JP2012039754A5 - - Google Patents

Description

本発明は、つぎのように構成した振動発生装置、その駆動方法、異物除去装置および光学装置を提供するものである。
本発明の振動発生装置は、圧電材料で形成された圧電体を電極で挟持して構成された圧電素子と、
前記圧電素子が接合された振動体と、
前記圧電素子に交番電圧を印加する電源と、
を備え、前記電源による前記圧電素子への交番電圧の印加によって、前記振動体に振動を発生させる振動発生装置であって、
前記圧電素子は、交番電圧印加に伴なって共振周波数が高周波側に変化する圧電体によって構成され、
前記電源の印加による交番電圧の周波数を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記圧電素子へ印加された交番電圧の周波数を制御することにより、前記圧電素子が有する共振周波数の変化範囲を包含する周波数範囲において、該圧電素子に印加する交番電圧の周波数を低周波数側から高周波数側に逐次変化させる構成を有することを特徴とする。
また、本発明の振動発生装置の駆動方法は、上記した振動発生装置の駆動方法であって、
前記交番電圧の周波数を変化させる速度を、前記圧電素子の共振周波数の変化速度よりも大きくすることを特徴とする。
また、本発明の異物除去装置は、上記した振動発生装置を有し、該振動発生装置によって所定の方向に異物を移動させて除去することを特徴とする。
また、本発明の光学装置は、上記した異物除去装置を有し、該異物除去装置によって光路上の異物を除去することを特徴とする。

Claims (5)

1. 圧電材料で形成された圧電体を電極で挟持して構成された圧電素子と、
   前記圧電素子が接合された振動体と、
   前記圧電素子に交番電圧を印加する電源と、
   を備え、前記電源による前記圧電素子への交番電圧の印加によって、前記振動体に振動を発生させる振動発生装置であって、
   前記圧電素子は、交番電圧印加に伴なって共振周波数が高周波側に変化する圧電体によって構成され、
   前記電源の印加による交番電圧の周波数を制御する制御部を備え、
   前記制御部は、前記圧電素子へ印加された交番電圧の周波数を制御することにより、前記圧電素子が有する共振周波数の変化範囲を包含する周波数範囲において、該圧電素子に印加する交番電圧の周波数を低周波数側から高周波数側に逐次変化させる構成を有することを特徴とする振動発生装置。
2. 前記圧電材料が、チタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム、ニオブ酸カリウムナトリウムから選択されるいずれか１種の単体または２種以上の固溶体を主成分とすることを特徴とする請求項１に記載の振動発生装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の振動発生装置の駆動方法であって、
   前記交番電圧の周波数を変化させる速度を、前記圧電素子の共振周波数の変化速度よりも大きくすることを特徴とする振動発生装置の駆動方法。
4. 請求項１または請求項２に記載の振動発生装置を有し、該振動発生装置による振動よって異物を除去することを特徴とする異物除去装置。
5. 請求項４に記載の異物除去装置を有し、該異物除去装置によって光路上の異物を除去することを特徴とする光学装置。