JP2017098781A5 - 圧電素子及び圧電素子の製造方法 - Google Patents

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  1. 圧電体と、
    面方位が［１１１］の単結晶シリコンを振動用素材とする振動板と、
    を積層した圧電素子。
  2. 面方位が［１１１］の単結晶シリコンウエハーから、振動板に用いる振動用素材を切り出す工程と、
    圧電体と前記振動板とを積層する工程と、
    を含む圧電素子の製造方法。
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