請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
   前記圧電駆動部の出力は、０．００１Ｗ以上１Ｗ以下である、圧電駆動装置。
5. 請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
   前記圧電体の厚さは、０．０５μｍ以上２０μｍ以下である、圧電駆動装置。
6. 請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
   前記圧電駆動部の重量は１μｇ以上１００ｍｇ以下である、圧電駆動装置。
7. 請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
   前記複数の圧電駆動部の数量は１００個以上である、圧電駆動装置。
8. 請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって
   前記複数の圧電駆動部の数量は１０００個以上である、圧電駆動装置。
9. 請求項１から請求項８までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
   前記圧電駆動部は、前記圧電体を含む圧電振動体と、前記圧電振動体が設けられた振動板と、を有し、
   前記圧電振動体は、基板と、前記基板に形成された第１電極と、前記第１電極に形成された前記圧電体と、前記圧電体に形成された第２電極と、を有する、圧電駆動装置。
10. 複数のリンク部と
    前記複数のリンク部を接続する関節部と、
    前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
    を備えるロボット。
11. 請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の第１の圧電駆動装置と、
    前記第１の圧電駆動装置により開閉して対象物を把持する把持部と、
    を備えるロボット。
12. 前記把持部を回動させる、請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の第２の圧電駆動装置を備える請求項１１に記載のロボット。