JP2014155350A5 - 振動体とその製造方法及び振動型駆動装置と電子機器 - Google Patents

Claims (14)

1. 基板上に、圧電層を挟んで前記基板側に配置された一方の電極層と該一方の電極層と対向配置された他方の電極層を有する圧電素子を備え、
   前記圧電素子の振動エネルギーによって前記基板を振動させ、振動エネルギーを出力する振動体であって、
   前記基板と、前記基板側に配置された一方の電極層との間に、ガラス溶融物を含んでいるセラミックス層が設けられ、該セラミックス層を介して前記圧電素子が前記基板に固定され、
   前記基板側に配置された一方の電極層の厚さが、前記他方の電極層の厚さよりも厚いことを特徴とする振動体。
2. 前記一方の電極層の厚さが、５μｍを超え、１０μｍ未満であることを特徴とする請求項１に記載の振動体。
3. 前記一方の電極層は、前記他方の電極層よりも広い面積を有することを特徴とする請求項１に記載の振動体。
4. 前記一方の電極層は、前記他方の電極層よりも、一辺が０．０５ｍｍ以上拡大された面積を有することを特徴とする請求項３に記載の振動体。
5. 前記一方の電極層は、前記他方の電極層よりも、一辺が０．０５ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下の範囲で拡大された面積を有することを特徴とする請求項３に記載の振動体。
6. 前記セラミックス層の前記ガラス溶融物におけるガラス成分は、主成分が酸化ケイ素および酸化ホウ素からなり、
   前記ガラス成分が、前記セラミックス層のセラミックス粉末の重量に対して０．５重量％以上、１０重量％以下、添加されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動体。
7. 前記セラミックス層は、主成分が前記圧電層と同じ成分により構成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動体。
8. 前記圧電層は、ジルコン酸鉛とチタン酸鉛を主成分として構成されていることを特徴とする請求項７項に記載の振動体。
9. 前記基板は、９９．５重量％以上、９９．９９重量％以下の純度のアルミナで構成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動体。
10. 前記圧電素子が、前記基板に対し前記セラミックス層を介して焼成により固定されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動体。
11. 請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動体を駆動動力源として構成されていることを特徴とする振動型駆動装置。
12. 請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動体を搭載した電子機器。
13. 請求項１１に記載の振動型駆動装置を搭載した電子機器。
14. 基板上に、圧電層を挟んで前記基板側に配置された一方の電極層と該一方の電極層と対向配置された他方の電極層を有する圧電素子を備え、該圧電素子の振動エネルギーによって前記基板を振動させ、振動エネルギーを出力する振動体の製造方法であって、
    前記基板上に、ガラス溶融物を含んでいるセラミックス層を形成し、該セラミックス層上に前記一方の電極層、前記圧電層、前記他方の電極層を、この順に該一方の電極層の厚さを、該他方の電極層の厚さよりも厚くして積層する工程と、
    前記セラミックス層、前記一方の電極層、前記圧電層、前記他方の電極層を同時に焼成し、これらを基板上に一体化して接合する工程と、
    を有することを特徴とする振動体の製造方法。