JP2012135072A5 - 振動体及び振動型駆動装置 - Google Patents
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Description
本発明は、振動波アクチュエータ等と称される振動体及び振動型駆動装置に関し、特に、平板状の弾性体の表裏のそれぞれの面に圧電素子を設けた振動体に関するものである。
本発明は、上記課題に鑑み、平板状の構成により低コスト化、小型化を図ることができ、小型化しても振動の減衰を抑制して振動効率を向上させ、安定して大きな出力の発生が可能となる振動体及び振動型駆動装置の提供を目的とする。
本発明の振動体は、平板状の弾性体の表面に設けられた第１の圧電素子と、該第１の圧電素子に並設された第２の圧電素子と、
前記第１の圧電素子および第２の圧電素子のそれぞれに対向し、前記平板状の弾性体の裏面に設けられた第３の圧電素子と、
を少なくとも備え、
前記対向して設けられた圧電素子同士における１つの電極層の導通が図られていることを特徴とする。
また、本発明の振動型駆動装置は、上記した振動体を駆動動力源として構成されていることを特徴とする。
前記第１の圧電素子および第２の圧電素子のそれぞれに対向し、前記平板状の弾性体の裏面に設けられた第３の圧電素子と、
を少なくとも備え、
前記対向して設けられた圧電素子同士における１つの電極層の導通が図られていることを特徴とする。
また、本発明の振動型駆動装置は、上記した振動体を駆動動力源として構成されていることを特徴とする。
本発明によれば、平板状の構成により低コスト化、小型化を図ることができ、小型化しても振動の減衰を抑制して振動効率を向上させ、安定して大きな出力の発生が可能となる振動体及び振動型駆動装置を実現することができる。
Claims (7)
- 平板状の弾性体の表面に設けられた第１の圧電素子と、該第１の圧電素子に並設された第２の圧電素子と、
前記第１の圧電素子および第２の圧電素子のそれぞれに対向し、前記平板状の弾性体の裏面に設けられた第３の圧電素子と、
を少なくとも備え、
前記対向して設けられた圧電素子同士における１つの電極層の導通が図られていることを特徴とする振動体。 - 前記圧電素子への駆動電圧の印加によって、少なくとも２つの異なる形態の振動が前記弾性体に発生されることを特徴とする請求項１に記載の振動体。
- 前記平板状の弾性体の表面と裏面のそれぞれに設けられ圧電素子同士における電極層の導通が、
前記平板状の弾性体の表面、裏面および側面に形成した導電材、または前記平板状の弾性体の内部を貫通する孔に充填した導電材、によって図られていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動体。 - 前記圧電素子は、前記平板状の弾性体の表面と裏面に厚膜印刷法により形成され、弾性体と同時に焼成して一体化して構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の振動体。
- 前記弾性体は、セラミックスによって構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の振動体。
- 請求項１から５のいずれか１項に記載の振動体を駆動動力源として構成されていることを特徴とする振動型駆動装置。
- 前記圧電素子への駆動電圧の印加により前記弾性体に発生させた振動よって、該弾性体と接触する被駆動体を駆動する請求項１から５のいずれか１項に記載の振動体を有する振動型駆動装置。
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| JPH07213078A (ja) * | 1994-01-21 | 1995-08-11 | Nikon Corp | 超音波モータ |
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| JP2001352768A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-21 | Canon Inc | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 |
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| JP2002223577A (ja) | 2001-01-24 | 2002-08-09 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ、時計、携帯機器、圧電アクチュエータの設計方法および製造方法 |
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| JP2004088815A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-18 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータの駆動方法および超音波モータ装置 |
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| JP2004312814A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Seiko Epson Corp | 稼働装置および電気機器 |
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